JP2016201382A - 太陽電池用パッシベーション膜形成方法及び太陽電池用パッシベーション膜形成装置 - Google Patents
太陽電池用パッシベーション膜形成方法及び太陽電池用パッシベーション膜形成装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016201382A JP2016201382A JP2015078130A JP2015078130A JP2016201382A JP 2016201382 A JP2016201382 A JP 2016201382A JP 2015078130 A JP2015078130 A JP 2015078130A JP 2015078130 A JP2015078130 A JP 2015078130A JP 2016201382 A JP2016201382 A JP 2016201382A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas discharge
- precursor
- passivation film
- silicon substrate
- solar cell
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/546—Polycrystalline silicon PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/547—Monocrystalline silicon PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】p型またはn型の導電型を持つ結晶シリコン基板よりキャリア濃度が高い、p型の導電型を持つp+領域とn型の導電型を持つn+領域とが一方の表面に形成された当該結晶シリコン基板の、当該一方の表面にパッシベーション膜を形成する方法であって、有機金属を含むプリカーサガスをp+領域の表面に選択的に噴き付けてプリカーサ層を形成するプリカーサ層形成ステップと、少なくともプリカーサ層を酸化ガス雰囲気に曝すことにより酸化させて金属酸化膜を形成する酸化ステップと、とを実行する。
【選択図】図1
Description
〔実施例〕
〔比較例〕
102 p+領域
103 n+領域
104 プリカーサ層
105 酸化アルミ膜
106 シリコン酸化膜
107、108 保護膜
200、300 太陽電池用パッシベーション膜形成装置
210 プリカーサガス吐出部
211 プリカーサガス吐出口
212 プリカーサガス排出口
220 酸化ガス吐出部
221 酸化ガス吐出口
222 酸化ガス排出口
230 不活性ガス吐出部
231 不活性ガス吐出口
232 不活性ガス排出口
301 基板検知部
302 位置調整機構
303 搬送機
Claims (21)
- p型またはn型の導電型を持つ結晶シリコン基板よりキャリア濃度が高い、p型の導電型を持つp+領域とn型の導電型を持つn+領域とが一方の表面に形成された当該結晶シリコン基板の、当該一方の表面にパッシベーション膜を形成する太陽電池用パッシベーション膜形成方法であって、
有機金属を含むプリカーサガスを前記p+領域の表面に選択的に噴き付けてプリカーサ層を形成するプリカーサ層形成ステップと、
少なくとも前記プリカーサ層を酸化ガスに曝すことにより酸化させて金属酸化膜を形成する酸化ステップと、
を実行する太陽電池用パッシベーション膜形成方法。 - 前記プリカーサ層形成ステップにおいて、前記プリカーサガスを吐出するプリカーサガス吐出口の、前記結晶シリコン基板に対する相対位置を、前記結晶シリコン基板の表面に平行な方向に変化させることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池用パッシベーション膜形成方法。
- 前記酸化ステップにおいて、前記酸化ガスを吐出する酸化ガス吐出口の前記結晶シリコン基板に対する相対位置を、前記結晶シリコン基板に対して平行な方向に変化させることを特徴とする請求項1または2に記載の太陽電池用パッシベーション膜形成方法。
- 前記プリカーサガス吐出口は配列方向に沿って複数設けられ、
前記プリカーサ層形成ステップにおいて、前記複数のプリカーサガス吐出口の、前記結晶シリコン基板に対する相対位置を、当該配列方向に対して垂直かつ前記結晶シリコン基板に対して平行な方向に変化させることを特徴とする請求項2に記載の太陽電池用パッシベーション膜形成方法。 - 前記酸化ステップにおいて、前記酸化ガスを吐出する直線状の酸化ガス吐出口の前記結晶シリコン基板に対する相対位置を、前記配列方向に対して垂直かつ前記結晶シリコン基板に対して平行な方向に、前記プリカーサガス吐出口に追随して変化させることを特徴とする請求項4に記載の太陽電池用パッシベーション膜形成方法。
- 前記酸化ステップは、前記n+領域の表面についても酸化ガスに曝すことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の太陽電池用パッシベーション膜形成方法。
- 前記プリカーサ層形成ステップと前記酸化ステップを、所定の金属酸化膜厚が得られるまで繰り返すことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の太陽電池用パッシベーション膜形成方法。
- 前記プリカーサガスは、不活性ガスを含む混合気体であることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の太陽電池用パッシベーション膜形成方法。
- 前記有機金属は、アルキルアルミニウムであることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の太陽電池用パッシベーション膜形成方法。
- 前記酸化ガスは、酸素、オゾン、及び水のいずれか、または組み合わせを含むことを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の太陽電池用パッシベーション膜形成方法。
- 前記酸化ガスは、水またはオゾンと不活性ガスとの混合気体であることを特徴とする請求項1から10のいずれか1項に記載の太陽電池用パッシベーション膜形成方法。
- p型またはn型の導電型を持つ結晶シリコン基板よりキャリア濃度が高い、p型の導電型を持つp+領域とn型の導電型を持つn+領域とが一方の表面に形成された当該結晶シリコン基板の、当該一方の表面にパッシベーション膜を形成する太陽電池用パッシベーション膜形成装置であって、
前記p+領域に向けて有機金属を含むプリカーサガスを吐出する、直線状に配置された複数のプリカーサガス吐出口と、互いに隣接する前記プリカーサガス吐出口を隔て、余剰の前記プリカーサガスを吸引し排気するプリカーサガス排気口と、を備えるプリカーサガス吐出部と、
少なくとも前記p+領域に向けて酸化ガスを吐出する直線状の酸化ガス吐出口を備える酸化ガス吐出部と、
を備える太陽電池用パッシベーション膜形成装置。 - 前記プリカーサガス吐出部は、配列方向に沿って、前記p+領域と同数の前記プリカーサガス吐出口を備え、前記結晶シリコン基板に対する相対位置を、当該配列方向に対して垂直かつ前記結晶シリコン基板に対して平行な方向に変化させるように、前記結晶シリコン基板に対して相対的に移動することを特徴とする請求項10に記載の太陽電池用パッシベーション膜形成装置。
- 各前記プリカーサガス吐出口の前記配列方向における開口幅が、当該各前記プリカーサガス吐出口からそれぞれ前記プリカーサガスを噴き付けられる前記複数の前記p+領域それぞれの、前記配列方向の幅以下であることを特徴とする請求項13に記載の太陽電池用パッシベーション膜形成装置。
- 前記酸化ガス吐出部は、前記結晶シリコン基板との相対位置が変化する方向において、前記プリカーサ吐出部と直列に配置されることを特徴とする請求項13または14に記載の太陽電池用パッシベーション膜形成装置。
- 前記酸化ガス吐出口は、前記結晶シリコン基板との相対位置が変化する方向に対して垂直方向に、前記結晶シリコン基板の幅以上の開口幅で開口していることを特徴とする請求項15に記載の太陽電池用パッシベーション膜形成装置。
- 前記酸化ガス吐出部は、前記酸化ガス吐出口に平行に隣接し余剰の前記酸化ガスを吸引し排気する酸化ガス排気口を更に備えることを特徴とする請求項13または14に記載の太陽電池用パッシベーション膜形成装置。
- 前記プリカーサガス吐出部と前記酸化ガス吐出部との間に、前記酸化ガス吐出口の前記開口幅以上の幅の開口部から不活性ガスを吐出する不活性ガス吐出口を更に備えることを特徴とする請求項15から17のいずれか1項に記載の太陽電池用パッシベーショ膜の形成装置。
- 前記プリカーサガス吐出部と前記不活性ガス吐出口との間に、前記プリカーサガス吐出部の、複数の前記プリカーサガス吐出口が直線状に並んだ方向の幅以上の開口幅を持つ、余剰の前記不活性ガスを吸引し排気する不活性ガス排気口を更に備えることを特徴とする請求項18に記載の太陽電池用パッシベーション膜形成装置。
- 前記酸化ガス吐出部と前記不活性ガス吐出口との間に、前記酸化ガス吐出口の前記開口幅以上の開口幅を持つ、余剰の前記不活性ガスを吸引し排気する不活性ガス排気口を更に備えることを特徴とする請求項18または19に記載の太陽電池用パッシベーション膜形成装置。
- 前記結晶シリコン基板と前記プリカーサガス吐出口との位置合わせを行うアライメント機構を更に備える請求項12から20のいずれか1項に記載の太陽電池用パッシベーション膜形成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015078130A JP6420706B2 (ja) | 2015-04-07 | 2015-04-07 | 太陽電池用パッシベーション膜形成方法及び太陽電池用パッシベーション膜形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015078130A JP6420706B2 (ja) | 2015-04-07 | 2015-04-07 | 太陽電池用パッシベーション膜形成方法及び太陽電池用パッシベーション膜形成装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016201382A true JP2016201382A (ja) | 2016-12-01 |
JP6420706B2 JP6420706B2 (ja) | 2018-11-07 |
Family
ID=57424363
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015078130A Active JP6420706B2 (ja) | 2015-04-07 | 2015-04-07 | 太陽電池用パッシベーション膜形成方法及び太陽電池用パッシベーション膜形成装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6420706B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019050329A (ja) * | 2017-09-12 | 2019-03-28 | シャープ株式会社 | 太陽電池セルの製造方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005089781A (ja) * | 2003-09-12 | 2005-04-07 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 薄膜形成装置 |
JP2007054825A (ja) * | 2005-07-25 | 2007-03-08 | Seiko Epson Corp | 製膜方法及びパターニング方法、並びにこれらを用いた電子装置の製造方法 |
JP2011506758A (ja) * | 2007-09-26 | 2011-03-03 | イーストマン コダック カンパニー | 有機材料を堆積する方法 |
JP2011100973A (ja) * | 2009-11-04 | 2011-05-19 | Samsung Electronics Co Ltd | 太陽電池およびその製造方法 |
JP2012501537A (ja) * | 2008-08-27 | 2012-01-19 | ネーデルランツ オルガニサティー フォール トゥーゲパストナトゥールヴェテンシャッペリーク オンデルズーク テーエンオー | 原子層堆積のための装置および方法 |
US20120222735A1 (en) * | 2011-03-03 | 2012-09-06 | Palo Alto Research Center Incorporated | N-Type Silicon Solar Cell With Contact/Protection Structures |
JP2013004889A (ja) * | 2011-06-21 | 2013-01-07 | Sharp Corp | 裏面電極型太陽電池の製造方法 |
JP2013520572A (ja) * | 2010-02-25 | 2013-06-06 | ネーデルランセ オルハニサチエ フォール トゥーヘパスト−ナツールウェーテンシャッペルック オンデルズク テーエヌオー | 層堆積方法および機器 |
-
2015
- 2015-04-07 JP JP2015078130A patent/JP6420706B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005089781A (ja) * | 2003-09-12 | 2005-04-07 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 薄膜形成装置 |
JP2007054825A (ja) * | 2005-07-25 | 2007-03-08 | Seiko Epson Corp | 製膜方法及びパターニング方法、並びにこれらを用いた電子装置の製造方法 |
JP2011506758A (ja) * | 2007-09-26 | 2011-03-03 | イーストマン コダック カンパニー | 有機材料を堆積する方法 |
JP2012501537A (ja) * | 2008-08-27 | 2012-01-19 | ネーデルランツ オルガニサティー フォール トゥーゲパストナトゥールヴェテンシャッペリーク オンデルズーク テーエンオー | 原子層堆積のための装置および方法 |
JP2011100973A (ja) * | 2009-11-04 | 2011-05-19 | Samsung Electronics Co Ltd | 太陽電池およびその製造方法 |
JP2013520572A (ja) * | 2010-02-25 | 2013-06-06 | ネーデルランセ オルハニサチエ フォール トゥーヘパスト−ナツールウェーテンシャッペルック オンデルズク テーエヌオー | 層堆積方法および機器 |
US20120222735A1 (en) * | 2011-03-03 | 2012-09-06 | Palo Alto Research Center Incorporated | N-Type Silicon Solar Cell With Contact/Protection Structures |
JP2013004889A (ja) * | 2011-06-21 | 2013-01-07 | Sharp Corp | 裏面電極型太陽電池の製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019050329A (ja) * | 2017-09-12 | 2019-03-28 | シャープ株式会社 | 太陽電池セルの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6420706B2 (ja) | 2018-11-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN111564503B (zh) | 一种背结背接触太阳能电池结构及其制备方法 | |
JP5801791B2 (ja) | バックエッチングを施したエミッタを有するシリコン太陽電池および類似の太陽電池を形成する方法 | |
JP3999820B2 (ja) | 選択性拡散領域を有する光電池の製造方法 | |
KR101038487B1 (ko) | 금속 촉매를 이용한 태양전지의 습식 텍스처링 방법 | |
WO2010032933A2 (en) | Solar cell and texturing method thereof | |
JPH10233518A (ja) | 太陽電池の製造方法及び太陽電池並びに半導体装置の製造方法 | |
JP2004221149A (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
CN107799616B (zh) | 一种叉指背接触太阳能电池片及其制作方法 | |
KR20120052310A (ko) | 태양 전지 전면 컨택트 도핑 | |
US9324899B2 (en) | Emitter diffusion conditions for black silicon | |
WO2022037289A1 (zh) | 钝化接触电池及制备方法和钝化接触结构制备方法及装置 | |
US20130247980A1 (en) | Method for fabricating back electrode type solar cell, and back electrode type solar cell | |
JP5756352B2 (ja) | 裏面電極型太陽電池の製造方法 | |
KR20120113548A (ko) | 식각 마스크 페이스트 및 이를 이용한 후면전극형 태양전지 | |
TW201721898A (zh) | 太陽電池之製造方法及太陽電池 | |
JP6420706B2 (ja) | 太陽電池用パッシベーション膜形成方法及び太陽電池用パッシベーション膜形成装置 | |
JP2011233656A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
CN117476796A (zh) | 一种TOPCon电池及TOPCon电池的制备方法 | |
CN218244272U (zh) | 一种钙钛矿电池及其内部串联结构 | |
WO2019163646A1 (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
CN111540791A (zh) | 太阳电池及其制作方法 | |
TWI629804B (zh) | 太陽電池之製造方法 | |
JP2006344883A (ja) | 太陽電池の製造方法 | |
JP2016131232A (ja) | 半導体基板、半導体装置の製造方法、半導体装置の製造装置、太陽電池および太陽電池の製造方法並びに太陽電池の製造装置。 | |
JP2004281569A (ja) | 太陽電池素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170425 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180403 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180405 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180703 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180727 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181002 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181012 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6420706 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |