JP2016192485A - ウエハ搭載台の温度制御装置及び温度制御方法並びにプローバ - Google Patents
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Abstract
Description
ウエハ搭載台内を流れる冷却液の温度が目標冷却温度より低温度になるように調整しておき、低温度の冷却液をインラインヒータで目標冷却温度まで加熱することによって応答性能が速くなるようにしている。
図1は、ウエハ搭載台を加熱する加熱機構を構成するヒータと、ウエハ搭載台を冷却する冷却機構とで構成された温度制御装置を備えたプローバの概略構成図である。
次に、図2を用いて冷却機構22の構成を説明する。
次に、上記の如く構成された冷却機構22を用いて、ウエハ搭載台12を目標冷却温度T1に冷却する冷却制御方法を説明する。本実施の形態では、目標冷却温度T1を−47℃に設定するとともに、加熱液を混合しない状態での冷却液の温度T2を目標冷却温度T1よりも5℃低い−52℃の場合で説明する。なお、混合比調整手段38は比例2方弁38Aの例で説明する。
Claims (5)
- 半導体ウエハを搭載するウエハ搭載台を目標冷却温度に冷却する冷却機構を備えたウエハ搭載台の温度制御装置において、
前記冷却機構は、
前記ウエハ搭載台に冷却液を循環させる搭載台冷却ラインと、
冷媒が循環するヒートポンプ型の冷凍機を有し、前記冷媒と前記搭載台冷却ラインの冷却液とを熱交換することで前記冷却液を前記目標冷却温度よりも低い温度に冷却する冷凍機ラインと、
前記冷凍機ラインの凝縮器で前記冷媒を液化する際に発生する凝縮熱により前記ウエハ搭載台の出口側から分流した冷却液を加熱した加熱液を前記ウエハ搭載台の入口側に合流させる加熱ラインと、
前記搭載台冷却ラインを循環させる冷却液と前記加熱ラインから前記ウエハ搭載台の入口側に合流させる加熱液との混合比を調整する混合比調整手段と、
前記ウエハ搭載台の入口側の冷却液温度を検出する冷却液温度検出手段と、
前記温度検出手段の測定結果に基づいて前記目標冷却温度になるように前記混合比調整手段を制御する冷却液温度調節手段と、を備えたことを特徴とするウエハ搭載台の温度制御装置。 - 前記搭載台冷却ラインの前記冷却液と前記加熱ラインの前記加熱液とを1台の送液ポンプで送液するとともに、前記搭載台冷却ラインの冷却液に前記加熱ラインの加熱液が合流する合流点の上流側に定圧弁を設け、
前記送液ポンプの吐出圧力を前記定圧弁の設定圧力よりも大きくした請求項1に記載のウエハ搭載台の温度制御装置。 - 前記冷凍機ラインは熱交換器を介して低温側回路と高温側回路との2台の冷凍機を組み合わせた2元冷凍回路である請求項1又は2に記載のウエハ搭載台の温度制御装置。
- 半導体ウエハを搭載するウエハ搭載台を目標冷却温度に冷却するウエハ搭載台の温度制御方法において、
前記ウエハ搭載台に循環させる冷却液と、冷媒が循環するヒートポンプ型の冷凍機で冷却された冷媒とを熱交換させて前記冷却液を前記目標冷却温度よりも低温度の低温冷却液を形成する低温冷却液形成工程と、
前記冷凍機の凝縮器で前記冷媒を液化する際に発生する凝縮熱により前記ウエハ搭載台の出口側から分流した冷却液を加熱して前記目標冷却温度よりも高温度な加熱液を形成する加熱液形成工程と、
前記ウエハ搭載台の入口側の冷却液温度を検出する温度検出工程と、
前記温度検出手段の測定結果に基づいて前記ウエハ搭載台の入口側の冷却液温度が前記目標冷却温度になるように前記低温冷却液と前記加熱液とを混合する混合工程と、を備えたことを特徴とするウエハ搭載台の温度制御方法。 - ウエハ搭載台に搭載された半導体ウエハ上に形成されたえ複数の半導体装置をテスタで検査するために、前記テスタの各端子を前記半導体装置の電極に接続するプローバにおいて、
前記ウエハ搭載台に請求項1〜3の何れか1に記載の温度制御装置を備えたことを特徴とするプローバ。
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