JP2016226196A - リニアアクチュエータの製造方法およびリニアアクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】可動体と固定体の間に挿入されたダンパー部材により可動体のストロークや共振周波数がばらつくことを防止できるリニアアクチュエータの製造方法を提案すること。
【解決手段】リニアアクチュエータ１は、可動体２と、固定体３と、可動体２と固定体３の間に配置されたダンパー部材５を有する。固定体３はバネ４を介して可動体２を移動可能に支持するコイルボビン３１と、コイルボビン３１の可動体２とは反対側に重ねられたベース３２を備える。製造時には、可動体２の移動方向でコイルボビン３１とベース３２の間に隙間Ｃを設けておき、この隙間Ｃの隙間寸法を調節することで、ダンパー部材５が挿入される可動体２のコア体１１の下面１１ａとベース３２の上面３２ａの間の離間距離Ｄをダンパー部材５の長さ寸法である規定寸法Ｓとする。そして、隙間Ｃが形成された状態でコイルボビン３１とベース３２を接着剤７０で固定する。
【選択図】図５

Description

本発明は、可動体と固定体の間に共振を抑制するダンパー部材を備えるリニアアクチュエータの製造方法およびリニアアクチュエータに関する。

携帯電話の着信等を振動によって報知するデバイスとしてリニアアクチュエータが提案されている。特許文献１に記載のリニアアクチュエータは、永久磁石を有する可動体とコイルを有する固定体を備える。固定体はバネ部材などの弾性体を介して可動体を移動可能に支持する。同文献のリニアアクチュエータでは、コイルに供給する駆動信号によって振動の強弱や周波数が変化する。

特開２００６−７１６１号公報

リニアアクチュエータでは、可動体が振動した際に、振動の周波数によって可動体が共振することがある。

ここで、共振を抑制するためには、可動体の移動方向で互いに対向する可動体の可動体側対向面と固定体の固定体側対向面の間に移動方向に伸縮するダンパー部材を挿入することが考えられる。しかし、この場合には、ダンパー部材が挿入される可動体側対向面と固定体側対向面の間の寸法を一定に管理しなければ、それらの間に挿入されたダンパー部材により可動体のストロークや共振周波数が製品毎にばらついてしまう。

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、可動体と固定体の間に挿入されたダンパー部材により可動体のストロークや共振周波数が製品毎にばらつくことを防止できるリニアアクチュエータの製造方法およびリニアアクチュエータを提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明は、可動体と、バネ部材を介して前記可動体を支持する固定体と、前記可動体の移動方向で互いに対向する当該可動体の可動体側対向面と前記固定体の固定体側対向面との間に挿入されたダンパー部材と、を有するリニアアクチュエータの製造方法において、前記固定体を、第１部材と、前記固定体側対向面を有し前記移動方向で前記第１部材の前記可動体とは反対側に重ねられる第２部材と、を備えるものとし、前記可動体を、前記バネ部材を介して前記第１部材により支持し、前記移動方向で前記第１部材と前記第２部材との間に隙間を形成した状態で当該第１部材と当該第２部材とを当該移動方向に相対移動させて前記可動体側対向面と前記固定体側対向面との間の離間距離を前記ダンパー部材の長さ寸法に対応する規定寸法とし、前記第１部材と前記第２部材とを前記隙間を備える状態で接着剤により固定することを特徴とする。

本発明では、可動体を支持する第１部材と、固定体側対向面を有する第２部材の間に設けた隙間の隙間寸法を調節することにより、可動体側対向面と固定体側対向面との間の離間距離を規定寸法とする。その後、調節後の隙間寸法の隙間を備える状態で、第１部材と第２部材を接着剤によって固定する。本発明によれば、可動体側対向面と固定体側対向面の離間距離を、常に、ダンパー部材の長さ寸法に対応するものとすることができるので、
可動体側対向面と固定体側対向面の間に挿入されたダンパー部材によって可動体のストロークや共振周波数が製品毎にばらつくことを防止できる。

本発明において、前記第２部材に、前記移動方向に貫通する貫通孔を設けておき、前記可動体を前記第１部材により支持した後に、距離測定器を備える治具によって前記第２部材を保持して当該距離測定器を当該第２部材の前記可動体とは反対側に位置させ、前記第１部材と前記治具とを前記移動方向で相対移動させることにより前記第１部材と前記第２部材とを相対移動させるとともに、前記貫通孔を介して前記距離測定器により前記可動体まで距離を測定して当該距離に基づいて前記離間距離を前記規定寸法とすることが望ましい。このようにすれば、第２部材に貫通孔を形成しているので、距離測定器によって可動体まで距離を測定することが容易となる。従って、可動体側対向面と固定体側対向面との間の離間距離を正確に規定寸法とすることができる。

本発明において、前記可動体において前記可動体側対向面を備える部材までの距離を測定することが望ましい。このようにすれば、ダンパー部材を当接させる部材までの距離を測定するので、可動体側対向面と固定体側対向面との間の離間距離をより正確に規定寸法とすることができる。

本発明において、前記第１部材と前記第２部材とを相対移動させる前に、前記第１部材において前記第２部材と重なる第１面および前記第２部材において前記第１部材と重なる第２面の少なくとも一方に前記接着剤を塗布することが望ましい。このようにすれば、第１部材と第２部材を接着剤により固定することが容易となる。

本発明において、前記移動方向と直交する方向で当該移動方向の厚みが漸次に変化するシムを前記第１部材と前記第２部材との間に挿入して当該第１部材と当該第２部材との間に前記隙間を形成した状態とし、前記シムを前記第１部材と前記第２部材との間に挿入する挿入量を変化させて当該第１部材と当該第２部材とを前記移動方向に相対移動させることものとすることができる。このようにすれば、第１部材と第２部材との間の隙間を、シムにより正確に調節できる。

この場合において、第１部材と第２部材の間の間隔を調節した後に、これら第１部材と第２部材との間からシムを取り除くこともできるが、前記シムを、前記接着剤により前記第１部材と前記第２部材との間に固定しておいてもよい。

次に、本発明は、可動体と、バネ部材を介して前記可動体を支持する固定体と、前記可動体の移動方向で互いに対向する当該可動体の可動体側対向面と前記固定体の固定体側対向面との間に挿入されたダンパー部材と、を有するリニアアクチュエータにおいて、前記固定体は、前記バネ部材を介して前記可動体を支持する第１部材と、前記固定体側対向面を有し前記移動方向で前記第１部材の前記可動体とは反対側に重ねられる第２部材と、を備え、前記第１部材と前記第２部材との間には、前記可動体側対向面と前記固定体側対向面との間の離間距離を調節するための隙間が設けられており、前記第１部材と前記第２部材とは、前記隙間を備える状態で接着剤により固定されていることを特徴とする。

本発明では、固定体において、可動体を支持する第１部材と、固定体側対向面を有する第２部材の間には隙間が設けられているので、この隙間の隙間寸法を調節することにより可動体側対向面と固定体側対向面との間の離間距離をダンパー部材の長さ寸法に対応する規定寸法とすることができる。従って、可動体側対向面と固定体側対向面の間に挿入されたダンパー部材によって可動体のストロークや共振周波数が製品毎にばらつくことを防止できる。

本発明において、前記固定体は、当該固定体に対して前記可動体とは反対側に配置した距離測定器によって前記可動体までの距離を測定するための貫通孔が設けられていることが望ましい。このようにすれば、距離測定器によって可動体まで距離を測定することが容易となるので、可動体側対向面と固定体側対向面との間の離間距離を正確に規定寸法とすることができる。

本発明において、前記移動方向と直交する方向で当該移動方向の厚みが漸次に変化するシムを有し、前記シムは、前記第１部材と前記第２部材との間に挿入されて前記接着剤により固定されているものとすることができる。このようなシムを備えれば、シムを第１部材と第２部材の間に挿入する挿入量を調節することにより、第１部材と第２部材との間の隙間を正確に調節できる。

本発明によれば、ダンパー部材を挿入する可動体の可動体側対向面と固定体の固定体側対向面との間の寸法を規定寸法とすることができる。従って、可動体側対向面と固定体側対向面の間に挿入されたダンパー部材によって可動体のストロークや共振周波数がばらつくことを防止できる。

本発明の実施例１に係るリニアアクチュエータの斜視図である。 図１のリニアアクチュエータの断面図である。 図１のリニアアクチュエータの分解斜視視図である。 コイルボビン、駆動コイル、および、バネの斜視図である。 図１のリニアアクチュエータの製造方法の説明図である。 図１のリニアアクチュエータの別の製造方法の説明図である。

以下に、図面を参照して、本発明の実施の形態に係るリニアアクチュエータを説明する。

（全体構成）
図１は、本発明の実施例１に係るリニアアクチュエータの斜視図である。図２は図１のリニアアクチュエータの断面図である。図２（ａ）はリニアアクチュエータの断面を斜め上方から見た場合であり、図２（ｂ）はリニアアクチュエータの断面を可動体の移動方向と直交する方向から見た場合である。図３は図１のリニアアクチュエータの分解斜視図である。

図１乃至図３に示すように、リニアアクチュエータ１は可動体２と、固定体３と、可動体２と固定体３を接続するバネ（バネ部材）４を有する。固定体３はバネ４を介して可動体２を移動可能に支持する。可動体２と固定体３の間には円柱形状のダンパー部材５が３つ配置されている。また、リニアアクチュエータ１は可動体２を移動させる磁気駆動機構７を有する。磁気駆動機構７は可動体２に保持された永久磁石８と、固定体３に保持された駆動コイル９を備える。以下の説明では、可動体２の移動方向を軸線Ｌ方向とする。軸線Ｌ方向は可動体２が搭載する永久磁石８の中心軸線および固定体３が搭載する駆動コイル９の中心軸線と一致する。また、便宜上、図の上下に従って、リニアアクチュエータ１の上下を説明する。従って、軸線Ｌ方向において固定体３が位置する側を下方とし、可動体２が位置する側を上方とする。

（可動体）
可動体２は軸線Ｌ方向（可動体２の移動方向）に延びる円柱形状の永久磁石８を備える
。永久磁石８は軸線Ｌ方向が短い偏平形状であり、軸線Ｌ方向でＮ極とＳ極に着磁されている。永久磁石８は軸線Ｌ方向と直交する上端面および下端面を備える。

また、可動体２は、永久磁石８に下方から重ねられたコア体１１と、永久磁石８を上方および外周側から覆うヨーク部材１２を備える。永久磁石８、コア体１１、およびヨーク部材１２は同軸に配置されている。コア体１１およびヨーク部材１２は磁性材料からなる。

コア体１１は、図３に示すように、一定厚さの円形の板部材である。コア体１１の平面形状は、永久磁石８の下端面の平面形状と同一である。コア体１１は永久磁石８の下端面に接着剤などによって固定される。コア体１１は軸線Ｌと直交する方向に延びる。

ヨーク部材１２は上側ヨーク部材１３と下側ヨーク部材１４を備える。図２に示すように、上側ヨーク部材１３は、一定厚さの円形の端板部１５と、端板部１５の外周縁から下方に突出する上側円筒部１６とを備える。下側ヨーク部材１４は、上側円筒部１６の下端縁から下方に連続する下側円筒部１７と、下側円筒部１７の下端縁から内周側に突出する突出板部１８を備える。突出板部１８は、一定厚さであり、その平面形状は円環状である。図１に示すように、上側円筒部１６の下端縁には周方向の３個所に切り欠き部１９が設けられている。各切り欠き部１９は、上側円筒部１６と下側円筒部１７を溶接などによって接合する際に、上側円筒部１６と下側円筒部１７の間にバネ４の可動体側連結部２１を挟持するために設けられている。

また、ヨーク部材１２は、図２および図３に示すように、上側ヨーク部材１３に下方から嵌め込まれた一定厚さの磁性板２３を備える。磁性板２３は、中央に円形の中心孔２４を備えるとともに、外周縁部分に軸線Ｌ回りに等角度間隔に形成された３つの溶接用貫通孔２５を備える。磁性板２３は３つの溶接用貫通孔２５の開口縁部分を利用して行われた溶接により上側ヨーク部材１３の端板部１５に固定される。これにより磁性板２３は軸線Ｌ方向で端板部１５に積層された状態となる。

ヨーク部材１２は、磁性板２３の下端面が永久磁石８の上端面に接着剤などにより接着されて永久磁石８に固定される。図２に示すように、ヨーク部材１２が永久磁石８に固定された状態では、永久磁石８の環状外周面と上側円筒部１６および下側円筒部１７との間には周方向に一定間隔の隙間が形成される。また、ヨーク部材１２が永久磁石８に固定された状態を軸線Ｌ方向と直交する側方から見た場合に、突出板部１８はコア体１１と部分的に重なる位置に配置される。さらに、突出板部１８の環状内周面とコア体１１の環状外周面の間には周方向に一定間隔の隙間が形成される。

（固定体）
次に、図２乃至図４を参照して固定体３を説明する。図４（ａ）は駆動コイル９を巻き回したコイルボビンにバネ４を取り付けた状態を上方から見た場合の斜視図であり、図４（ｂ）は駆動コイル９を巻き回したコイルボビンにバネ４を取り付けた状態を下方から見た場合の斜視図である。図２および図３に示すように、固定体３は、駆動コイル９が巻き回されたコイルボビン（第１部材）３１と、コイルボビン３１に対して、可動体２とは反対側から重ねられた板状のベース（第２部材）３２を備える。コイルボビン３１はバネ４を介して可動体２を軸線Ｌ方向に移動可能に支持する。

（コイルボビン）
コイルボビン３１は樹脂製である。図２に示すように、コイルボビン３１は、軸線Ｌ方向で可動体２のコア体１１と対向する底板部３５と、底板部３５から上方に突出した円筒部３６を備える。円筒部３６の軸線Ｌは永久磁石８の軸線Ｌと一致する。

図４（ａ）に示すように、底板部３５には、ダンパー部材挿通用孔３７が３つ形成されている。各ダンパー部材挿通用孔３７は軸線Ｌ回りに等角度間隔で設けられている。各ダンパー部材挿通用孔３７はダンパー部材５の径よりも大きな開口部である。従って、図２に示すように、各ダンパー部材挿通用孔３７の内周側にダンパー部材５を配置した状態では、ダンパー部材５と底板部３５における各ダンパー部材挿通用孔３７の開口縁との間には隙間が形成される。周方向で隣り合うダンパー部材挿通用孔３７の間には、周方向に直線状に延びるスリット３８が形成されている。

図４（ｂ）に示すように、底板部３５の下面３５ａには各スリット３８に対応する位置にスリット３８に沿って延びる位置決め凹部３９が設けられている。スリット３８は位置決め凹部３９の底に位置している。

円筒部３６は、図４（ａ）に示すように、その環状上端面３６ａに３つのバネ係止用突起４３を備える。３つのバネ係止用突起４３は軸線Ｌ回りに等角度間隔で設けられている。各バネ係止用突起４３はバネ４の固定体側連結部４５を係止させる係止部であり、円筒部３６は固定体側連結部４５を下方から支持する。

また、円筒部３６は、図２に示すように、外周面に駆動コイル９が巻回された筒状胴部４６と、筒状胴部４６の下側で拡径する円環状の下側フランジ部４７と、筒状胴部４６の上側で拡径する円環状の上側フランジ部４８を備える。軸線Ｌ方向から見た場合に、上側フランジ部４８は、下側フランジ部４７より大径である。従って、筒状胴部４６に駆動コイル９を巻き回した状態で、下側フランジ部４７は、駆動コイル９の外周面から僅かに外周側に突出するに対し、上側フランジ部４８は、駆動コイル９の外周面から下側フランジ部４７よりも大きく外周側に突出する。

円筒部３６外周面における環状上端面３６ａと上側フランジ部４８の間には、上側フランジ部４８を補強する補強リブ４９が３つ設けられている。３つの補強リブ４９は、軸線Ｌ回りに等角度間隔で設けられている。各補強リブ４９は、軸線Ｌ方向から見た場合に、その外周面が上側フランジ部４８の外周面と重なっている。また、各補強リブ４９は、図３に示すように、環状上端面３６ａと同じ高さ位置で当該環状上端面３６ａに連続する矩形の連続面５０と、連続面５０から周方向の一方側に向かって下方に傾斜する傾斜面５１を備える。傾斜面５１の周方向の一方側の端は上側フランジ部４８の上面に連続する。各補強リブ４９の連続面５０は、各バネ係止用突起４３に対して周方向でずれた位置にあり、各バネ係止用突起４３の外周側には傾斜面５１が位置する。

（ベース）
ベース３２は、図３に示すように、円形板部５５と、円形板部５５から径方向を外側に突出する矩形の基板支持部５７を備える。基板支持部５７には配線基板５９が支持される。配線基板５９には駆動コイル９の端部が接続される。

円形板部５５には位置決め板６３が設けられている。位置決め板６３は円形板部５５を部分的に切り起こすことにより形成されている。コイルボビン３１は、位置決め板６３が底板部３５の下面３５ａの位置決め凹部３９に挿入されることにより軸線Ｌ方向と直交する方向および周方向で位置決めされて、ベース３２に載置される。

また、円形板部５５には、軸線Ｌ方向に貫通する貫通孔６４が設けられている。貫通孔６４は、コイルボビン３１が位置決めされてベース３２に載置された状態を軸線Ｌ方向から見た場合に、１つのダンパー部材挿通用孔３７の開口部と重なる位置に形成されている。また、貫通孔６４は、図２（ａ）に示すように、ダンパー部材挿通用孔３７の内周側に
配置されたダンパー部材５とは重ならない位置に形成されている。

コイルボビン３１は接着剤によってベース３２に固定される。コイルボビン３１がベース３２に固定された状態では、底板部３５とベースとは軸線Ｌ方向で離間しており、底板部３５とベースの間には接着剤７０による一定厚さの接着剤層が介在する。接着剤は、例えば、紫外線硬化型のものである。

（バネ）
バネ４は、板バネであり、その厚さ方向を軸線Ｌ方向に向けている。図３および図４（ａ）に示すように、バネ４は、可動体２（ヨーク部材１２）に連結された可動体側連結部２１と、固定体３（コイルボビン３１）に連結された円環状の固定体側連結部４５と、可動体側連結部２１と固定体側連結部４５に接続された複数本のアーム部６５を備える。固定体側連結部４５は可動体側連結部２１およびアーム部６５よりも内周側に位置し、可動体側連結部２１はアーム部６５よりも外周側に位置する。

可動体側連結部２１は周方向で３つに分割されている。アーム部６５は３つの可動体側連結部２１のそれぞれから周方向に延在する。各可動体側連結部２１は上側ヨーク部材１３の切り欠き部１９に挿入され、上側ヨーク部材１３と下側ヨーク部材１４の間に挟まれることにより可動体２に固定される。

固定体側連結部４５には、コイルボビン３１の環状上端面３６ａの各バネ係止用突起４３が嵌る係止孔６６が形成されている。各係止孔６６に各バネ係止用突起４３が挿入されることにより、バネ４はコイルボビン３１に連結される。

バネ４の固定体側連結部４５がコイルボビン３１に連結され可動体側連結部２１がヨーク部材１２に連結された状態では、図２に示すように、可動体２の永久磁石８は、固定体３のコイルボビン３１の内周側に位置する。ヨーク部材１２の突出板部１８はコイルボビン３１の下側フランジ部４７と上側フランジ部４８の間に配置される。これにより、突出板部１８の環状内周面とコア体１１の環状外周面の間には、コイルボビン３１の筒状胴部４６と当該筒状胴部４６に巻き回された駆動コイル９が位置する。また、コイルボビン３１の上側フランジ部４８の環状外周面は、ヨーク部材１２の下側円筒部１７の内周面と狭い隙間を開けて対向する。

ここで、コイルボビン３１の上側フランジ部４８とヨーク部材１２の下側円筒部１７は、外力によって可動体２が軸線Ｌと直交する方向に移動した際に可動体２の可動範囲を規制する第１のストッパ機構を構成する。また、コイルボビン３１の上側フランジ部４８とヨーク部材１２の突出板部１８は、外力により可動体２が上方に移動した際に可動体２の可動範囲を規制する第２のストッパ機構を構成する。

（ダンパー部材）
各ダンパー部材５の軸線Ｌ方向の長さ寸法は、図２（ｂ）に示すように、後述する規定寸法Ｓと一致する。各ダンパー部材５は、図２（ａ）に示すように、コイルボビン３１の底板部３５に設けられた各ダンパー部材挿通用孔３７に挿通された状態で、可動体２と固定体３の間に配置されている。底板部３５における各ダンパー部材挿通用孔３７の開口縁と各ダンパー部材５の間には隙間が形成される。図２（ｂ）に示すように、各ダンパー部材５は、その上端面が可動体２のコア体１１の下面（可動体側対向面）１１ａに当接し、その下端面が固定体３のベース３２の上面（固定体側対向面）３２ａに当接する。

ここで、本例のダンパー部材５は、針入度が９０度から１１０度のシリコーンゲルからなる。針入度とは、ＪＩＳ−Ｋ−２２０７やＪＩＳ−Ｋ−２２２０で規定されているよう
に、２５℃で９．３８ｇの総荷重をかけた１／４コーンの針が５秒間に入り込む深さを１／１０ｍｍ単位で表わした値であり、この値が小さいほど硬いことを意味する。なお、ダンパー部材５とコア体１１の固定およびダンパー部材５とベース３２の固定は、接着剤７０、粘着剤、あるいはシリコーンゲルの粘着性を利用して行われる。

（リニアアクチュエータの製造方法）
図５はリニアアクチュエータ１の製造方法の説明図である。リニアアクチュエータ１を製造する際には、図５に示すように、可動体２を、バネ４を介してコイルボビン３１に支持させる。また、ベース３２を、レーザー変位計（距離測定器）７５を備えるベース保持治具７６によって保持する。

ベース保持治具７６によってベース３２を保持した状態では、レーザー変位計７５はベース３２の可動体２とは反対側に配置される。また、レーザー変位計７５は、その検査光７５ａ（レーザー）を、ベース３２に設けた貫通孔６４を介して可動体２に照射可能な位置に配置される。本例では、検査光７５ａは、レーザー変位計７５から軸線Ｌ方向に射出され、ベース３２の貫通孔６４およびコイルボビン３１のダンパー部材挿通用孔３７を介して、コア体１１の下面１１ａに照射される。従って、レーザー変位計７５は、当該レーザー変位計７５からコア体１１の下面１１ａまでの距離を測定する。

次に、コイルボビン３１の底板部３５の下面３５ａの複数個所に接着剤７０を塗布する。そして、コイルボビン３１の軸線Ｌ方向（可動体２の移動方向）を鉛直方向に向けた状態として、ベース３２に載置する。コイルボビン３１をベース３２に載せる際には、ベース３２の位置決め板６３がコイルボビン３１の底板部３５の下面３５ａの位置決め凹部３９に挿入され、これにより、コイルボビン３１はベース３２に対して軸線Ｌ方向と直交する方向および周方向で位置決めされる。

ここで、コイルボビン３１をベース３２に載置する際には、ダンパー部材５を可動体２のコア体１１の下面１１ａと、ベース３２の上面３２ａの間に挿入しておく。また、コイルボビン３１をベース３２に載置する際には、ベース３２とコイルボビン３１（底板部３５）の間に複数のシム７７を挿入してベース３２とコイルボビン３１の間に隙間Ｃを形成した状態とする。各シム７７は、楔型をしており、内周側から外周側に向かって軸線Ｌ方向の厚みが漸次に増加している。各シム７７は軸線Ｌ回りに等角度間隔で配置されている。

その後、各シム７７を外周側から内周側に向かって同時に移動させる。これにより、各シム７７をベース３２とコイルボビン３１の間に挿入する挿入量を変化させ、コイルボビン３１を軸線Ｌ方向に移動させる。また、各シム７７の挿入量を変化させる動作と並行して、レーザー変位計７５により可動体２（コア体１１）まで距離を測定する。そして、レーザー変位計７５から出力される距離に基づいて、コア体１１の下面１１ａとベース３２の上面３２ａの間の離間距離Ｄをダンパー部材５の軸線Ｌ方向の長さ寸法と同一の規定寸法Ｓとする。

その後、接着剤７０を硬化させて、コイルボビン３１をベース３２に固定する。コイルボビン３１がベース３２に固定された状態では、底板部３５とベースとは軸線Ｌ方向で離間しており、底板部３５とベースの間には接着剤７０による一定厚さの接着剤層が介在する。なお、本例では、コイルボビン３１とベース３２が接着剤７０により固定される過程で各シム７７を取り除く。これにより、図２（ｂ）に示す状態となり、リニアアクチュエータ１が完成する。

本例によれば、コア体１１の下面１１ａとベース３２の上面３２ａの間の離間距離Ｄを
、常に、ダンパー部材５の軸線Ｌ方向の長さ寸法と同一の規定寸法Ｓとすることができる。従って、コア体１１の下面１１ａとベース３２の上面３２ａの間に挿入されたダンパー部材５によって可動体２のストロークや共振周波数が製品毎にばらつくことを防止できる。

すなわち、コア体１１の下面１１ａからベース３２の上面３２ａまでの離間距離Ｄは、コイルボビン３１の高さ寸法にバネ４の厚さ寸法およびバネ４からヨーク部材１２の端板部１５の上面までの高さ寸法を加えた合計寸法から、ヨーク部材１２の端板部１５の厚さ寸法、磁性板２３の厚さ寸法、永久磁石８の厚さ寸法、および第１コア体１１の厚さ寸法を差し引いた値であり、各部品の寸法公差が積み重なった値となっている。従って、可動体２のコア体１１の下面１１ａからベース３２の上面３２ａまでの離間距離Ｄの精度を各部品の寸法精度によって出すことは容易ではない。また、可動体２のコア体１１の下面１１ａからベース３２の上面３２ａまでの離間距離Ｄの精度を各部品の寸法精度によって出すとすれば、各部品の寸法精度を向上させなければならないので、各部品の製造コストが嵩む。

これに対して、本例では、レーザー変位計７５により、ダンパー部材５が当接する一方の部材である可動体２（コア体１１）までの距離を測定して、当該距離に基づいて、コイルボビン３１とベース３２の軸線Ｌ方向の隙間Ｃの隙間寸法を調節して、コア体１１の下面１１ａからベース３２の上面３２ａの離間距離Ｄを規定寸法Ｓとする。従って、各部品の寸法公差にかかわらず、可動体２のコア体１１の下面１１ａからベース３２の上面３２ａまでの寸法をダンパー部材５の長さ寸法に対応する規定寸法Ｓとすることができる。

また、本例では、コア体１１の下面１１ａとベース３２の上面３２ａの間隔をダンパー部材５の長さ寸法と同一の規定寸法Ｓとするので、可動体２のストロークを確保することができる。

なお、上記の例では、リニアアクチュエータ１の製造過程でコイルボビン３１とベース３２の間に挿入した各シム７７と取り除いているが、これらのシム７７を取り除かずに、各シム７７を接着剤７０によりコイルボビン３１とベース３２とともに固定しておいてもよい。

また、上記の例では、レーザー変位計７５を用いて可動体２までに距離を測定しているが、このような光学式の変位計の替わりに、検査棒などを用いて距離を測定する機械式の変位計を用いてもよい。この場合には、貫通孔６４を介して検査棒を可動体２に当接させて距離を測定すればよい。

（リニアアクチュエータの別の製造方法）
次に、図６を参照して、シム７７を用いずにリニアアクチュエータ１を製造する別の製造方向を説明する。図６はリニアアクチュエータ１の別の製造方法の説明図である。

本例の製造方法でリニアアクチュエータ１を製造する際には、まず、可動体２を、バネ４を介してコイルボビン３１に支持させる。そして、可動体２を支持したコイルボビン３１を、可動体２が軸線Ｌ方向に移動しない状態として可動体側保持冶具７９により保持する。また、コイルボビン３１の底板部３５の下面３５ａの複数個所に接着剤７０を塗布した状態とする。ここで、可動体側保持冶具７９により保持された状態における可動体２とコイルボビン３１の位置関係は、軸線Ｌ方向（可動体２の移動方向）を鉛直方向に向けた状態でコイルボビン３１が可動体２を支持している状態における可動体２とコイルボビン３１の位置関係と同一である。

これと並行して、ベース３２を、レーザー変位計７５（距離測定器）を備えるベース保持治具７６によって保持する。ベース保持治具７６によってベース３２を保持した状態では、レーザー変位計７５はベース３２の可動体２とは反対側に配置される。また、レーザー変位計７５は、その検査光７５ａ（レーザー）を、ベース３２に設けた貫通孔６４を介して可動体２に照射可能な位置に配置される。検査光７５ａは、レーザー変位計７５から軸線Ｌ方向に射出され、ベース３２の貫通孔６４およびコイルボビン３１のダンパー部材挿通用孔３７を介して、コア体１１の下面１１ａに照射される。従って、レーザー変位計７５は、コア体１１の下面１１ａまでの距離を測定する。

その後、軸線Ｌ方向におけるコイルボビン３１をベース３２の間に隙間Ｃを形成した状態で、可動体側保持冶具７９とベース保持治具７６を軸線Ｌ方向で相対移動させることによりコイルボビン３１とベース３２を軸線Ｌ方向で相対移動させる。本例では、ベース保持治具７６を固定しておき、可動体側保持冶具７９をベース保持治具７６に対して移動させる。また、可動体側保持冶具７９とベース保持治具７６を相対移動させる動作と並行して、レーザー変位計７５により可動体２（コア体１１）まで距離を測定する。そして、レーザー変位計７５から出力される距離に基づいて、コア体１１の下面１１ａとベース３２の上面３２ａの間の離間距離Ｄをダンパー部材５の軸線Ｌ方向の長さ寸法と同一の規定寸法Ｓとする。

その後、接着剤７０を硬化させて、コイルボビン３１をベース３２に固定する。コイルボビン３１がベース３２に固定された状態では、底板部３５とベースとは軸線Ｌ方向で離間しており、底板部３５とベースの間には接着剤７０による一定厚さの接着剤層が介在する。これにより、図２（ｂ）に示す状態となり、リニアアクチュエータ１が完成する。

本例の製造方法によっても、コア体１１の下面１１ａとベース３２の上面３２ａの間の離間距離Ｄを、常に、ダンパー部材５の軸線Ｌ方向の長さ寸法と同一の規定寸法Ｓとすることができる。従って、コア体１１の下面１１ａとベース３２の上面３２ａの間に挿入されたダンパー部材５によって可動体２のストロークや共振周波数が製品毎にばらつくことを防止できる。また、本例では、コア体１１の下面１１ａとベース３２の上面３２ａの間隔をダンパー部材５の長さ寸法と同一の規定寸法Ｓとするので、可動体２のストロークを確保することができる。

なお、本例の製造方法においても、光学式の変位計の替わりに機械式の変位計を用いることができる。

１・・・リニアアクチュエータ
２・・・可動体
３・・・固定体
４・・・バネ（バネ部材）
５・・・ダンパー部材
１１・・・コア体
１１ａ・・・コア体の下面（可動体側対向面）
３１・・・コイルボビン（第１部材）
３２・・・ベース（第２部材）
３２ａ・・・ベースの上面（固定体側対向面、第２面）
３５ａ・・・底板部の下面（第１面）
６４・・・貫通孔
７０・・・接着剤
７５・・・レーザー変位計（距離測定器）
７６・・・ベース保持治具（治具）
７７・・・シム
Ｃ・・・隙間
Ｄ・・・離間距離
Ｌ・・・軸線（移動方向）
Ｓ・・・規定寸法

Claims (9)

1. 可動体と、バネ部材を介して前記可動体を支持する固定体と、前記可動体の移動方向で互いに対向する当該可動体の可動体側対向面と前記固定体の固定体側対向面との間に挿入されたダンパー部材と、を有するリニアアクチュエータの製造方法において、
   前記固定体を、第１部材と、前記固定体側対向面を有し前記移動方向で前記第１部材の前記可動体とは反対側に重ねられる第２部材と、を備えるものとし、
   前記可動体を、前記バネ部材を介して前記第１部材により支持し、
   前記移動方向で前記第１部材と前記第２部材との間に隙間を形成した状態で当該第１部材と当該第２部材とを当該移動方向に相対移動させて前記可動体側対向面と前記固定体側対向面との間の離間距離を前記ダンパー部材の長さ寸法に対応する規定寸法とし、
   前記第１部材と前記第２部材とを前記隙間を備える状態で接着剤により固定することを特徴とするリニアアクチュエータの製造方法。
2. 請求項１において、
   前記第２部材に、前記移動方向に貫通する貫通孔を設けておき、
   前記可動体を前記第１部材により支持した後に、距離測定器を備える治具によって前記第２部材を保持して当該距離測定器を当該第２部材の前記可動体とは反対側に位置させ、
   前記第１部材と前記治具とを前記移動方向で相対移動させることにより前記第１部材と前記第２部材とを相対移動させるとともに、前記貫通孔を介して前記距離測定器により前記可動体まで距離を測定して当該距離に基づいて前記離間距離を前記規定寸法とすることを特徴とするリニアアクチュエータの製造方法。
3. 請求項２において、
   前記距離測定器により、前記可動体において前記可動体側対向面を備える部材までの距離を測定することを特徴とするリニアアクチュエータの製造方法。
4. 請求項１ないし３のうちのいずれかの項において、
   前記第１部材と前記第２部材とを相対移動させる前に、前記第１部材において前記第２部材と重なる第１面および前記第２部材において前記第１部材と重なる第２面の少なくとも一方に前記接着剤を塗布することを特徴とするリニアアクチュエータの製造方法。
5. 請求項１ないし４のうちのいずれかの項において、
   前記移動方向と直交する方向で当該移動方向の厚みが漸次に変化するシムを前記第１部材と前記第２部材との間に挿入して当該第１部材と当該第２部材との間に前記隙間を形成した状態とし、
   前記シムを前記第１部材と前記第２部材との間に挿入する挿入量を変化させて当該第１部材と当該第２部材とを前記移動方向に相対移動させることを特徴とするリニアアクチュエータの製造方法。
6. 請求項５において、
   前記シムを、前記接着剤により前記第１部材と前記第２部材との間に固定することを特徴とするリニアアクチュエータの製造方法。
7. 可動体と、バネ部材を介して前記可動体を支持する固定体と、前記可動体の移動方向で互いに対向する当該可動体の可動体側対向面と前記固定体の固定体側対向面との間に挿入されたダンパー部材と、を有するリニアアクチュエータにおいて、
   前記固定体は、前記バネ部材を介して前記可動体を支持する第１部材と、前記固定体側対向面を有し前記移動方向で前記第１部材の前記可動体とは反対側に重ねられる第２部材と、を備え、
   前記第１部材と前記第２部材との間には、前記可動体側対向面と前記固定体側対向面との間の離間距離を調節するための隙間が設けられており、
   前記第１部材と前記第２部材とは、前記隙間を備える状態で接着剤により固定されていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
8. 請求項７において、
   前記固定体は、当該固定体に対して前記可動体とは反対側に配置した距離測定器によって前記可動体までの距離を測定するための貫通孔が設けられていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
9. 請求項７または８において、
   前記移動方向と直交する方向で当該移動方向の厚みが漸次に変化するシムを有し、
   前記シムは、前記第１部材と前記第２部材との間に挿入されて前記接着剤により固定されていることを特徴とするリニアアクチュエータ。

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