JP2016213400A - 欠陥検出システム、欠陥検出方法、半導体製造装置、及び生産管理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 欠陥検出システムは、半導体製造装置から測定データと処理シーケンスを一方向で取得するデータ収集部と、前記測定データの時系列の記録を前記処理シーケンスと比較してデータの欠損を検出する判定部と、を有する。
【選択図】図3
Description
半導体製造装置から測定データと処理シーケンスを一方向で取得するデータ収集部と、
前記測定データの時系列の記録を前記処理シーケンスと比較して前記測定データの欠損を検出する判定部と、
を有する。
10 半導体製造装置
11 処理装置
12 GUI/PC(プロセッサ)
13 センサ
20 ロット経路管理装置
30、30A 欠陥検出システム
31 データ収集サーバ(データ収集部)
32 データ登録サーバ
33 データ管理サーバ
35 判定サーバ(判定部)
36 欠損チェック部
37 波形異常チェック部
38 アラーム判定部
39 波形解析部
Claims (7)
- 半導体製造装置から測定データと処理シーケンスを一方向で取得するデータ収集部と、
前記測定データの時系列の記録を前記処理シーケンスと比較してデータの欠損を検出する判定部と、
を有することを特徴とする欠陥検出システム。 - 前記判定部は、前記測定データにおいてデータの欠損が検出された場合に、前記測定データを前記半導体製造装置におけるプロセス異常の判定対象から除くことを特徴とする請求項1の欠陥検出システム。
- 前記判定部は、前記測定データにおいてデータの欠損が検出されない場合に、前記測定データについて前記半導体製造装置におけるプロセス異常の有無を判断することを特徴とする請求項1または2に記載の欠陥検出システム。
- 前記判定部は、前記測定データにおいてデータの欠損が検出された場合に、前記データの欠損を通知するメッセージを出力することを特徴とする請求項1〜3に記載の欠陥検出システム。
- 半導体製造装置から測定データと処理シーケンスを受信し、
サーバにて前記測定データの時系列の記録を前記処理シーケンスと比較してデータの欠損を検出する、
ことを特徴とする欠陥検出方法。 - 半導体ウェーハを処理する処理装置と、
1以上のセンサと、
プロセッサと、
を有し、前記プロセッサは、前記処理装置での処理の開始に連動して、前記センサで測定される測定データと、前記処理のための処理シーケンスとを出力する、
ことを特徴とする半導体製造装置。 - 半導体ウェーハの処理の開始に連動して、前記処理から取得される測定データと、前記処理を記述する処理シーケンスとを出力する半導体製造装置と、
前記半導体製造装置から、前記測定データと前記処理シーケンスを一方向で受信し、前記測定データの時系列の記録と前記処理シーケンスを比較してデータの欠損を検出する欠陥検出システムと、
を有する生産管理システム。
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