JP2016219737A - Electronic apparatus - Google Patents

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眞仁 六波羅
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俊 御手洗
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent noises caused by semiconductor chip operation.SOLUTION: The electronic apparatus includes: a function module formed by mounting a semiconductor chip on a first wiring substrate; and a second wiring substrate, to which a plurality of the function modules that are parallely arranged is connected, having a layer composed of a thin film capacitor. The thin film capacitor is arranged across the plurality of parallely arranged function modules. The present invention can be applied to a wearable devices or IoT(Internet of Things) devices, for instance.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本開示は、電子機器に関し、特に、電子基板に実装されているICの動作に起因するノイズをコンデンサによって削減するようにした電子機器に関する。   The present disclosure relates to an electronic device, and more particularly to an electronic device in which noise caused by the operation of an IC mounted on an electronic substrate is reduced by a capacitor.

従来、電子機器には、CPU(Central Processing Unit)、MCU(Micro Controller Unit)、メモリ等の高速動作するICが搭載されており、ICの動作に起因して発生するノイズの電源電圧に対する影響を抑止するための構成として、ICが実装されている基板のIC直下にコンデンサ(バイパスコンデンサ)を埋め込む方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, electronic devices have been equipped with high-speed ICs such as a CPU (Central Processing Unit), MCU (Micro Controller Unit), and memory. As a configuration for suppressing, a method of embedding a capacitor (bypass capacitor) directly under the IC of the substrate on which the IC is mounted has been proposed (for example, see Patent Document 1).

特表2010−503199号公報Special table 2010-503199 gazette

ところで、例えば、ウェアラブル機器やIoT(Internet of Things)機器に搭載されるMCUは10MHz程度で動作するため、これに起因して発生するノイズを抑止するには0.1μF程度のバイパスコンデンサが必要となる。具体的には、誘電率100、膜厚2μm、静電容量0.044μF/cm2の平行平板コンデンサをバイパスコンデンサとして用いる場合、0.1μFの容量を得るためには約15mm角のサイズが必要となる。 By the way, for example, an MCU mounted on a wearable device or an IoT (Internet of Things) device operates at about 10 MHz, and thus a bypass capacitor of about 0.1 μF is required to suppress noise generated due to this. . Specifically, when a parallel plate capacitor having a dielectric constant of 100, a film thickness of 2 μm, and a capacitance of 0.044 μF / cm 2 is used as a bypass capacitor, a size of about 15 mm square is required to obtain a capacitance of 0.1 μF. .

これに対し、電子基板の面積が小さいウェアラブル機器等では、MCUなどのICチップのサイズが2乃至6mm角程度であることから、その直下にはサイズが小さく容量が0.1μFに満たないバイパスコンデンサを埋め込むことしかできない。したがって、電子基板の面積が小さい電子機器では、10MHz程度で動作するMCUなどに起因する高周波帯域(特にMHz帯)のノイズを抑止することが困難であった。   On the other hand, in wearable devices with a small electronic board area, the size of an IC chip such as an MCU is about 2 to 6 mm square, and therefore a bypass capacitor with a small size and a capacity of less than 0.1 μF is directly underneath. Can only be embedded. Therefore, it is difficult to suppress noise in a high frequency band (particularly in the MHz band) caused by an MCU or the like operating at about 10 MHz in an electronic device having a small area of the electronic substrate.

本開示はこのような状況に鑑みてなされたものであり、半導体チップの動作に起因するノイズの影響を抑止できるようにするものである。   The present disclosure has been made in view of such a situation, and makes it possible to suppress the influence of noise caused by the operation of a semiconductor chip.

本開示の第1の側面である電子機器は、第1の配線基板上に半導体チップが搭載されて成る機能モジュールと、並列に配された複数の前記機能モジュールが接続されており、薄膜コンデンサから成る層を有する第2の配線基板とを備え、前記薄膜コンデンサは、並列に配された前記複数の機能モジュールに跨って配置されている。   An electronic apparatus according to a first aspect of the present disclosure includes a functional module in which a semiconductor chip is mounted on a first wiring board and a plurality of the functional modules arranged in parallel. A second wiring board having a layer comprising the thin film capacitor, and the thin film capacitor is disposed across the plurality of functional modules arranged in parallel.

前記第1の配線基板と前記第2の配線基板は、コア材が異なるようにすることができる。   The first wiring board and the second wiring board may have different core materials.

前記第1の配線基板のコア材はガラスであり、前記第2の配線基板のコア材は有機材料であるようにすることができる。   The core material of the first wiring board may be glass, and the core material of the second wiring board may be an organic material.

前記第1の配線基板には、貫通電極が形成されているようにすることができる。   A through electrode may be formed on the first wiring board.

前記第2の配線基板には、前記薄膜コンデンサを挟む対向電極が形成されており、前記第1の配線基板上の前記半導体チップは、前記対向電極と電気的に接続されているようにすることができる。   A counter electrode sandwiching the thin film capacitor is formed on the second wiring board, and the semiconductor chip on the first wiring board is electrically connected to the counter electrode. Can do.

前記第2の配線基板の前記対向電極は、一方はべた電極であり、他方は分割されたパターニング電極であるようにすることができる。   One of the counter electrodes of the second wiring board may be a solid electrode and the other may be a divided patterning electrode.

前記第2の配線基板には、前記機能モジュールが積層されているようにすることができる。   The functional module may be stacked on the second wiring board.

前記第2の配線基板の対向する面それぞれには、前記機能モジュールが接続されているようにすることができる。   The functional module may be connected to each of the opposing surfaces of the second wiring board.

前記機能モジュールは、前記第2の配線基板の凹部位に接続されているようにすることができる。   The functional module may be connected to a recessed portion of the second wiring board.

前記第2の配線基板には、前記前記機能モジュールを接続するための標準化されたランドパターンが形成されているようにすることができる。   A standardized land pattern for connecting the functional module may be formed on the second wiring board.

前記ランドパターンは、少なくともデジタル電源用端子、信号端子、アナログ電源端子、およびGND端子を含むようにすることができる。   The land pattern may include at least a digital power supply terminal, a signal terminal, an analog power supply terminal, and a GND terminal.

本開示の一側面によれば、半導体チップの動作に起因するノイズの影響を抑止することができる。   According to one aspect of the present disclosure, it is possible to suppress the influence of noise caused by the operation of the semiconductor chip.

本開示を適用した電子機器に採用されている電子基板の第1の構成例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the 1st structural example of the electronic board employ | adopted as the electronic device to which this indication is applied. 機能モジュールにおけるICチップの電力配線を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the power wiring of the IC chip in a functional module. 機能モジュールに対する薄膜コンデンサの配置例を示す上面図である。It is a top view which shows the example of arrangement | positioning of the thin film capacitor with respect to a functional module. 本開示を適用した電子機器に採用されている電子基板の第2の構成例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the 2nd structural example of the electronic substrate employ | adopted as the electronic device to which this indication is applied. 薄膜コンデンサの形成方法の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the formation method of a thin film capacitor. 本開示を適用した電子機器に採用されている電子基板の第3の構成例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the 3rd structural example of the electronic substrate employ | adopted as the electronic device to which this indication is applied. 本開示を適用した電子機器に採用されている電子基板の第4の構成例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the 4th structural example of the electronic substrate employ | adopted as the electronic device to which this indication is applied. 本開示を適用した電子機器に採用されている電子基板の第5の構成例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the 5th structural example of the electronic substrate employ | adopted as the electronic device to which this indication is applied. 本開示を適用した電子機器に採用されている電子基板の第6の構成例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the 6th structural example of the electronic substrate employ | adopted as the electronic device to which this indication is applied. 本開示を適用した電子機器に採用されている電子基板の第7の構成例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the 7th structural example of the electronic substrate employ | adopted as the electronic device to which this indication is applied. 本開示を適用した電子機器に採用されている電子基板の第8の構成例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the 8th structural example of the electronic substrate employ | adopted as the electronic device to which this indication is applied. 本開示を適用した電子機器に採用されている電子基板の第9の構成例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the 9th structural example of the electronic substrate employ | adopted as the electronic device to which this indication is applied. 本開示を適用した電子機器に採用されている電子基板の第10の構成例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the 10th structural example of the electronic substrate employ | adopted as the electronic device to which this indication is applied.

以下、本開示を実施するための最良の形態(以下、実施の形態と称する)について、図面を参照しながら詳細に説明する。   Hereinafter, the best mode for carrying out the present disclosure (hereinafter referred to as an embodiment) will be described in detail with reference to the drawings.

<電子基板の第1の構成例>
図1は、本開示の実施の形態である電子機器に採用されている電子基板の第1の構成例の断面図を示している。
<First Configuration Example of Electronic Substrate>
FIG. 1 is a cross-sectional view of a first configuration example of an electronic substrate that is employed in an electronic apparatus that is an embodiment of the present disclosure.

第1の構成例は、バイパスコンデンサとしての薄膜コンデンサ12を内蔵する有機基板10の上にガラス基板20が接続され、ガラス基板20の上に半導体チップ31が実装されている構造を有する。以下、半導体チップ31が搭載されているガラス基板20を、機能モジュール41と称する。   The first configuration example has a structure in which a glass substrate 20 is connected to an organic substrate 10 containing a thin film capacitor 12 as a bypass capacitor, and a semiconductor chip 31 is mounted on the glass substrate 20. Hereinafter, the glass substrate 20 on which the semiconductor chip 31 is mounted is referred to as a functional module 41.

有機基板10は、薄膜コンデンサ12を挟むようにパターニング電極11とべた電極13が配されている。なお、有機基板10は、例えば、薄膜コンデンサ12の両面側に有機材料を用いてコアレスビルトアップ工法により形成することができる。   The organic substrate 10 is provided with a patterning electrode 11 and a solid electrode 13 so as to sandwich the thin film capacitor 12. The organic substrate 10 can be formed by, for example, a coreless built-up method using an organic material on both sides of the thin film capacitor 12.

パターニング電極11は、例えばCuによって形成される。べた電極13は、半田によるガラス基板20との接続時の熱応力の影響を低減させるために、線膨張係数が15ppm/Kよりも低い金属材料、例えば、Niによって形成される。   The patterning electrode 11 is made of Cu, for example. The solid electrode 13 is made of a metal material having a linear expansion coefficient lower than 15 ppm / K, for example, Ni, in order to reduce the influence of thermal stress when connected to the glass substrate 20 by solder.

薄膜コンデンサ12は、例えば、10MHz程度で動作するMCUなどに起因する高周波帯域(特にMHz帯)のノイズ抑止を目的とする場合、誘電率100のBaTiO3、膜厚0.9μm、容量0.1μFの平行平板コンデンサを採用することができる。 The thin film capacitor 12 is a parallel capacitor having a dielectric constant of 100 BaTiO 3 , a film thickness of 0.9 μm, and a capacitance of 0.1 μF for the purpose of suppressing noise in a high frequency band (particularly in the MHz band) caused by, for example, an MCU operating at about 10 MHz. A plate capacitor can be employed.

ガラス基板20には、一方の表面に比較的広いピッチの半田接合部22が設けられ、半田接合部22を介して有機基板10と接続される。また、他方の表面に比較的狭いピッチの半田接合部23が設けられ、半田接合部23を介して各種の半導体チップ31が搭載される。さらに、ガラス基板20には、貫通電極(TGV)21が形成される。   The glass substrate 20 is provided with a solder joint portion 22 having a relatively wide pitch on one surface, and is connected to the organic substrate 10 via the solder joint portion 22. In addition, a solder joint 23 having a relatively narrow pitch is provided on the other surface, and various semiconductor chips 31 are mounted via the solder joint 23. Further, a through electrode (TGV) 21 is formed on the glass substrate 20.

機能モジュール41は、例えば、最低限の機能(MCU,Bluetooth(登録商標)など)の半導体チップが搭載されているメインモジュールや、電源・バッテリー充放電管理機能、無線給電機能をもった電源モジュール、加速度センサやジャイロ、温度センサ、湿度センサ、圧力センサなどを搭載したセンサモジュール、無線LANや4G LTEなどの通信機能をもった通信モジュールなどである。なお、各機能モジュール41に搭載される半導体チップ31は樹脂封止パッケージ化によりされていてもよいし、ベアチップでも構わない。   The function module 41 includes, for example, a main module on which a semiconductor chip having a minimum function (MCU, Bluetooth (registered trademark), etc.), a power supply / battery charge / discharge management function, a power supply module having a wireless power feeding function, These include sensor modules equipped with acceleration sensors, gyros, temperature sensors, humidity sensors, pressure sensors, etc., and communication modules with communication functions such as wireless LAN and 4G LTE. The semiconductor chip 31 mounted on each functional module 41 may be formed as a resin-sealed package or may be a bare chip.

図2は、機能モジュール41における半導体チップ31の電力配線の一例を示す断面図を示している。   FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example of the power wiring of the semiconductor chip 31 in the functional module 41.

同図に示されるように、半導体チップ31の電源端子は、ノイズ低減のために有機基板10の薄膜コンデンサ12を挟むパターニング電極11とべた電極13に接続される。なお、パターニング電極11は、図示するように、デジタル電源用パターニング電極11dとアナログ電源用パターニング電極11aに分けられていてもよい。   As shown in the figure, the power supply terminal of the semiconductor chip 31 is connected to the patterning electrode 11 and the solid electrode 13 sandwiching the thin film capacitor 12 of the organic substrate 10 for noise reduction. The patterning electrode 11 may be divided into a digital power patterning electrode 11d and an analog power patterning electrode 11a as shown in the figure.

図3は、機能モジュール41に対する薄膜コンデンサ12の配置の一例を示す上面図である。   FIG. 3 is a top view showing an example of the arrangement of the thin film capacitor 12 with respect to the functional module 41.

同図に示されるように、薄膜コンデンサ12は、複数の機能モジュール41に跨ることがされているので、必要とされる容量を確保するために十分な面積を占めて形成することができる。なお、図2に示されたように、パターニング電極11がデジタル電源用とアナログ電源用に分けられている場合、薄膜コンデンサ12についても、デジタル電源用薄膜コンデンサ12dとアナログ電源用薄膜コンデンサ12aに分けて形成するようにする。   As shown in the figure, since the thin film capacitor 12 extends over a plurality of functional modules 41, the thin film capacitor 12 can be formed to occupy a sufficient area to ensure a required capacity. As shown in FIG. 2, when the patterning electrode 11 is divided into a digital power supply and an analog power supply, the thin film capacitor 12 is also divided into a digital power supply thin film capacitor 12d and an analog power supply thin film capacitor 12a. To form.

ただし、該電子機器がウェアラブル機器などであって、機能モジュール41に搭載されている半導体チップ31がMCUである場合、該MCUはパーソナルコンピュータなどに搭載されているCPUほどの高速動作は行わない。このような場合、薄膜コンデンサ12は必ずしもICチップ(MCU)の直下に配置しなくてもよい。   However, when the electronic device is a wearable device or the like and the semiconductor chip 31 mounted on the functional module 41 is an MCU, the MCU does not operate as fast as a CPU mounted on a personal computer or the like. In such a case, the thin film capacitor 12 is not necessarily arranged directly under the IC chip (MCU).

<電子基板の第2の構成例>
図4は、本開示の実施の形態である電子機器に採用されている電子基板の第2の構成例の断面図を示している。
<Second Configuration Example of Electronic Substrate>
FIG. 4 is a cross-sectional view of a second configuration example of the electronic substrate employed in the electronic apparatus according to the embodiment of the present disclosure.

第2の構成例は、有機基板10上に、それぞれが樹脂封止されている複数の機能モジュール41が積層配置された構造を有する。複数の機能モジュール41を積層配置することにより、電子基板の表面積を小さくすることができる。   The second configuration example has a structure in which a plurality of functional modules 41, each of which is resin-sealed, are stacked on the organic substrate 10. By arranging the plurality of functional modules 41 in a stacked manner, the surface area of the electronic substrate can be reduced.

複数の樹脂封止された機能モジュール41(41cと41d)の間には、再配線層51が形成されている。また、薄膜コンデンサ12を含む有機基板10に接続されている機能モジュール41dには、樹脂貫通ビア52が形成されている。樹脂貫通ビア52には、信号線、GND線、電源線などを配することができる。なお、これらの配線は、積層される複数の機能モジュール41で共通化することができる。   A rewiring layer 51 is formed between the plurality of resin-sealed functional modules 41 (41c and 41d). In addition, a through resin via 52 is formed in the functional module 41 d connected to the organic substrate 10 including the thin film capacitor 12. A signal line, a GND line, a power supply line, and the like can be arranged in the through resin via 52. These wirings can be shared by a plurality of functional modules 41 to be stacked.

なお、図4の場合、機能モジュール41の積層数は2であるが、より多層に機能モジュール41を積層するようにしてもよい。   In the case of FIG. 4, the number of functional modules 41 stacked is 2, but the functional modules 41 may be stacked in more layers.

<薄膜コンデンサの形成方法>
薄膜コンデンサ12は、コアレスビルトアップにより有機基板10内に埋め込むように形成する他、図5に示されるように形成してもよい。
<Method of forming thin film capacitor>
The thin film capacitor 12 may be formed as shown in FIG. 5 in addition to being embedded in the organic substrate 10 by coreless built-up.

図5は、薄膜コンデンサ12の形成方法の一例を示している。同図Aに示されるように、有機材料から成る配線基板61と、パターニング電極11が形成されている薄膜コンデンサ12を別途作成し、同図Bに示されるように、配線基板61に対して接着層62を介して薄膜コンデンサ12を圧着して有機基板10を形成するようにしてもよい。この場合、同図Cに示されるように、薄膜コンデンサ12上に機能モジュール41が接続される。   FIG. 5 shows an example of a method for forming the thin film capacitor 12. A wiring board 61 made of an organic material and a thin film capacitor 12 on which the patterning electrode 11 is formed are separately prepared as shown in FIG. A, and bonded to the wiring board 61 as shown in FIG. The organic substrate 10 may be formed by pressing the thin film capacitor 12 through the layer 62. In this case, the functional module 41 is connected to the thin film capacitor 12 as shown in FIG.

<電子基板の第3の構成例>
図6は、本開示の実施の形態である電子機器に採用されている電子基板の第3の構成例の断面図を示している。
<Third configuration example of electronic substrate>
FIG. 6 is a cross-sectional view of a third configuration example of the electronic substrate employed in the electronic apparatus according to the embodiment of the present disclosure.

第3の構成例は、有機基板10の両面に、樹脂封止された機能モジュール41が配置された構造、すなわち、有機基板10が2つの機能モジュール41に挟まれた構造を有する。これにより、電子基板の表面積を小さくすることができる。   The third configuration example has a structure in which the resin-sealed functional modules 41 are disposed on both surfaces of the organic substrate 10, that is, a structure in which the organic substrate 10 is sandwiched between two functional modules 41. Thereby, the surface area of an electronic substrate can be made small.

また、薄膜コンデンサ12を電子基板の中心付近に配した構造となるので、電子基板の表裏の応力バランスを均衡させることができる。ただし、表裏の電流量のバランス等を配慮して、最も電源ノイズが少なくなるような電気的に最適な位置に薄膜コンデンサ12を配置するようにしてもよい。   Further, since the thin film capacitor 12 is arranged near the center of the electronic substrate, the stress balance between the front and back of the electronic substrate can be balanced. However, the thin film capacitor 12 may be disposed at an electrically optimal position where the power supply noise is minimized in consideration of the balance between the current amounts on the front and back sides.

<電子基板の第4の構成例>
図7は、本開示の実施の形態である電子機器に採用されている電子基板の第4の構成例の断面図を示している。
<Fourth Configuration Example of Electronic Substrate>
FIG. 7 is a cross-sectional view of a fourth configuration example of the electronic substrate employed in the electronic device according to the embodiment of the present disclosure.

第4の構成例は、薄膜コンデンサ12を含む有機基板10と、樹脂封止された機能モジュール41の間にアンダーフィル材71を配した構造を有する。アンダーフィル材71を配したことにより、電子基板全体としての剛性を増すことができ、これによって、温度変化によって起こる熱膨張や収縮により電子基板が劣化したり破損したりすることを抑止できる。   The fourth configuration example has a structure in which an underfill material 71 is disposed between the organic substrate 10 including the thin film capacitor 12 and the functional module 41 sealed with resin. By providing the underfill material 71, it is possible to increase the rigidity of the entire electronic substrate, and thereby it is possible to prevent the electronic substrate from being deteriorated or damaged due to thermal expansion or contraction caused by a temperature change.

さらに、温度変化に起因する電子基板の劣化や破損を抑止するためには、有機基板10と、機能モジュール40を成すガラス基板20との熱膨張係数を近づけることが望ましい。具体的には、例えば、有機基板10に所定のフィラーを入れたり、有機基板10内の薄膜コンデンサ12を多層化したりして、有機基板10の熱膨張係数を調整すればよい。   Furthermore, in order to suppress the deterioration and breakage of the electronic substrate due to the temperature change, it is desirable to make the thermal expansion coefficients of the organic substrate 10 and the glass substrate 20 constituting the functional module 40 close to each other. Specifically, for example, the thermal expansion coefficient of the organic substrate 10 may be adjusted by adding a predetermined filler to the organic substrate 10 or by multilayering the thin film capacitors 12 in the organic substrate 10.

<電子基板の第5の構成例>
次に、図8は、本開示の実施の形態である電子機器に採用されている電子基板の第5の構成例の断面図を示している。
<Fifth Configuration Example of Electronic Substrate>
Next, FIG. 8 shows a cross-sectional view of a fifth configuration example of the electronic substrate employed in the electronic apparatus according to the embodiment of the present disclosure.

第5の構成例は、有機基板10に接続されている機能モジュール41を、さらに低熱伝導材81と高熱伝導材82により樹脂封止した構造を有する。具体的には、第5の構成例を採用した電子機器がウェアラブル機器である場合、ウェアラブル機器はユーザの皮膚に近い位置で使用されることになるので、ユーザが排熱の影響を受けないように、ユーザの皮膚に近い方には低熱伝導材81を配し、ユーザの皮膚から遠い方には熱伝導性がより高熱伝導材82を配するようにする。これにより、電子基板全体としての強度を増すとともに、半導体チップ31から生じた熱を排熱することができる。   The fifth configuration example has a structure in which the functional module 41 connected to the organic substrate 10 is further sealed with a low thermal conductive material 81 and a high thermal conductive material 82. Specifically, when the electronic device adopting the fifth configuration example is a wearable device, the wearable device is used at a position close to the user's skin, so that the user is not affected by exhaust heat. In addition, a low thermal conductive material 81 is disposed closer to the user's skin, and a higher thermal conductive material 82 having a higher thermal conductivity is disposed farther from the user's skin. Thereby, the strength of the entire electronic substrate can be increased, and the heat generated from the semiconductor chip 31 can be exhausted.

<電子基板の第6の構成例>
図9は、本開示の実施の形態である電子機器に採用されている電子基板の第6の構成例の断面図を示している。
<Sixth Configuration Example of Electronic Substrate>
FIG. 9 is a cross-sectional view of a sixth configuration example of the electronic substrate employed in the electronic apparatus according to the embodiment of the present disclosure.

第6の構成例は、有機基板10をくりぬいて凹部位91を形成し、凹部位91に機能モジュール41を配した構造を有する。これにより、電子基板の厚みを薄くすることができ、延いては電子機器の低背化を実現することができる。   The sixth configuration example has a structure in which the concave portion 91 is formed by hollowing out the organic substrate 10, and the functional module 41 is arranged in the concave portion 91. Thereby, the thickness of the electronic substrate can be reduced, and as a result, the height of the electronic device can be reduced.

<電子基板の第7の構成例>
図10は、本開示の実施の形態である電子機器に採用されている電子基板の第7の構成例の断面図を示している。
<Seventh Configuration Example of Electronic Substrate>
FIG. 10 is a cross-sectional view of a seventh configuration example of the electronic substrate employed in the electronic device according to the embodiment of the present disclosure.

第7の構成例は、第6の構成例と同様、有機基板10をくりぬいて凹部位91を形成し、凹部位91に機能モジュール41を配した構造を有する。   As in the sixth configuration example, the seventh configuration example has a structure in which the organic substrate 10 is hollowed to form the recessed portion 91 and the functional module 41 is arranged in the recessed portion 91.

さらに、第7の構成例は、電子基板に対して曲げ応力が生じた場合の湾曲の中心が電子基板の中で最も応力に弱い部分(薄膜コンデンサ12、ガラス基板20、および半田接合部22付近)とほぼ一致するように形成されている。これにより、電子基板の厚みを薄くすることができ、延いては電子機器の低背化を実現することができることに加えて、耐湾曲、耐衝撃性を高めることができる。なお、ガラス基板20の厚さを調整すれば、寄生インダクタンスを調整することができる。   Further, in the seventh configuration example, a portion where the bending center when the bending stress is generated on the electronic substrate is the weakest in the electronic substrate (near the thin film capacitor 12, the glass substrate 20, and the solder joint portion 22). ). Thereby, the thickness of the electronic substrate can be reduced, and in addition to the reduction in the height of the electronic device, it is possible to improve the resistance to bending and impact. In addition, if the thickness of the glass substrate 20 is adjusted, the parasitic inductance can be adjusted.

<電子基板の第8の構成例>
図11は、本開示の実施の形態である電子機器に採用されている電子基板の第8の構成例の断面図を示している。
<Eighth configuration example of electronic substrate>
FIG. 11 is a cross-sectional view of an eighth configuration example of the electronic substrate employed in the electronic device according to the embodiment of the present disclosure.

第8の構成例は、有機基板10の表面に、1以上の機能モジュール用ランドパターン100を配置した構造を有する。機能モジュール用ランドパターン100は、機能モジュール41を接続するため接続端子群であり、少なくともデジタル電源用端子101、信号端子102、アナログ電源端子103、およびGND端子104を複数の端子が標準化された位置に配されている。   The eighth configuration example has a structure in which one or more functional module land patterns 100 are arranged on the surface of the organic substrate 10. The functional module land pattern 100 is a group of connection terminals for connecting the functional module 41, and at least a plurality of terminals including a digital power supply terminal 101, a signal terminal 102, an analog power supply terminal 103, and a GND terminal 104 are standardized. It is arranged in.

有機基板10の表面に機能モジュール用ランドパターン100を形成することにより、どのような種類の機能モジュール41が接続されても、ノイズ抑止効果を発揮できる有機基板10を実現できる。また、機能モジュール41との接続端子が標準化されるように、空気基板10の設計工数を減らすることができる。さらに、図示は省略するが、有機基板10内の信号線レイアウトも標準化すれば、より工数を削減することができる。   By forming the functional module land pattern 100 on the surface of the organic substrate 10, it is possible to realize the organic substrate 10 capable of exhibiting a noise suppression effect regardless of the type of the functional module 41 connected thereto. Moreover, the design man-hour of the air board | substrate 10 can be reduced so that a connection terminal with the functional module 41 may be standardized. Furthermore, although illustration is omitted, if the signal line layout in the organic substrate 10 is also standardized, the number of man-hours can be further reduced.

<電子基板の第9の構成例>
図12は、本開示の実施の形態である電子機器に採用されている電子基板の第9の構成例の断面図を示している。
<Ninth Configuration Example of Electronic Substrate>
FIG. 12 is a cross-sectional view of a ninth configuration example of the electronic substrate employed in the electronic device according to the embodiment of the present disclosure.

第9の構成例は、有機基板10内に2層以上の薄膜コンデンサ12を配した構造を有する。   The ninth configuration example has a structure in which two or more thin film capacitors 12 are arranged in the organic substrate 10.

これら2層以上の薄膜コンデンサ12はビア121を介して電気的に並列に接続してもよい。この場合、有機基板10の面積当たりのバイパスコンデンサの容量を増やすことができる。また、これら2層以上の薄膜コンデンサ12のそれぞれを別々の電源に接続してもよい。   These two or more layers of thin film capacitors 12 may be electrically connected in parallel via vias 121. In this case, the capacity of the bypass capacitor per area of the organic substrate 10 can be increased. Further, each of these two or more layers of thin film capacitors 12 may be connected to separate power sources.

積層する薄膜コンデンサ12は、全てが同じ面積(容量)である必要はなく、その面積(容量)比を、例えば1,2,4,8…として、それらを任意に組み合わせることにより、バイパスコンデンサの容量を調整するようにしてもよい。   The thin film capacitors 12 to be laminated need not all have the same area (capacitance), and the area (capacitance) ratio is, for example, 1, 2, 4, 8,... The capacity may be adjusted.

また、2層以上の薄膜コンデンサ12を配したことにより、有機基板10の剛性を高めることができる。   Moreover, the rigidity of the organic substrate 10 can be increased by providing two or more layers of the thin film capacitor 12.

<電子基板の第10の構成例>
図13は、本開示の実施の形態である電子機器に採用されている電子基板の第10の構成例の断面図を示している。第10の構成例は、樹脂材料131により樹脂封止された機能モジュール41の上面に再配線層132が配され、再配線層132の上面に、薄膜コンデンサ12を含む有機基板10が配置された構造を有する。これにより、電子基板の表面積を小さくすることができる。
<Tenth configuration example of electronic substrate>
FIG. 13 is a cross-sectional view of a tenth configuration example of the electronic substrate employed in the electronic device according to the embodiment of the present disclosure. In the tenth configuration example, the rewiring layer 132 is disposed on the upper surface of the functional module 41 sealed with the resin material 131, and the organic substrate 10 including the thin film capacitor 12 is disposed on the upper surface of the rewiring layer 132. It has a structure. Thereby, the surface area of an electronic substrate can be made small.

機能モジュール41を挟む2枚の有機基板10の間は、再配線層132および貫通ビア133を介して接続されており、それぞれに内蔵されている薄膜コンデンサ12は、上述した第9の構成例と同様、両者を電気的に並列に接続してバイパスコンデンサの容量を増やしたり、両者を別々の電源に接続したりすることができる。   The two organic substrates 10 sandwiching the functional module 41 are connected via the rewiring layer 132 and the through via 133, and the thin film capacitor 12 incorporated in each of them is the same as that in the ninth configuration example described above. Similarly, both can be electrically connected in parallel to increase the capacity of the bypass capacitor, or both can be connected to separate power sources.

<まとめ>
以上に説明した電子基板の第1乃至第10の構成例によれば、半導体チップ31の動作に起因して発生するノイズの電源電圧に対する影響を抑止することができる。また、バイパスコンデンサとして薄膜コンデンサを用いるので、電子基板の表層に実装する部品点数を削減することができ、電子基板の実装面積を減らすことができる。
<Summary>
According to the first to tenth configuration examples of the electronic substrate described above, it is possible to suppress the influence of noise generated due to the operation of the semiconductor chip 31 on the power supply voltage. In addition, since a thin film capacitor is used as the bypass capacitor, the number of components mounted on the surface layer of the electronic substrate can be reduced, and the mounting area of the electronic substrate can be reduced.

また、半導体チップ31を薄膜コンデンサ12が内蔵された有機基板10に直接実装するのではなく、半導体チップ31をガラス基板20に搭載した状態で有機基板10に接続するので両差の熱膨張係数の大きなギャップを低減することができる。これによって製造工程やで使用環境における温度の変化による熱応力を緩和することができ、延いては、該電子機器の信頼性を高めることができる。   In addition, the semiconductor chip 31 is not directly mounted on the organic substrate 10 in which the thin film capacitor 12 is incorporated, but is connected to the organic substrate 10 in a state where the semiconductor chip 31 is mounted on the glass substrate 20. A large gap can be reduced. As a result, thermal stress due to a change in temperature in the manufacturing process or in the usage environment can be relieved, and as a result, the reliability of the electronic device can be improved.

薄膜コンデンサ12をガラス基板20内ではなく、有機基板10内に配する構造としたことにより、微細加工を必要とするガラス基板作製プロセスと、比較的微細な加工を必要としない有機基板作製プロセスを分離することができるため、工程を簡素化することができる。   By adopting a structure in which the thin film capacitor 12 is arranged not in the glass substrate 20 but in the organic substrate 10, a glass substrate manufacturing process that requires fine processing and an organic substrate manufacturing process that does not require relatively fine processing are performed. Since it can isolate | separate, a process can be simplified.

なお、以上に説明した電子基板の第1乃至第10の構成例は適宜組み合わせることができる。   The first to tenth structural examples of the electronic substrate described above can be combined as appropriate.

また、本開示の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。   The embodiments of the present disclosure are not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the present disclosure.

本開示は以下のような構成も取ることができる。
(1)
第1の配線基板上に半導体チップが搭載されて成る機能モジュールと、
並列に配された複数の前記機能モジュールが接続されており、薄膜コンデンサから成る層を有する第2の配線基板とを備え、
前記薄膜コンデンサは、並列に配された前記複数の機能モジュールに跨って配置されている
電子機器。
(2)
前記第1の配線基板と前記第2の配線基板は、コア材が異なる
前記(1)に記載の電子機器。
(3)
前記第1の配線基板のコア材はガラスであり、前記第2の配線基板のコア材は有機材料である
前記(2)に記載の電子機器。
(4)
前記第1の配線基板には、貫通電極が形成されている
前記(1)から(3)のいずれかに記載の電子機器。
(5)
前記第2の配線基板には、前記薄膜コンデンサを挟む対向電極が形成されており、
前記第1の配線基板上の前記半導体チップは、前記対向電極と電気的に接続されている
前記(1)から(4)のいずれかに記載の電子機器。
(6)
前記第2の配線基板の前記対向電極は、一方はべた電極であり、他方は分割されたパターニング電極である
前記(5)に記載の電子機器。
(7)
前記第2の配線基板には、前記機能モジュールが積層されている
前記(1)から(6)のいずれかに記載の電子機器。
(8)
前記第2の配線基板の対向する面それぞれには、前記機能モジュールが接続されている
前記(1)から(7)のいずれかに記載の電子機器。
(9)
前記機能モジュールは、前記第2の配線基板の凹部位に接続されている
前記(1)から(8)のいずれかに記載の電子機器。
(10)
前記第2の配線基板には、前記前記機能モジュールを接続するための標準化されたランドパターンが形成されている
前記(1)から(9)のいずれかに記載の電子機器。
(11)
前記ランドパターンは、少なくともデジタル電源用端子、信号端子、アナログ電源端子、およびGND端子を含む
前記(10)に記載の電子機器。
This indication can also take the following composition.
(1)
A functional module comprising a semiconductor chip mounted on a first wiring board;
A plurality of the functional modules arranged in parallel are connected, and a second wiring board having a layer made of a thin film capacitor;
The thin film capacitor is an electronic device arranged across the plurality of functional modules arranged in parallel.
(2)
The electronic device according to (1), wherein the first wiring board and the second wiring board have different core materials.
(3)
The electronic device according to (2), wherein the core material of the first wiring board is glass, and the core material of the second wiring board is an organic material.
(4)
The through-electrode is formed in the first wiring board. The electronic apparatus according to any one of (1) to (3).
(5)
A counter electrode sandwiching the thin film capacitor is formed on the second wiring board,
The electronic device according to any one of (1) to (4), wherein the semiconductor chip on the first wiring board is electrically connected to the counter electrode.
(6)
One of the counter electrodes of the second wiring board is a solid electrode, and the other is a divided patterning electrode. The electronic apparatus according to (5).
(7)
The electronic device according to any one of (1) to (6), wherein the functional module is stacked on the second wiring board.
(8)
The electronic device according to any one of (1) to (7), wherein the functional module is connected to each of opposing surfaces of the second wiring board.
(9)
The electronic device according to any one of (1) to (8), wherein the functional module is connected to a recessed portion of the second wiring board.
(10)
The electronic device according to any one of (1) to (9), wherein a standardized land pattern for connecting the functional module is formed on the second wiring board.
(11)
The electronic device according to (10), wherein the land pattern includes at least a digital power supply terminal, a signal terminal, an analog power supply terminal, and a GND terminal.

10 有機基板, 11 パターニング電極, 12 薄膜コンデンサ, 13 べた電極, 20 ガラス基板, 21 貫通電極, 22,23 半田接合部, 31 半導体チップ, 41 機能モジュール, 71 アンダーフィル材, 81 低熱伝導材, 82 高熱伝導材, 100 機能モジュールランドパターン, 101 デジタル電源端子, 102 信号性端子, 103 アナログ電源端子, 104 GND端子   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Organic substrate, 11 Patterning electrode, 12 Thin film capacitor, 13 Solid electrode, 20 Glass substrate, 21 Through electrode, 22, 23 Solder joint part, 31 Semiconductor chip, 41 Functional module, 71 Underfill material, 81 Low heat conductive material, 82 High thermal conductivity material, 100 functional module land pattern, 101 digital power terminal, 102 signal terminal, 103 analog power terminal, 104 GND terminal

Claims (11)

第1の配線基板上に半導体チップが搭載されて成る機能モジュールと、
並列に配された複数の前記機能モジュールが接続されており、薄膜コンデンサから成る層を有する第2の配線基板とを備え、
前記薄膜コンデンサは、並列に配された前記複数の機能モジュールに跨って配置されている
電子機器。
A functional module comprising a semiconductor chip mounted on a first wiring board;
A plurality of the functional modules arranged in parallel are connected, and a second wiring board having a layer made of a thin film capacitor;
The thin film capacitor is an electronic device arranged across the plurality of functional modules arranged in parallel.
前記第1の配線基板と前記第2の配線基板は、コア材が異なる
請求項1に記載の電子機器。
The electronic device according to claim 1, wherein the first wiring board and the second wiring board have different core materials.
前記第1の配線基板のコア材はガラスであり、前記第2の配線基板のコア材は有機材料である
請求項2に記載の電子機器。
The electronic device according to claim 2, wherein the core material of the first wiring board is glass, and the core material of the second wiring board is an organic material.
前記第1の配線基板には、貫通電極が形成されている
請求項2に記載の電子機器。
The electronic device according to claim 2, wherein a through electrode is formed on the first wiring board.
前記第2の配線基板には、前記薄膜コンデンサを挟む対向電極が形成されており、
前記第1の配線基板上の前記半導体チップは、前記対向電極と電気的に接続されている
請求項2に記載の電子機器。
A counter electrode sandwiching the thin film capacitor is formed on the second wiring board,
The electronic device according to claim 2, wherein the semiconductor chip on the first wiring board is electrically connected to the counter electrode.
前記第2の配線基板の前記対向電極は、一方はべた電極であり、他方は分割されたパターニング電極である
請求項5に記載の電子機器。
The electronic apparatus according to claim 5, wherein one of the counter electrodes of the second wiring board is a solid electrode and the other is a divided patterning electrode.
前記第2の配線基板には、前記機能モジュールが積層されている
請求項2に記載の電子機器。
The electronic device according to claim 2, wherein the functional module is stacked on the second wiring board.
前記第2の配線基板の対向する面それぞれには、前記機能モジュールが接続されている
請求項2に記載の電子機器。
The electronic device according to claim 2, wherein the functional module is connected to each of the opposing surfaces of the second wiring board.
前記機能モジュールは、前記第2の配線基板の凹部位に接続されている
請求項2に記載の電子機器。
The electronic device according to claim 2, wherein the functional module is connected to a recessed portion of the second wiring board.
前記第2の配線基板には、前記前記機能モジュールを接続するための標準化されたランドパターンが形成されている
請求項2に記載の電子機器。
The electronic device according to claim 2, wherein a standardized land pattern for connecting the functional module is formed on the second wiring board.
前記ランドパターンは、少なくともデジタル電源用端子、信号端子、アナログ電源端子、およびGND端子を含む
請求項2に記載の電子機器。
The electronic device according to claim 2, wherein the land pattern includes at least a digital power supply terminal, a signal terminal, an analog power supply terminal, and a GND terminal.
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