JP2016508284A5 - - Google Patents

Description

費用効果の高い製造工程においてパラメータ分布を厳密化するため、長年にわたり種々の技術が使用されてきているが、完全に条件を満たすものはない。
この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、以下のものがある（国際出願日以降国際段階で引用された文献及び他国に国内移行した際に引用された文献を含む）。
（先行技術文献）
（特許文献）
（特許文献１） 米国特許第７，９６０，９９７号明細書
（特許文献２） 米国特許第５，４４６，３１０号明細書
（特許文献３） 米国特許第５，８３１，２９１号明細書
（特許文献４） 米国特許第７，７８２，０８３号明細書
（特許文献５） 米国特許第５，５６３，４４７号明細書
（特許文献６） 米国特許出願公開第２００９／０２００５７８号明細書
（特許文献７） 米国特許第６，４３３，３８６号明細書
（特許文献８） 米国特許出願公開第２００５／０００７１６０号明細書

Claims (7)

1. ドレイン端子と、ソース端子と、ゲート端子とを有する縦型電界効果装置を作製する方法であって、
   前記ドレイン端子、前記ソース端子、および前記ゲート端子に接続された第１の電界効果装置を提供する工程と、
   並列有効化ヒューズのセットにより前記ソース端子に接続され、直列絶縁ヒューズのセットにより前記ゲート端子に接続された第２の電界効果装置のセットを提供する工程と、
   装置パラメータ測定値を測定する工程と、
   前記装置パラメータ測定値を目標値と比較する工程と、
   前記装置パラメータ測定値が前記目標値を満たす場合、前記並列有効化ヒューズのセットのうち１並列有効化ヒューズを溶断する工程と
   を有する方法。
2. 請求項１記載の方法において、前記溶断する工程は、さらに、前記並列有効化ヒューズのセットのうち複数の並列有効化ヒューズを溶断する工程を有するものである方法。
3. 請求項１記載の方法において、さらに、
   前記装置パラメータ測定値が前記目標値を満たさない場合、前記直列絶縁ヒューズのセットのうち１直列絶縁ヒューズを溶断する工程を有するものである方法。
4. 請求項１記載の方法において、前記測定する工程は、さらに、しきい値電圧を測定する工程を有するものである方法。
5. 請求項１記載の方法において、前記測定する工程は、さらに、オン抵抗電圧を測定する工程を有するものである方法。
6. 請求項１記載の方法において、前記第２の電界効果装置のセットを提供する工程は、さらに、前記並列有効化ヒューズのセットに接続された抵抗のセットを提供する工程を有するものである方法。
7. 請求項１記載の方法において、前記ゲート端子は、さらに、トリム可能な並列抵抗ネットワークに接続され、さらに、
   前記並列抵抗ネットワークの並列抵抗ヒューズを溶断する工程を有するものである方法。