JP2016224093A - 光導波路型位相変調器および光回路 - Google Patents
光導波路型位相変調器および光回路 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】光導波路型位相変調器は、半導体基板上に形成されたシリコン導波路10と、半導体基板上に形成され、コアの材料としてシリコンよりもワイドバンドギャップの材料を用いた励起光導波路11と、半導体基板上に形成され、励起光導波路11とシリコン導波路10とを、シリコンが吸収可能な波長において光学的に結合する位相変調領域14と、位相変調領域14の前後のシリコン導波路10に、コアの材料として絶縁体を用いて形成された拡散防止導波路12,13とを備える。
【選択図】 図1
Description
また、本発明の光導波路型位相変調器の1構成例において、前記拡散防止導波路は、前記コアの材料として、極低温における熱伝導率がシリコンよりも低い材料を用いて形成されることを特徴とするものである。
また、本発明の光導波路型位相変調器の1構成例において、前記励起光導波路と前記拡散防止導波路とは、同一のコア材料を用いて形成されることを特徴とするものである。
また、本発明の光導波路型位相変調器の1構成例において、前記位相変調領域は、前記励起光導波路のコアと前記シリコン導波路のコアとがクラッド層を挟んで積層された構造を有し、前記励起光導波路中を伝搬する励起光が前記シリコン導波路に吸収され、前記シリコン導波路中を伝搬する信号光の波長においてはシングルモード導波路となるように寸法および材料が設定されることを特徴とするものである。
また、本発明の光回路の1構成例は、さらに、信号光を2分岐させる第1のパワースプリッタと、この第1のパワースプリッタで2分岐された信号光を導く第1、第2のシリコン導波路と、前記第1のシリコン導波路中に配置される1ビット遅延干渉計と、前記第1のシリコン導波路中に配置される前記光導波路型位相変調器と、前記1ビット遅延干渉計および前記光導波路型位相変調器を通過した信号光と前記第2のシリコン導波路で伝送される信号光とを合波して、合波した光を2分岐させる第2のパワースプリッタと、この第2のパワースプリッタで2分岐された信号光を受ける2つの前記超伝導素子とを、前記半導体基板上に備えることを特徴とするものである。
また、本発明の光回路の1構成例は、さらに、前記第2のシリコン導波路に、前記光導波路型位相変調器内の拡散防止導波路と同じ拡散防止導波路を備えることを特徴とするものである。
シリコン導波路10内に光励起されたキャリアを位相変調領域14内のみに閉じ込める必要があるため、位相変調領域14の前後のシリコン導波路10に絶縁体で構成される拡散防止導波路12,13を形成する。シリコンに対して絶縁体となる材料のうち、シリコン微細加工プロセスで一般に用いられる絶縁体はSiO2、SiN等のシリコン化合物である。これらの絶縁体をコアとして用いた非晶質の拡散防止導波路12,13は、低温になるにつれて熱伝導率がシリコンよりも小さくなることから、キャリア再結合などによりシリコン導波路10内で発生する熱が同一シリコン層上に形成される超伝導素子に拡散することを防ぐ役割も果たす。
BOX層201は、クラッド層203と共に、シリコン導波路10、励起光導波路11および拡散防止導波路12,13のクラッドとして機能することは言うまでもない。
{ng1(L1−Ls)+ng2Ls}−ng1L2=c/f ・・・(1)
Claims (7)
- 半導体基板上に形成されたシリコン導波路と、
前記半導体基板上に形成され、コアの材料としてシリコンよりもワイドバンドギャップの材料を用いた励起光導波路と、
前記半導体基板上に形成され、前記励起光導波路と前記シリコン導波路とを、シリコンが吸収可能な波長において光学的に結合する位相変調領域と、
この位相変調領域の前後の前記シリコン導波路に、コアの材料として絶縁体を用いて形成された拡散防止導波路とを備えることを特徴とする光導波路型位相変調器。 - 請求項1記載の光導波路型位相変調器において、
前記拡散防止導波路は、前記コアの材料として、極低温における熱伝導率がシリコンよりも低い材料を用いて形成されることを特徴とする光導波路型位相変調器。 - 請求項1または2記載の光導波路型位相変調器において、
前記励起光導波路と前記拡散防止導波路とは、同一のコア材料を用いて形成されることを特徴とする光導波路型位相変調器。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光導波路型位相変調器において、
前記位相変調領域は、前記励起光導波路のコアと前記シリコン導波路のコアとがクラッド層を挟んで積層された構造を有し、
前記励起光導波路中を伝搬する励起光が前記シリコン導波路に吸収され、前記シリコン導波路中を伝搬する信号光の波長においてはシングルモード導波路となるように寸法および材料が設定されることを特徴とする光導波路型位相変調器。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の光導波路型位相変調器と、
この光導波路型位相変調器と同一の半導体基板上に集積される超伝導素子とを備えることを特徴とする光回路。 - 請求項5記載の光回路において、
さらに、信号光を2分岐させる第1のパワースプリッタと、
この第1のパワースプリッタで2分岐された信号光を導く第1、第2のシリコン導波路と、
前記第1のシリコン導波路中に配置される1ビット遅延干渉計と、
前記第1のシリコン導波路中に配置される前記光導波路型位相変調器と、
前記1ビット遅延干渉計および前記光導波路型位相変調器を通過した信号光と前記第2のシリコン導波路で伝送される信号光とを合波して、合波した光を2分岐させる第2のパワースプリッタと、
この第2のパワースプリッタで2分岐された信号光を受ける2つの前記超伝導素子とを、前記半導体基板上に備えることを特徴とする光回路。 - 請求項6記載の光回路において、
さらに、前記第2のシリコン導波路に、前記光導波路型位相変調器内の拡散防止導波路と同じ拡散防止導波路を備えることを特徴とする光回路。
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Citations (6)
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