JP2016186954A - 圧電素子および圧力センサ - Google Patents
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Abstract
Description
ここで、
(φ=45°±20°、θ=54.7°±15°、ψ=任意)
である。
前記φ及び前記θの値は、
メリライトとして、特にゲーレナイト(Ca2Al(AlSi)O7)を用いた場合には、高温、高圧に対する高い耐性を有する圧電素子が得られる。
Claims (8)
- 請求項1に記載の圧電素子であって、
前記圧電材料がメリライトであることを特徴とする圧電素子。 - 請求項2に記載の圧電素子であって、
前記圧電材料がゲーレナイトまたはゲーレナイトのうちの原子の一部を他の原子に置換した材料であることを特徴とする圧電素子。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の圧電素子であって、
x´軸およびy´軸方向の寸法よりz´軸方向の寸法が小さいことを特徴とする圧電素子。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の圧電素子であって、
前記圧電素子の形状が円形であることを特徴とする圧電素子。 - 請求項1乃至6のいずれかに記載の圧電素子を、軸応力の作用方向が前記z´軸の方向となるように配置し、かつ、一対の前記表面のそれぞれに接触する電極を有する圧力センサ。
- 請求項7に記載の圧力センサであって、前記電極の一方は固定面に設けられ、前記電極の他方はダイアフラム面に設けられる、ことを特徴とする圧力センサ。
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