JP2016201394A - 温度制御装置、温度制御方法およびプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理システムは、サーモビューア51と、温度測定装置14と、中心値算出部202と、オフセット算出部204と、温度制御部205とを有する。サーモビューア51は、半導体ウエハの上面全体の温度分布を測定する。温度測定装置14は、半導体ウエハの分割領域毎に、分割領域内の一部の領域の温度を測定する。中心値算出部202は、サーモビューア51が測定した温度分布に基づいて、分割領域毎に、分割領域内の温度分布の中心値を算出する。オフセット算出部204は、分割領域毎に、温度測定装置14が測定した領域の温度と、分割領域内の温度分布の中心値との差分をオフセットとして算出する。温度制御部205は、分割領域毎に、オフセットおよび温度測定装置14が測定した温度に基づいて、中心値が予め設定された設定温度となるように分割領域の温度を制御する。
【選択図】図6
Description
図1は、処理システム10の一例を示す図である。処理システム10は、例えば図1に示すように、処理装置100および制御装置200を備える。処理装置100は、半導体ウエハWに対して、プラズマエッチング、プラズマCVD、または熱処理等の処理を行う。制御装置200は、処理装置100に設けられた温度センサ等の各種センサからの情報に基づいて処理装置100を制御し、処理装置100内に搬入された半導体ウエハWに対して処理装置100に所定の処理を実行させる。処理システム10は、温度制御装置の一例である。
図2は、処理装置100の一例を示す断面図である。処理装置100は、例えば図2に示すように、気密に構成され、電気的に接地電位とされた処理チャンバ1を有する。処理チャンバ1は、例えば表面に陽極酸化被膜が施されたアルミニウム等により、略円筒状に形成されている。処理チャンバ1内には、被処理体である半導体ウエハWを水平に支持する載置台2が設けられている。
図3は、静電チャック6の上面の一例を示す図である。図4は、図3のA−A断面の一例を示す図である。静電チャック6の外周には、静電チャック6を囲むようにフォーカスリング5が設けられている。半導体ウエハWが載置される静電チャック6の上面は、例えば同心円状に複数の分割領域60a〜60dに分けられている。なお、以下では、複数の分割領域60a〜60dのそれぞれを区別することなく総称する場合に分割領域60と記載する。
図5は、キャリブレーション時の処理装置100の一例を示す断面図である。温度センサ20のキャリブレーション時には、図1を用いて説明したシャワーヘッド16が処理チャンバ1から取り外され、例えば図5に示すキャリブレーションユニット50が処理チャンバ1に取り付けられる。
図6は、制御装置200の一例を示すブロック図である。制御装置200は、例えば図6に示すように、第1の取得部201、中心値算出部202、第2の取得部203、オフセット算出部204、温度制御部205、記憶部206、および処理制御部207を有する。
なお、キャリブレーション時の設定温度は、半導体ウエハWの処理実行時の設定温度と同一であることが好ましい。
図7は、ある分割領域60の温度分布の一例を説明する図である。実施形態において、サーモビューア51はキャリブレーションが行われており、図7は、サーモビューア51によって測定された温度分布を示す。
ΔToff=ΔTd+ΔTe
=(Tmid1−T0)+(T0−T1)
=Tmid1−T1
ここで、静電チャック6のそれぞれの分割領域60の温度分布は、必ずしも同一であるとは限らない。静電チャック6上において、例えば図8に示すように、図7に例示した温度分布とは異なる温度分布となる他の分割領域60を考える。図8に例示した温度分布では、温度分布の平均値Tave2は、温度分布の範囲の中心値Tmid2よりも低い。一方、図7に例示した温度分布では、温度分布の平均値Tave1は、温度分布の範囲の中心値Tmid1よりも高い。
図11は、キャリブレーション時における制御装置200の動作の一例を示すフローチャートである。例えば、シャワーヘッド16に代えて、キャリブレーションユニット50が処理チャンバ1に取り付けられた後に、キャリブレーションの実行をオペレータから指示された場合に、制御装置200は、本フローチャートに示す動作を開始する。
図12は、半導体ウエハWに対する処理の実行時における制御装置200の動作の一例を示すフローチャートである。例えば、図2に示した処理装置100内に半導体ウエハWが搬入され、オペレータから半導体ウエハWに対する処理の実行開始を指示された場合に、制御装置200は、本フローチャートに示す動作を開始する。
なお、上記実施形態における制御装置200は、例えば図13に示すようなコンピュータ90によって実現される。図13は、制御装置200の機能を実現するコンピュータ90の一例を示す図である。コンピュータ90は、CPU(Central Processing Unit)91、RAM(Random Access Memory)92、ROM(Read Only Memory)93、補助記憶装置94、通信インターフェイス(I/F)95、入出力インターフェイス(I/F)96、およびメディアインターフェイス(I/F)97を備える。
10 処理システム
14 温度測定装置
100 処理装置
200 制御装置
201 第1の取得部
202 中心値算出部
203 第2の取得部
204 オフセット算出部
205 温度制御部
206 記憶部
207 処理制御部
30 ヒータ電源
31 伝熱ガス供給部
33 チラーユニット
Claims (13)
- 被処理体の温度を制御する温度制御装置において、
前記被処理体の上面全体の温度分布を測定する第1の温度測定部と、
前記被処理体の上面を所定の領域に分割した分割領域毎に、前記分割領域に含まれる一部の領域の温度を測定する第2の温度測定部と、
前記第1の温度測定部によって測定された前記被処理体の上面全体の温度分布に基づいて、前記分割領域毎に、前記分割領域内の温度分布の中心値を算出する中心値算出部と、
前記分割領域毎に、前記第2の温度測定部によって温度が測定された領域の前記被処理体の上面の温度と、前記中心値との差分をオフセットとして算出するオフセット算出部と、
前記分割領域毎に、前記オフセットおよび前記第2の温度測定部によって測定された温度に基づいて、前記中心値が予め設定された設定温度となるように前記分割領域の温度を制御する温度制御部と
を備えることを特徴とする温度制御装置。 - 前記第1の温度測定部は、
前記被処理体が載置される載置台の載置面において、前記被処理体が載置される領域全体の温度分布を前記被処理体の上面全体の温度分布として測定することを特徴とする請求項1に記載の温度制御装置。 - 前記載置台は、
前記被処理体が載置され、静電気力により前記被処理体を吸着保持する静電吸着部を有することを特徴とする請求項2に記載の温度制御装置。 - 前記温度制御部は、
前記分割領域毎に、前記第2の温度測定部によって測定された温度に前記オフセットを加算した温度が、前記設定温度となるように前記分割領域の温度を制御することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の温度制御装置。 - 前記温度制御部は、
前記分割領域毎に、前記第2の温度測定部によって測定された温度が、前記設定温度から前記オフセットを引いた温度となるように前記分割領域の温度を制御することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の温度制御装置。 - 前記第1の温度測定部は、
前記被処理体の上面を前記分割領域よりも小さい微小領域に分割し、前記微小領域毎に、前記微小領域から放射される所定範囲の波長の光の強度から前記微小領域の温度を測定することを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の温度制御装置。 - それぞれの前記微小領域は、前記被処理体の上面において1mm角以下の範囲の領域であることを特徴とする請求項6に記載の温度制御装置。
- 前記第1の温度測定部は、
−50℃から+400℃の範囲の中で、所定範囲の温度の測定が可能であることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の温度制御装置。 - 前記第2の温度測定部は、熱電対であることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の温度制御装置。
- 前記第1の温度測定部および前記第2の温度測定部は、温度分解能が0.1℃以下であることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載の温度制御装置。
- 前記温度制御部は、温度制御の分解能が0.1℃以下であることを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載の温度制御装置。
- 被処理体の温度を制御する温度制御方法において、
前記被処理体の上面全体の温度分布を測定する第1の温度測定ステップと、
前記被処理体の上面を所定の領域に分割した分割領域毎に、前記分割領域に含まれる一部の領域の温度を測定する第2の温度測定ステップと、
前記被処理体の上面全体の温度分布に基づいて、前記分割領域毎に、前記分割領域内の温度分布の中心値を算出する中心値算出ステップと、
前記分割領域毎に、前記第2の温度測定ステップにおいて温度が測定された領域の前記被処理体の上面の温度と、前記中心値との差分をオフセットとして算出するオフセット算出ステップと、
前記分割領域毎に、前記オフセットおよび前記第2の温度測定ステップにおいて測定した温度に基づいて、前記中心値が予め設定された設定温度となるように前記分割領域の温度を制御する温度制御ステップと
を含むことを特徴とする温度制御方法。 - コンピュータに、
第1の温度測定部によって測定された被処理体の上面全体の温度分布を取得するステップと、
前記被処理体の上面を所定の領域に分割した分割領域毎に、第2の温度測定部によって測定された前記分割領域に含まれる一部の領域の温度を取得するステップと、
前記第1の温度測定部によって測定された前記被処理体の上面全体の温度分布に基づいて、前記分割領域毎に、前記分割領域内の温度分布の中心値を算出する中心値算出ステップと、
前記分割領域毎に、前記第2の温度測定部によって温度が測定される位置の前記被処理体の上面の温度と、前記中心値との差分をオフセットとして算出するオフセット算出ステップと、
前記分割領域毎に、前記オフセットおよび前記第2の温度測定部によって測定された温度に基づいて、前記中心値が予め設定された設定温度となるように前記分割領域の温度を制御する指示を、前記分割領域毎の温度を制御する温度制御部へ出力するステップと
を実行させることを特徴とするプログラム。
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Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10725485B2 (en) * | 2016-12-15 | 2020-07-28 | Lam Research Corporation | System and method for calculating substrate support temperature |
JP6918554B2 (ja) | 2017-04-06 | 2021-08-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 可動体構造及び成膜装置 |
KR20190138315A (ko) | 2017-05-03 | 2019-12-12 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 고온 세라믹 가열기 상의 통합형 기판 온도 측정 |
US10608145B2 (en) * | 2017-05-05 | 2020-03-31 | Applied Materials, Inc. | Illumination device for desorbing molecules from inner walls of a processing chamber |
US11222783B2 (en) * | 2017-09-19 | 2022-01-11 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Using cumulative heat amount data to qualify hot plate used for postexposure baking |
CN108766906A (zh) * | 2018-05-04 | 2018-11-06 | 上海华力集成电路制造有限公司 | 降低晶圆的边沿热量流失的装置 |
CN111415887A (zh) * | 2020-03-27 | 2020-07-14 | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 | 一种晶圆加热装置 |
DE102020209549A1 (de) | 2020-07-29 | 2022-03-24 | Ers Electronic Gmbh | Kalibrierungsanordnung und entsprechendes Kalibrierungsverfahren sowie Kalibrierungsvorrichtung |
CN115590056B (zh) * | 2022-09-22 | 2023-12-01 | 上海盘点食品科技有限公司 | 通过控制温湿度解冻肉制品的方法和设备 |
CN117328029A (zh) * | 2023-09-21 | 2024-01-02 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 温度控制方法、装置和计算机可读介质 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH118180A (ja) * | 1997-06-17 | 1999-01-12 | Sony Corp | ベーキング装置 |
JP2003257873A (ja) * | 2002-03-04 | 2003-09-12 | Hitachi Ltd | 半導体製造方法および半導体製造装置 |
JP2008141086A (ja) * | 2006-12-05 | 2008-06-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2008177285A (ja) * | 2007-01-17 | 2008-07-31 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置 |
JP2009238773A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-15 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | ウェハ熱処理装置における温度計測方法、並びに温度制御方法 |
US8150242B2 (en) * | 2008-10-31 | 2012-04-03 | Applied Materials, Inc. | Use of infrared camera for real-time temperature monitoring and control |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06177141A (ja) | 1992-12-08 | 1994-06-24 | Toshiba Corp | 熱処理装置 |
KR20080109981A (ko) * | 2007-06-14 | 2008-12-18 | 주식회사 아이피에스 | 웨이퍼 가열 장치 제어 시스템, 및 방법 |
US8092637B2 (en) * | 2008-02-28 | 2012-01-10 | Hitachi High-Technologies Corporation | Manufacturing method in plasma processing apparatus |
JP5459907B2 (ja) * | 2010-01-27 | 2014-04-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板載置装置の評価装置、及びその評価方法、並びにそれに用いる評価用基板 |
JP5973731B2 (ja) * | 2012-01-13 | 2016-08-23 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びヒータの温度制御方法 |
-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH118180A (ja) * | 1997-06-17 | 1999-01-12 | Sony Corp | ベーキング装置 |
JP2003257873A (ja) * | 2002-03-04 | 2003-09-12 | Hitachi Ltd | 半導体製造方法および半導体製造装置 |
JP2008141086A (ja) * | 2006-12-05 | 2008-06-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2008177285A (ja) * | 2007-01-17 | 2008-07-31 | Hitachi High-Technologies Corp | プラズマ処理装置 |
JP2009238773A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-15 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | ウェハ熱処理装置における温度計測方法、並びに温度制御方法 |
US8150242B2 (en) * | 2008-10-31 | 2012-04-03 | Applied Materials, Inc. | Use of infrared camera for real-time temperature monitoring and control |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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