JP2016219670A - Wiring board, board for electronic device and multi-piece wiring board - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a wiring board in which variation in the thickness of an electroless plating coat deposited on an electrode pad is small, and to provide a board for electronic device and a multi-piece wiring board.SOLUTION: A wiring board 10 has an insulating board 4 including a pair of principal surfaces, a first internal conductor 11 provided in the insulating board 4 and a second internal conductor 22 having a volume larger than that of the first internal conductor 11, a first electrode pad 1 provided on at least one of the pair of principal surfaces of the insulating board 4, and connected electrically with the first internal conductor 11, a second electrode pad 2 provided on at least the other of the pair of principal surfaces of the insulating board 4, and connected electrically with the second internal conductor 22, and a dummy conductor 3 provided on the outer surface of the insulating board 4, and connected with the second internal conductor 22.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、絶縁基板の主面に設けられた電極パッドを有する配線基板、電子装置用基板および多数個取り配線基板に関するものである。   The present invention relates to a wiring substrate having an electrode pad provided on a main surface of an insulating substrate, a substrate for an electronic device, and a multi-cavity wiring substrate.

IC、LSI等の半導体集積回路素子、LD(半導体レーザーダイオード)、LED(発光ダイオード)、PD(フォトダイオード)、イメージセンサ等の光半導体素子およびその他の種々の電子部品を搭載する配線基板として、次のようなものが多用されている。すなわち、ガラスセラミック質焼結体等からなる四角板状等の絶縁基板と、絶縁基板の主面等に銅または銀等の金属材料を用いて設けられた電極パッドと、絶縁基板の内部に設けられた内部導体等を含む配線導体とを有するものが多用されている。電極パッドに電子部品および外部回路基板の信号用または接地用等の電極が接続される。電極パッドは、対応する内部導体に電気的に接続されている。   As a circuit board for mounting semiconductor integrated circuit elements such as IC and LSI, optical semiconductor elements such as LD (semiconductor laser diode), LED (light emitting diode), PD (photodiode), image sensor and other various electronic components, The following are frequently used. In other words, an insulating substrate such as a square plate made of a glass ceramic sintered body, an electrode pad provided using a metal material such as copper or silver on the main surface of the insulating substrate, and the like provided inside the insulating substrate A wiring conductor including a wiring conductor including an internal conductor is often used. Electrode parts and electrodes for signal or grounding of the external circuit board are connected to the electrode pads. The electrode pad is electrically connected to the corresponding internal conductor.

上記配線基板は、電極パッドの露出表面に、ニッケル、銅および金等の金属材料からなるめっき被膜が被着されて電子装置用基板になる。このめっき被膜は、電極パッドの露出表面の酸化を抑制し、電子部品および外部回路基板との接続に使用されるはんだ材料等との接続強度を向上させる。接続強度の向上のためには、所定の厚みのめっき被膜が必要である。   The wiring board is a substrate for an electronic device in which a plating film made of a metal material such as nickel, copper and gold is attached to the exposed surface of the electrode pad. This plating film suppresses oxidation of the exposed surface of the electrode pad, and improves the connection strength with a solder material or the like used for connection to the electronic component and the external circuit board. In order to improve the connection strength, a plating film having a predetermined thickness is required.

無電解めっき法でめっき被膜を被着させる場合、通電による電子ではなく、めっき液に含まれる還元剤の酸化によって放出される電子によりめっき被膜を被着させるため、電気めっき法に比べてめっき被膜の厚みばらつきの低減に対して有効であることが知られている。電子は、電極パッドおよび内部導体等を介して(具体的には電極パッドおよび内部導体等における自由電子の移動によって)、被めっき面である電極パッドの露出表面においてめっき液中のめっき金属(イオン)に供給される。   When depositing a plating film by electroless plating, the plating film is deposited by electrons released by oxidation of the reducing agent contained in the plating solution, not by electrons due to energization. It is known to be effective for reducing the thickness variation of the steel. Electrons are plated metal (ion ions) in the plating solution on the exposed surface of the electrode pad, which is the surface to be plated, via the electrode pad and the internal conductor (specifically, by movement of free electrons in the electrode pad and the internal conductor). ).

例えば、このような絶縁基板は複数の絶縁層が積層されてなる四角板状の形状である。この絶縁基板の主面のうち、無電解ニッケルめっき被膜および無電解金めっき被膜が順に被着された電極パッドが設けられた部位に電子部品の搭載部が設けられる。この電極パッドに電子部品がはんだ材料等の接続材によって電気的および機械的に接続される。すなわち、搭載部に電子部品が搭載され、搭載された電子部品は、電極パッドおよび内部導体と電気的に接続される。また、必要に応じて、電子部品を保護するための樹脂モールドや金属蓋体等が電子装置用基板に接合されて電子装置となる。   For example, such an insulating substrate has a square plate shape in which a plurality of insulating layers are stacked. Of the main surface of the insulating substrate, an electronic component mounting portion is provided at a portion where an electrode pad to which an electroless nickel plating film and an electroless gold plating film are sequentially applied is provided. An electronic component is electrically and mechanically connected to the electrode pad by a connecting material such as a solder material. That is, an electronic component is mounted on the mounting portion, and the mounted electronic component is electrically connected to the electrode pad and the internal conductor. In addition, if necessary, a resin mold, a metal lid, or the like for protecting the electronic component is bonded to the electronic device substrate to form an electronic device.

また、近年、電子装置の小型化の要求に伴って、配線基板は小型化されており、小型の配線基板を効率よく製作するために、多数個取り配線基板が用いられている。多数個取り配線基板は、母基板の中央部に上記のような配線基板となる複数の配線基板領域が互いに縦横に配列されて形成されたものである(たとえば、特許文献1参照)。   In recent years, with the demand for miniaturization of electronic devices, wiring boards have been miniaturized, and multi-cavity wiring boards are used in order to efficiently produce small-sized wiring boards. The multi-cavity wiring board is formed by arranging a plurality of wiring board regions to be the wiring boards as described above at the center of the mother board in the vertical and horizontal directions (see, for example, Patent Document 1).

特開平7−30251号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 7-30251 特開2001−291966号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2001-291966 特開2003−96573号公報JP 2003-96573 A

配線基板の小型化に伴い、電極パッドも小型化している。電子部品および外部電気回路等と電極パッドとの接続強度を所定の強度とするためには、複数の電極パッドの露出表面に無電解めっき法で被着されるめっき被膜(無電解めっき被膜)の厚みのばらつきをより一層小さくすることが必要である。   With the miniaturization of the wiring board, the electrode pads are also miniaturized. In order to make the connection strength between an electronic component and an external electric circuit, etc. and an electrode pad a predetermined strength, a plating film (electroless plating film) deposited on the exposed surface of a plurality of electrode pads by an electroless plating method It is necessary to further reduce the thickness variation.

しかしながら、電極パッドの露出表面に無電解めっき被膜を被着させる場合、電極パッドに電気的に接続されている内部導体の体積の違いによって、無電解めっき被膜の厚みがばらつく可能性があった。これは、以下のような機構によるものと考えられる。複数の電極パッドにおいて、内部導体から電極パッドの露出面近傍に移動することができる電子(自由電子)の数が相違する。そのため、より大きい体積の内部導体が接続された電極パッドの方に、その内部導体から、無電解めっき被膜の還元析出に必要な電子がより安定して(早い速度で)供給される。この電子の供給の差、つまりはめっき速度の差によって、上記の無電解めっき被膜の厚みがばらつきが生じる可能性があった。   However, when the electroless plating film is applied to the exposed surface of the electrode pad, the thickness of the electroless plating film may vary depending on the volume of the internal conductor electrically connected to the electrode pad. This is considered to be due to the following mechanism. In the plurality of electrode pads, the number of electrons (free electrons) that can move from the inner conductor to the vicinity of the exposed surface of the electrode pad is different. Therefore, electrons necessary for reduction deposition of the electroless plating film are supplied more stably (at a high speed) to the electrode pad to which a larger volume of the inner conductor is connected. Due to the difference in the supply of electrons, that is, the difference in the plating speed, the thickness of the electroless plating film may vary.

本発明の一つの態様による配線基板は、一対の主面を含む外表面を有する絶縁基板と、該絶縁基板の内部に設けられた第1内部導体および該第1内部導体よりも体積が大きい第2内部導体と、前記絶縁基板の前記一対の主面の少なくとも一方に設けられており、前記第1内部導体に電気的に接続された第1電極パッドと、前記絶縁基板の前記一対の主面の少なくとも一方に設けられており、前記第2内部導体に電気的に接続された第2電極パッドと、前記絶縁基板の前記外表面に設けられており、前記第2内部導体に接続されたダミー導体とを備えることを特徴とする。   A wiring board according to an aspect of the present invention includes an insulating substrate having an outer surface including a pair of main surfaces, a first inner conductor provided inside the insulating substrate, and a first electrode having a volume larger than that of the first inner conductor. Two inner conductors, a first electrode pad provided on at least one of the pair of main surfaces of the insulating substrate and electrically connected to the first inner conductor, and the pair of main surfaces of the insulating substrate A second electrode pad electrically connected to the second inner conductor, and a dummy provided on the outer surface of the insulating substrate and connected to the second inner conductor. And a conductor.

本発明の一つの態様による電子装置用基板は、上記構成を有する配線基板と、前記第1電極パッドおよび前記第2電極パッドの露出表面に被着された無電解めっき被膜とを備えており、前記一対の主面のうち、前記第1電極パッドおよび前記第2電極パッドが設けられた部位に電子部品の搭載部を有することを特徴とする。   An electronic device substrate according to an aspect of the present invention includes a wiring substrate having the above-described configuration, and an electroless plating film deposited on exposed surfaces of the first electrode pad and the second electrode pad, Of the pair of main surfaces, an electronic component mounting portion is provided at a portion where the first electrode pad and the second electrode pad are provided.

本発明の一つの態様による多数個取り配線基板は、互いに縦横の並びに配列された複数の配線基板領域および該複数の配線基板領域を囲むダミー領域を有しているとともに、主面を含む外表面を有する母基板と、それぞれの前記配線基板領域において前記母基板の内部に設けられた第1内部導体および該第1内部導体よりも体積が大きい第2内部導体と、それぞれの前記配線基板領域において前記母基板の前記主面に設けられており、前記母基板の前記第1内部導体に電気的に接続された第1電極パッドと、それぞれの前記配線基板領域において前記母基板の前記主面に設けられており、前記母基板の前記第2内部導体に電気的に接続された第2電極パッドと、前記ダミー領域において前記母基板の前記外表面に設けられており、前記第2内部導体と電気的に接続されているダミー導体とを備えることを特徴とする。   A multi-piece wiring board according to an aspect of the present invention includes a plurality of wiring board regions arranged vertically and horizontally, a dummy region surrounding the plurality of wiring board regions, and an outer surface including a main surface A mother board having a first inner conductor provided inside the mother board in each of the wiring board regions, a second inner conductor having a volume larger than the first inner conductor, and in each of the wiring board regions A first electrode pad provided on the main surface of the mother board and electrically connected to the first inner conductor of the mother board; and on the main surface of the mother board in each of the wiring board regions. A second electrode pad electrically connected to the second inner conductor of the mother board, and provided on the outer surface of the mother board in the dummy region, Characterized in that it comprises a conductor electrically connected to it are dummy conductors.

本発明の一つの態様による配線基板は、第1内部導体よりも体積が大きい第2内部導体にダミー導体が接続されていることから、無電解めっき被膜を形成する際に第2内部導体から第2電極パッドの露出表面に移動する電子をダミー導体露出表面に分散させることができる。そのため、第2電極パッドの露出表面に被着する無電解めっき被膜の厚みを従来よりも低減することができる。これによって、第2電極パッドの露出表面に被着される無電解めっき被膜の厚みを、第1電極パッドの露出表面に被着するめっき被膜の厚みに近づけることできる。したがって、第1電極パッドおよび第2電極パッドに、それぞれに厚みのばらつきを小さくして無電解めっき被膜を被着させることが容易な配線基板を提供することができる。   In the wiring board according to one aspect of the present invention, the dummy conductor is connected to the second inner conductor having a volume larger than that of the first inner conductor. Electrons that move to the exposed surface of the two-electrode pad can be dispersed on the exposed surface of the dummy conductor. Therefore, the thickness of the electroless plating film deposited on the exposed surface of the second electrode pad can be reduced as compared with the conventional case. Thereby, the thickness of the electroless plating film deposited on the exposed surface of the second electrode pad can be made closer to the thickness of the plating film deposited on the exposed surface of the first electrode pad. Therefore, it is possible to provide a wiring board that can easily apply the electroless plating film to the first electrode pad and the second electrode pad with reduced thickness variation.

本発明の一つの態様による電子装置用基板は、上記構成の配線基板を有していることから、第1電極パッドおよび第2電極パッドに被着された無電解めっき被膜の厚みのばらつきが小さい電子装置用基板を提供することができる。   Since the substrate for an electronic device according to one aspect of the present invention has the wiring substrate configured as described above, variations in the thickness of the electroless plating film deposited on the first electrode pad and the second electrode pad are small. An electronic device substrate can be provided.

本発明の一つの態様による多数個取り配線基板は、上記の配線基板と同様に第1電極パッドおよび第2電極パッドに、厚みばらつきを小さくして無電解めっき被膜を被着させることができる。また、そのダミー導体をダミー領域に形成できることから、配線基板領域(個片の配線基板)にダミー導体を設ける必要がない。さらに、より広い露出面積のダミー導体を設けることが容易である。したがって、個片の配線基板としての小型化および高密度化がより容易であり、第1電極パッドおよび第2電極パッドに被着されるめっき厚みのばらつきが小さい多数個取り配線基板を提供することができる。   In the multi-piece wiring board according to one aspect of the present invention, the electroless plating film can be applied to the first electrode pad and the second electrode pad with a small thickness variation in the same manner as the wiring board described above. Further, since the dummy conductor can be formed in the dummy area, it is not necessary to provide the dummy conductor in the wiring board area (individual piece of wiring board). Furthermore, it is easy to provide a dummy conductor having a wider exposed area. Accordingly, it is possible to provide a multi-piece wiring board that can be easily reduced in size and increased in density as a single wiring board and has a small variation in plating thickness applied to the first electrode pad and the second electrode pad. Can do.

(a)は本発明の実施形態の配線基板における一方主面の平面図であり、(b)は(a)の他方主面の平面図であり、(c)は(a)のA−A線における断面図である。(A) is a top view of one main surface in the wiring board of embodiment of this invention, (b) is a top view of the other main surface of (a), (c) is AA of (a). It is sectional drawing in a line. (a)は本発明の実施形態の多数個取り配線基板における一方主面の平面図であり、(b)は(a)の他方主面の平面図であり、(c)は(a)のB−B線における断面図である。(A) is a top view of one main surface in the multi-piece wiring board of embodiment of this invention, (b) is a top view of the other main surface of (a), (c) is (a). It is sectional drawing in the BB line. 本発明の実施形態の変形例の多数個取り配線基板における一方主面の平面図である。It is a top view of one main surface in the multi-piece wiring board of the modification of the embodiment of the present invention.

本発明の配線基板、電子装置用基板および多数個取り配線基板について、添付の図面を参照して説明する。なお、以下の説明における上下の区別は便宜的なものであり、実際に配線基板等が使用されるときの上下を限定するものではない。また、以下の説明において、簡単のため、無電解めっき被膜を単にめっき被膜という場合がある。   A wiring board, an electronic device board, and a multi-piece wiring board according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. Note that the distinction between the upper and lower sides in the following description is for convenience, and does not limit the upper and lower sides when a wiring board or the like is actually used. In the following description, for the sake of simplicity, the electroless plating film may be simply referred to as a plating film.

図1(a)は本発明の実施形態の配線基板および電子装置用基板の一方主面の平面図であり、図1(b)は図1(a)の他方主面の平面図であり、図1(c)は図1(a)のA−A線における断面図である。第1電極パッド1、第2電極パッド2、第1内部導体11、第2内部導体22およびダミー導体3が絶縁基板4の外表面または内部に設けられて配線基板10が基本的に形成されている。   1A is a plan view of one main surface of a wiring board and an electronic device substrate according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a plan view of the other main surface of FIG. FIG.1 (c) is sectional drawing in the AA line of Fig.1 (a). The first electrode pad 1, the second electrode pad 2, the first inner conductor 11, the second inner conductor 22 and the dummy conductor 3 are provided on the outer surface or inside of the insulating substrate 4 to basically form the wiring substrate 10. Yes.

また、この配線基板10の第1電極パッド1および第2電極パッド2およびダミー導体3のそれぞれの露出表面に無電解めっき被膜(めっき被膜)が被着されて電子装置用基板20が形成される。なお、めっき被膜は、第1電極パッド1および第2電極パッド2およびダミー導体3等に比べて非常に厚みの薄いものであり、図を見やすくするために図示を省略している。   Further, an electroless plating film (plating film) is deposited on the exposed surfaces of the first electrode pad 1, the second electrode pad 2, and the dummy conductor 3 of the wiring substrate 10 to form the electronic device substrate 20. . The plating film is much thinner than the first electrode pad 1, the second electrode pad 2, the dummy conductor 3, and the like, and is not shown for easy understanding of the drawing.

絶縁基板4は、例えば四角板状(平板状)であり、一方主面(図1の例では上面)および他方主面(図1の例では下面)との一対の主面、および一対の主面を含む外表面(一対の主面以外の側面等を含む)を有している。また、この実施形態の例では、絶縁基板4はガラスセラミック焼結体等からなる複数の絶縁層(絶縁層としては符号なし)が互いに上下に積層されて形成されている。   The insulating substrate 4 has, for example, a square plate shape (flat plate shape), a pair of main surfaces with one main surface (upper surface in the example of FIG. 1) and the other main surface (lower surface in the example of FIG. 1), and a pair of main surfaces. It has an outer surface including a surface (including side surfaces other than a pair of main surfaces). In the example of this embodiment, the insulating substrate 4 is formed by laminating a plurality of insulating layers (not indicated as an insulating layer) made of a glass ceramic sintered body or the like on top of each other.

絶縁基板4は、電子部品(図示せず)を搭載して固定するための基体として機能する。また、絶縁基板4は、電子部品と電気的に接続される導体(第1および第2電極パッド1、2等)を、互いの電気的な短絡を避けて配置するための基体等としても機能する。   The insulating substrate 4 functions as a base for mounting and fixing electronic components (not shown). The insulating substrate 4 also functions as a base for arranging conductors (first and second electrode pads 1, 2, etc.) that are electrically connected to the electronic components while avoiding mutual electrical short-circuiting. To do.

絶縁基板4の一方主面に設けられた第1電極パッド1および第2電極パッド2は、電子部品を電気的に接続させるための導体部分である。例えば、電子部品が有する信号用、接地用および電源用等の電極が、それぞれに第1電極パッド1および第2電極パッド2の対応するものに対向して、はんだ等の導電性接続材を介して互いに電気的および機械的に接続される。   The first electrode pad 1 and the second electrode pad 2 provided on one main surface of the insulating substrate 4 are conductor portions for electrically connecting electronic components. For example, the signal, grounding, and power supply electrodes of the electronic component face the corresponding ones of the first electrode pad 1 and the second electrode pad 2, respectively, through a conductive connection material such as solder. Connected to each other electrically and mechanically.

絶縁基板4は、例えば、ガラスセラミック焼結体、酸化アルミニウム質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、炭化珪素質焼結体、窒化珪素質焼結体またはムライト質焼結体等のセラミック焼結体によって形成されている。   The insulating substrate 4 is made of, for example, a ceramic ceramic such as a glass ceramic sintered body, an aluminum oxide sintered body, an aluminum nitride sintered body, a silicon carbide sintered body, a silicon nitride sintered body, or a mullite sintered body. It is formed by ligation.

絶縁基板4は、例えばガラスセラミック焼結体からなる場合であれば、次のようにして製作することができる。まず、酸化ケイ素、酸化ホウ素および酸化アルミニウム等の粉末を主成分とする原料粉末を、有機溶剤、バインダと混練するとともに、ドクターブレード法やリップコータ法等の成形方法でシート状に成形してガラスセラミックグリーンシート(以下、グリーンシートという)を作製する。次に、複数のグリーンシートを積層した後、約900〜1000℃程度の焼成温度で焼成することによって絶縁基板4を製作することがで
きる。
If the insulating substrate 4 is made of, for example, a glass ceramic sintered body, it can be manufactured as follows. First, a raw material powder composed mainly of powders of silicon oxide, boron oxide, aluminum oxide and the like is kneaded with an organic solvent and a binder, and formed into a sheet shape by a molding method such as a doctor blade method or a lip coater method, and then glass ceramic. A green sheet (hereinafter referred to as a green sheet) is prepared. Next, after laminating a plurality of green sheets, the insulating substrate 4 can be manufactured by firing at a firing temperature of about 900 to 1000 ° C.

第1電極パッド1および第2電極パッド2は、例えば、銅、銀、パラジウム、金、白金タングステン、モリブデンもしくはマンガン等の金属材料、またはこれらの金属材料を主成分とする合金材料もしくは混合材料等によって形成されている。   The first electrode pad 1 and the second electrode pad 2 are, for example, a metal material such as copper, silver, palladium, gold, platinum tungsten, molybdenum, or manganese, or an alloy material or a mixed material containing these metal materials as a main component. Is formed by.

第1電極パッド1および第2電極パッド2は、例えば、銅等の金属材料の粉末を有機溶剤およびバインダとともに混練して金属ペーストを作製し、この金属ペーストを絶縁基板4となるグリーンシートに所定パターンで印刷し、同時焼成することによって形成することができる。   For example, the first electrode pad 1 and the second electrode pad 2 are prepared by kneading a metal material powder such as copper together with an organic solvent and a binder to produce a metal paste. It can be formed by printing with a pattern and co-firing.

絶縁基板4の内部に設けられた第1内部導体11および第2内部導体22は、それぞれ対応する第1電極パッド1または第2電極パッド2と電気的に接続されて、これらを他の導体に電気的接続させるための導電路として機能する。すなわち、図1に示すように、第1電極パッド1が第1内部導体11と電気的に接続され、第2電極パッド2が第2内部導体22と電気的に接続されている。   The first inner conductor 11 and the second inner conductor 22 provided inside the insulating substrate 4 are electrically connected to the corresponding first electrode pad 1 or second electrode pad 2, respectively, and these are used as other conductors. It functions as a conductive path for electrical connection. That is, as shown in FIG. 1, the first electrode pad 1 is electrically connected to the first inner conductor 11, and the second electrode pad 2 is electrically connected to the second inner conductor 22.

第1電極パッド1と第1内部導体11との電気的な接続、および第2電極パッド2と第2内部導体22との電気的な接続は、例えば第1内部導体11および第2内部導体22の一部であるビア導体(ビア導体としては符号なし)の部分によって行なわれている。ビア導体は、第1内部導体11および第2内部導体22のうち絶縁層を厚み方向に貫通している部分である。各々の絶縁層を貫通しているビア導体は、絶縁層間において、配線導体の一部であるパターン導体(パターン導体としては符号なし)に接続されている。   The electrical connection between the first electrode pad 1 and the first internal conductor 11 and the electrical connection between the second electrode pad 2 and the second internal conductor 22 are, for example, the first internal conductor 11 and the second internal conductor 22. This is performed by a portion of a via conductor (no sign as a via conductor). The via conductor is a portion of the first inner conductor 11 and the second inner conductor 22 that penetrates the insulating layer in the thickness direction. Via conductors penetrating each insulating layer are connected to a pattern conductor (not designated as a pattern conductor) which is a part of the wiring conductor between the insulating layers.

第1内部導体11は、この実施形態においては電子部品の信号用電極と電気的に接続される線路状のパターンで形成された信号用の導電路である。線路状のパターンには、上述のビア導体および、ビア導体同士を絶縁層間で接続するために設けたランド導体(図示せず)も含まれる。この第1内部導体11は、例えば、後述するアンテナ素子形成部5に配置されたアンテナ素子(素子としては図示せず)の給電部(図示せず)に電気的に接続されている。すなわち、信号用の導電路の端部にアンテナ素子の給電部が形成されている。これによって、電子部品の信号用電極と、アンテナ素子の給電部とが互いに電気的に接続されて信号の授受ができるようになる。また、第1内部導体11は、さらに外部電気回路の接地用回路または電源用回路等と電気的に接続されるものが含まれていてもよい。   In this embodiment, the first inner conductor 11 is a signal conductive path formed in a line-like pattern that is electrically connected to a signal electrode of an electronic component. The line-shaped pattern includes the above-described via conductors and land conductors (not shown) provided to connect the via conductors between the insulating layers. The first inner conductor 11 is electrically connected to, for example, a power feeding portion (not shown) of an antenna element (not shown as an element) arranged in an antenna element forming portion 5 described later. That is, the feeding portion of the antenna element is formed at the end of the signal conductive path. As a result, the signal electrode of the electronic component and the power feeding portion of the antenna element are electrically connected to each other so that signals can be exchanged. The first inner conductor 11 may further include one that is electrically connected to a grounding circuit or a power supply circuit of an external electric circuit.

第2内部導体22は、この実施形態においては電子部品の接地用電極または電源用電極と電気的に接続される接地用または電源用のビア導体および、平面視で第1電極パッド1および第2電極パッド2よりも大きい面状の導体層(いわゆるべたパターン状等)を含む。これによって、電子部品の接地用電極または電源用電極における接地または電源の電位が強化される。また、第2内部導体22は、さらに外部電気回路の接地用回路または電源用回路等と電気的に接続されるものが含まれていてもよい。第2内部導体22は、上記のように比較的広い面積であるため、第1内部導体11よりも体積が大きい。   In this embodiment, the second inner conductor 22 is a grounding or power supply via conductor that is electrically connected to a grounding electrode or a power supply electrode of an electronic component, and the first electrode pad 1 and the second electrode in plan view. A planar conductor layer (so-called solid pattern or the like) larger than the electrode pad 2 is included. As a result, the potential of the ground or power supply at the grounding electrode or power supply electrode of the electronic component is enhanced. The second inner conductor 22 may further include one that is electrically connected to a grounding circuit or a power supply circuit of an external electric circuit. Since the second inner conductor 22 has a relatively large area as described above, its volume is larger than that of the first inner conductor 11.

第1内部導体11および第2内部導体22は、例えば、第1電極パッド1および第2電極パッド2と同様の金属材料を用い、同様の方法で形成することができる。第1内部導体11および第2内部導体22と、第1電極パッド1および第2電極パッド2とは、互いに同じ金属材料からなるものであってもよく、互いに異なる金属材料からなるものであってもよい。例えば、第1内部導体11および第2内部導体22が銀または銀を主成分とする合金材料からなり、第1電極パッド1および第2電極パッド2が銅または銅を主成分とする合金材料からなるものであってもよい。   The first inner conductor 11 and the second inner conductor 22 can be formed by using the same metal material as that of the first electrode pad 1 and the second electrode pad 2 and the same method, for example. The first inner conductor 11 and the second inner conductor 22, and the first electrode pad 1 and the second electrode pad 2 may be made of the same metal material or different metal materials. Also good. For example, the first inner conductor 11 and the second inner conductor 22 are made of silver or an alloy material containing silver as a main component, and the first electrode pad 1 and the second electrode pad 2 are made of copper or an alloy material containing copper as a main component. It may be.

なお、第1内部導体11および第2内部導体22のうち絶縁層を厚み方向に貫通しているビア導体の部分は、例えば、あらかじめ絶縁基板4(絶縁層)となるグリーンシートに機械的な孔あけ加工またはレーザ加工によって貫通孔を形成しておき、この貫通孔内に上記の金属ペーストを充填して同時焼成することによって形成することができる。   Of the first inner conductor 11 and the second inner conductor 22, the via conductor portion that penetrates the insulating layer in the thickness direction is, for example, a mechanical hole in the green sheet that becomes the insulating substrate 4 (insulating layer) in advance. A through-hole can be formed by drilling or laser processing, and the metal paste can be filled in the through-hole and simultaneously fired.

前述したように、第1電極パッド1、第2電極パッド2およびダミー導体3の露出表面にめっき被膜が被着されて電子装置用基板20が形成されている。この場合、絶縁基板4の一対の主面のうち第1電極パッド1および第2電極パッド2が設けられた部位が電子部品の搭載部となる。例えば図1(a)の例において、絶縁基板4の上面(一方主面)のうち第1および第2電極パッド1、2が設けられた部分を外周位置とする四角形状の領域が電子部品の搭載部である。   As described above, an electronic device substrate 20 is formed by depositing a plating film on the exposed surfaces of the first electrode pad 1, the second electrode pad 2 and the dummy conductor 3. In this case, a portion of the pair of main surfaces of the insulating substrate 4 where the first electrode pad 1 and the second electrode pad 2 are provided is an electronic component mounting portion. For example, in the example of FIG. 1A, a rectangular region having an outer peripheral position at a portion where the first and second electrode pads 1 and 2 are provided on the upper surface (one main surface) of the insulating substrate 4 is an electronic component. It is a mounting part.

めっき被膜は、例えばニッケル、銅および金等の金属材料、またはこれらの金属材料を含む合金材料等によって形成されている。例えば、第1電極パッド1および第2電極パッド2がスズ−銀等のはんだによって電子部品の電極と接続されるものである場合には、第1電極パッド1および第2電極パッド2それぞれの露出表面から順に、ニッケルめっき被膜および金めっき被膜が被着される。これらの金属材料は、無電解めっき法によって形成されている。無電解めっき法によってめっき被膜が形成されていることによって、例えば電気めっき法の場合のようなめっき用の引き出し線が不要であるため、配線基板10および電子装置用基板20としての小型化および高密度化が容易になっている。   The plating film is formed of, for example, a metal material such as nickel, copper, and gold, or an alloy material including these metal materials. For example, when the first electrode pad 1 and the second electrode pad 2 are connected to the electrodes of the electronic component by solder such as tin-silver, the exposure of the first electrode pad 1 and the second electrode pad 2 respectively. A nickel plating film and a gold plating film are applied in order from the surface. These metal materials are formed by an electroless plating method. Since the plating film is formed by the electroless plating method, there is no need for a lead wire for plating as in the case of the electroplating method, for example. Therefore, the wiring board 10 and the electronic device board 20 can be reduced in size and height. Densification is easy.

めっき被膜は、例えば、ニッケルまたは金等の金属の供給源としての金属塩と、リン系還元剤またはホウ素系還元剤等の還元剤とを主成分とし、安定剤およびpH緩衝剤等の添加剤が添加された水溶液(無電解めっき液)中に配線基板10を浸漬することによって、所定部位に被着される。   The plating film is composed mainly of, for example, a metal salt as a metal supply source such as nickel or gold and a reducing agent such as a phosphorus reducing agent or a boron reducing agent, and an additive such as a stabilizer and a pH buffering agent. By immersing the wiring board 10 in an aqueous solution (electroless plating solution) to which is added, it is deposited on a predetermined site.

また、実施形態の配線基板10は、第1内部導体11よりも体積が大きい第2内部導体22にダミー導体3が接続されている。結果として、ダミー導体3は、第2電極パッド2とも電気的に接続されている。   In the wiring board 10 of the embodiment, the dummy conductor 3 is connected to the second inner conductor 22 having a volume larger than that of the first inner conductor 11. As a result, the dummy conductor 3 is also electrically connected to the second electrode pad 2.

これによって、第2内部導体22から第2電極パッド2の露出表面に移動する電子をダミー導体3の表面に分散させることができる。そのため、第2電極パッド2の露出表面に被着するめっき被膜の厚みを第1電極パッド1の露出表面に被着するめっき被膜の厚みに近
づけることできる。したがって、第1電極パッド1および第2電極パッド2に被着されるめっき厚みのばらつきが小さい配線基板10を提供することができる。
Thereby, electrons moving from the second inner conductor 22 to the exposed surface of the second electrode pad 2 can be dispersed on the surface of the dummy conductor 3. Therefore, the thickness of the plating film deposited on the exposed surface of the second electrode pad 2 can be made closer to the thickness of the plating film deposited on the exposed surface of the first electrode pad 1. Therefore, it is possible to provide the wiring substrate 10 with a small variation in plating thickness applied to the first electrode pad 1 and the second electrode pad 2.

言い換えれば、ダミー導体3は、第1内部導体11と電気的に接続されているとともにめっき被膜が被着される表面(第1電極パッド1の露出表面)に対する第1内部導体11の体積の比と、第2内部導体22と電気的に接続されているとともにめっき被膜が被着される表面(第2電極パッド2とダミー導体3とを合わせた露出表面)に対する第2内部導体22の体積の比との差を低減する機能を有している。   In other words, the dummy conductor 3 is electrically connected to the first inner conductor 11 and the ratio of the volume of the first inner conductor 11 to the surface on which the plating film is deposited (the exposed surface of the first electrode pad 1). And the volume of the second inner conductor 22 with respect to the surface (exposed surface in which the second electrode pad 2 and the dummy conductor 3 are combined) which is electrically connected to the second inner conductor 22 and to which the plating film is applied. It has a function to reduce the difference from the ratio.

また、実施形態の電子装置用基板20は、上記構成の配線基板10を有していることから、第1電極パッド1および第2電極パッド2に被着されためっき被膜の厚み(以下、単にめっき厚みともいう)のばらつきが小さい電子装置用基板20を提供することができる。   In addition, since the electronic device substrate 20 of the embodiment includes the wiring substrate 10 having the above-described configuration, the thickness of the plating film deposited on the first electrode pad 1 and the second electrode pad 2 (hereinafter, simply referred to as “plate electrode coating”). It is possible to provide the electronic device substrate 20 with a small variation in the plating thickness (also referred to as plating thickness).

なお、第1内部導体11および第2内部導体22は、絶縁層間の密着性の向上、および配線基板10としての生産性等の観点から、互いに同じ程度の厚みに設定される。この場合には、上記のような第1内部導体11と第2内部導体22との体積の差は、平面視におけるそれぞれの面積の合計の差とみなすことができる。例えば上記のように、この実施形態では、第1内部導体11が、平面視における面積が比較的小さい線路状のパターンであり、第2内部導体22が、平面視における面積が比較的大きい面状の導体層であることから、互いに面積が大きく異なっている。また、互いに厚みが同じ程度であるため、その面積の差に応じて互いに体積が大きく異なっている。   The first inner conductor 11 and the second inner conductor 22 are set to have the same thickness from the viewpoint of improving the adhesion between the insulating layers and the productivity as the wiring board 10. In this case, the difference in volume between the first inner conductor 11 and the second inner conductor 22 as described above can be regarded as a difference between the respective areas in plan view. For example, as described above, in this embodiment, the first inner conductor 11 is a line-shaped pattern having a relatively small area in plan view, and the second inner conductor 22 is a planar shape having a relatively large area in plan view. Therefore, the areas are greatly different from each other. Further, since the thicknesses are approximately the same, the volumes are greatly different depending on the difference in area.

言い換えれば、互いに体積が異なる第1内部導体11と第2内部導体22とが、互いに平面視における面積が異なる線路状のものと面状のものとであるため、上記のように信号の伝送と、接地および電源の電位の強化(安定)とに適した配線基板10とすることができる。   In other words, since the first inner conductor 11 and the second inner conductor 22 having different volumes are a line-like one and a plane-like one having different areas in plan view, the transmission of signals as described above In addition, the wiring board 10 suitable for grounding and strengthening (stabilizing) the potential of the power source can be obtained.

このように第1内部導体11は線路状のパターンで形成された信号用の配線導体であるときに、第2内部導体22は、平面視で第1電極パッド1および第2電極パッド2よりも大きい面状の接地用または電源用の導体層を含むものであってもよい。この場合には、接地および電源の電位をさらに効果的に強化する上で有利である。   Thus, when the first inner conductor 11 is a signal wiring conductor formed in a line-like pattern, the second inner conductor 22 is more than the first electrode pad 1 and the second electrode pad 2 in plan view. It may include a large planar ground or power source conductor layer. In this case, it is advantageous to further effectively strengthen the ground and power supply potential.

なお、第2内部導体22は、例えばその全域または一部において第1内部導体11よりも厚みが大きい部分を含み、その厚みの差によっても、第1内部導体11よりも体積が大きくなっているものでもよい。このような例としては、例えば、絶縁層の平面視における一部領域に厚み方向に貫通した開口部が設けられ、この開口部に第2内部導体22の一部または全部が絶縁層と同じ程度の厚みで配置されている形態が挙げられる。この第2内部導体22は、必ずしも接地用または電源用ののみに限定されず、放熱用等の機能を有するものであっても構わない。   The second inner conductor 22 includes, for example, a portion that is thicker than the first inner conductor 11 in the entire region or part thereof, and the volume is larger than that of the first inner conductor 11 due to the difference in thickness. It may be a thing. As such an example, for example, an opening portion penetrating in the thickness direction is provided in a partial region in plan view of the insulating layer, and a part or all of the second inner conductor 22 is approximately the same as the insulating layer in the opening portion. The form arrange | positioned by thickness of this is mentioned. The second inner conductor 22 is not necessarily limited to only for grounding or for power supply, and may have a function of heat dissipation or the like.

実施形態の配線基板10および電子装置用基板20について、絶縁基板4の一対の主面のうち一方主面に第1電極パッド1および第2電極パッド2が形成されている。また、絶縁基板4の外表面のうち前記一対の主面と反対側の他方主面にはダミー導体3のみが形成されている。この場合には、より一層体積が大きい(平面視における面積が大きい)ダミー導体3を絶縁基板4の外表面に設けるスペースの確保がより容易である。そのため上記のようなダミー導体3によるめっき厚みのばらつき低減の効果がより有効に得られる。   In the wiring substrate 10 and the electronic device substrate 20 of the embodiment, the first electrode pad 1 and the second electrode pad 2 are formed on one main surface of the pair of main surfaces of the insulating substrate 4. Further, only the dummy conductor 3 is formed on the other main surface opposite to the pair of main surfaces of the outer surface of the insulating substrate 4. In this case, it is easier to secure a space for providing the dummy conductor 3 having a larger volume (large area in plan view) on the outer surface of the insulating substrate 4. Therefore, the effect of reducing variation in plating thickness due to the dummy conductor 3 as described above can be obtained more effectively.

また、この場合には、第1電極パッド1および第2電極パッド2とダミー導体3とが、絶縁基板4の一方主面と他方主面とに分かれて配置されるため、それぞれの配置スペースの確保が容易であり、配線基板10および電子装置用基板20としての設計の自由度等の点でも有利である。   In this case, since the first electrode pad 1 and the second electrode pad 2 and the dummy conductor 3 are arranged separately on one main surface and the other main surface of the insulating substrate 4, It is easy to ensure, and is advantageous in terms of the degree of freedom in design as the wiring board 10 and the electronic device board 20.

また、実施形態の配線基板10および電子装置用基板20は、絶縁基板4の内部に設けられたアンテナ素子形成部5をさらに有している。アンテナ素子形成部5は、例えば、マイクロストリップアンテナ(パッチアンテナ)やホーンアンテナ等のアンテナ部、給電部およびスロット部等を有するアンテナ素子が形成される領域を含む。さらに、ダミー導体3は平面透視でアンテナ素子形成部5と重なっていない。   In addition, the wiring substrate 10 and the electronic device substrate 20 of the embodiment further have an antenna element forming portion 5 provided inside the insulating substrate 4. The antenna element forming portion 5 includes a region where an antenna element having an antenna portion such as a microstrip antenna (patch antenna) or a horn antenna, a feeding portion, a slot portion, and the like is formed. Further, the dummy conductor 3 does not overlap the antenna element forming portion 5 in a plan view.

アンテナ素子形成部5が含まれていることによって、外部電気回路(上記の外部電気回路基板に搭載される他の電子装置または他の電子機器が備える電子回路等)との無線による信号の授受が可能になる。   By including the antenna element forming unit 5, wireless signal transmission / reception with an external electric circuit (an electronic circuit or the like provided in another electronic device or other electronic device mounted on the external electric circuit board) is performed. It becomes possible.

また、このアンテナ素子形成部5がダミー導体3と平面透視で重なっていないため、アンテナ素子形成部5に含まれるアンテナ素子(素子としては図示せず)から送信または受信される信号をダミー導体3が妨げる可能性が低い。例えば、アンテナ素子形成部5にパッチアンテナの複数のアンテナ部が縦横に配列されている場合に、アンテナ部間にダミー導体3を設けたとき、すなわち、アンテナ素子形成部5がダミー導体3と平面透視で重なっているときには、この重なりに起因した互いの電磁的な干渉や、アンテナ部を覆う絶縁層の厚みのばらつきに起因して、アンテナ特性の向上が難しい。これに対して、このように重ならないようにすることでアンテナ特性をより効果的に高くすることができる。   Further, since this antenna element forming portion 5 does not overlap with the dummy conductor 3 in plan view, a signal transmitted or received from an antenna element (not shown as an element) included in the antenna element forming portion 5 is transmitted to the dummy conductor 3. Is less likely to interfere. For example, when a plurality of patch antennas are arranged vertically and horizontally on the antenna element forming portion 5, when the dummy conductor 3 is provided between the antenna portions, that is, the antenna element forming portion 5 is flat with the dummy conductor 3. When they are overlapped with each other, it is difficult to improve the antenna characteristics due to electromagnetic interference with each other due to the overlap and variations in the thickness of the insulating layer covering the antenna portion. On the other hand, antenna characteristics can be improved more effectively by avoiding such overlapping.

本発明の実施形態の多数個取り配線基板の一例を図2に示す。図2(a)は本発明の実施形態の多数個取り配線基板30における一方主面の平面図であり、図2(b)は図2(a)の他方主面の平面図であり、図2(c)は図2(a)のB−B線における断面図である。   An example of the multi-piece wiring board of the embodiment of the present invention is shown in FIG. 2A is a plan view of one main surface of the multi-piece wiring board 30 according to the embodiment of the present invention, and FIG. 2B is a plan view of the other main surface of FIG. 2A. 2 (c) is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 2 (a).

実施形態の多数個取り配線基板30は、例えば、ダミー導体3以外については実施形態の配線基板10と同様の配線基板となる複数の領域(配線基板領域6)が縦横の並びに配列されて基本的に形成されている。また、この複数の配線基板領域6の外側にダミー領域7が設けられている。   The multi-cavity wiring board 30 according to the embodiment basically includes, for example, a plurality of regions (wiring board regions 6) that are the same wiring board as the wiring board 10 of the embodiment except for the dummy conductors 3 arranged vertically and horizontally. Is formed. A dummy region 7 is provided outside the plurality of wiring board regions 6.

すなわち、四角板状の母基板44の中央部に複数の配線基板領域6が配列され、外周部に四角枠状のダミー領域7が配置されている。ダミー領域7は、例えば捨て代領域であり、多数個取り配線基板30の取り扱いを容易とすること等のために設けられている。以下の説明において、それぞれの配線基板領域6における個片の配線基板10と同様の部位については同様の呼称とし、同様の符号を付している。   That is, a plurality of wiring board regions 6 are arranged in the central portion of the square plate-like mother substrate 44, and a square frame-like dummy region 7 is arranged in the outer peripheral portion. The dummy area 7 is, for example, a disposal allowance area, and is provided to facilitate handling of the multi-piece wiring board 30. In the following description, the same parts as those of the individual wiring boards 10 in the respective wiring board regions 6 have the same names and are given the same reference numerals.

母基板44は、上記のように個片の配線基板10における絶縁基板4になる複数の領域(配線基板領域6)およびダミー領域7を有しているとともに、主面を含む外表面を有している。   The mother board 44 has a plurality of regions (wiring board regions 6) to be the insulating substrate 4 and the dummy regions 7 in the piece of wiring board 10 as described above, and an outer surface including the main surface. ing.

また、それぞれの配線基板領域6において母基板44の内部に第1内部導体11および第1内部導体11よりも体積が大きい第2内部導体22を有している。   In each wiring board region 6, the first inner conductor 11 and the second inner conductor 22 having a larger volume than the first inner conductor 11 are provided inside the mother board 44.

また、それぞれの配線基板領域6において母基板44の主面(図2の例では上面)に第1電極パッド1が設けられている。また、それぞれの配線基板領域6において母基板44の内部には第1内部導体11が設けられている。それぞれの第1電極パッド1は、第1内部導体11に電気的に接続されている。   In each wiring board region 6, the first electrode pad 1 is provided on the main surface (upper surface in the example of FIG. 2) of the mother board 44. In each wiring board region 6, a first inner conductor 11 is provided inside the mother board 44. Each first electrode pad 1 is electrically connected to the first inner conductor 11.

また、それぞれの配線基板領域6において母基板44の主面(図2の例では上面)に第2電極パッド2が設けられている。また、それぞれの配線基板領域6において母基板44の内
部には第2内部導体22が設けられている。それぞれの第2電極パッド2は、第2内部導体22に電気的に接続されている。
In each wiring board region 6, the second electrode pad 2 is provided on the main surface (upper surface in the example of FIG. 2) of the mother board 44. In each wiring board region 6, a second inner conductor 22 is provided inside the mother board 44. Each second electrode pad 2 is electrically connected to the second inner conductor 22.

多数個取り配線基板30においても、第1電極パッド1、第2電極パッド2、第1内部導体11および第2内部導体22の機能は、それぞれ個片の配線基板10の場合と同様である。   Also in the multi-piece wiring board 30, the functions of the first electrode pad 1, the second electrode pad 2, the first inner conductor 11 and the second inner conductor 22 are the same as those of the individual wiring board 10.

また、ダミー領域7において母基板44の外表面にダミー導体3が設けられている。このダミー導体3についても、個片の配線基板10の場合と同様に第2内部導体22と電気的に接続されている。   A dummy conductor 3 is provided on the outer surface of the mother board 44 in the dummy region 7. The dummy conductor 3 is also electrically connected to the second inner conductor 22 as in the case of the individual wiring board 10.

実施形態の多数個取り配線基板30は、上記の構成を有することから、上記の配線基板10と同様に第1電極パッド1および第2電極パッド2に、厚みばらつきを小さくしてめっき被膜を被着させることができる。また、そのダミー導体3をダミー領域7に形成できることから、配線基板領域6(個片の配線基板10に相当)にダミー導体3を設ける必要がない。さらに、より広い露出面積のダミー導体3を設けることも容易である。したがって、個片の配線基板10としての小型化および高密度化がより容易であり、第1電極パッド1および第2電極パッド2に被着されるめっき厚みのばらつきが小さい多数個取り配線基板30を提供することができる。   Since the multi-piece wiring board 30 of the embodiment has the above-described configuration, the first electrode pad 1 and the second electrode pad 2 are coated with a plating film by reducing the thickness variation similarly to the wiring board 10 described above. Can be worn. Further, since the dummy conductor 3 can be formed in the dummy area 7, it is not necessary to provide the dummy conductor 3 in the wiring board area 6 (corresponding to the individual wiring board 10). Furthermore, it is easy to provide the dummy conductor 3 having a wider exposed area. Accordingly, it is easier to downsize and increase the density of the individual wiring board 10 and the multi-cavity wiring board 30 having a small variation in plating thickness applied to the first electrode pad 1 and the second electrode pad 2. Can be provided.

多数個取り配線基板30は、上記の配線基板10と同様の各種の材料を用い、同様の方法で製作することができる。   The multi-cavity wiring board 30 can be manufactured in the same manner using various materials similar to those of the wiring board 10 described above.

すなわち、母基板44は、例えば絶縁基板4と同様にガラスセラミック焼結体等のセラミック焼結体によって形成され、絶縁基板4と同様にして作製したガラスセラミックグリーンシート(グリーンシートという)を積層し、焼成することによって製作することができる。   That is, the mother substrate 44 is formed of a ceramic sintered body such as a glass ceramic sintered body as in the case of the insulating substrate 4, and a glass ceramic green sheet (referred to as a green sheet) manufactured in the same manner as the insulating substrate 4 is laminated. It can be manufactured by firing.

また、第1電極パッド1、第2電極パッド2は、第1内部導体11および第2内部導体22についても、銅等の金属ペーストを母基板44となるグリーンシートに印刷し、同時焼成することによって形成することができる。   In addition, the first electrode pad 1 and the second electrode pad 2 are also formed by printing a metal paste such as copper on a green sheet serving as a mother substrate 44 and simultaneously firing the first inner conductor 11 and the second inner conductor 22. Can be formed.

母基板44はガラスセラミック焼結体からなるものであるときに、母基板44の外表面に設けられているとともに第2電極パッド2とダミー導体3とを直接に接続する接続導体8をさらに有するものであってもよい。またこの場合に、接続導体8を介して、第2内部導体22とダミー導体3とが互いに電気的に接続されているものであってもよい。この場合も、上記と同様の効果を得ることができる。   When the mother substrate 44 is made of a glass ceramic sintered body, the mother substrate 44 is provided on the outer surface of the mother substrate 44 and further includes a connection conductor 8 that directly connects the second electrode pad 2 and the dummy conductor 3. It may be a thing. In this case, the second inner conductor 22 and the dummy conductor 3 may be electrically connected to each other via the connection conductor 8. In this case, the same effect as described above can be obtained.

また、多数個取り配線基板30が上記構成を有する場合には、多数個取り配線基板30およびこれが個片に分割されてなる配線基板10、さらにその配線基板10を含む電子装置用基板20の電気的な特性、および長期信頼性の向上においてより有利である。   When the multi-cavity wiring board 30 has the above-described configuration, the multi-cavity wiring board 30, the wiring board 10 obtained by dividing the multi-cavity wiring board 30, and the electronic device substrate 20 including the wiring board 10 are electrically connected. It is more advantageous in improving general characteristics and long-term reliability.

すなわち、この場合には、多数個取り配線基板30としての焼成温度が、例えば酸化アルミニウム質焼結体で母基板44が形成されるときに比べて低く抑えられるため、第1および第2電極パッド1、2等の導体部分を低抵抗の銅または銀等の金属材料を含むものとすることが容易である。そのため、電気特性の向上が容易である。   That is, in this case, since the firing temperature as the multi-piece wiring board 30 is suppressed to be lower than that when the mother board 44 is formed of, for example, an aluminum oxide sintered body, the first and second electrode pads are used. It is easy to make the conductor parts such as 1 and 2 contain a metal material such as low resistance copper or silver. Therefore, the electrical characteristics can be easily improved.

また、母基板44がガラスセラミック焼結体からなる場合には、上記のように焼結温度が比較的低く、仮に絶縁層の層間に、第2電極パッド2とダミー導体3とを電気的に接続する接続導体が配置されている場合(図示せず)には、個片に分割されたときに、接続導体周辺におけるデラミネーションの可能性が比較的高い。これは、個片の絶縁基板4の側面
に接続導体の端部(分断された部位)が露出すること等に起因する。
When the mother substrate 44 is made of a glass ceramic sintered body, the sintering temperature is relatively low as described above, and the second electrode pad 2 and the dummy conductor 3 are electrically connected between the insulating layers. When connection conductors to be connected are arranged (not shown), there is a relatively high possibility of delamination around the connection conductors when divided into individual pieces. This is because, for example, the end portion (divided portion) of the connection conductor is exposed on the side surface of the individual insulating substrate 4.

これに対して、例えば図3に示すように、母基板44の主面等の外表面に接続導体8が設けられていれば、デラミネーションの可能性が低減される。また、デラミネーション部分から外部の水分が絶縁基板4の内部に侵入する可能性も効果的に低減される。なお、図3は、本発明の実施形態の変形例の多数個取り配線基板30における一方主面の平面図である。図3において図1および図2と同様の部位には同様の符号を付している。   On the other hand, as shown in FIG. 3, for example, if the connection conductor 8 is provided on the outer surface such as the main surface of the mother board 44, the possibility of delamination is reduced. In addition, the possibility of external moisture entering the inside of the insulating substrate 4 from the delamination portion is effectively reduced. FIG. 3 is a plan view of one main surface of the multi-piece wiring board 30 according to a modification of the embodiment of the present invention. In FIG. 3, the same parts as those in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals.

なお、接続導体8の上面にさらに絶縁コート層(図示せず)を設けても構わないが、接続導体8と絶縁コート層との間で剥離が生じる可能性がある。この場合には、その剥離部分(隙間)に外部から水分が侵入して毛管現象で広がり、この水分が互いに隣り合う接続導体8同士でつながり、電気的短絡を生じる可能性がある。そのため、このような水分の広がりに起因した電気的短絡をより効果的に抑制するために、互いに異なる電位の接続導体8間には絶縁コートの非形成部を設けることが望ましい。非形成部において上記の水分の広がりが妨げられるため、互いに異なる電位の接続導体8間における電気的短絡の可能性が大きく低減される。   Although an insulating coat layer (not shown) may be further provided on the upper surface of the connection conductor 8, there is a possibility that peeling occurs between the connection conductor 8 and the insulation coat layer. In this case, moisture may enter the peeling portion (gap) from the outside and spread by capillary action, and this moisture may be connected between the adjacent connection conductors 8 to cause an electrical short circuit. Therefore, in order to more effectively suppress the electrical short circuit due to such spreading of moisture, it is desirable to provide a non-insulating portion between the connection conductors 8 having different potentials. Since the spread of moisture is hindered in the non-formed portion, the possibility of an electrical short circuit between the connection conductors 8 having different potentials is greatly reduced.

また、図3の例においては、それぞれの配線基板領域6において、複数の第2電極パッド2が縦横に配列されている。また、接続導体8は、縦横に配列された複数の第2電極パッド2のうち配列の角部に配置された第2電極パッド2以外の第2電極パッド2に直接に接続されている。図3の例では、配列の最外周のうち辺部分に相当するもののうち中央に位置する第2電極パッド2に接続導体8が直接に接続されている。なお、接続導体8の上面には絶縁コート層が設けられておらず、表面に露出している。   In the example of FIG. 3, a plurality of second electrode pads 2 are arranged vertically and horizontally in each wiring board region 6. The connection conductor 8 is directly connected to the second electrode pads 2 other than the second electrode pads 2 arranged at the corners of the array among the plurality of second electrode pads 2 arranged in the vertical and horizontal directions. In the example of FIG. 3, the connection conductor 8 is directly connected to the second electrode pad 2 located at the center of the outermost periphery of the array corresponding to the side portion. Note that the upper surface of the connection conductor 8 is not provided with an insulating coating layer and is exposed on the surface.

この場合にも上記と同様に第1電極パッド1と第2電極パッド2との間で、それぞれに被着されるめっき被膜の厚みのばらつきが好適に低減され得る。   Also in this case, the variation in the thickness of the plating film deposited between the first electrode pad 1 and the second electrode pad 2 can be suitably reduced in the same manner as described above.

また、この場合には、例えば第2電極パッド2がはんだ等の、接続作業時には流動性を有する導電性接続材を介して電子部品等と電気的に接続されるときに、接続導体8上に導電性接続材が濡れ広がる。仮にこのような濡れ広がりが生じると、接続導体8上の部分からはんだ等にクラックが生じやすくなる可能性がある。例えばこのクラックが起点になって、第2電極パッド2と電子部品等との間でもはんだ等にクラックが生じ、接続信頼性の向上が難しくなる可能性がある。これに対して、上記のように、熱応力が比較的大きい配列の角部を避けて第2電極パッド2と接続導体8とを接続させることで、上記のようなクラックをより効果的に抑制することができる。   In this case, for example, when the second electrode pad 2 is electrically connected to an electronic component or the like via a conductive connection material having fluidity during connection work, such as solder, the second electrode pad 2 is placed on the connection conductor 8. Conductive connection material spreads wet. If such wetting and spreading occur, cracks may easily occur in the solder or the like from the portion on the connection conductor 8. For example, starting from this crack, cracks may occur in the solder or the like between the second electrode pad 2 and the electronic component, and it may be difficult to improve connection reliability. On the other hand, as described above, the cracks as described above are more effectively suppressed by connecting the second electrode pad 2 and the connection conductor 8 while avoiding the corner portions of the array in which the thermal stress is relatively large. can do.

なお、上記課題を解決するために、異なる電位の接続導体8間に絶縁コート層非形成部を設けるようにして、接続導体8上に絶縁コート層を設けて接続導体8上に導電性接続材が濡れ広がらないようにしてもよい。   In order to solve the above problem, an insulating coating layer non-forming portion is provided between the connecting conductors 8 having different potentials, an insulating coating layer is provided on the connecting conductor 8, and a conductive connecting material is provided on the connecting conductor 8. May be prevented from getting wet and spreading.

なお、本発明は以上の実施形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能である。例えば、絶縁基板4または母基板44の内部にさらに内部ダミー導体(図示せず)を設けるとともにこれを第1電極パッド1に電気的に接続してもよい。この場合には、第1内部導体11(および内部ダミー導体)と第2内部導体22との体積の差を低減して、第1電極パッド1および第2電極パッド2に被着されるめっき厚みのばらつきをより容易に小さくすることができる。   In addition, this invention is not limited to the example of the above embodiment, A various change is possible in the range which does not deviate from the summary of this invention. For example, an internal dummy conductor (not shown) may be further provided inside the insulating substrate 4 or the mother substrate 44 and electrically connected to the first electrode pad 1. In this case, the plating thickness deposited on the first electrode pad 1 and the second electrode pad 2 by reducing the volume difference between the first inner conductor 11 (and the inner dummy conductor) and the second inner conductor 22. Can be reduced more easily.

また、第1内部導体11および第2内部導体22がともに複数の線路状のパターン、またはともに、線路状のパターンと面状の導体層(上記べたパターン)との両方を有するものであって、第2内部導体22の体積の合計が、第1内部導体11の体積の合計よりも大きい形態
であっても構わない。
The first inner conductor 11 and the second inner conductor 22 both have a plurality of line-shaped patterns, or both have both a line-shaped pattern and a planar conductor layer (the above-mentioned solid pattern), The total volume of the second inner conductor 22 may be larger than the total volume of the first inner conductor 11.

1・・・第1電極パッド
2・・・第2電極パッド
11・・・第1内部導体
22・・・第2内部導体
3・・・ダミー導体
4・・・絶縁基板
44・・・母基板
5・・・アンテナ素子形成部
6・・・配線基板領域
7・・・ダミー領域
8・・・接続導体
10・・・配線基板
20・・・電子装置用基板
30・・・多数個取り配線基板
1 ... 1st electrode pad 2 ... 2nd electrode pad
11 ・ ・ ・ First inner conductor
22 ... second inner conductor 3 ... dummy conductor 4 ... insulating substrate
44 ... Mother board 5 ... Antenna element forming part 6 ... Wiring board area 7 ... Dummy area 8 ... Connection conductor
10 ... wiring board
20 ... Board for electronic device
30 ・ ・ ・ Multi-wiring board

Claims (7)

一対の主面を含む外表面を有する絶縁基板と、
該絶縁基板の内部に設けられた第1内部導体および該第1内部導体よりも体積が大きい第2内部導体と、
前記絶縁基板の前記一対の主面の少なくとも一方に設けられており、前記第1内部導体に電気的に接続された第1電極パッドと、
前記絶縁基板の前記一対の主面の少なくとも一方に設けられており、前記第2内部導体に電気的に接続された第2電極パッドと、
前記絶縁基板の前記外表面に設けられており、前記第2内部導体に接続されたダミー導体とを備えることを特徴とする配線基板。
An insulating substrate having an outer surface including a pair of main surfaces;
A first inner conductor provided inside the insulating substrate and a second inner conductor having a larger volume than the first inner conductor;
A first electrode pad provided on at least one of the pair of main surfaces of the insulating substrate and electrically connected to the first inner conductor;
A second electrode pad provided on at least one of the pair of main surfaces of the insulating substrate and electrically connected to the second inner conductor;
A wiring board comprising: a dummy conductor provided on the outer surface of the insulating substrate and connected to the second inner conductor.
前記第1内部導体は線路状のパターンで形成された信号用の配線導体であり、前記第2内部導体は、平面視で前記第1電極パッドおよび前記第2電極パッドよりも大きい面状の接地用または電源用の導体層を含むことを特徴とする請求項1に記載の配線基板。 The first inner conductor is a signal wiring conductor formed in a line-like pattern, and the second inner conductor is a planar ground larger than the first electrode pad and the second electrode pad in plan view. The wiring board according to claim 1, further comprising a conductor layer for power supply or power supply. 前記絶縁基板の内部に設けられた、アンテナ素子が形成されるアンテナ素子形成部をさらに備えており、
前記ダミー導体は平面透視で前記アンテナ素子形成部と重なっていないことを特徴とする請求項1に記載の配線基板。
An antenna element forming portion provided inside the insulating substrate, on which an antenna element is formed;
The wiring board according to claim 1, wherein the dummy conductor does not overlap the antenna element forming portion in a plan view.
請求項1〜請求項3のいずれかに記載された配線基板と、
前記第1電極パッド、前記第2電極パッドおよびダミー導体の露出表面に被着された無電解めっき被膜とを備えており、
前記一対の主面のうち、前記第1電極パッドおよび前記第2電極パッドが設けられた部位に電子部品の搭載部を有することを特徴とする電子装置用基板。
The wiring board according to any one of claims 1 to 3,
An electroless plating film deposited on the exposed surface of the first electrode pad, the second electrode pad and the dummy conductor;
An electronic device substrate comprising an electronic component mounting portion in a portion of the pair of main surfaces where the first electrode pad and the second electrode pad are provided.
互いに縦横の並びに配列された複数の配線基板領域および該複数の配線基板領域を囲むダミー領域を有しているとともに、主面を含む外表面を有する母基板と、
それぞれの前記配線基板領域において前記母基板の内部に設けられた第1内部導体および該第1内部導体よりも体積が大きい第2内部導体と、
それぞれの前記配線基板領域において前記母基板の前記主面に設けられており、前記母基板の前記第1内部導体に電気的に接続された第1電極パッドと、
それぞれの前記配線基板領域において前記母基板の前記主面に設けられており、前記母基板の前記第2内部導体に電気的に接続された第2電極パッドと、
前記ダミー領域において前記母基板の前記外表面に設けられており、前記第2内部導体と電気的に接続されているダミー導体とを備えることを特徴とする多数個取り配線基板。
A plurality of wiring board regions arranged vertically and horizontally and a dummy region surrounding the plurality of wiring board regions, and a mother board having an outer surface including a main surface;
A first inner conductor provided inside the mother board in each of the wiring board regions and a second inner conductor having a volume larger than that of the first inner conductor;
A first electrode pad provided on the main surface of the mother board in each of the wiring board regions and electrically connected to the first inner conductor of the mother board;
A second electrode pad provided on the main surface of the mother board in each of the wiring board regions, and electrically connected to the second inner conductor of the mother board;
A multi-piece wiring board comprising: a dummy conductor provided on the outer surface of the mother board in the dummy region and electrically connected to the second inner conductor.
前記母基板はガラスセラミック焼結体からなり、
前記母基板の前記外表面に設けられているとともに前記第2電極パッドと前記ダミー導体とを直接に接続する接続導体をさらに備えており、
該接続導体を介して、前記第2内部導体と前記ダミー導体とが互いに電気的に接続されていることを特徴とする請求項5に記載の多数個取り配線基板。
The mother substrate is made of a glass ceramic sintered body,
A connection conductor that is provided on the outer surface of the mother board and directly connects the second electrode pad and the dummy conductor;
The multi-piece wiring board according to claim 5, wherein the second inner conductor and the dummy conductor are electrically connected to each other through the connection conductor.
それぞれの前記配線基板領域において、少なくとも複数の前記第2電極パッドが縦横に配列されており、前記接続導体は、複数の前記第2電極パッドのうち配列の角部に配置された前記第2電極パッド以外の前記第2電極パッドに直接に接続されていることを特徴とする請求項6に記載の多数個取り配線基板。
In each of the wiring board regions, at least a plurality of the second electrode pads are arranged vertically and horizontally, and the connection conductor is the second electrode arranged at a corner of the array among the plurality of the second electrode pads. The multi-piece wiring board according to claim 6, wherein the multi-cavity wiring board is directly connected to the second electrode pad other than the pad.
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