JP2016201436A - 電子装置の筐体構造 - Google Patents

電子装置の筐体構造 Download PDF

Info

Publication number
JP2016201436A
JP2016201436A JP2015079852A JP2015079852A JP2016201436A JP 2016201436 A JP2016201436 A JP 2016201436A JP 2015079852 A JP2015079852 A JP 2015079852A JP 2015079852 A JP2015079852 A JP 2015079852A JP 2016201436 A JP2016201436 A JP 2016201436A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lead frame
housing
electronic device
lid
lead frames
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2015079852A
Other languages
English (en)
Inventor
英也 山口
Hideya Yamaguchi
英也 山口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokai Rika Co Ltd
Original Assignee
Tokai Rika Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokai Rika Co Ltd filed Critical Tokai Rika Co Ltd
Priority to JP2015079852A priority Critical patent/JP2016201436A/ja
Publication of JP2016201436A publication Critical patent/JP2016201436A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Casings For Electric Apparatus (AREA)

Abstract

【課題】実装面積を増やすことができ、これにより筐体自体を小型化することが可能な電子装置の筐体構造を提供する。【解決手段】電子装置1の筐体構造は、複数の第1リードフレームである下リードフレーム(100、101、102、103、104、105、106,107)を備え、下リードフレームに所定の電子部品が実装されたハウジング部10と、複数の第2リードフレームである上リードフレーム(200、201、202)を備え、上リードフレームに所定の電子部品が実装され、ハウジング部10を覆う蓋部20と、を有し下リードフレームの一部と、上リードフレームの一部が、互いに電気的に接続されて構成される。【選択図】図1

Description

本発明は、電子装置の筐体構造に関する。
従来の技術として、下ケースと上ケースをスナップフィット結合する電子装置の筐体構造であって、任意の回路基板と結合部位の配置に対応できる電子装置の筐体構造が知られている(例えば、特許文献1参照)。
例えば、この電子装置の筐体構造は、下ケースおよび上ケースの側面にスナップフィット結合するための結合部位が設けられ、下ケースおよび上ケースの少なくとも一方の結合部位の周りに、スリットが形成されてなる電子装置の筐体構造である。下ケースおよび上ケースの側面と回路基板の端部の間で、結合部位およびスリットを取り囲むようにして下囲い壁および上囲い壁が設けられ、下囲い壁と上囲い壁の端部同士が隣接するように構成されてなる電子装置の筐体構造とされている。
特開2011−210882号公報
しかし、特許文献1の電子装置の筐体構造によれば、電子部品は下ケースにのみ配置、実装されているので、実装面積を増やすことができないという問題があった。また、このために筐体自体を小型化することが難しいという問題もあった。
従って、本発明の目的は、実装面積を増やすことができ、これにより筐体自体を小型化することが可能な電子装置の筐体構造を提供することにある。
[1]上記目的を達成するため、複数の第1リードフレームを備え、前記第1リードフレームに所定の電子部品が実装されたハウジング部と、複数の第2リードフレームを備え、前記第2リードフレームに所定の電子部品が実装され、前記ハウジング部を覆う蓋部と、を有し前記第1リードフレームの一部と、前記第2リードフレームの一部が、互いに電気的に接続されて構成されることを特徴とする電子装置の筐体構造を提供する。
[2]前記第1リードフレームの一部と、前記第2リードフレームの一部とは、プレスフィットにより接続されることを特徴とする上記[1]に記載の電子装置の筐体構造であってもよい。
[3]また、前記ハウジング部と前記蓋部とは、レーザ溶着により一体的に固定されて構成されることを特徴とする上記[1]又は[2]に記載の電子装置の筐体構造であってもよい。
本発明によれば、実装面積を増やすことができ、これにより筐体自体を小型化することが可能となる。
図1は、本発明の実施の形態に係る電子装置の筐体構造の全体斜視図である。 図2は、本発明の実施の形態に係る電子装置の筐体構造の図1で示す断面図であり、図2(a)は、蓋部の断面図、図2(b)は、ハウジング部の断面図、図2(c)は、蓋部とハウジング部をレーザ溶着により一体的に組み立てた断面図である。 図3(a)は、下リードフレームの一端部に形成されたプレスフィット部の形状図であり、図3(b)は、上リードフレームの一端部に形成された嵌合穴部の形状図である。 図4は、本発明の実施の形態に係る電子装置の外観斜視図である。
(本発明の実施の形態)
図1は、本発明の実施の形態に係る電子装置1の筐体構造の全体斜視図である。また、図2は、本発明の実施の形態に係る電子装置1の筐体構造の図1で示す断面図であり、図2(a)は、蓋部の断面図、図2(b)は、ハウジング部の断面図、図2(c)は、蓋部とハウジング部をレーザ溶着により一体的に組み立てた断面図である。なお、図2において、電子部品(310〜330、410〜430)は、断面とせずに図示している。
本発明の実施の形態に係る電子装置1の筐体構造は、複数の第1リードフレームである下リードフレーム(100、101、102、103、104、105、106,107)を備え、下リードフレームに所定の電子部品が実装されたハウジング部10と、複数の第2リードフレームである上リードフレーム(200、201、202)を備え、上リードフレームに所定の電子部品が実装され、ハウジング部10を覆う蓋部20と、を有し下リードフレームの一部と、上リードフレームの一部が、互いに電気的に接続されて構成されている。
本発明の実施の形態に係る電子装置1の筐体構造は、ハウジング部10に備えられた下リードフレームに電子部品を実装、配線すると共に、蓋部20にも上リードフレームを備えて電子部品を実装、配線するものとしている。すなわち、筐体本体であるハウジング部10のみならず、上側筐体である蓋部20にも電子部品を実装、配線し、ハウジング部10と蓋部20を一体にすることにより電子装置1を形成している。このハウジング部10と蓋部20を一体にする構造において、下リードフレームと上リードフレームをプレスフィットにより電気的に接続する筐体構造としている。
また、蓋部20がハウジング部10を覆うように、両者が一体的に固定される。ハウジング部10と蓋部20との固定方法は、種々の固定方法が可能である。例えば、スナップフィット固定、接着固定、ネジ固定等が可能であるが、本実施の形態では、レーザ溶着による方法で固定される形態により説明する。
(ハウジング部10)
図1、図2(b)に示すように、ハウジング部10は、内部に収容部10aを備えた概略箱形状とされ、上部には蓋部20と上下方向に当接する上面10b、蓋部20と嵌合して位置決めをする段部10cが形成されている。また、ハウジング部10には、下リードフレーム(100、101、102、103、104)の一端側が外部と接続可能に露出し、この下リードフレームを囲むように形成された枠部10dが形成されている。
ハウジング部10は、後述する下リードフレーム(100、101、102、103、104、105、106,107)をインサート部品として、樹脂により一体にインサート成型して形成されている。
前述したように、ハウジング部10は蓋部20とレーザ溶着により固定される。レーザ溶着法とは、例えば、熱可塑性樹脂からなる透過側と吸収側の樹脂を合わせた界面に、透過側の蓋部20の上面からレーザを照射し、吸収側のハウジング部10がレーザを吸収することで高温となり、両者が溶融して溶融池(溶融プール)を形成し、両者を溶着させる方法である。
吸収側となるハウジング部10は、例えば、レーザを吸収する色材を含有する非晶性樹脂及び結晶性樹脂が用いられる。例えば、ポリスチレン(PS)、ポリメタクリル酸メチル(PMMA)等の非晶性樹脂、ポリプロピレン(PP)、ポリブチレンテレフタレート(PBT)等の結晶性樹脂が用いられる。レーザを吸収する色材は、顔料及び染料の組み合わせが好ましい。これは、顔料は、レーザを吸収及び散乱させるので、吸収しすぎて局所的に異常な発熱が起こる可能性があり、染料は、レーザの吸収が弱く十分に発熱しない可能性があるからである。
(蓋部20)
蓋部20は、図1、図2(c)に示すように、ハウジング部10の上部を覆うように固定される。これにより、例えば、ハウジング部10と蓋部20が一体とされた筐体5を密封状態とすることができる。
蓋部20は、ハウジング部10の上部を覆うだけでなく、電子部品が実装され、ハウジング部10の電子部品と電気的に接続される機能を備えている。これにより、2層構造の筐体構造を有する筐体構造が可能となる。
図1、図2(a)に示すように、蓋部20は、概略板状とされ、下面20aには上リードフレーム(200、201、202)が配置され、上リードフレームをインサート部品として、樹脂により一体にインサート成型して形成されている。周囲には、ハウジング部10の段部10cと嵌合する段部20bが形成されている。
下面20aの一部には、凹部20cが形成されている。この凹部20cは、後述する上リードフレーム(200、201、202)の穴部200bに対応して形成されたもので、下リードフレーム(105、106、107)のプレスフィット部が挿入されて嵌合した場合にプレスフィット部の先端部が下面20aと干渉しないための逃げ穴である。また、凹部20cの段部20b側には上リードフレーム(200、201、202)を受ける下面20aと連続する面20dが形成されている。これにより、上リードフレーム(200、201、202)と下リードフレーム(105、106、107)がプレスフィットする場合でも、上リードフレーム(200、201、202)が撓むことなく連結することができる。
透過側となる蓋部20の樹脂は、例えば、レーザをほとんど吸収せずに透過させる樹脂を用いることが好ましい。例えば、ポリスチレン(PS)、ポリメタクリル酸メチル(PMMA)等の非晶性樹脂、ポリプロピレン(PP)、ポリブチレンテレフタレート(PBT)等の結晶性樹脂が用いられる。また、色材は、例えば、レーザを透過させる染料が用いられる。
(下リードフレーム)
下リードフレーム(100、101、102、103、104、105、106,107)は、ハウジング部10と一体に成型されるインサート部品である。例えば、下リードフレーム(100、101、102、103、104、105、106,107)は、多数個取り可能な導電性基板素材を細長い板状に打ち抜くことで一括して形成された細長い板材からなる。下リードフレーム(100、101、102、103、104、105、106,107)の材質としては、例えば、銅や銅合金等の導電性を有する金属材料などが用いられる。下リードフレーム(100、101、102、103、104、105、106,107)の表面には、例えば錫、ニッケル、金や銀等の金属材料によりメッキ処理が施されてもよい。
図1、2、4に示すように、下リードフレーム(100、101、102、103、104)は、その一端側がハウジング部10の枠部10d側に突出して、外部コネクタ(図示省略)と結合するオス側コネクタとしてのリード端子の機能を有する。一方、下リードフレーム(100、101、102、103、104)の他端側は、ハウジング部10の収容部10a側に配置される。図1に示すように、下リードフレーム(100、101、102、103、104)の各他端側は、実装される電子部品(300、310,320、330)等の部品配置に合わせて、プレス加工等により、所定の形状で加工されている。
図1、2に示すように、下リードフレーム(105、106、107)は、その一端側が蓋部20側へ向けて立設するように折り曲げ加工されている。また、その一端部は、プレスフィット部として形成されている。一方、下リードフレーム(105、106、107)の各他端側は、実装される電子部品(300、310,320)等の部品配置に合わせて、プレス加工等により、所定の形状で加工されている。
図3(a)は、下リードフレームの一端部に形成されたプレスフィット部の形状図である。プレスフィット部の形状は、各下リードフレーム(105、106、107)において同一形状であるので、以下においては、リードフレーム105のプレスフィット部の形状について説明する。
プレスフィット部は、ストレート形状であるリード部105aの幅方向に拡大し縮小する膨らみを呈する嵌合部105bと、嵌合部105bの先端に形成されて上リードフレームの穴部への挿入を容易にするための先端部105cとから構成されている。
嵌合部105bは、嵌合部105bの中に貫通穴部105dが形成され、リード部105aと先端部105cとの間に幅方向に拡大して膨らみ縮小する二股部105eに形成されている。この嵌合部105bの幅寸法w1は、リード部105aの幅寸法w0よりも大きく設定されている。また、後述する上リードフレームの穴部200bの長手方向の穴寸法w2よりも大きく設定されている。これにより、穴部200bとの嵌合は、しまりばめとなる。
先端部105cの幅寸法w3は、嵌合部105bの幅寸法w1よりも小さく設定され、これにより、上リードフレームの穴部への挿入を容易にすることができる。また、先端部105cの角部は、図3(a)に示すように、R(アール)加工やC(面取り)加工を施すことにより、上リードフレームの穴部への挿入をより容易にすることができる。
下リードフレーム(100、101、102、103、104、105、106,107)の板厚t(=h1)は、一定寸法とされている。すなわち、所定の呼び寸法の板厚の板材からプレス加工により切断、折り曲げ加工により所定の形状に形成されるので、板厚t=h1は、一定寸法である。
(上リードフレーム)
上リードフレーム(200、201、202)は、ハウジング部10と一体に成型されるインサート部品である。例えば、上リードフレーム(200、201、202)は、多数個取り可能な導電性基板素材を細長い板状に打ち抜くことで一括して形成された細長い板材からなる。上リードフレーム(200、201、202)の材質としては、例えば、銅や銅合金等の導電性を有する金属材料などが用いられる。上リードフレーム(200、201、202)の表面には、例えば錫、ニッケル、金や銀等の金属材料によりメッキ処理が施されてもよい。
図1、2に示すように、上リードフレーム(200、201、202)の一端側は、蓋部20の下面20aに配置される。図1に示すように、上リードフレーム(200、201、202)の各一端側は、実装される電子部品(400、410,420)等の部品配置に合わせて、プレス加工等により、所定の形状で加工されている。
図1、2、3(b)に示すように、上リードフレーム(200、201、202)の各他端側は、下リードフレーム(105、106、107)のプレスフィット部が挿入されて嵌合するための貫通した穴部200bが形成されている。この穴部200bは、上リードフレーム(200、201、202)のリード部200aの他端側に位置する。
図3(b)に示すように、下リードフレーム105の穴部200bは、貫通した角穴に形成されており、長手方向の穴寸法w2、短手方向の穴寸法h2とされている。ここで、穴寸法w2は、プレスフィット部の嵌合部105bの幅寸法w1よりも小さく設定されている。これにより、プレスフィット部との嵌合は、しまりばめとなる。
一方、下リードフレーム105の穴部200bの短手方向の穴寸法h2は、プレスフィット部の板厚t=h1と略同一とされている。プレスフィット部を穴部200bに挿入しやすくするために、穴寸法h2>プレスフィット部の板厚t=h1であるすきまばめとするのが好ましいが、その他の中間ばめ等であっても挿入可能な範囲であればよい。
なお、上リードフレーム(200、201、202)の板厚は、一定寸法とされている。すなわち、所定の呼び寸法の板厚の板材からプレス加工により切断、折り曲げ加工により所定の形状に形成されるので、板厚は、一定寸法である。
(電子部品)
図1、2に示すように、所定の電子部品が下リードフレーム(100、101、102、103、104、105、106,107)及び上リードフレーム(200、201、202)に対して実装されている。電子部品としては、センサ、IC、FET、トランジスタ、抵抗、コンデンサ、ダイオード等の種々のものが実装可能である。センサは、例えば、MRセンサが挙げられ、これが実装されることにより、電子装置1はセンサ装置として機能することになる。また、回路配線が銅箔等によりパターニングされた通常の回路基板に実装されるのと同等の電子部品が、各リードフレームに対して実装可能とされる。
各電子部品(300、310,320、330、400、410,420)は、各リードフレームに対して、ばんだ付けにより電気的に接続される。また、センサ、IC等は、ベアチップを実装して、ワイヤボンディングにより各リードフレームに対して電気的に接続するようにしてもよい。また、抵抗、コンデンサ、ダイオード等は、導電性接着剤により各リードフレームに対して電気的に接続することも可能である。
図1に示した電子部品の実装例は、電子部品300としてSOP8PのIC内蔵のMRセンサを下リードフレーム(100、101、102、103、104、105、106,107)に対してばんだ付けにより実装した磁気センサ装置の実装例である。
(電子装置1の製造工程)
図2で示す、図2(a)の蓋部の断面図、図2(b)のハウジング部の断面図、図2(c)の蓋部とハウジング部をレーザ溶着により一体的に組み立てた断面図、により順に説明する。
図2(a)で示すように、蓋部20を、上リードフレーム(200、201、202)をインサート部品として、樹脂により一体にインサート成型して形成する。これに、電子部品(400、410,420)を配置して、はんだ付け等により実装する。
図2(b)で示すように、ハウジング部10を、下リードフレーム(100、101、102、103、104、105、106,107)をインサート部品として、樹脂により一体にインサート成型して形成する。これに、電子部品(300、310,320、330)を配置して、はんだ付け等により実装する。
次に、図2(c)で示すように、電子部品が実装されたハウジング部10と蓋部20を、段部10cと段部20bで位置決めしながら、一体化する。このとき、ハウジング部10の各プレスフィット部の先端部(105c、106c、107c)が上リードフレームの各穴部(200b、201b、202b)に挿入され、さらに挿入されることにより、各プレスフィット部の嵌合部(105b、106b、107b)が上リードフレームの各穴部(200b、201b、202b)にしまりばめにより嵌合する。
すなわち、図3(a)で示す嵌合部105bは、上リードフレームの穴部200bに嵌合する。ここで、嵌合部105bの幅寸法w1は、穴部200bの穴寸法w2よりも大きく設定されている。これにより、嵌合することにより、プレスフィット部の二股部105eが貫通穴部105dの方向に弾性的に撓んだ状態で穴部200bと当接する。これにより、上リードフレーム(200、201、202)と下リードフレーム(105、106,107)は、電気的及び機械的に接続される。なお、上リードフレーム(200、201、202)と下リードフレーム(105、106,107)は、少なくとも電気的に接続された状態であればよい。
図2(c)で示す状態で、上方向からレーザを照射してレーザ溶着する。ハウジング部10側の樹脂がレーザを吸収することで高温となり、ハウジング部10と蓋部20の両者が溶融して溶融池(溶融プール)を形成し、ハウジング部10と蓋部20が溶着する。
上記のような工程により、ハウジング部10と蓋部20が一体化して2層構造の筐体構造となる。ハウジング部10と蓋部20からなる筐体5には、所定の電子部品が各リードフレームに電気的に接続されている。また、リードフレームの一部は、外部コネクタと接続可能な状態に形成されている。したがって、上記のような工程により、電子装置1、及び電子装置1の筐体構造が形成される。
(実施の形態の効果)
本発明の実施の形態に係る電子装置の筐体構造によれば、以下のような効果を有する。
(1)蓋部20は、ハウジング部10の上部を覆うだけでなく、電子部品が実装され、ハウジング部10の電子部品と電気的に接続される機能を備えている。すなわち、2層構造の筐体構造を有する筐体構造が可能となる。これにより、蓋部20側にも回路を形成することが可能になり、実装面積を増やすことが可能になる。
(2)また、蓋部20側にも回路を形成し、部品を実装することにより、電子装置の小型化が可能になる。
(3)ハウジング部10と蓋部20とを、リードフレームのプレスフィットにより接続するので、確実に電気的に接続できる。これにより、はんだ付け等の工程が不要であり、あるいは、コネクタやワイヤハーネスによる接続が不要であり、簡単の構成でハウジング部10と蓋部20とを電気的に接続可能となる。
(4)ハウジング部10と蓋部20とを、レーザ溶着により接着する。これにより、筐体内部の電子部品等を封止することが可能となる。
以上、本発明のいくつかの実施の形態を説明したが、これらの実施の形態は、一例に過ぎず、特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。これら新規な実施の形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更等を行うことができる。また、これら実施の形態の中で説明した特徴の組合せの全てが発明の課題を解決するための手段に必須であるとは限らない。さらに、これら実施の形態は、発明の範囲及び要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1…電子装置
5…筐体
10…ハウジング部
10a…収容部
10b…上面
10c…段部
10d…枠部
20…蓋部
20a…下面
20b…段部
20c…凹部
100、101、102、103、104、105、106,107…下リードフレーム
105a、106a,107a…リード部
105b、106b,107b…嵌合部
105c、106c,107c…先端部
105d、106d,107d…貫通穴部
105e、106e,107e…二股部
200、201、202…上リードフレーム
200a、201a、202a…リード部
200b、201b、202b…穴部
300、310,320、330、400、410,420…電子部品

Claims (3)

  1. 複数の第1リードフレームを備え、前記第1リードフレームに所定の電子部品が実装されたハウジング部と、
    複数の第2リードフレームを備え、前記第2リードフレームに所定の電子部品が実装され、前記ハウジング部を覆う蓋部と、を有し
    前記第1リードフレームの一部と、前記第2リードフレームの一部が、互いに電気的に接続されて構成されることを特徴とする電子装置の筐体構造。
  2. 前記第1リードフレームの一部と、前記第2リードフレームの一部とは、プレスフィットにより接続されることを特徴とする請求項1に記載の電子装置の筐体構造。
  3. 前記ハウジング部と前記蓋部とは、レーザ溶着により一体的に固定されて構成されることを特徴とする請求項1又は2に記載の電子装置の筐体構造。
JP2015079852A 2015-04-09 2015-04-09 電子装置の筐体構造 Pending JP2016201436A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015079852A JP2016201436A (ja) 2015-04-09 2015-04-09 電子装置の筐体構造

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015079852A JP2016201436A (ja) 2015-04-09 2015-04-09 電子装置の筐体構造

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2016201436A true JP2016201436A (ja) 2016-12-01

Family

ID=57424600

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015079852A Pending JP2016201436A (ja) 2015-04-09 2015-04-09 電子装置の筐体構造

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2016201436A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109219246A (zh) * 2017-07-07 2019-01-15 Tdk-迈克纳斯有限责任公司 封装的集成电路构件

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109219246A (zh) * 2017-07-07 2019-01-15 Tdk-迈克纳斯有限责任公司 封装的集成电路构件
US10854540B2 (en) 2017-07-07 2020-12-01 Tdk-Micronas Gmbh Packaged IC component
CN109219246B (zh) * 2017-07-07 2021-07-06 Tdk-迈克纳斯有限责任公司 封装的集成电路构件

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2008443B1 (de) Verfahren zur montage eines kameramoduls und kameramodul
JP6039514B2 (ja) 電子機器モジュール
KR101249604B1 (ko) 카메라모듈 및 그 제조방법
JP4111346B2 (ja) バスバー及び電気部品ケース及び電気部品の実装方法並びに端子接続構造
JP5454636B2 (ja) 電気接続箱
JP2014060307A (ja) 筐体及びその筐体の組立方法
CN107926120A (zh) 具有能经由插座元件灵活放置的器件的电子装置模块及其制造方法
JP4940017B2 (ja) 電子ユニットの製造方法
JP5222641B2 (ja) 回路構成体
JP2017098332A (ja) 電子回路装置
US20160087387A1 (en) Contacting part for a drive module, drive module, and method for producing a contacting part
US8614399B2 (en) Electric junction box
JP2010071724A (ja) 樹脂モールド半導体センサ及び製造方法
CN110832958B (zh) 电子控制装置以及电子控制装置的制造方法
JP2016201436A (ja) 電子装置の筐体構造
JP5737252B2 (ja) 回路装置とその製造方法
JP2017077149A (ja) 電動機およびこれを備える車載用装置、並びに、検査装置および電力入力部検査方法
JP2006005107A (ja) 回路構成体
JP2014022493A (ja) 立体回路部品、立体回路部品の製造方法及び物理量測定装置
JP2011077311A (ja) 樹脂封止型モジュール
JP5370731B2 (ja) 回路ユニット、回路構成体、電気接続箱および回路ユニットの製造方法
JP2007317837A (ja) 電子回路基板及び電子回路基板の製造方法
JP4912350B2 (ja) 電子装置の製造方法
JP2011047656A (ja) 磁気センサとその製造方法
JP7095866B2 (ja) 半導体装置の製造方法および半導体装置