JP2016212202A - ステージ装置およびその制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】移動体が所定の軸方向に移動するステージ装置は、移動体の移動限界の位置から第1の距離の範囲内に移動体が到達していることを検出するセンサを有する。ステージ装置は、移動体を所定の加速度で減速することにより、移動体を第1の距離以内で停止させることのできる移動速度を目標として移動体をセンサへ向けて移動し、センサが移動体を検出したことに応じて移動体を第1の距離以内で停止させる第1の移動処理を実行する。そし、ステージ装置は、第1の移動処理の後、センサによる移動体の検出状態が切り替わる位置へ移動体を移動することにより、移動体の原点位置を決定する。
【選択図】 図1
Description
移動体が所定の軸方向に移動するステージ装置であって、
前記移動体の移動限界の位置から第1の距離の範囲内に移動体が到達していることを検出するセンサと、
前記移動体を所定の加速度で減速することにより、前記移動体を前記第1の距離以内で停止させることのできる移動速度を取得する取得手段と、
前記取得手段で取得された前記移動速度を目標として前記移動体を前記センサへ向けて移動し、前記センサが前記移動体を検出したことに応じて前記移動体を前記第1の距離以内で停止させる第1の移動処理を実行し、前記第1の移動処理の後、前記センサによる前記移動体の検出状態が切り替わる位置へ前記移動体を移動する制御手段と、を備える。
最大速度vm=√(2×L0×α) …(1)
この最大速度vmは、リミット検出器306の出力がHiレベルになった際に、移動体301がメカリミットに接触することなく停止出来る最大速度である。即ち、この最大速度vmを超えない速度で移動体301を移動させれば、リミット検出器306の検出信号に基づいて移動体301の移動を制御する場合、移動体301をメカリミットと干渉しない範囲で停止させることができる。したがって、移動体301をメカリミットと干渉させることなく、初期位置への復帰時間を短くする事が出来る。
・リミット検出器306が移動体301を検出している状態で距離L0の移動が完了したことに応じて、または、
・距離L0の移動の完了前であって、且つリミット検出器306が移動体301を検出できなくなったことに応じて、移動体301を停止する。
Claims (16)
- 移動体が所定の軸方向に移動するステージ装置であって、
前記移動体の移動限界の位置から第1の距離の範囲内に移動体が到達していることを検出するセンサと、
前記移動体を所定の加速度で減速することにより、前記移動体を前記第1の距離以内で停止させることのできる移動速度を取得する取得手段と、
前記取得手段で取得された前記移動速度を目標として前記移動体を前記センサへ向けて移動し、前記センサが前記移動体を検出したことに応じて前記移動体を前記第1の距離以内で停止させる第1の移動処理を実行し、前記第1の移動処理の後、前記センサによる前記移動体の検出状態が切り替わる位置へ前記移動体を移動する制御手段と、を備えることを特徴とするステージ装置。 - 前記所定の加速度は、前記ステージ装置において設定が可能な最大の加速度であることを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。
- 前記第1の移動処理において、前記制御手段は、前記所定の加速度またはそれ以上の加速度で前記移動体を減速させることを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。
- 前記第1の移動処理における前記移動体の移動中に前記センサが前記移動体を検出した検出位置を記憶する記憶手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記第1の移動処理の後、前記移動体を前記記憶手段に記憶されている前記検出位置へ移動させる第2の移動処理を実行することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のステージ装置。 - 前記第2の移動処理において、前記制御手段は、前記移動体が前記検出位置まで最短の時間で移動できるように前記移動体の加減速を制御することを特徴とする請求項4に記載のステージ装置。
- 前記制御手段は、
前記第2の移動処理の結果、前記センサが前記移動体を検出している場合には、前記移動体を前記移動限界の位置から遠ざかる方向へ移動し、前記センサが前記移動体を検出できなくなった位置で停止させる第3の移動処理を実行し、
前記第2の移動処理の結果、前記センサが前記移動体を検出していない場合には、前記移動体を前記センサが検出するまで移動した後、前記第3の移動処理を実行することを特徴とする請求項4または5に記載のステージ装置。 - 前記制御手段は、
前記第2の移動処理の結果、前記センサが前記移動体を検出していない場合には、前記移動体を前記センサの方向へ移動し、前記センサが前記移動体を検出した位置で停止させる第3の移動処理を実行し、
前記第2の移動処理の結果、前記センサが前記移動体を検出している場合には、前記移動体を前記センサが検出できなくなるまで移動した後、前記第3の移動処理を実行することを特徴とする請求項4または5に記載のステージ装置。 - 前記第3の移動処理において、前記制御手段は前記移動体を所定の距離だけ移動するごとに前記センサが前記移動体を検出しているか否かを判定することを特徴とする請求項6または7に記載のステージ装置。
- 前記制御手段は、前記第1の処理の開始の前に前記センサが前記移動体を検出していない場合に、前記第1の移動処理を開始することを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のステージ装置。
- 前記制御手段は、前記第1の移動処理の開始の前に前記センサが前記移動体を検出している場合に、
前記移動限界の位置から遠ざかる方向へ前記第1の距離を移動するように前記移動体の移動を開始し、前記第1の距離の移動の完了、あるいは前記センサが前記移動体を検出できなくなったことに応じて前記移動体を停止する第4の移動処理を実行し、
前記第4の移動処理の後、前記センサによる前記移動体の検出状態が切り替わる位置へ前記移動体を移動することを特徴とする請求項9に記載のステージ装置。 - 前記第4の移動処理における前記移動体の移動中に前記センサが前記移動体を検出できなくなった第2の検出位置を記憶する記憶手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記第4の移動処理において、前記センサが前記移動体を検出できなくなったことに応じて前記移動体を停止した場合に、前記移動体を前記第2の検出位置まで移動させる第5の移動処理を実行することを特徴とする請求項10に記載のステージ装置。 - 前記制御手段は、
前記第5の移動処理の結果、前記センサが前記移動体を検出している場合には、前記移動体を前記移動限界の位置から遠ざかる方向へ移動し、前記センサが前記移動体を検出できなくなった位置で停止させる第6の移動処理を実行し、
前記第5の移動処理の結果、前記センサが前記移動体を検出していない場合には、前記移動体を前記センサが検出するまで移動した後、前記第6の移動処理を実行することを特徴とする請求項11に記載のステージ装置。 - 前記制御手段は、
前記第5の移動処理の結果、前記センサが前記移動体を検出していない場合には、前記移動体を前記センサの方向へ移動し、前記センサが前記移動体を検出した位置で停止させる第6の移動処理を実行し、
前記第5の移動処理の結果、前記センサが前記移動体を検出している場合には、前記移動体を前記センサが検出できなくなるまで移動した後、前記第6の移動処理を実行することを特徴とする請求項11に記載のステージ装置。 - 前記制御手段は、前記第4の移動処理において前記第1の距離の移動を完了した場合は、前記センサが前記移動体を検出できなくなるまで前記移動体を前記移動限界の位置から遠ざかる方向へ移動することを特徴とする請求項11または12に記載のステージ装置。
- 前記第6の移動処理において、前記制御手段は前記移動体を所定の移動距離だけ移動するごとに前記センサが前記移動体を検出しているか否かを判定することを特徴とする請求項12または13に記載のステージ装置。
- 移動体が所定の軸方向に移動するステージ装置の制御方法であって、前記ステージ装置は、前記移動体の移動限界の位置から第1の距離の範囲内に移動体が到達していることを検出するセンサを有し、前記方法が、
前記移動体を所定の加速度で減速することにより、前記移動体を前記第1の距離以内で停止させることのできる移動速度を取得する取得工程と、
前記センサが前記移動体を検出していない場合に、前記取得工程で取得された前記移動速度を目標として前記移動体を前記センサへ向けて移動し、前記センサが前記移動体を検出したことに応じて、前記移動体を前記第1の距離以内で停止させる第1の移動処理を実行し、前記第1の移動処理の後、前記センサによる前記移動体の検出状態が切り替わる位置へ前記移動体を移動する制御工程と、を有することを特徴とするステージ装置の制御方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015094443A JP6549891B2 (ja) | 2015-05-01 | 2015-05-01 | ステージ装置 |
EP16722715.6A EP3289308B1 (en) | 2015-05-01 | 2016-04-21 | Stage apparatus, method of controlling stage apparatus, and microscope system |
PCT/JP2016/002128 WO2016178306A1 (en) | 2015-05-01 | 2016-04-21 | Stage apparatus, method of controlling stage apparatus, and microscope system |
US15/566,844 US10948706B2 (en) | 2015-05-01 | 2016-04-21 | Stage apparatus, method of controlling stage apparatus, and microscope system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015094443A JP6549891B2 (ja) | 2015-05-01 | 2015-05-01 | ステージ装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016212202A true JP2016212202A (ja) | 2016-12-15 |
JP2016212202A5 JP2016212202A5 (ja) | 2018-06-14 |
JP6549891B2 JP6549891B2 (ja) | 2019-07-24 |
Family
ID=57549674
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015094443A Active JP6549891B2 (ja) | 2015-05-01 | 2015-05-01 | ステージ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6549891B2 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0869326A (ja) * | 1994-08-30 | 1996-03-12 | Keyence Corp | 位置決め制御器 |
JP2003161893A (ja) * | 2002-03-22 | 2003-06-06 | Olympus Optical Co Ltd | マイクロダイセクション装置 |
-
2015
- 2015-05-01 JP JP2015094443A patent/JP6549891B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0869326A (ja) * | 1994-08-30 | 1996-03-12 | Keyence Corp | 位置決め制御器 |
JP2003161893A (ja) * | 2002-03-22 | 2003-06-06 | Olympus Optical Co Ltd | マイクロダイセクション装置 |
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