JP2016191868A - 露光装置、露光方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 23
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 17
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 63
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 91
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 49
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 23
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 abstract description 25
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 18
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 12
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 9
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 3
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 238000000018 DNA microarray Methods 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
【解決手段】基板Pに対して照明光ILを走査(X軸)方向に走査する走査露光により、所定のパターンを基板P上に設けられた区画領域(S1〜S4)に形成する液晶露光装置は、第1マスクM1を第1ショット領域S1の下半分に対向させた状態で走査露光を行った後に、第1及び第2マスクM1、M2を走査方向に駆動し、第2マスクM2を第1ショット領域S1の上半分に対向させた状態で走査露光を行い、第1及び第2マスクM1、M2が有するパターンを第1ショット領域S1内で繋ぎ合わせる。
【選択図】図4
Description
Claims (14)
- 露光対象の物体に対してエネルギビームを所定の走査方向に走査する走査露光により、所定のパターンを前記物体上に設けられた区画領域に形成する露光装置であって、
前記走査方向に直交する方向に関する長さが前記区画領域よりも短い露光領域を前記エネルギビームにより前記物体上に生成する照明系と、
前記所定のパターンの一部を有する第1マスクと、前記第1マスクが有するパターンと繋ぎ合わされることにより前記区画領域内に前記所定のパターンの少なくとも一部を形成する前記所定のパターンの他部を有する第2マスクとを前記走査方向に駆動可能なマスク駆動系と、
前記第1マスクを前記区画領域の一部に対向させた状態で前記露光領域を生成して走査露光を行い、前記第1マスクが有するパターンを前記区画領域内に形成した後に、前記マスク駆動系を制御して前記第1及び第2マスクを前記走査方向に駆動し、前記第2マスクを前記区画領域の他部に対向させた状態で前記露光領域を生成して走査露光を行い、前記区画領域内に前記第2マスクが有するパターンを前記第1マスクが有するパターンに繋ぎ合わせて形成する制御系と、を備える露光装置。 - 前記物体を前記走査方向に直交する方向に駆動可能な物体駆動系を更に備え、
前記第1マスクと前記第2マスクとは、前記走査方向に直交する位置が同じであり、
前記制御系は、前記第1マスクを用いた走査露光と前記第2マスクを用いた走査露光との間で、前記物体駆動系を制御して前記物体を前記走査方向に直交する方向に駆動することにより前記物体の前記走査方向に直交する方向の位置決めを行う請求項1に記載の露光装置。 - 前記物体上には、前記走査方向に直交する方向に関して前記区画領域が複数設けられ、
前記制御系は、前記複数の区画領域のうち、第1の区画領域に対する前記走査露光を行った後、前記物体駆動系を制御して前記物体を前記走査方向に直交する方向に駆動することにより、前記第1の区画領域に対して前記走査方向に直交する方向に関して隣接する第2の区画領域の前記走査方向に直交する方向の位置決めを行う請求項2に記載の露光装置。 - 前記物体上には、前記走査方向に平行な方向に関して前記区画領域が複数設けられ、
前記制御系は、前記複数の区画領域のうち、第3の区画領域に対する前記走査露光を行った後、前記マスク駆動系を制御して前記第1のマスクを前記走査方向に平行な方向に駆動することにより、前記第3の区画領域に対して前記走査方向に平行な方向に関して隣接する第4の区画領域に対して該第1のマスクを対向させる請求項1〜3の何れか一項に記載の露光装置。 - 前記第1又は第2マスクから出射した前記エネルギビームを前記物体に投射する投影光学系を更に備え、
前記制御系は、前記走査露光時に前記エネルギビームと共に前記投影光学系を前記走査方向に移動させる請求項1〜4の何れか一項に記載の露光装置。 - 前記エネルギビームの光軸が水平面に平行であり、
前記物体は、露光面が前記水平面に対して直交した状態で配置される請求項1〜5の何れか一項に記載の露光装置。 - 露光対象の物体に対してエネルギビームを所定の走査方向に走査する走査露光により、所定のパターンを前記物体上に設けられた区画領域に形成する露光方法であって、
前記所定のパターンの一部を有する第1マスクを前記区画領域の一部に対向させた状態で、前記走査方向に直交する方向に関する長さが前記区画領域よりも短い露光領域を前記エネルギビームにより前記物体上に生成して前記走査露光を行い、前記第1マスクが有するパターンを前記区画領域内に形成することと、
前記第1マスクと前記所定のパターンの他部を有する第2マスクとを前記走査方向に駆動して前記第2マスクを前記区画領域の他部に対向させることと、
前記第2マスクを前記区画領域の他部に対向させた状態で前記露光領域を前記エネルギビームにより前記物体上に生成して走査露光を行い、前記第2マスクが有するパターンを前記区画領域内で前記第1マスクが有するパターンと繋ぎ合わせることにより前記区画領域内に前記所定のパターンの少なくとも一部を形成することと、を含む露光方法。 - 前記第1マスクと前記第2マスクとは、前記走査方向に直交する位置が同じであり、
前記対向させることでは、前記第2マスクの前記走査方向へ駆動するとともに、前記物体を前記走査方向に直交する方向に駆動することにより前記物体の前記走査方向に直交する方向の位置決めを行う請求項7に記載の露光方法。 - 前記物体上には、前記走査方向に直交する方向に関して前記区画領域が複数設けられ、
前記複数の区画領域のうち、第1の区画領域に対する前記走査露光を行った後、前記物体を前記走査方向に直交する方向に駆動することと、
前記第1の区画領域に対して前記走査方向に直交する方向に関して隣接する第2の区画領域の前記走査方向に直交する方向の位置決めを行うことと、
前記第2の区画領域に対する前記走査露光を行うことと、を更に含む請求項7又は8に記載の露光方法。 - 前記物体上には、前記走査方向に平行な方向に関して前記区画領域が複数設けられ、
前記複数の区画領域のうち、第3の区画領域に対する前記走査露光を行った後、前記第1のマスクを前記走査方向に平行な方向に駆動することにより、前記第3の区画領域に対して前記走査方向に平行な方向に関して隣接する第4の区画領域に対して前記第1のマスクを対向させること、を更に含む請求項7〜9の何れか一項に記載の露光方法。 - 前記物体は、フラットパネルディスプレイに用いられる基板である請求項7〜10の何れか一項に記載の露光方法。
- 前記基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が500mm以上である請求項11に記載の露光方法。
- 請求項11又は12に記載の露光方法を用いて前記基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項7〜10の何れか一項に記載の露光方法を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015072704A JP6701596B2 (ja) | 2015-03-31 | 2015-03-31 | 露光装置、露光方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015072704A JP6701596B2 (ja) | 2015-03-31 | 2015-03-31 | 露光装置、露光方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016191868A true JP2016191868A (ja) | 2016-11-10 |
JP6701596B2 JP6701596B2 (ja) | 2020-05-27 |
Family
ID=57246613
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015072704A Active JP6701596B2 (ja) | 2015-03-31 | 2015-03-31 | 露光装置、露光方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6701596B2 (ja) |
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2015
- 2015-03-31 JP JP2015072704A patent/JP6701596B2/ja active Active
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
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