JP2016217877A - 欠損検査装置、及び欠損検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】撮像部2により、所定の方向から照明された円柱状の検査対象を回転軸を軸にして回転させながら回転軸の方向に沿った側面の一次元画像を撮像し多値画像として出力し、制御部3により、撮像部2が撮像した検査対象の一周分の一次元画像の合成画像を示す側面展開画像(検査画像)を多値画像のままで作成し、この側面展開画像と予め作成した正常な検査対象に対応した側面展開画像を示す基準画像との相関値に基づき、検査対象の欠損を検出する。
【選択図】 図1
Description
特許文献1に開示の工具欠陥検査装置は、カメラと、画像処理装置とを有する。カメラは、ドリル刃、タップ等のスローアウェイチップ(ワーク)を二次元の多値画像(検査像)として撮像する。画像処理装置は、正常なワークを用いて予め作成しておいた基準となる画像(基準像)とカメラが撮像した検査像とを比較して欠陥部分を抽出し、欠陥の有無を判定する。
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る欠損検査装置の一例を示す図である。
(第2の実施の形態)
図2は、本発明の第2の実施の形態に係る欠損検査装置の一例を示す図である。
基準画像は、検査対象の加工工具に対応する検査画像との間で相関値を計算するための画像であり、例えばm×nの画素値により構成される。白色と、灰色の部分が加工工具の部分である。白色の部分は刃先を示している。ここでは、輝度レベルが、30以下を黒色(Aの部分)、200以上を白色、他を灰色としている。位置合せ画像パターンは、加工工具に対応する検査画像を作成する際に使用する画像パターンであり、基準画像の一部である。その位置(α、β)と画像パターンの大きさ(範囲)を、基準画像とともに予め記憶部に格納しておく。
(a)は、基準画像の座標(i'、j')と、検査画像との相関値を求める画素の座標位置(α、β)と、座標位置(α、β)の画素に対する検査画像との相関値を計算する範囲(斜線の部分)を示す。また、Yi'j'は、基準画像の画素の座標(i'、j')の輝度レベルであって、i'=i+α、j'=j+βであり、(i、j)は、基準画像の相関演算する範囲内の座標である。ここで、i及びjは、8,16,32,64等であるが、ワークの種別や状態、照明状況等により適宜決めてよい。
(b)は、検査画像の座標(i'、j')と、基準画像との相関値を求める画素の座標位置(α、β)と、座標位置(α、β)の画素に対する基準画像との相関値を計算する範囲(斜線の部分)を示す。また、Xi'j'は、検査画像の画素の座標位置(i'、j')の輝度レベルであって、i'=i+α、j'=j+βであり、(i、j)は、検査画像の相関演算する範囲内の座標である。
Σ((Xi'j'-X)*(Yi'j'-Y))/√(Σ(Xi'j'-X)2)*√(Σ(Yi'j'-Y)2)
・・・・(式1)
ここで、(α、β)は、検査画像と基準画像との相関を求める画素の座標位置、正規相関値F1(α、β)は、座標位置(α、β)の画素に対する正規相関値である。Xは、検査画像の相関演算する範囲内の画素の平均レベル、Yは、基準画像の相関演算する範囲内の画素の平均レベル、Xi'j'は、検査画像の画素の座標位置(i'、j')のレベルである。ここで、i'=i+α、j'=j+β、(i、j)は、検査画像の相関演算する範囲内の座標である。Yi'j'は、基準画像の画素の座標位置(i'、j')のレベルであり、ここで、i'=i+α、j'=j+β、(i、j)は、基準画像の相関演算する範囲内の座標であり、Σは、相関演算する範囲内(図7の斜線の部分)の総和である。
Σ((Xi'j'-X)*(Yi'j'-Y))/Σ(Max(Xi'j'-X、Yi'j'-Y))2・・・(式2)
ここで、(α、β)は、検査画像と基準画像との相関を求める画素の座標位置、相関値F2(α、β)は、座標位置(α、β)の画素に対する相関値である。Xは、検査画像の相関演算する範囲内の画素の平均レベル、Yは、基準画像の相関演算する範囲内の画素の平均レベル、Xi'j'は、検査画像の画素の座標位置(i'、j')のレベルである。ここで、i'=i+α、j'=j+β、(i、j)は、検査画像の相関演算する範囲内の座標である。Yi'j'は、基準画像の画素の座標位置(i'、j')のレベルであり、ここで、i'=i+α、j'=j+β、(i、j)は、基準画像の相関演算する範囲内の座標である。Max()は、()内を比較してレベルの高い方を求める演算を示し、Σは、相関演算する範囲内(図7の斜線の部分)の総和である。
(付記1)
所定の方向から照明された円柱状の検査対象を回転軸を軸にして回転させながら前記回転軸の方向に沿った側面の一次元画像を撮像し多値画像として出力する撮像部と、
前記撮像部が撮像した前記検査対象の一周分の前記一次元画像の合成画像を示す側面展開画像(検査画像)を多値画像のままで作成し、該側面展開画像と予め作成した正常な検査対象に対応した側面展開画像を示す基準画像との相関値に基づき、前記検査対象の欠損を検出する制御部と、
を備えたことを特徴とする欠損検査装置。
(付記2)
前記相関値は、前記検査画像と前記基準画像の各画素の多値データを所定の計算式に適用して求める、ことを特徴とする付記1記載の欠損検査装置。
(付記3)
前記計算式は、前記座標位置における所定の相関演算範囲での共分散を標準偏差で割った式である、
ことを特徴とする付記2記載の欠損検査装置。
(付記4)
前記計算式は、正規相関値F1(α、β)=
Σ((Xi'j'-X)*(Yi'j'-Y))/√(Σ(Xi'j'-X)2)*√(Σ(Yi'j'-Y)2)
ここで、
(α、β)は、前記検査画像と前記基準画像との相関を求める画素の座標位置、
正規相関値F1(α、β)は、座標位置(α、β)の画素に対する正規相関値、
Xは、前記検査画像の相関演算する範囲内の画素の平均レベル、
Yは、基準画像の相関演算する範囲内の画素の平均レベル、
Xi'j'は、検査画像の画素の座標位置(i'、j')のレベルであって、ここで、i'=i+α、j'=j+β、(i、j)は、検査画像の相関演算する範囲内の座標であり、
Yi'j'は、基準画像の画素の座標位置(i'、j')のレベルであって、ここで、i'=i+α、j'=j+β、(i、j)は、基準画像の相関演算する範囲内の座標であり、
Σは、相関演算する範囲内の総和である、
ことを特徴とする付記3記載の欠損検査装置。
(付記5)
前記計算式は、前記座標位置における所定の相関演算範囲での共分散を、前記相関演算範囲毎に前記検査画像と前記基準画像のうちの大きい方の画素値を使用するように変形した標準偏差で割った式である、
ことを特徴とする付記3又は4記載の欠損検査装置。
(付記6)
前記計算式は、相関値F2(α、β)=
Σ((Xi'j'-X)*(Yi'j'-Y))/Σ(Max(Xi'j'-X、Yi'j'-Y))2
ここで、
(α、β)は、前記検査画像と前記基準画像との相関を求める画素の座標位置、
相関値F2(α、β)は、座標位置(α、β)の画素に対する相関値、
Xは、前記検査画像の相関演算する範囲内の画素の平均レベル、
Yは、基準画像の相関演算する範囲内の画素の平均レベル、
Xi'j'は、検査画像の画素の座標位置(i'、j')のレベルであって、ここで、i'=i+α、j'=j+β、(i、j)は、検査画像の相関演算する範囲内の座標であり、
Yi'j'は、基準画像の画素の座標位置(i'、j')のレベルであって、ここで、i'=i+α、j'=j+β、(i、j)は、基準画像の相関演算する範囲内の座標であり、
Max()は、()内を比較してレベルの高い方を求める演算を示し、
Σは、相関演算する範囲内の総和である、
ことを特徴とする付記5記載の欠損検査装置。
(付記7)
前記制御部は、円柱状の前記検査対象を前記回転軸を軸にして回転させながら前記撮像部に複数の前記一次元画像を撮像させ、これらの前記一次元画像に基づき前記側面展開画像を作成する、
ことを特徴とする付記1、2、3、4、5又は6記載の欠損検査装置。
(付記8)
所定の方向から照明された円柱状の検査対象を回転軸を軸にして回転させながら前記回転軸の方向に沿った側面の一次元画像を撮像し多値画像として出力し、
前記撮像した前記検査対象の一周分の前記一次元画像の合成画像を示す側面展開画像(検査画像)を多値画像のままで作成し、
該側面展開画像と予め作成した正常な検査対象に対応した側面展開画像を示す基準画像との相関値に基づき、前記検査対象の欠損を検出する、
ことを特徴とする欠損検査方法。
(付記9)
前記相関値は、前記検査画像と前記基準画像の各画素の多値データを所定の計算式に適用して求める、ことを特徴とする付記8記載の欠損検査方法。
(付記10)
前記計算式は、前記座標位置における所定の相関演算範囲での共分散を標準偏差で割った式である、
ことを特徴とする付記9記載の欠損検査方法。
(付記11)
前記計算式は、前記座標位置における所定の相関演算範囲での共分散を、前記相関演算範囲毎に前記検査画像と前記基準画像のうちの大きい方の画素値を使用するように変形した標準偏差で割った式である、
ことを特徴とする付記10記載の欠損検査方法。
2 撮像部
3 制御部
4 回転制御部
Claims (10)
- 所定の方向から照明された円柱状の検査対象を回転軸を軸にして回転させながら前記回転軸の方向に沿った側面の一次元画像を撮像し多値画像として出力する撮像部と、
前記撮像部が撮像した前記検査対象の一周分の前記一次元画像の合成画像を示す側面展開画像(検査画像)を多値画像のままで作成し、該側面展開画像と予め作成した正常な検査対象に対応した側面展開画像を示す基準画像との相関値に基づき、前記検査対象の欠損を検出する制御部と、
を備えたことを特徴とする欠損検査装置。 - 前記相関値は、前記検査画像と前記基準画像の各画素の多値データを所定の計算式に適用して求める、ことを特徴とする請求項1記載の欠損検査装置。
- 前記計算式は、前記座標位置における所定の相関演算範囲での共分散を標準偏差で割った式である、
ことを特徴とする請求項2記載の欠損検査装置。 - 前記計算式は、正規相関値F1(α、β)=
Σ((Xi'j'-X)*(Yi'j'-Y))/√(Σ(Xi'j'-X)2)*√(Σ(Yi'j'-Y)2)
ここで、
(α、β)は、前記検査画像と前記基準画像との相関を求める画素の座標位置、
正規相関値F1(α、β)は、座標位置(α、β)の画素に対する正規相関値、
Xは、前記検査画像の相関演算する範囲内の画素の平均レベル、
Yは、基準画像の相関演算する範囲内の画素の平均レベル、
Xi'j'は、検査画像の画素の座標位置(i'、j')のレベルであって、ここで、i'=i+α、j'=j+β、(i、j)は、検査画像の相関演算する範囲内の座標であり、
Yi'j'は、基準画像の画素の座標位置(i'、j')のレベルであって、ここで、i'=i+α、j'=j+β、(i、j)は、基準画像の相関演算する範囲内の座標であり、
Σは、相関演算する範囲内の総和である、
ことを特徴とする請求項3記載の欠損検査装置。 - 前記計算式は、前記座標位置における所定の相関演算範囲での共分散を、前記相関演算範囲毎に前記検査画像と前記基準画像のうちの大きい方の画素値を使用するように変形した標準偏差で割った式である、
ことを特徴とする請求項3又は4記載の欠損検査装置。 - 前記計算式は、相関値F2(α、β)=
Σ((Xi'j'-X)*(Yi'j'-Y))/Σ(Max(Xi'j'-X、Yi'j'-Y))2
ここで、
(α、β)は、前記検査画像と前記基準画像との相関を求める画素の座標位置、
相関値F2(α、β)は、座標位置(α、β)の画素に対する相関値、
Xは、前記検査画像の相関演算する範囲内の画素の平均レベル、
Yは、基準画像の相関演算する範囲内の画素の平均レベル、
Xi'j'は、検査画像の画素の座標位置(i'、j')のレベルであって、ここで、i'=i+α、j'=j+β、(i、j)は、検査画像の相関演算する範囲内の座標であり、
Yi'j'は、基準画像の画素の座標位置(i'、j')のレベルであって、ここで、i'=i+α、j'=j+β、(i、j)は、基準画像の相関演算する範囲内の座標であり、
Max()は、()内を比較してレベルの高い方を求める演算を示し、
Σは、相関演算する範囲内の総和である、
ことを特徴とする請求項5記載の欠損検査装置。 - 前記制御部は、円柱状の前記検査対象を前記回転軸を軸にして回転させながら前記撮像部に複数の前記一次元画像を撮像させ、これらの前記一次元画像に基づき前記側面展開画像を作成する、
ことを特徴とする請求項1、2、3、4、5又は6記載の欠損検査装置。 - 所定の方向から照明された円柱状の検査対象を回転軸を軸にして回転させながら前記回転軸の方向に沿った側面の一次元画像を撮像し多値画像として出力し、
前記撮像した前記検査対象の一周分の前記一次元画像の合成画像を示す側面展開画像(検査画像)を多値画像のままで作成し、
該側面展開画像と予め作成した正常な検査対象に対応した側面展開画像を示す基準画像との相関値に基づき、前記検査対象の欠損を検出する、
ことを特徴とする欠損検査方法。 - 前記相関値は、前記検査画像と前記基準画像の各画素の多値データを所定の計算式に適用して求める、ことを特徴とする請求項8記載の欠損検査方法。
- 前記計算式は、前記座標位置における所定の相関演算範囲での共分散を標準偏差で割った式である、
ことを特徴とする請求項9記載の欠損検査方法。
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WO2021014645A1 (ja) * | 2019-07-25 | 2021-01-28 | 三菱電機株式会社 | 検査装置及び方法、並びにプログラム及び記録媒体 |
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