JP2016197808A - 負荷駆動装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】様々なゲート抵抗に対応して耐量確保を行えるようにする。
【解決手段】第1スイッチングデバイス2のゲート−ドレイン間に第2スイッチングデバイス5を配置する。また、第2スイッチングデバイス5のゲート−ドレイン間にツェナーダイオード6を配置し、ゲートに第2ゲート抵抗7を接続する。このような構成とすることで、ツェナーダイオード6のブレイク電圧Vzと第2ゲート抵抗7の抵抗値およびツェナーダイオード6および第2ゲート抵抗7に流れる電流に基づいて、第2スイッチングデバイス5を動作させられる。そして、第2スイッチングデバイス5をオンさせることで高い動作電流を得ることができることから、ツェナーダイオード6の容量を増大させなくても、第1スイッチングデバイス5をオンさせられる。したがって、第1ゲート抵抗4の抵抗値が様々に変化したとしても、それに対応して耐量確保を行うことが可能となる。
【選択図】図1
【解決手段】第1スイッチングデバイス2のゲート−ドレイン間に第2スイッチングデバイス5を配置する。また、第2スイッチングデバイス5のゲート−ドレイン間にツェナーダイオード6を配置し、ゲートに第2ゲート抵抗7を接続する。このような構成とすることで、ツェナーダイオード6のブレイク電圧Vzと第2ゲート抵抗7の抵抗値およびツェナーダイオード6および第2ゲート抵抗7に流れる電流に基づいて、第2スイッチングデバイス5を動作させられる。そして、第2スイッチングデバイス5をオンさせることで高い動作電流を得ることができることから、ツェナーダイオード6の容量を増大させなくても、第1スイッチングデバイス5をオンさせられる。したがって、第1ゲート抵抗4の抵抗値が様々に変化したとしても、それに対応して耐量確保を行うことが可能となる。
【選択図】図1
Description
本発明は、負荷への電力供給を制御するスイッチングデバイス(半導体スイッチング素子)を有し、このスイッチングデバイスを駆動回路によって駆動することで負荷への電力供給を制御する負荷駆動装置に関するものである。
従来より、負荷への電力供給をスイッチングデバイスを用いて行う負荷駆動装置が知られている。特に、窒化ガリウム(以下、GaNという)に代表される窒化物半導体は、その物性値(バンドギャップエネルギーEg=3.4eV、電子のドリフト速度2.7×107cm/s、絶縁破壊電界4.0×106V/cm)より、パワー系のスイッチングデバイスに適している。
例えば、非特許文献1において、その素材のもつ能力の高さから、窒化物半導体を代表する素子であるGaN−HEMT(窒化ガリウム高電子移動度トランジスタ)において、低オン抵抗化が実現されていることが記載されている。具体的には、オン抵抗、耐圧の素子リミットとして、200V耐圧をもつGaN−HEMTデバイスにおいて、Siを用いたMOSFET(金属―酸化膜―半導体電界効果トランジスタ)の1/10、IGBT(絶縁ゲート倍ポートトランジスタ)の1/3以下の低オン抵抗化が実現されている。
しかしながら、半導体スイッチング素子、特にGaN−HEMTを例えばインダクタ素子などの誘導負荷(以下、L負荷という)のある電源や、L負荷モータを有するインバータ等のスイッチとして適用する場合、L負荷耐量が無いという問題がある。このため、保護ダイオードを用いてL負荷耐量を得られるようにしている。これは、より大きなL負荷が用いられる場合に、Si−IGBTでも使われている方法である。
W. Satito et al., "IEEE Transactions on Electron Devices", 2003, Vol. 50, No. 12, pp. 2528
上記した保護ダイオードを用いる形態をGaN−HEMTに応用する場合のクランプ動作について、図7に示す負荷駆動装置の回路構成を参照して説明する。これは、ノーマリオフ型のGaN−HEMTがオフ、つまりゲート電圧VG=0Vのときの動作である。GaN−HEMTがオフの際に、ドレインに印加される高電圧、高エネルギーから、スイッチングデバイスを保護する機能を発揮する。
図7に示すように、GaN−HEMT100のゲートに駆動回路101からゲート抵抗102を介してゲート電圧を印加することでGaN−HEMT100をオンさせ、GaN−HEMT100のドレインに接続されたL負荷103に電流供給を行う回路になっている。GaN−HEMT100のゲート−ドレイン間にはツェナーダイオード104が接続され、ゲート−ソース間にも高電圧保護用のツェナーダイオード105が接続されている。
このような回路において、GaN−HEMT100のドレイン電圧が、ツェナーダイオード104の動作電圧となるツェナー降伏電圧(以下、ブレイク電圧という)Vz以上になると、このツェナーダイオード104を通ってGaN−HEMT100のドレインからゲートを経てGNDに電流が流れる(図7中の経路(1)参照)。このときに流れる電流とゲート抵抗102により、ゲート電圧VGが発生し、この電流が所定の電流値以上になるとGaN−HEMT100が再びオンすることでL負荷103側から電流が流される(図7中の経路(2)参照)。
この結果、ドレインに印加される高電圧、印加エネルギーは、GaN−HEMT100などが形成されたチップ全体で消費されることとなり、高エネルギー耐量を確保し易くなる。
したがって、GaN−HEMT100のしきい値電圧Vtとゲート抵抗102の関係から求まる電流値のときにゲート−ドレイン間のツェナーダイオード104のブレイク電圧Vzがドレイン・クランプ電圧となる。
しかしながら、このような回路構成を用いたドレインに印加される高電圧、高エネルギーの耐量確保は、次に示すような問題が発生する。
すなわち、上記回路構成では、回路速度を決定するゲート抵抗102の抵抗値に依存して、経路(1)を流れる電流の電流値とそのときのゲート電圧VGが変化するので、ゲート抵抗102に対する汎用性がない。また、回路速度を高速化するために、ゲート抵抗102を低抵抗化すると、GaN−HEMT100をオンするゲート電圧VGにするための電流値が必要になり、ツェナーダイオード104の容量の増大を招く。ツェナーダイオード104の容量の増大は、GaN−HEMT100と同一チップ内にツェナーダイオード104を内蔵する形態ならばチップ面積の増大を招く。また、ツェナーダイオード104をGaN−HEMT100が形成されたチップに対して外付けする外付けツェナーダイオードとする形態ならば、同じツェナーダイオードを用いることができず、汎用性に欠ける。いずれにしてもコスト増大を招く。
なお、ここではスイッチングデバイスとしてGaN−HEMT100を用いた回路構成について説明したが、他のスイッチングデバイス、例えばMOSFETやIGBTについても、同様のことが言える。
本発明は上記点に鑑みて、ゲートに対してゲート抵抗を介して駆動回路からのゲート電圧が印加されるスイッチングデバイスを備えた負荷駆動装置において、様々なゲート抵抗に対応して耐量確保を行えるようにすることを目的とする。
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、ゲートに対してゲート電圧が印加されることによりドレイン−ソース間に電流を流すことで、負荷(1)への電流供給を行う半導体スイッチング素子にて構成された第1スイッチングデバイス(2)と、第1スイッチングデバイスのゲートに接続された第1ゲート抵抗(4)と、第1ゲート抵抗のうち第1スイッチングデバイスのゲートと接続される側と反対側に接続され、ゲート電圧の印加を行う駆動回路(3)と、ゲートの電圧が所定のしきい値電圧よりも高くなるとドレイン−ソース間に電流を流すと共に、該ドレイン−ソースが第1スイッチングデバイスのゲート−ドレイン間に接続され、半導体スイッチング素子にて構成された第2スイッチングデバイス(5)と、第2スイッチングデバイスのゲートに対して接続された第2ゲート抵抗(7)と、第2スイッチングデバイスのゲート−ドレイン間に接続されたツェナーダイオード(6)と、を有していることを特徴としている。
このように、第1スイッチングデバイスのゲート−ドレイン間に第2スイッチングデバイスを配置している。また、第2スイッチングデバイスのゲート−ドレイン間にツェナーダイオードを配置し、ゲートに第2ゲート抵抗を接続している。このような構成とすることで、ツェナーダイオードのブレイク電圧および第2ゲート抵抗の抵抗値とツェナーダイオードおよび第2ゲート抵抗に流れる電流に基づいて、第2スイッチングデバイスを動作させられる。そして、第2スイッチングデバイスをオンさせることで高い動作電流を得ることができることから、ツェナーダイオードの容量を増大させなくても、第1スイッチングデバイスをオンさせられる。
したがって、第1ゲート抵抗の抵抗値が様々に変化したとしても、それに対応して耐量確保を行うことが可能となる。さらに、第1ゲート抵抗の抵抗値のレンジを広げられることから、回路速度の高速化のために第1ゲート抵抗の抵抗値を低抵抗化したとしても、ツェナーダイオードの容量を増大させることなく、耐量確保が行える。したがって、ツェナーダイオードを第1スイッチングデバイスなどと同一チップに内蔵する場合であればチップ面積増大を抑制できるし、外付けツェナーダイオードとする場合には同じものを用いることができて汎用性を高めることが可能となる。
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係の一例を示すものである。
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態にかかる負荷駆動装置について、図1を参照して説明する。
本発明の第1実施形態にかかる負荷駆動装置について、図1を参照して説明する。
図1に示す負荷駆動装置は、負荷1に接続された第1スイッチングデバイス2と、第1スイッチングデバイス2をオンすることにより負荷1への電力供給を行う駆動回路3などを有するものである。
負荷1は、電力供給のオンオフによって駆動される装置であればどのようなものであってもよく、例えば第1スイッチングデバイス2を複数個備えることでインバータを構成すれば、三相モータなどとすることもできる。例えば、本実施形態の場合、負荷1を挟んで第1スイッチングデバイス2の反対側に図示しない電源が備えられており、第1スイッチングデバイス2がオンさせられると、電源からGNDへの電流経路が導通させられ、負荷1に対して電流供給が為される。
第1スイッチングデバイス2は、GaN−HEMT、IGBTもしくはパワーMOSFETなどの半導体スイッチング素子によって構成される。なお、本実施形態では第1スイッチングデバイス2をGaN−HEMTで構成している場合を想定して説明する。第1スイッチングデバイス2のドレイン端子D1が負荷1に接続され、ソース端子S1がGND接地されている。なお、ここではソース端子S1をGND接地した場合について示してあるが、ソース端子S1側は基準電位点とされ、他の電位とされることもある。
また、第1スイッチングデバイス2のゲートG1が第1ゲート抵抗4を介して駆動回路3に接続されており、駆動回路3から出力されるゲート電圧が第1ゲート抵抗4を介して第1スイッチングデバイス2のゲートG1に印加されるようになっている。
さらに、第1スイッチングデバイス2のゲート−ドレイン間には、もう一つのスイッチングデバイスとなる第2スイッチングデバイス5がツェナーダイオード6および第2ゲート抵抗7と共に配置されている。
具体的には、第1スイッチングデバイス2のゲートG1に対して第2スイッチングデバイス5のソース端子S2が接続され、第1スイッチングデバイス2と第2スイッチングデバイス5の各ドレイン端子D1、D2同士が接続されている。第1スイッチングデバイス2のサイズと比較して、第2スイッチングデバイス5のサイズが小さくされている。より詳しくは、第1スイッチングデバイス2のゲート幅をWg1とし、第2スイッチングデバイス5のゲート幅をWg2とすると、これらの関係はWg1>Wg2が成り立つように第1、第2スイッチングデバイス2、5の寸法設計が為されている。
ツェナーダイオード6は、第2スイッチングデバイス5のゲート−ドレイン間に接続されている。ツェナーダイオード6は、例えばp型およびn型にドープしたポリシリコンを複数個多段に並べることによって構成されている。ツェナーダイオード6は、第2スイッチングデバイス5のドレイン側から第2ゲート抵抗7の方向に対してもその逆方向に対しても、所定のツェナー降伏電圧をブレイク電圧Vzとして、ブレイク電圧Vz以上の電圧が掛かったときに電流が流れるようになっている。そして、第1スイッチングデバイス2を耐圧VB1、第2スイッチングデバイス5の耐圧をVB2とすると、ツェナーダイオード6のブレイク電圧Vzは耐圧VB1、VB2よりも低く設定してある。したがって、第1、第2スイッチングデバイス2、5が破壊される前にツェナーダイオード6のブレイク電圧Vzに達して、ツェナーダイオード6が導通させられるようになっている。
第2ゲート抵抗7は、第2スイッチングデバイス5のゲートに接続されており、本実施形態の場合、第2ゲート抵抗7のうち第2スイッチングデバイス5のゲートG2に接続される側とは反対側がGND接地されている。
なお、第1スイッチングデバイス2のゲート−ソース間に備えられたツェナーダイオード8は、高電圧保護用ツェナーダイオードである。第1スイッチングデバイス2のゲート−ソース間電圧が高電圧になろうとしたときにツェナーダイオード8が導通させられることで、これらの間が所定電圧以上になることを防止し、第1スイッチングデバイス2が保護されるようにしてある。
以上のようにして、本実施形態にかかる負荷駆動装置が構成されている。続いて、このように構成された本実施形態にかかる負荷駆動装置の作動について説明する。
まず、駆動回路3から例えばパルス状のゲート電圧(例えば20V)が印加されることによって第1スイッチングデバイス2がオンさせられる。これにより、第1スイッチングデバイス2のドレイン−ソース間が導通し、図示しない電源からの電流供給に基づいて負荷1を通じてGNDに電流Iが流れる電流経路が導通させられる。これにより、負荷1に対して電流供給が為され、負荷1が駆動させられる。
一方、駆動回路3からのゲート電圧の印加が停止させられると、第1スイッチングデバイス2はオフさせられる。このとき、第1、第2スイッチングデバイス2、5のドレイン電圧が負荷1のL負荷エネルギーによって上昇する。そして、第1、第2スイッチングデバイス2、5のドレイン電圧がツェナーダイオード6の動作電圧となるブレイク電圧Vz以上になると、ツェナーダイオード6が導通させられる。このため、ツェナーダイオード6を通じて第2スイッチングデバイス5のドレインからゲートおよび第2ゲート抵抗7を経て、GNDに電流が流れる(図1中の経路(1)参照)。このときに流れる電流の電流値は、ツェナーダイオード6および第2ゲート抵抗7によって決まる。
そして、第2ゲート抵抗7に対して電流が流れることで、第2スイッチングデバイス5のゲート電圧が第2スイッチングデバイス5のしきい値電圧よりも高くなり、第2スイッチングデバイス5がオンされてドレイン−ソース間に電流が流れる(図1中の経路(2)参照)。
このとき、第2スイッチングデバイス5がオンされていて駆動能力が高く、第2スイッチングデバイス5のドレイン−ソース間に電流を多く流すことができる。このため、第1スイッチングデバイス2のゲートや第1ゲート抵抗4側に流せる電流(以下、動作電流という)を多くすることができる。例えば、従来の回路構成のように第1スイッチングデバイス2のゲート−ドレイン間にツェナーダイオードのみを配置する構造である場合と比較して、本実施形態のツェナーダイオード6の寸法を小さくしても、従来と同様の駆動能力を得ることができる。具体的には、本実施形態の回路構成に備えられるツェナーダイオード6の幅を従来の構造のツェナーダイオードと同じ幅とした場合を想定すると、動作電流を1桁以上高くできる。
したがって、第1ゲート抵抗4については、従来の回路構成の場合と比較して1/10の抵抗値であったとしても第1スイッチングデバイス2をオンさせることができ、L負荷エネルギーを放出させることが可能となる。また、第1ゲート抵抗4の抵抗値を従来の回路構成の場合と比較して1/10にしても良くなることから、第1ゲート抵抗4の抵抗値のレンジを従来の回路構成と比較して10倍に高めることが可能になる。よって、第1ゲート抵抗4の抵抗値が様々に変化したとしても、それに対応して耐量確保を行うことが可能となる。
以上説明したように、本実施形態にかかる負荷駆動装置では、第1スイッチングデバイス2のゲート−ドレイン間に第2スイッチングデバイス5を配置している。また、第2スイッチングデバイス5のゲート−ドレイン間にツェナーダイオード6を配置し、ゲートに第2ゲート抵抗7を接続している。このような構成とすることで、ツェナーダイオード6のブレイク電圧Vzと第2ゲート抵抗7の抵抗値およびツェナーダイオード6および第2ゲート抵抗7に流れる電流に基づいて、第2スイッチングデバイス5を動作させられる。そして、第2スイッチングデバイス5をオンさせることで高い動作電流を得ることができることから、ツェナーダイオード6の容量を増大させなくても、第1スイッチングデバイス5をオンさせられる。
したがって、第1ゲート抵抗4の抵抗値が様々に変化したとしても、それに対応して耐量確保を行うことが可能となる。さらに、第1ゲート抵抗4の抵抗値のレンジを広げられることから、回路速度の高速化のために第1ゲート抵抗4の抵抗値を低抵抗化したとしても、ツェナーダイオード6の容量を増大させることなく、耐量確保が行える。したがって、ツェナーダイオード6を第1スイッチングデバイス2などと同一チップに内蔵する場合であればチップ面積増大を抑制できるし、外付けツェナーダイオードとする場合には同じものを用いることができて汎用性を高めることが可能となる。
例えば、第1ゲート抵抗4の抵抗値Rg1=100Ωの場合、ゲート電圧G1を5Vに持ち上げるためには、50mAの動作電流を要する。従来構造において、ツェナーダイオードにブレイク電圧Vzが加わっているときに発生させられる動作電流が50mAであるとする場合、例えば厚さ250nmのポリシリコンでツェナーダイオードを構成すると100mm以上の幅を必要とする。このポリシリコンを設置する面積がチップ面積増大要因になる。
これに対して、本実施形態の構造の場合、第2ゲート抵抗7が駆動回路3から切り離されていて第2ゲート抵抗7の抵抗値Rg2を任意に設定できる。このため、動作電流として50mAを発生させるために、ゲート幅Wg2=250μm程度とされる第2スイッチングデバイス5を備えると共に第2ゲート抵抗7の抵抗値Rg2を10000Ωとすれば、ツェナーダイオード6を構成するポリシリコンの幅は従来構造の1/100、つまり1mmにできる。したがって、本実施形態の構造の場合、ツェナーダイオード6を第1スイッチングデバイス2などと同一チップに内蔵する場合であればチップ面積増大を抑制できるし、外付けツェナーダイオードとする場合には同じものを用いることができて汎用性を高めることが可能となる。
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して第2ゲート抵抗7の接続先を変更したものであり、その他については第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して第2ゲート抵抗7の接続先を変更したものであり、その他については第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
図2に示すように、本実施形態にかかる負荷駆動装置は、基本的な回路構成については第1実施形態と同様である。ただし、第2ゲート抵抗7のうち第2スイッチングデバイス5のゲートに接続される側とは反対側が第1スイッチングデバイス2のゲートと第1ゲート抵抗4との間に接続されるようにしている。
このような構成とされる場合、第1スイッチングデバイス2をオンさせるときは、第2スイッチングデバイス5におけるゲート−ソース間の電位が同じであることから、第2スイッチングデバイス5はオフの状態のままとなる。このため、第2スイッチングデバイス5やツェナーダイオード6および第2ゲート抵抗7は特に作用せず、駆動回路3は第1ゲート抵抗4を介して第1スイッチングデバイス2を制御できる。
一方、駆動回路3からのゲート電圧の印加が停止させられて第1スイッチングデバイス2がオフさせられるときには、第1、第2スイッチングデバイス2、5のドレイン電圧が負荷1のL負荷エネルギーによって上昇する。そして、第1、第2スイッチングデバイス2、5のドレイン電圧がツェナーダイオード6の動作電圧となるブレイク電圧Vz以上になると、ツェナーダイオード6が導通させられる。このため、ツェナーダイオード6を通じて第2スイッチングデバイス5のドレインからゲート、さらには第2ゲート抵抗7および第1ゲート抵抗4を経て、GNDに電流が流れる(図2中の経路(1)参照)。これにより、第1実施形態と同様の動作が行われ、L負荷エネルギーを放出させることが可能となる。
このように、第2ゲート抵抗7の接続先を第1スイッチングデバイス2のゲートと第1ゲート抵抗4との間としても、第1実施形態と同様の効果を得ることができる。また、このような構成の場合、駆動回路3より第1スイッチングデバイス2に印加するゲート電圧を正電圧だけでなく負電圧とすることも可能となる。例えば、ゲート電圧を±20Vに制御できる。すなわち、負荷1から第1スイッチングデバイス2のゲートと第1ゲート抵抗4との接続点までの間にツェナーダイオード6が備えられていることから、第1スイッチングデバイス2のゲート電圧が負電圧となっても、ツェナーダイオード6によって負荷1側に電流が流れない。このように、第1スイッチングデバイス2に印加するゲート電圧を正電圧だけでなく負電圧にもできるようにすることで、ターンオフ時の速度を早くすることが可能となり、スイッチング損失の低減を図ることが可能となる。
(第3実施形態)
本実施形態では、第1、第2実施形態で説明した負荷駆動装置の実装構造について説明する。
本実施形態では、第1、第2実施形態で説明した負荷駆動装置の実装構造について説明する。
第1、第2実施形態で示した負荷駆動装置について、図3に示すように、第1スイッチングデバイス2と第2スイッチングデバイス5およびツェナーダイオード6などをすべてディスクリート素子(外付け素子)としてプリント基板10上に実装することで構成している。このように、例えば、すべての素子をディスクリート素子として組むことができる。
(第4実施形態)
本実施形態も、第1、第2実施形態で説明した負荷駆動装置の実装構造について説明する。
本実施形態も、第1、第2実施形態で説明した負荷駆動装置の実装構造について説明する。
第1、第2実施形態で示した負荷駆動装置について、図4に示すように、第1スイッチングデバイス2と第2スイッチングデバイス5とを同一チップで構成しつつ、ツェナーダイオード6をディスクリート素子としてプリント基板10上に実装することで構成することもできる。このように、例えば、すべての素子をディスクリート素子とするのではなく、一部の素子をディスクリート素子として組むことができる。
第1、第2スイッチングデバイス2、5を同一チップで形成する場合、これらを横型素子によって構成すれば良く、例えばLDMOS(Laterally Diffused Metal Oxide Semiconductor)や横型のGaN−HEMTによって構成すればよい。
(第5実施形態)
本実施形態も、第1、第2実施形態で説明した負荷駆動装置の実装構造について説明する。
本実施形態も、第1、第2実施形態で説明した負荷駆動装置の実装構造について説明する。
第1、第2実施形態で示した負荷駆動装置について、図5に示すように、第1、第2スイッチングデバイス2、5に加えて、第2ゲート抵抗7やツェナーダイオード6についても同一チップで構成している。そして、図示していないが、第1ゲート抵抗4のみをディスクリート素子としている。このような構成とすることもできる。
このような構成とする場合、例えば第1、第2スイッチングデバイス2、5については横型素子によって構成される。第2ゲート抵抗7については、チップを構成する半導体基板に形成される拡散抵抗や半導体基板の表面側に絶縁膜などを介して形成されるメタル抵抗などによって構成される。また、ツェナーダイオード6については、チップを構成する半導体基板の表面側に絶縁膜などを介して、p型およびn型にドープしたポリシリコンを複数個多段に並べることによって構成される。
このように、第1スイッチングデバイス2と第2スイッチングデバイス5とに加えて、第2ゲート抵抗7やツェナーダイオード6についても同一チップで構成しても良い。この場合、第2ゲート抵抗7についても同一チップに備えていることから、第2実施形態のように第2ゲート抵抗7を第1スイッチングデバイス2のゲートに接続した構成とする場合に特に好ましい。すなわち、第2ゲート抵抗7を第1スイッチングデバイス2のゲートに接続する場合、第1スイッチングデバイス2のゲートに繋がる外部端子に第2ゲート抵抗7も繋がるようにしておけば、第2ゲート抵抗7にのみに繋がる外部端子を備えなくても済む。したがって、外部端子の数を減少することが可能となる。
また、ツェナーダイオード6を第1、第2スイッチングデバイス2、5などと同一チップに内蔵する場合、ツェナーダイオード6の容量を増大させなくても耐量確保が可能であることから、チップ面積増大を抑制できる。このような構成は、L負荷耐量のないGaN−HEMTによって第1、第2スイッチングデバイス2、5を構成する場合に特に有効であり、GaN−HEMTを用いる場合であっても、耐量確保を行いつつ、チップ面積の増大を抑制することが可能となる。
(第6実施形態)
本実施形態も、第1、第2実施形態で説明した負荷駆動装置の実装構造について説明する。
本実施形態も、第1、第2実施形態で説明した負荷駆動装置の実装構造について説明する。
第1、第2実施形態で示した負荷駆動装置について、図6に示すように、第1、第2スイッチングデバイス2、5に加えて、第1、第2ゲート抵抗4、7やツェナーダイオード6のすべてを同一チップで構成している。このような構成とすることもできる。
このような構成とする場合、基本的には第5実施形態と同様の構成とすることができる。また、例えば第1、第2スイッチングデバイス2、5については横型素子によって構成される。第1ゲート抵抗4については、チップを構成する半導体基板に形成される拡散抵抗や半導体基板の表面側に絶縁膜などを介して形成されるメタル抵抗などによって構成すれば良い。
このように、第1、第2スイッチングデバイス2、5に加えて、第1、第2ゲート抵抗4、7やツェナーダイオード6のすべてを同一チップで構成しても良い。この場合にも、第2ゲート抵抗7についても同一チップに備えていることから、第5実施形態と同様の効果を得ることができる。
(他の実施形態)
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
例えば、駆動回路3が印加するゲート電圧の数値などは一例であり、第1スイッチングデバイス2のしきい値電圧などに基づいて適宜決めれば良い。また、負荷1の一例として三相モータなどを例に挙げたが、他のものであっても構わない。さらに、図1および図2では、第1、第2実施形態にかかる負荷駆動装置の回路構成を最も簡素化したものを示してあるが、回路中に他の素子が配置されていても構わない。
1 負荷
2 第1スイッチングデバイス
3 駆動回路
4 第1ゲート抵抗
5 第2スイッチングデバイス
6 ツェナーダイオード
7 第2ゲート抵抗
8 ツェナーダイオード
10 プリント基板
2 第1スイッチングデバイス
3 駆動回路
4 第1ゲート抵抗
5 第2スイッチングデバイス
6 ツェナーダイオード
7 第2ゲート抵抗
8 ツェナーダイオード
10 プリント基板
Claims (7)
- ゲートに対してゲート電圧が印加されることによりドレイン−ソース間に電流を流すことで、負荷(1)への電流供給を行う半導体スイッチング素子にて構成された第1スイッチングデバイス(2)と、
前記第1スイッチングデバイスのゲートに接続された第1ゲート抵抗(4)と、
前記第1ゲート抵抗のうち前記第1スイッチングデバイスのゲートと接続される側と反対側に接続され、前記ゲート電圧の印加を行う駆動回路(3)と、
ゲートの電圧が所定のしきい値電圧よりも高くなるとドレイン−ソース間に電流を流すと共に、該ドレイン−ソースが前記第1スイッチングデバイスのゲート−ドレイン間に接続され、半導体スイッチング素子にて構成された第2スイッチングデバイス(5)と、
前記第2スイッチングデバイスのゲートに対して接続された第2ゲート抵抗(7)と、
前記第2スイッチングデバイスのゲート−ドレイン間に接続されたツェナーダイオード(6)と、を有していることを特徴とする負荷駆動装置。 - 前記第2ゲート抵抗のうち前記第2スイッチングデバイスのゲートと接続される側と反対側は、前記第1スイッチングデバイスのゲートと前記第1ゲート抵抗との間に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の負荷駆動装置。
- 前記第1スイッチングデバイス、前記第2スイッチングデバイス、前記ツェナーダイオードは、それぞれ別々のチップに形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の負荷駆動装置。
- 前記第1スイッチングデバイスおよび前記第2スイッチングデバイスは横型素子によって構成されていると共に同一チップに形成されており、前記ツェナーダイオードは、前記第1スイッチングデバイスおよび前記第2スイッチングデバイスが形成されたチップとは別のチップに形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の負荷駆動装置。
- 前記第1スイッチングデバイス、前記第2スイッチングデバイス、前記ツェナーダイオードおよび前記第2ゲート抵抗が同一チップに形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の負荷駆動装置。
- 前記第1ゲート抵抗も、前記第1スイッチングデバイス、前記第2スイッチングデバイス、前記ツェナーダイオードおよび前記第2ゲート抵抗が形成されたチップと同一チップに形成されていることを特徴とする請求項5に記載の負荷駆動装置。
- 前記第1スイッチングデバイスおよび前記第2スイッチングデバイスは、GaN−HEMTであることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の負荷駆動装置。
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