JP2017134222A - 光導波路素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】信号光のパワーを正確にモニタする光導波路素子を提供する。
【解決手段】光導波路素子100は、主導波路2と、第1副導波路3と、第2副導波路4と、第1副導波路3および第2副導波路4の両方と接続されており、光電変換を行うフォトダイオード5とを備えており、並走区間23における結合効率と並走区間24における結合効率とは、特定の波長で互いに一致し、かつ特定の波長より高い波長と特定の波長より低い波長とで大小関係が反転している。
【選択図】図1
【解決手段】光導波路素子100は、主導波路2と、第1副導波路3と、第2副導波路4と、第1副導波路3および第2副導波路4の両方と接続されており、光電変換を行うフォトダイオード5とを備えており、並走区間23における結合効率と並走区間24における結合効率とは、特定の波長で互いに一致し、かつ特定の波長より高い波長と特定の波長より低い波長とで大小関係が反転している。
【選択図】図1
Description
本発明は、マルチモード光導波路を備えた光導波路素子に関する。
長距離通信網にて要求される通信量の増加に対応するため、デジタルコヒーレント光伝送技術を導入した光送受信機が普及し始めている。このような光送受信機を構成する部品の1つである光変調器においては、信号光のパワーおよび位相をモニタする機能が必要とされている。この機能は、信号光の基本モード光の一部または高次モード(例えば、1次モード)光を、マルチモード光導波路から分離させて、フォトダイオードに供給し、電気信号として取り出すことによって実現することができる。
例えば、マッハ‐ツェンダー型光変調器(Mach-Zehnder Interferometer:MZI)においては、光合波器の前段における、2つの光の位相差により、信号のON状態とOFF状態とが決定される。2つの光が同位相で光合波器に供給された場合、合波された光は、後段のマルチモード光導波路を基本モードで伝搬し、このとき、マッハ‐ツェンダー型光変調器はON状態となる。一方、2つの光が逆位相で光合波器に供給された場合、合波された光は、後段のマルチモード光導波路を1次モードで伝搬し、このとき、マッハ‐ツェンダー型光変調器はOFF状態となる。この1次モードの光をフォトダイオードに供給することによって、信号光のパワーおよび位相をモニタすることができる。
特許文献1では、マルチモード光導波路を備えた光導波路素子において、マルチモード光導波路にて、モードスプリッタによって、信号光のモード分離が可能であることが開示されている。
モードスプリッタは、光の波長に対する、結合効率の変動が非常に大きい。このため、モードスプリッタからフォトダイオードに光が供給される場合、フォトダイオードに供給される光は、その波長に対するパワーの変動が非常に大きくなる。その結果、マルチモード光導波路を伝搬する光の波長に依存して、当該光のパワーとフォトダイオードから出力される電気信号のレベルとの対応関係が大幅に変動する。従って、特許文献1の光導波路素子では、信号光のパワーを正確にモニタすることが困難になるという問題が発生する。
本発明は、上記の課題に鑑みて為されたものであり、その目的は、信号光のパワーを正確にモニタすることを可能とする光導波路素子を提供することにある。
上記の課題を解決するために、本発明の光導波路素子は、互いに伝搬次数の異なる複数の伝搬モードが導波される主導波路と、上記主導波路と並走する第1並走区間を有しており、上記複数の伝搬モードのうち特定のモードが上記主導波路から移行される第1副導波路と、上記主導波路と並走する第2並走区間を有しており、上記特定のモードまたは上記複数の伝搬モードのうち上記特定のモードとは異なるモードが上記主導波路から移行される第2副導波路と、上記第1副導波路および上記第2副導波路の両方と接続されており、光電変換を行う光電変換部とを備えており、上記第1並走区間における結合効率と上記第2並走区間における結合効率とは、(1)特定の波長で互いに一致し、かつ(2)当該特定の波長より高い波長と当該特定の波長より低い波長とで大小関係が反転していることを特徴としている。
上記の構成によれば、主導波路と第1副導波路との並走区間(第1並走区間)がモードスプリッタを構成すると共に、主導波路と第2副導波路との並走区間(第2並走区間)がモードスプリッタを構成する。そして、これら2つのモードスプリッタの結合効率は、(1)特定の波長で互いに一致し、かつ(2)当該特定の波長より高い波長と当該特定の波長より低い波長とで大小関係が反転している。換言すれば、これら2つのモードスプリッタの結合効率は、相補的な関係(一方が小さくなれば、他方が大きくなる)となる。例えば、2つの導波路の並走区間が長いと、当該2つの導波路によって構成されるモードスプリッタの結合効率の波長依存性は長波長側にシフトする。つまり、2つのモードスプリッタが互いに同じ2つの導波路で構成されていても、2つのモードスプリッタにおける並走区間の長さを互いに異ならせることにより、2つのモードスプリッタの結合効率が相補的となる。このため、主導波路を伝搬する光の波長に依存した、当該光のパワーとフォトダイオードから出力される電気信号のレベルとの対応関係の変動を抑制することができる。結果、上記の構成によれば、信号光のパワーを正確にモニタすることが可能となる。
また、本発明の光導波路素子において、上記光電変換部は、互いに対向する2つの端面を有しており、上記第1副導波路は上記2つの端面の一方と接続されており、上記第2副導波路は上記2つの端面の他方と接続されていることが好ましい。
フォトダイオードをはじめとする光電変換部の受光領域において、光電変換部へ接続された導波路近傍の光のパワー密度が最も高くなる。光電変換部の受光領域に入射する光のパワー密度が高過ぎると、光電変換部の入出力特性(入力光のパワーと出力電流の大きさとの関係)が非線形になる。そこで、第1副導波路を伝搬する光を入射させる光電変換部の端面(一方)と、第2副導波路を伝搬する光を入射させる光電変換部の端面(他方)とを分ければ、いずれか一方の端面からのみ光が入射する場合と比較して、当該光電変換部の受光領域におけるパワー密度は低下する。従って、光電変換部の入出力特性が非線形になることを抑制することができる。
また、本発明の光導波路素子は、上記2つの端面のいずれかに対して垂直な方向に見たときに、上記第1副導波路と接続される端面と上記第1副導波路との接続部分と上記第2副導波路と接続される端面と上記第2副導波路との接続部分とが、互いに重なり合わない部分を含んでいることが好ましい。
上記の構成によれば、第1副導波路を伝搬する光がフォトダイオードに入射する領域と、第2副導波路を伝搬する光がフォトダイオードに入射する領域とがより重なり難くなるため、フォトダイオードの入出力特性が非線形になることをさらに抑制することができる。
また、本発明の光導波路素子は、上記第1副導波路の長さであって、上記第1並走区間の上記光電変換部側の端部から、上記光電変換部までの長さをx1とし、上記主導波路の長さであって、上記第1並走区間の上記光電変換部側の端部から、上記第2並走区間の上記光電変換部側と反対側の端部までの長さをxaとし、上記第2副導波路の長さであって、上記第2並走区間の上記光電変換部側と反対側の端部から、上記光電変換部までの長さをx2とすると、
x1=xa+x2
の関係を満たすことが好ましい。
x1=xa+x2
の関係を満たすことが好ましい。
上記の構成によれば、第1副導波路から光電変換部に供給される光の位相と、第2副導波路から光電変換部に供給される光の位相とを一致させることができる。結果、光電変換部に入力される光信号の線形性を高めることができるので、さらなる正確なモニタが可能となる。
また、本発明の光導波路素子は、上記第1並走区間の長さと上記第2並走区間の長さとが互いに異なっていることが好ましい。
上記の構成によれば、第1並走区間における結合効率の波長依存性と、第2並走区間における結合効率の波長依存性とを、互いに異ならせることができる。
また、本発明の光導波路素子は、上記主導波路と並走する第3並走区間を有しており、上記特定のモードが上記主導波路から移行される第3副導波路と、上記第3副導波路と接続されており、光を除去または吸収する光終端部とを備えていてもよい。
上記の構成によれば、信号品質を向上させることが可能である。
本発明によれば、信号光のパワーを正確にモニタすることが可能となる。
以下、本発明を実施するための形態について、図1〜図6を参照して詳細に説明する。
〔実施の形態1〕
(光導波路素子の構成)
図1は、本発明の実施の形態1に係る光導波路素子100の概略構成を示す平面図である。光導波路素子100は、光導波路99aおよび99b、光合波器1、主導波路2、第1副導波路3、第2副導波路4、ならびにフォトダイオード(光電変換部)5を備えている。なお、光導波路99aおよび99b、主導波路2、第1副導波路3、ならびに第2副導波路4はそれぞれ、例えば、シリカ(SiO2)をクラッドとし、シリコン(Si)をコアとする光導波路であるが、図示を簡潔にするために、図1では、コアのみを図示しており、クラッドの図示を省略している。
(光導波路素子の構成)
図1は、本発明の実施の形態1に係る光導波路素子100の概略構成を示す平面図である。光導波路素子100は、光導波路99aおよび99b、光合波器1、主導波路2、第1副導波路3、第2副導波路4、ならびにフォトダイオード(光電変換部)5を備えている。なお、光導波路99aおよび99b、主導波路2、第1副導波路3、ならびに第2副導波路4はそれぞれ、例えば、シリカ(SiO2)をクラッドとし、シリコン(Si)をコアとする光導波路であるが、図示を簡潔にするために、図1では、コアのみを図示しており、クラッドの図示を省略している。
以下、導波路の長さは、それぞれ、導波路のコアの長さを意味するものとする。
光合波器1は、複数の入射光を1つの出射光に合波するものである。主導波路2は、光合波器1の出力端から延伸している。主導波路2は、互いに伝搬次数の異なる複数の伝搬モードが導波されるものである。
第1副導波路3は、主導波路2と一定の間隔離れており、かつ、主導波路2と並走する区間を有している。第1副導波路3は、上記複数の伝搬モードのうち特定のモード(例えば、1次モード)が主導波路2から移行されるものである。すなわち、主導波路2と第1副導波路3との並走区間(第1並走区間)23は、モードスプリッタを構成している。
第2副導波路4は、第1副導波路3と同様に、主導波路2と一定の間隔離れており、かつ、主導波路2と並走する区間を有している。第2副導波路4は、上記特定のモードが主導波路2から移行されるものである。もしくは、第2副導波路4は、上記複数の伝搬モードのうち上記特定のモードとは異なるモード(例えば、2次以上の高次モード)が主導波路2から移行されるものである。すなわち、主導波路2と第2副導波路4との並走区間(第2並走区間)24は、モードスプリッタを構成している。光導波路素子100において、並走区間24は、並走区間23の後段に配置されている。また、並走区間23における結合効率と並走区間24における結合効率とは、(1)特定の波長で互いに一致し、かつ(2)当該特定の波長より高い波長と当該特定の波長より低い波長とで大小関係が反転している。具体例として、上記(1)および(2)の条件を満たすように、並走区間23の長さと並走区間24の長さとを調整した構成が考えられる。
光導波路99aおよび99bのそれぞれを伝搬した光(複数の入射光)は、光合波器1に供給される。光合波器1の出力光(1つの出射光)は、主導波路2に供給され、主導波路2を伝搬する。光合波器1の具体的な構成は特に限定されないが、光合波器1の具体例としては、MMI型合波器、Y型合波器、および方向性結合器が挙げられる。
光導波路99aおよび99b、ならびに主導波路2はそれぞれ、光をマルチモードで導波する、いわゆるマルチモード導波路である。光導波路99aおよび99b、ならびに主導波路2のそれぞれとして、マルチモード導波路のようにコア幅の大きい導波路を用いると、表面の荒れ(コアの側壁の荒れ)に起因する特性の劣化が起こりにくいため、好ましい。光導波路99aおよび99bは、コアの幅が例えば500nmである。
第1副導波路3および第2副導波路4はいずれも、互いに伝搬次数の異なる複数の伝搬モードが導波可能なマルチモード導波路である。並走区間23が構成するモードスプリッタ、および、並走区間24が構成するモードスプリッタはそれぞれ、方向性結合器の形態である。主導波路2、第1副導波路3、および第2副導波路4は、コアの幅が例えば600nmである。また、実際には、主導波路2の後段では、導波路幅が徐々に狭く(広く)なるようなテーパ形状の導波路幅変換部材を用いて、光導波路99aおよび99bと同じ導波路幅にする。
第1副導波路3および第2副導波路4はいずれも、主導波路2と同じ導波路構造(材料、寸法、形状等)であることが好ましい。一般に、方向性結合器では、2つの導波路構造が完全に対称であれば、最大パワー移行率が100%となり、各導波路構造間で1次モード等の高次モードの光を効率良く移行させることができるためである。
フォトダイオード5は、第1副導波路3および第2副導波路4の両方と接続されている。具体的に、フォトダイオード5は、互いに対向する2つの端面である面5Lおよび5Rを有しており、第1副導波路3は面(2つの端面の一方)5Lと接続されており、第2副導波路4は面(2つの端面の他方)5Rと接続されている。第1副導波路3および第2副導波路4の両方が、面5Lおよび面5Rのいずれか一方に接続されていてもよい。
フォトダイオード5は、第1副導波路3から供給される光と、第2副導波路4から供給される光とを、光電変換によって、光信号から電気信号に変換するものである。光導波路素子100では、フォトダイオード5の個数は1であるが、2以上であってもよい。
図2の(a)はフォトダイオード5の具体的な構成例を示す上面写真であり、(b)は同構成例を示す断面図である。なお、図2の(b)に示す断面は、面5Lに相当するものとしているが、面5Rも面5Lと同様の断面を有している。
図2の(a)に示すとおり、フォトダイオード5は、アルミニウム電極6上に設けられている。また、図2の(b)に示すとおり、フォトダイオード5は、シリコン導波路層51、p+シリコン層52、p+シリコン層53、iゲルマニウム層54、およびn+ゲルマニウム層55を備えている。フォトダイオード5において、p+シリコン層52およびp+シリコン層53が形成されたシリコン導波路層51、iゲルマニウム層54、ならびにn+ゲルマニウム層55は、この順に積層されている。シリコン導波路層51およびp+シリコン層52を合わせた高さが、第1副導波路3および第2副導波路4のコアの高さに相当する。
p+シリコン層52と各p+シリコン層53とは、互いにp+シリコンの濃度が異なっている。p+シリコン層52におけるp+シリコンの濃度は1×1014であり、各p+シリコン層53におけるp+シリコンの濃度は1×1022〜1×1023である。また、p+シリコン層52およびp+シリコン層53のドーパントの一例としてボロンが、n+ゲルマニウム層55のドーパントの一例としてリンが、それぞれ挙げられる。
図2の(a)および(b)に示すフォトダイオード5は、縦型n‐i‐p接合を有している。
ここで、上述したとおり、第1副導波路3は面5Lにおいてシリコン導波路層51と接続されており、第2副導波路4は面5Rにおいてシリコン導波路層51と接続されている。これらの接続は、図2の(b)に示す断面において、p+シリコン層52の外縁より中心側にて行われている。そして、面5Lまたは5Rのいずれかに対して垂直な方向に見たときに、第1副導波路3と面5Lとの接続部分21が、第2副導波路4と面5Rとの接続部分22に対して、また、第2副導波路4と面5Rとの接続部分22が、第1副導波路3と面5Lとの接続部分21に対して、重なり合わない部分を含んでいることが好ましい。すなわち、これらの両接続部分が、互いに図2の(b)に示す断面と平行な方向にずれていることが好ましい。またこのとき、両接続部分は、一部が面5Lまたは5Rのいずれかに対して垂直な方向に重なっていてもよいし、同方向に全く重なっていなくてもよい。
フォトダイオード5の受光領域において、フォトダイオード5へ接続された導波路近傍の光のパワー密度が最も高くなる。フォトダイオード5の受光領域に入射する光のパワー密度が高過ぎると、フォトダイオード5の入出力特性(入力光のパワーと出力電流の大きさとの関係)が非線形になる。そこで、第1副導波路3を伝搬する光を入射させるフォトダイオード5の端面(一方)と、第2副導波路4を伝搬する光を入射させるフォトダイオード5の端面(他方)とを分ければ、面5Lまたは5Rのいずれかからのみ光が入射する場合と比較して、当該フォトダイオード5の受光領域におけるパワー密度は低下する。従って、フォトダイオード5の入出力特性が非線形になることを抑制することができる。また、上記の両接続部分をずらせば、第1副導波路3を伝搬する光がフォトダイオード5に入射する領域と、第2副導波路4を伝搬する光がフォトダイオード5に入射する領域とがより重なり難くなるため、フォトダイオード5の入出力特性が非線形になることをさらに抑制することができる。
(光導波路素子の構成に関する補足)
なお、半導体基板を用いてフォトダイオード5を構成する場合、フォトダイオード5を半導体素子として、主導波路2、第1副導波路3、および第2副導波路4と同一の基板上に集積することが可能である。シリカをクラッドとしシリコンをコアとした光導波路を有するシリコン基板上に集積可能なフォトダイオード5としては、例えば図2の(a)および(b)を参照して上述したゲルマニウムフォトダイオードに代表されるIV族半導体フォトダイオード、インジウムリン(InP)系のフォトダイオード、およびガリウムヒ素(GaAs)に代表されるIII‐V族化合物半導体フォトダイオードが挙げられる。
なお、半導体基板を用いてフォトダイオード5を構成する場合、フォトダイオード5を半導体素子として、主導波路2、第1副導波路3、および第2副導波路4と同一の基板上に集積することが可能である。シリカをクラッドとしシリコンをコアとした光導波路を有するシリコン基板上に集積可能なフォトダイオード5としては、例えば図2の(a)および(b)を参照して上述したゲルマニウムフォトダイオードに代表されるIV族半導体フォトダイオード、インジウムリン(InP)系のフォトダイオード、およびガリウムヒ素(GaAs)に代表されるIII‐V族化合物半導体フォトダイオードが挙げられる。
フォトダイオード5は例えば、厚さ220nmのシリコン導波路層に、ゲルマニウムを500nm堆積させて形成することができる。iゲルマニウム層54の幅は8μm、iゲルマニウム層54の長さは100μmとなっている。このため、第1副導波路3および第2副導波路4を、それぞれ、面5Lおよび面5Rに接続することは十分可能である。このとき、第1副導波路3および第2副導波路4のそれぞれからフォトダイオード5に入力された光がフォトダイオード5を透過しないように、フォトダイオード5における光の導波方向の長さを十分大きくすることが好ましい。例えば、フォトダイオード5が図2の(a)および(b)に示す構成を有している場合、10μmで20dB程度の光吸収が生じることが知られていることから、光の導波方向の長さが少なくとも20μmあれば、フォトダイオード5を透過する光は基本信号光と比べて十分小さな値となる。
また、図2の(a)および(b)に示す構成を有しているフォトダイオード5は、その受光感度に波長依存性を有することが知られている。このことを考慮して、並走区間23が構成するモードスプリッタおよび並走区間24が構成するモードスプリッタを、フォトダイオード5における電気信号のレベルの波長依存性を補償するように構成してもよい。
(比較例に係る光導波路素子との比較)
図3の(a)は比較例に係る光導波路素子における結合効率の波長依存性を示すグラフであり、図3の(b)は同光導波路素子におけるフォトダイオードに供給される光のパワーの波長依存性を示すグラフである。
図3の(a)は比較例に係る光導波路素子における結合効率の波長依存性を示すグラフであり、図3の(b)は同光導波路素子におけるフォトダイオードに供給される光のパワーの波長依存性を示すグラフである。
なお、「比較例に係る光導波路素子」の構成は、並走区間23が構成するモードスプリッタおよび並走区間24が構成するモードスプリッタの替わりに、主導波路と副導波路との並走区間が構成する1つのモードスプリッタを有し、その他が光導波路素子100と同じである。なお、当該1つのモードスプリッタは、結合効率のピーク波長を1590nmに持つ。具体的に、図3の(a)および(b)では、当該モードスプリッタの結合導波路長(主導波路と副導波路とが平行に配置されている長さ)を16.8μmとしている。また、図3の(a)には、比較例に係る光導波路素子を伝搬する光の波長(横軸)に対する、主導波路から副導波路に移る1次モードの光についての結合効率(縦軸)を示している。また、図3の(b)には、比較例に係る光導波路素子を伝搬する光の波長(横軸)に対する、同光導波路素子におけるフォトダイオードに供給される光のパワー(縦軸)を示している。
図4の(a)は光導波路素子100における結合効率の波長依存性を示すグラフであり、図4の(b)は光導波路素子100におけるフォトダイオード5に供給される光のパワーの波長依存性を示すグラフである。
なお、光導波路素子100において、並走区間23が構成するモードスプリッタは、結合効率のピーク波長を1550nmに持ち、並走区間24が構成するモードスプリッタは、結合効率のピーク波長を1610nmに持つものとする。具体的に、図4の(a)および(b)では、並走区間23が構成するモードスプリッタの結合導波路長を14.5μmとし、並走区間24が構成するモードスプリッタの結合導波路長を19.5μmとしている。また、図4の(a)には、光導波路素子100を伝搬する光の波長(横軸)に対する、主導波路2から第1副導波路3および第2副導波路4に移る1次モードの光についての各種結合効率(縦軸)を示している。また、図4の(b)には、光導波路素子100を伝搬する光の波長(横軸)に対する、光導波路素子100におけるフォトダイオード5に供給される光のパワー(縦軸)を示している。
また、図3の(a)および(b)ならびに図4の(a)および(b)に示す各グラフを導出するためのシミュレーションとして、有限要素法(FEM)を採用した。また、主導波路2、第1副導波路3、第2副導波路4、ならびに比較例に係る光導波路素子の主導波路および副導波路の幅は600nmとした。また、主導波路2と第1副導波路3との間隔、主導波路2と第2副導波路4との間隔、および比較例に係る光導波路素子の主導波路と副導波路との間隔はいずれも、500nmとした。なお、コアの高さはすべて220nmであるものとした。
図3の(a)によれば、比較例に係る光導波路素子を伝搬する光の波長が1590nmであるとき、同光導波路素子が有するモードスプリッタの結合効率がピーク(1.00arb.unit)となる。一方、当該波長が1590nmから離れるほど当該結合効率は小さくなり、当該波長が1530nmのとき、当該結合効率はおよそ0.89arb.unitにまで、当該波長が1630nmのとき、当該結合効率はおよそ0.85arb.unitにまで小さくなる。
図3の(b)によれば、比較例に係る光導波路素子を伝搬する光の波長が1590nmであるとき、同光導波路素子におけるフォトダイオードに供給される光のパワーが最大(変動量−0.00dB)となる。一方、当該波長が1590nmから離れるほど当該パワーは小さくなり、当該波長が1630nmであるとき、当該パワーは最小(およそ変動量−0.70dB)となる。つまり、比較例に係る光導波路素子においては、同光導波路素子を伝搬する光の波長に依存して、フォトダイオードに供給される光のパワーが最大およそ0.70dB変動する。
一方、光導波路素子100においては、並走区間23が構成するモードスプリッタの結合効率をη1とし、並走区間24が構成するモードスプリッタの結合効率をη2とし、モニタ光(光合波器1で発生し、並走区間23の手前まで導波する主導波路2での高次モード光)のパワーをPmonとした場合、下記数式(A)の関係を満たす。
フォトダイオード5に供給される光のパワー=Pmon×η1+Pmon×(1−η1)×η2 ・・・(A)
ここで、η1+(1−η1)×η2は、発生した高次モードを1としたときに、並走区間23および24から第1副導波路3および第2副導波路4に移る高次モードの割合を示す。並走区間24の手前では(1−η1)の割合の高次モードが残っている。並走区間24においては(1−η1)×η2の割合の高次モードが第2副導波路4に移ることから、第1副導波路3および第2副導波路4に移った高次モードの割合を合計するとη1+(1−η1)×η2となる。上記数式(A)左辺第一項Pmon×η1は、並走区間23が構成するモードスプリッタにより主導波路2から第1副導波路3に移った電力を表す。その結果、並走区間23を過ぎた主導波路2を伝搬する光を残留モニタ光とすると、残留モニタ光はPmon×(1−η1)となる。つまり、上記数式(A)左辺第二項Pmon×(1−η1)×η2は、並走区間24が構成するモードスプリッタにより主導波路2から第2副導波路4に移った電力を表す。従って、フォトダイオード5に供給される光のパワーは、左辺第一項と第二項の和でPmon×η1+Pmon×(1−η1)×η2と表すことができる。
ここで、η1+(1−η1)×η2は、発生した高次モードを1としたときに、並走区間23および24から第1副導波路3および第2副導波路4に移る高次モードの割合を示す。並走区間24の手前では(1−η1)の割合の高次モードが残っている。並走区間24においては(1−η1)×η2の割合の高次モードが第2副導波路4に移ることから、第1副導波路3および第2副導波路4に移った高次モードの割合を合計するとη1+(1−η1)×η2となる。上記数式(A)左辺第一項Pmon×η1は、並走区間23が構成するモードスプリッタにより主導波路2から第1副導波路3に移った電力を表す。その結果、並走区間23を過ぎた主導波路2を伝搬する光を残留モニタ光とすると、残留モニタ光はPmon×(1−η1)となる。つまり、上記数式(A)左辺第二項Pmon×(1−η1)×η2は、並走区間24が構成するモードスプリッタにより主導波路2から第2副導波路4に移った電力を表す。従って、フォトダイオード5に供給される光のパワーは、左辺第一項と第二項の和でPmon×η1+Pmon×(1−η1)×η2と表すことができる。
ここで、Pmonを1.00arb.unitで規格化した場合、図4の(a)によれば、光導波路素子100を伝搬する光の波長が1530nm〜1630nmのいずれであっても、η1+(1−η1)×η2の値は1.00arb.unitまたはほぼ1.00arb.unitとなる。このため、図4の(b)によれば、光導波路素子100を伝搬する光の波長が1530nm〜1630nmのいずれであっても、フォトダイオード5に供給される光のパワーはほぼ一定(変動量−0.00dBから−0.04dBの間)となる。つまり、光導波路素子100においては、光導波路素子100を伝搬する光の波長に依存して、フォトダイオード5に供給される光のパワーをおよそ0.04dBの変動に抑えることができる。
図4の(a)によれば、光導波路素子100を伝搬する光の波長が1550nm(η1=1.000、η2=0.728)であるとき、光導波路素子100が有するモードスプリッタの結合効率がピーク(1.00arb.unit)となる。一方、当該波長が1550nmから離れるほど当該結合効率は小さくなるが、当該波長が1630nm(η1=0.722、η2=0.967)のときであっても、当該結合効率はおよそ0.99arb.unitと高い。
図4の(b)によれば、光導波路素子100を伝搬する光の波長が1550nmであるとき、光導波路素子100におけるフォトダイオード5に供給される光のパワーが最大(変動量−0.00dB)となる。一方、当該波長が1550nmから離れるほど当該パワーは小さくなるが、当該波長が1630nmであっても、当該パワーは最小(およそ変動量−0.04dB)と高い。つまり、光導波路素子100においては、光導波路素子100を伝搬する光の波長に依存して、フォトダイオード5に供給される光のパワーが最大およそ0.04dB変動する。
なお、フォトダイオード5の受光特性には最も受光感度が高い波長(以下、フォトダイオードのピーク波長)が存在する。並走区間23が構成するモードスプリッタの最も結合効率の高い波長(以下、結合効率のピーク波長)と、並走区間24が構成するモードスプリッタの結合効率のピーク波長とにより、フォトダイオード5のピーク波長が挟まれることが好ましい。フォトダイオード5のピーク波長が2つのモードスプリッタのピーク波長に挟まれない場合に比べて、光電変換された電流の波長依存性の変化を抑制することができる。フォトダイオード5によっては、受光感度の波長依存性を持つことがある。その場合、フォトダイオード5によるモニタが波長によって変動してしまう。今回の場合、フォトダイオード5の波長依存性を加味してモードスプリッタの結合効率の波長依存性を適切に設計することにより電気出力の波長による変動を抑えることが可能になる。
さらに、光導波路素子100は、主導波路2と並走する区間(第3並走区間)を有しており、上記特定のモードが主導波路2から移行される第3副導波路と、この第3副導波路と接続されており、光を除去または吸収する光終端部とを備えていてもよい。第3副導波路および光終端部については、周知の技術によって実現可能であるため、ここでは図示および詳細な説明は省略する。光導波路素子100に光終端部を設けることにより、信号品質を向上させることが可能である。
(作用効果の定性的な議論)
一般に、モード結合理論によると、2つの光導波路がある間隔で並行している場合、一つの導波路からもう一つの導波路に電力が移行する。一つの導波路からもう一つの導波路へ電力が移り切る長さを結合長Lとすると、結合長Lは、二つの導波路間の光波の結合を強くする、または弱くすることにより自由に調整することが可能である。入射側の導波路幅を大きくした場合、コアからクラッドへの光のしみだしは弱くなり、隣の導波路への結合は小さくなる。つまり、隣の導波路へ出力が移る結合長は長くなる。二つの光導波路の間隔を大きくした場合、光の閉じ込めは強くなり、隣の導波路への結合は小さくなる。つまり、隣の導波路へ出力が移る結合長は長くなる。導波路の高さを非対称にすることや屈折率を変えるなどについても一定の効果が得られるが、導波路作成のプロセスが複雑になるため好ましくない。
一般に、モード結合理論によると、2つの光導波路がある間隔で並行している場合、一つの導波路からもう一つの導波路に電力が移行する。一つの導波路からもう一つの導波路へ電力が移り切る長さを結合長Lとすると、結合長Lは、二つの導波路間の光波の結合を強くする、または弱くすることにより自由に調整することが可能である。入射側の導波路幅を大きくした場合、コアからクラッドへの光のしみだしは弱くなり、隣の導波路への結合は小さくなる。つまり、隣の導波路へ出力が移る結合長は長くなる。二つの光導波路の間隔を大きくした場合、光の閉じ込めは強くなり、隣の導波路への結合は小さくなる。つまり、隣の導波路へ出力が移る結合長は長くなる。導波路の高さを非対称にすることや屈折率を変えるなどについても一定の効果が得られるが、導波路作成のプロセスが複雑になるため好ましくない。
結合効率の波長依存性を、方向性結合器における主導波路と副導波路との間隔および結合導波路長を変えて種々計算した結果を、図5に示している。図4の(a)および(b)に示す各グラフを導出するための諸条件と併せて参照すれば、並走区間23における結合効率と並走区間24における結合効率とは、(1)特定の波長(1595nm辺り)で互いに一致し、かつ(2)当該特定の波長より高い波長と当該特定の波長より低い波長とで大小関係が反転していることが分かる。
〔実施の形態2〕
図6は、本発明の実施の形態2に係る光導波路素子101の概略構成を示す平面図である。なお、図示を簡潔にするために、図6では、図1と同様に、各導波路について、コアのみを図示しており、クラッドの図示を省略している。
図6は、本発明の実施の形態2に係る光導波路素子101の概略構成を示す平面図である。なお、図示を簡潔にするために、図6では、図1と同様に、各導波路について、コアのみを図示しており、クラッドの図示を省略している。
図6に示す光導波路素子101は、図1に示す光導波路素子100の構成において、さらに下記数式(2)の関係を満たすものである。
x1=xa+x2 ・・・(2)
なお、x1は、第1副導波路3の長さであって、並走区間23のフォトダイオード5側の端部から、フォトダイオード5までの長さである。また、xaは、主導波路2の長さであって、並走区間23のフォトダイオード5側の端部から、並走区間24のフォトダイオード5側と反対側の端部までの長さである。また、x2は、第2副導波路4の長さであって、並走区間24のフォトダイオード5側と反対側の端部から、フォトダイオード5までの長さである。
なお、x1は、第1副導波路3の長さであって、並走区間23のフォトダイオード5側の端部から、フォトダイオード5までの長さである。また、xaは、主導波路2の長さであって、並走区間23のフォトダイオード5側の端部から、並走区間24のフォトダイオード5側と反対側の端部までの長さである。また、x2は、第2副導波路4の長さであって、並走区間24のフォトダイオード5側と反対側の端部から、フォトダイオード5までの長さである。
光導波路素子101は、上記数式(2)を満足しているため、第1副導波路3からフォトダイオード5に供給される光の位相と、第2副導波路4からフォトダイオード5に供給される光の位相とを一致させることができる。結果、フォトダイオード5に入力される光信号の線形性を高めることができるので、さらなる正確なモニタが可能となる。
なお、主導波路2の幅が0.6μmである場合、1次モードの光に対して、主導波路2の曲げ半径(図6中、Rによって示している)が50μmであれば、曲げ損失による放射損失はほぼ発生しない。
〔実施の形態3〕
図7は、本発明の実施の形態3に係る光導波路素子102の概略構成を示す平面図である。なお、図示を簡潔にするために、図7では、図1および図6と同様に、各導波路について、コアのみを図示しており、クラッドの図示を省略している。
図7は、本発明の実施の形態3に係る光導波路素子102の概略構成を示す平面図である。なお、図示を簡潔にするために、図7では、図1および図6と同様に、各導波路について、コアのみを図示しており、クラッドの図示を省略している。
図7に示す光導波路素子102は、図1に示す光導波路素子100の構成において、さらに副導波路7および8を備えている。
副導波路7は、第1副導波路3の前段に配置されている。副導波路7は、第1副導波路3と同様に、主導波路2と一定の間隔離れており、かつ、主導波路2と並走する区間を有している。副導波路7は、上記特定のモードが主導波路2から移行されるものである。すなわち、主導波路2と副導波路7との並走区間27は、モードスプリッタを構成している。
副導波路8は、第2副導波路4の後段に配置されている。副導波路8は、第1副導波路3と同様に、主導波路2と一定の間隔離れており、かつ、主導波路2と並走する区間を有している。副導波路8は、上記特定のモードが主導波路2から移行されるものである。すなわち、主導波路2と副導波路8との並走区間28は、モードスプリッタを構成している。
フォトダイオード5は、第1副導波路3および第2副導波路4に加え、副導波路7および8の両方と接続されている。具体的に、副導波路7は面5Lと接続されており、副導波路8は面5Rと接続されている。フォトダイオード5は、第1副導波路3から供給される光と、第2副導波路4から供給される光とに加え、副導波路7から供給される光と、副導波路8から供給される光とを、光信号から電気信号に変換する。
フォトダイオード5の幅が、第1副導波路3の幅に対して十分大きい場合、面5Lに副導波路7を接続することができる。同様に、フォトダイオード5の幅が、第2副導波路4の幅に対して十分大きい場合、面5Rに副導波路8を接続することができる。
光導波路素子102のように、光導波路素子が3つ以上の副導波路を備え、これら3つ以上の副導波路をフォトダイオードに接続することによって、光導波路素子に3つ以上のモードスプリッタが構成されてもよい。モードスプリッタの数が多いほど、光導波路素子の構成に製造公差が生じても、高次モードの光を十分に取り出す(フォトダイオード5に供給する)ことができるので、光導波路素子における結合効率の波長依存性をよりフラットにすることができる。
第1副導波路3、第2副導波路4、副導波路7、および副導波路8の幅は、600nm以上とする必要があるが、例えばシリコン基板上に集積したゲルマニウムフォトダイオードにおいて、受光幅が8μmである場合、隣接する副導波路同士の間隔を考慮しても、面5Lと面5Rとのそれぞれに5本の副導波路を接続することも可能である。
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
1 光合波器
2 主導波路
3 第1副導波路
4 第2副導波路
5 フォトダイオード(光電変換部)
23 並走区間(第1並走区間)
24 並走区間(第2並走区間)
100 光導波路素子
101 光導波路素子
102 光導波路素子
2 主導波路
3 第1副導波路
4 第2副導波路
5 フォトダイオード(光電変換部)
23 並走区間(第1並走区間)
24 並走区間(第2並走区間)
100 光導波路素子
101 光導波路素子
102 光導波路素子
Claims (6)
- 互いに伝搬次数の異なる複数の伝搬モードが導波される主導波路と、
上記主導波路と並走する第1並走区間を有しており、上記複数の伝搬モードのうち特定のモードが上記主導波路から移行される第1副導波路と、
上記主導波路と並走する第2並走区間を有しており、上記特定のモードまたは上記複数の伝搬モードのうち上記特定のモードとは異なるモードが上記主導波路から移行される第2副導波路と、
上記第1副導波路および上記第2副導波路の両方と接続されており、光電変換を行う光電変換部とを備えており、
上記第1並走区間における結合効率と上記第2並走区間における結合効率とは、(1)特定の波長で互いに一致し、かつ(2)当該特定の波長より高い波長と当該特定の波長より低い波長とで大小関係が反転していることを特徴とする光導波路素子。 - 上記光電変換部は、互いに対向する2つの端面を有しており、
上記第1副導波路は上記2つの端面の一方と接続されており、上記第2副導波路は上記2つの端面の他方と接続されていることを特徴とする請求項1に記載の光導波路素子。 - 上記2つの端面のいずれかに対して垂直な方向に見たときに、
上記第1副導波路と接続される端面と上記第1副導波路との接続部分と上記第2副導波路と接続される端面と上記第2副導波路との接続部分とが、互いに重なり合わない部分を含んでいることを特徴とする請求項2に記載の光導波路素子。 - 上記第1副導波路の長さであって、上記第1並走区間の上記光電変換部側の端部から、上記光電変換部までの長さをx1とし、
上記主導波路の長さであって、上記第1並走区間の上記光電変換部側の端部から、上記第2並走区間の上記光電変換部側と反対側の端部までの長さをxaとし、
上記第2副導波路の長さであって、上記第2並走区間の上記光電変換部側と反対側の端部から、上記光電変換部までの長さをx2とすると、
x1=xa+x2
の関係を満たすことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の光導波路素子。 - 上記第1並走区間の長さと上記第2並走区間の長さとが互いに異なっていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の光導波路素子。
- 上記主導波路と並走する第3並走区間を有しており、上記特定のモードが上記主導波路から移行される第3副導波路と、
上記第3副導波路と接続されており、光を除去または吸収する光終端部とを備えていることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の光導波路素子。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016013637A JP2017134222A (ja) | 2016-01-27 | 2016-01-27 | 光導波路素子 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019042309A (ja) * | 2017-09-05 | 2019-03-22 | 京楽産業.株式会社 | 遊技機 |
CN114839718A (zh) * | 2022-03-03 | 2022-08-02 | 上海大学 | 一种光波导多级耦合模分复用器 |
-
2016
- 2016-01-27 JP JP2016013637A patent/JP2017134222A/ja active Pending
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