JP2016506623A - 自動集積回路分析を行うための方法および装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、契約番号HR0011−11−C−0088(DARPA)の下で米国政府の支援を受けて行われた。米国政府は、本発明における権利を有する。
102 集積回路(IC)アセンブリ
104 分析器装置
108 ポンプレーザ
109 プローブレーザ
110 光学系
112 DC反射率放出検出器
113 AC結合RF放出検出器
116 制御装置およびデータ処理装置
118 ポンプ/プローブアセンブリ
120 自律デバイスネットリスト抽出器
130 データベース
140 分散コンピューティングクラスタ
200 D変換器
204 ポンプ走査光学系
205 結合光学系および対物レンズ
206 プローブ走査光学系
207 電流増幅器
208 プローブ検出光学系
209 RFフィルタおよび増幅器
210 ロックイン増幅器
212 信号発生器
214 ポンプ変調器
215 出力ライン
216 ポンプレーザ源
220 ポンプ検出光学系
300 パルスレーザシステム
302 プローブアーム
304 ポンプアーム
310 同期ユニット
320 光学遅延ライン
328 RF源
330 周波数ミキサ
332 ロックイン増幅器
400 システム
402 プローブアーム
404 ポンプアーム
450 回折格子アセンブリ
500 サブシステム概要
502 メモリ
520 アレイフォーメーション
530 ネットワークインターフェース
540 構成ファイル
545 活動検出器
550 中央処理装置(CPU)
555 顕微鏡制御装置
565 データベースクライアント
570 A/D変換器
580 D/A変換器
590 デジタルIO
595 サポート回路
600 自律デバイスネットリスト抽出器
602 CPU
604 メモリ
610 データベースクライアント
620 超次元論理セル認識モジュール
630 超解像度再構成モジュール
640 画像登録モジュール
655 テストベクトル発生器
660 ネットワークインターフェース
670 相互接続抽出器
680 デバイス構成マネージャ
690 高速電磁シミュレータ
695 サポート回路
Claims (15)
- 集積回路を走査するための装置であって、
複数のレーザ走査顕微鏡であって、各レーザ走査顕微鏡が、試験対象の集積回路の同じ視野を走査するように構成され、これは、前記試験対象の集積回路の複数の画像を生成する、複数のレーザ走査顕微鏡と、
前記レーザ走査顕微鏡に結合された、前記複数の画像を処理するためのデータ処理装置とを備え、前記データ処理装置が、
前記試験対象の集積回路の構造を定義する1つまたは複数のネットリストを生成するネットリスト抽出器(NE)を備える
装置。 - 前記複数の画像が、前記試験対象の集積回路の超次元表現を形成する請求項1に記載の装置。
- 前記NEが、前記複数の画像のマルチモード処理を使用し、前記複数の画像に基づいて一意の特徴を定義する請求項1に記載の装置。
- 前記データ処理装置が、データベース、分散コンピューティングクラスタ、および前記複数の顕微鏡と同時に対話し、前記データベースが、ライブラリ情報、データ、および分析結果を備える請求項1に記載の装置。
- 前記レーザ走査顕微鏡が、前記複数の画像を生成するためにポンプ/プローブ技法を利用する請求項1に記載の装置。
- 前記ポンプ/プローブ技法が、波面歪曲メカニズムを使用して、所定のパターンで前記試験対象の集積回路内に電荷キャリアを注入するための構造化ポンプレーザを生成して、複数の電荷流画像を発生する請求項5に記載の装置。
- 位相解像検出器を用いて電荷流信号を収集すること、
前記信号の各位相に一意の色を割り当てること、および
各位相を位相画像としてプロットすること
をさらに含む請求項6に記載の装置。 - 前記複数の電荷流画像を使用して、前記試験対象の集積回路の超解像画像を構成すること
をさらに含む請求項6に記載の装置。 - 前記複数のレーザ走査顕微鏡が、活動を抑制するために前記試験対象の集積回路の幾つかの部分にキャリアを注入するためのポンプレーザと、前記試験対象の集積回路内の他の接続されたトランジスタで前記ポンプレーザを検出するためのプローブレーザとを備える請求項1に記載の装置。
- ポンプレーザおよびプローブレーザが、サブピコ秒の超高速レーザである請求項9に記載の装置。
- 前記ポンプレーザと前記プローブレーザとの遅延を調節して、前記遅延に基づいて異なる画像を作成すること
をさらに含む請求項9に記載の装置。 - 前記ポンプレーザを使用して、前記試験対象の集積回路内で論理セルの出力を抑制し、プローブレーザを使用して、前記試験対象の集積回路内の他の場所での前記抑制の影響を観察すること
をさらに含む請求項9に記載の装置。 - 前記試験対象の集積回路の要素間の相互接続を決定するために活動マップが使用され、前記活動マップが、データベースに記憶され、前記試験対象の集積回路からRF波形データを収集する場所を決定するために使用され、前記RF波形データが前記データベースに収集および記憶され、前記試験対象の集積回路の領域間の電気接続を識別するために一意の波形が識別されて使用される請求項10に記載の装置。
- 集積回路を走査するための方法であって、
試験対象の集積回路の複数の画像を生成するステップと、
前記試験対象の集積回路の構造を定義するネットリストを生成するために前記複数の画像を処理するステップであって、前記複数の画像が、前記試験対象の集積回路の超次元表現を形成し、データ処理装置が、デバイスの領域に関する超次元記述子を作成するために前記複数の画像のマルチモード処理を使用するステップと、
前記マルチモード処理を使用して、オブジェクトのライブラリからオブジェクトを検出するステップと、
活動を測定するために、前記試験対象の集積回路の1つまたは複数の領域を選択するステップと、
活動が存在する前記1つまたは複数の領域から波形データを収集するステップと
を含む方法。 - 前記収集された波形および前記波形の対応する領域を使用して、前記マルチモード処理のための追加の次元を構成するステップと、
分散コンピューティングクラスタを使用して波形データを相関させるステップと、
前記試験対象の集積回路内で一意のノードを識別するステップであって、前記一意のノードが、前記試験対象の集積回路の電気的に接続された部分を示すステップと
をさらに含む請求項14に記載の方法。
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