JP2016212202A5 - - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims 4
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims 1
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- 230000000977 initiatory Effects 0.000 claims 1
Claims (2)
- 前記制御手段は、前記センサが前記移動体を検出していない場合に、前記第１の移動処理を開始することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のステージ装置。
- 移動体が所定の軸方向に移動するステージ装置の制御方法であって、前記ステージ装置は、前記移動体の移動限界の位置から第１の距離の範囲内に移動体が到達していることを検出するセンサを有し、前記制御方法が、
前記移動体を所定の加速度で減速することにより、前記移動体を前記第１の距離以内で停止させることのできる移動速度を取得する取得工程と、
前記センサが前記移動体を検出していない場合に、前記取得工程で取得された前記移動速度を目標として前記移動体を前記センサへ向けて移動し、前記センサが前記移動体を検出したことに応じて、前記移動体を前記第１の距離以内で停止させる第１の移動処理を実行し、前記第１の移動処理の後、前記センサによる前記移動体の検出状態が切り替わる位置へ前記移動体を移動する制御工程と、を有することを特徴とするステージ装置の制御方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015094443A JP6549891B2 (ja) | 2015-05-01 | 2015-05-01 | ステージ装置 |
| EP16722715.6A EP3289308B1 (en) | 2015-05-01 | 2016-04-21 | Stage apparatus, method of controlling stage apparatus, and microscope system |
| PCT/JP2016/002128 WO2016178306A1 (en) | 2015-05-01 | 2016-04-21 | Stage apparatus, method of controlling stage apparatus, and microscope system |
| US15/566,844 US10948706B2 (en) | 2015-05-01 | 2016-04-21 | Stage apparatus, method of controlling stage apparatus, and microscope system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015094443A JP6549891B2 (ja) | 2015-05-01 | 2015-05-01 | ステージ装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2016212202A JP2016212202A (ja) | 2016-12-15 |
| JP2016212202A5 true JP2016212202A5 (ja) | 2018-06-14 |
| JP6549891B2 JP6549891B2 (ja) | 2019-07-24 |
Family
ID=57549674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015094443A Active JP6549891B2 (ja) | 2015-05-01 | 2015-05-01 | ステージ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6549891B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0869326A (ja) * | 1994-08-30 | 1996-03-12 | Keyence Corp | 位置決め制御器 |
| JP4156851B2 (ja) * | 2002-03-22 | 2008-09-24 | オリンパス株式会社 | マイクロダイセクション装置 |
-
2015
- 2015-05-01 JP JP2015094443A patent/JP6549891B2/ja active Active
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