JP2016191827A - 光変調器 - Google Patents
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Abstract
消光比の劣化を抑制し、さらに温度ドリフト現象を抑制した光変調器を提供すること。
【解決手段】
電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を制御するための制御電極とを有する光変調器において、該光導波路は、少なくとも一つ以上のマッハツェンダー型光導波路(A1〜A3,B1〜B3)を有し、該制御電極は、DCバイアスを印加するDC電極(C1〜C4)を有し、該DC電極にDCバイアスを給電する配線が、該マッハツェンダー型光導波路の2つの分岐導波路の一方を横切っており、他方の分岐導波路の特定位置であって、該配線が前記一方の分岐導波路を横切った位置と相対的に対称となる特定位置に、第1のダミー電極(点線E5,E6)を設けたことを特徴とする。
【選択図】図2
Description
(1) 電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を制御するための制御電極とを有する光変調器において、該光導波路は、少なくとも一つ以上のマッハツェンダー型光導波路を有し、該制御電極は、DCバイアスを印加するDC電極を有し、該DC電極にDCバイアスを給電する配線が、該マッハツェンダー型光導波路の2つの分岐導波路の一方を横切っており、他方の分岐導波路の特定位置であって、該配線が前記一方の分岐導波路を横切った位置と相対的に対称となる特定位置に、第1のダミー電極を設けたことを特徴とする。
本発明の光変調器は、図2に示すように、電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を制御するための制御電極とを有する光変調器において、該光導波路は、少なくとも一つ以上のマッハツェンダー型光導波路(A1〜A3,B1〜B3)を有し、該制御電極は、DCバイアスを印加するDC電極(C1〜C4)を有し、該DC電極にDCバイアスを給電する配線が、該マッハツェンダー型光導波路の2つの分岐導波路の一方を横切っており、他方の分岐導波路の特定位置であって、該配線が前記一方の分岐導波路を横切った位置と相対的に対称となる特定位置に、第1のダミー電極(点線E5,E6)を設けたことを特徴とする。
C1〜C4 DC電極
V1〜V4 DCバイアス電圧
D 接地電極
F 凹部
(1) 電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を制御するための制御電極とを有する光変調器において、該光導波路は、少なくとも互いに並列に配置された2つのマッハツェンダー型光導波路を有し、該制御電極は、DCバイアスを印加するDC電極を有し、該DC電極にDCバイアスを給電する配線が接続され、各マッハツェンダー型光導波路に対して、該配線が該マッハツェンダー型光導波路の2つの分岐導波路の一方を横切っており、他方の分岐導波路の特定位置であって、該配線が前記一方の分岐導波路を横切った位置と相対的に対称となる特定位置に、第1のダミー電極を設けられ、一方のマッハツェンダー型光導波路の一部が、該配線及び該第1のダミー電極によって横切られており、他方のマッハツェンダー型光導波路の特定位置であって、該配線及び該第1のダミー電極が前記一方のマッハツェンダー型光導波路を横切った位置と相対的に対称となる特定位置に、第2のダミー電極を設けたことを特徴とする。
また、本発明の「ダミー電極」には、DC電極にDCバイアスを給電する配線が、マッハツェンダー型光導波路の延伸方向と平行に配置される平行配線部を有し、該平行配線部により、マッハツェンダー型光導波路を構成する2つの分岐導波路に加わる内部応力が異なる場合に、2つの分岐導波路に加わる内部応力が等しくなるように設けられた電極(図5のE10や図6のE12参照。「第3のダミー電極」という。)も含まれる。
Claims (5)
- 電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を制御するための制御電極とを有する光変調器において、
該光導波路は、少なくとも一つ以上のマッハツェンダー型光導波路を有し、
該制御電極は、DCバイアスを印加するDC電極を有し、
該DC電極にDCバイアスを給電する配線が、該マッハツェンダー型光導波路の2つの分岐導波路の一方を横切っており、
他方の分岐導波路の特定位置であって、該配線が前記一方の分岐導波路を横切った位置と相対的に対称となる特定位置に、第1のダミー電極を設けたことを特徴とする光変調器。 - 請求項1に記載の光変調器において、該光導波路は、少なくとも互いに並列に配置された2つのマッハツェンダー型光導波路を有し、
一方のマッハツェンダー型光導波路の一部が、該配線及び該第1のダミー電極によって横切られており、
他方のマッハツェンダー型光導波路の特定位置であって、該配線及び該第1のダミー電極が前記一方のマッハツェンダー型光導波路を横切った位置と相対的に対称となる特定位置に、第2のダミー電極を設けたことを特徴とする光変調器。 - 請求項1又は2に記載の光変調器において、該光導波路を横切る該配線又は該ダミー電極は、該光導波路を横切る部分の幅は、該光導波路を横切る前後の部分の幅よりも狭くなっていることを特徴とする光変調器。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の光変調器において、該配線が、該マッハツェンダー型光導波路の延伸方向と平行に配置される平行配線部を有し、
該延伸方向に平行かつ該マッハツェンダー型光導波路の対称軸となる中心軸に対し、該平行配線部と対称となる位置にほぼ同じ形状をした第3のダミー電極を形成したことを特徴とする光変調器。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の光変調器において、該ダミー電極は、該DC電極に電気的に接続されていることを特徴とする光変調器。
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