JP2016180627A - Polarized light measuring device, and polarized light irradiation device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の実施形態は、偏光光測定装置、および偏光光照射装置に関する。 Embodiments described herein relate generally to a polarized light measurement apparatus and a polarized light irradiation apparatus.
液晶表示素子の配向膜や、視野角補償フィルムの配向膜などの配向処理を行う際には、被照射体に所定の波長の偏光光を照射している。
この様な配向処理方法は、光配向法と呼ばれている。
広い範囲の配向処理を行うためには、長い偏光子が必要となるが、長い偏光子を製造することは困難である。
そのため、直線状に並べて設けられた複数の偏光子を用いて配向処理を行う様にしている。
ところが、複数の偏光子を用いると、取り付け誤差などにより、被照射体に照射される偏光光の偏光方向にばらつきが生じ得る。
そのため、検光子と呼ばれる偏光子を用いて、偏光光の偏光方向のばらつきを測定し、測定結果に基づいて偏光方向の調整を行う技術が提案されている。
When performing an alignment treatment such as an alignment film of a liquid crystal display element or an alignment film of a viewing angle compensation film, the irradiated object is irradiated with polarized light having a predetermined wavelength.
Such an alignment treatment method is called an optical alignment method.
In order to perform a wide range of alignment treatment, a long polarizer is required, but it is difficult to produce a long polarizer.
Therefore, the alignment process is performed using a plurality of polarizers arranged in a straight line.
However, when a plurality of polarizers are used, the polarization direction of the polarized light irradiated to the irradiated object may vary due to an attachment error or the like.
For this reason, there has been proposed a technique for measuring a variation in the polarization direction of polarized light using a polarizer called an analyzer and adjusting the polarization direction based on the measurement result.
ここで、光配向法を用いる場合には、被照射体に照射される偏光光の光量も測定することが好ましい。
偏光光の光量を測定する場合に、検光子が取り付けられていると、偏光光の光量を正確に測定することができない。
そのため、偏光光の偏光方向を測定する際には作業員が検出部に検光子を取り付け、偏光光の光量を測定する際には作業員が検出部から検光子を取り外すようにしている。
ところが、作業員が検光子の取り付けと取り外しを行えば、偏光光の偏光方向を測定する際に、取り付け誤差に起因する測定誤差が生じるおそれがある。
Here, when the photo-alignment method is used, it is preferable to measure the amount of polarized light irradiated to the irradiated object.
When measuring the amount of polarized light, if the analyzer is attached, the amount of polarized light cannot be measured accurately.
For this reason, an operator attaches an analyzer to the detection unit when measuring the polarization direction of polarized light, and an operator removes the analyzer from the detection unit when measuring the amount of polarized light.
However, if the operator attaches and removes the analyzer, there is a possibility that a measurement error due to the attachment error occurs when measuring the polarization direction of the polarized light.
また、偏光方向を測定するために、線状体が延びる方向（透過軸の角度）が異なる複数種類の検光子を用いる技術が提案されている。
しかしながら、複数種類の検光子を用いると、偏光光測定装置の大型化や高コスト化を招くことになる。
また、偏光方向の測定精度は、検光子の種類の数に依存することになるので、精度の高い測定ができないおそれがある。
そこで、偏光光の偏光方向と偏光光の光量を精度よく測定することができる技術の開発が望まれていた。
In order to measure the polarization direction, there has been proposed a technique using a plurality of types of analyzers having different linear body extending directions (angles of transmission axes).
However, when a plurality of types of analyzers are used, the polarized light measuring device is increased in size and cost.
Moreover, since the measurement accuracy of the polarization direction depends on the number of types of analyzers, there is a possibility that measurement with high accuracy cannot be performed.
Therefore, it has been desired to develop a technique capable of accurately measuring the polarization direction of polarized light and the amount of polarized light.
本発明が解決しようとする課題は、偏光光の偏光方向と偏光光の光量を精度よく測定することができる偏光光測定装置、および偏光光照射装置を提供することである。 The problem to be solved by the present invention is to provide a polarized light measuring device and a polarized light irradiation device that can accurately measure the polarization direction of polarized light and the amount of polarized light.
実施形態に係る偏光光測定装置は、偏光光が入射する第１の偏光子と；前記第１の偏光子を回転方向に移動させる回転部と；受光した光の光量に応じた電気信号を出力する光電変換部と；前記偏光光が前記第１の偏光子を介して前記光電変換部に入射する前記第１の偏光子の第１の位置と、前記偏光光が直接前記光電変換部に入射する前記第１の偏光子の第２の位置と、の間において、前記第１の偏光子を移動させる移動部と；を具備している。 The polarized light measurement apparatus according to the embodiment outputs a first polarizer on which polarized light is incident; a rotating unit that moves the first polarizer in a rotation direction; and an electrical signal corresponding to the amount of received light A first photoelectric conversion unit; a first position of the first polarizer on which the polarized light is incident on the photoelectric conversion unit via the first polarizer; and the polarized light is incident on the photoelectric conversion unit directly. A moving unit that moves the first polarizer between the second position of the first polarizer.
本発明の実施形態によれば、偏光光の偏光方向と偏光光の光量を精度よく測定することができる偏光光測定装置、および偏光光照射装置を提供することができる。 According to the embodiment of the present invention, it is possible to provide a polarized light measuring apparatus and a polarized light irradiation apparatus that can accurately measure the polarization direction of polarized light and the amount of polarized light.
実施形態に係る発明は、偏光光が入射する第１の偏光子と；前記第１の偏光子を回転方向に移動させる回転部と；受光した光の光量に応じた電気信号を出力する光電変換部と；前記偏光光が前記第１の偏光子を介して前記光電変換部に入射する前記第１の偏光子の第１の位置と、前記偏光光が直接前記光電変換部に入射する前記第１の偏光子の第２の位置と、の間において、前記第１の偏光子を移動させる移動部と；を具備した偏光光測定装置である。
この偏光光測定装置によれば、偏光光の偏光方向と偏光光の光量を精度よく測定することができる。
The invention according to the embodiment includes: a first polarizer on which polarized light is incident; a rotating unit that moves the first polarizer in a rotation direction; and photoelectric conversion that outputs an electrical signal corresponding to the amount of received light A first position of the first polarizer where the polarized light is incident on the photoelectric conversion unit via the first polarizer, and the first position where the polarized light is directly incident on the photoelectric conversion unit. And a moving unit that moves the first polarizer between the second position of one polarizer.
According to this polarized light measuring apparatus, the polarization direction of polarized light and the amount of polarized light can be measured with high accuracy.
前記移動部は、前記偏光光の偏光方向を測定する際には、前記第１の位置に前記第１の偏光子を移動させるようにすることができる。
前記偏光光の光量を測定する際には、前記第２の位置に前記第１の偏光子を移動させるようにすることができる。
この様にすれば、作業員が第１の偏光子の取り付けと取り外しとを行う場合に比べて再現性を格段に向上させることができる。
The moving unit may move the first polarizer to the first position when measuring the polarization direction of the polarized light.
When measuring the amount of the polarized light, the first polarizer can be moved to the second position.
In this way, reproducibility can be significantly improved as compared with the case where an operator attaches and removes the first polarizer.
また、前記第１の偏光子に設けられた複数の線状体は、シリコンを含むものとすることができる。
この様にすれば、消光比を高めることができるので、偏光光の偏光方向をより精度よく測定することができる。
In addition, the plurality of linear bodies provided in the first polarizer may include silicon.
In this way, since the extinction ratio can be increased, the polarization direction of the polarized light can be measured with higher accuracy.
実施形態に係る発明は、所定の方向に延びた形態を有する光源と；前記光源が延びる方向に沿って並べて設けられ、前記光源から出射した光を偏光光とする複数の第２の偏光子と；前記複数の第２の偏光子の前記光源側とは反対側に設けられた上記の偏光光測定装置と；を具備した偏光光照射装置である。
この偏光光照射装置によれば、偏光光の偏光方向と偏光光の光量を精度よく測定することができる。
そのため、生産性を向上させることができる。
The invention according to the embodiment includes: a light source having a form extending in a predetermined direction; a plurality of second polarizers arranged side by side along the direction in which the light source extends, and using light emitted from the light source as polarized light; A polarized light irradiation device comprising: the polarized light measuring device provided on a side opposite to the light source side of the plurality of second polarizers.
According to this polarized light irradiation device, it is possible to accurately measure the polarization direction of polarized light and the amount of polarized light.
Therefore, productivity can be improved.
また、前記第２の偏光子に設けられた複数の線状体は、シリコンを含むものとすることができる。
この様にすれば、消光比を高めることができるので、偏光光の偏光方向をより精度よく測定することができる。
In addition, the plurality of linear bodies provided in the second polarizer may include silicon.
In this way, since the extinction ratio can be increased, the polarization direction of the polarized light can be measured with higher accuracy.
以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
なお、各図中の矢印Ｘ、Ｙは互いに直交する二方向を表しており、例えば、矢印Ｘは被照射体２００の搬送方向としている。
また、被照射体２００は、例えば、液晶表示素子や視野角補償フィルムなどの配向膜を有するものとすることができる。
ただし、被照射体２００は、例示をしたものに限定されるわけではなく、光配向法を用いて配向処理を行うものであればよい。
Hereinafter, embodiments will be illustrated with reference to the drawings. In addition, in each drawing, the same code | symbol is attached | subjected to the same component and detailed description is abbreviate | omitted suitably.
In addition, the arrows X and Y in each figure represent two directions orthogonal to each other. For example, the arrow X is the transport direction of the irradiated object 200.
Moreover, the to-be-irradiated body 200 can have alignment films, such as a liquid crystal display element and a viewing angle compensation film, for example.
However, the irradiated object 200 is not limited to the illustrated one, and any object may be used as long as the alignment treatment is performed using a photo-alignment method.
図１は、本実施の形態に係る偏光光測定装置１、および偏光光照射装置１００を例示するための模式斜視図である。
図２は、本実施の形態に係る偏光光測定装置１を例示するための模式断面図である。
なお、図２は、図１におけるＡ−Ａ線断面図である。
図３は、偏光部１０２を例示するための模式平面図である。
FIG. 1 is a schematic perspective view for illustrating a polarized light measurement apparatus 1 and a polarized light irradiation apparatus 100 according to the present embodiment.
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view for illustrating the polarized light measurement apparatus 1 according to the present embodiment.
2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.
FIG. 3 is a schematic plan view for illustrating the polarizing unit 102.
図１に示すように、本実施の形態に係る偏光光照射装置１００には、照射部１０１、偏光部１０２、搬送部１０３、偏光光測定装置１、および制御部１０４が設けられている。 As shown in FIG. 1, the polarized light irradiation apparatus 100 according to the present embodiment includes an irradiation unit 101, a polarization unit 102, a transport unit 103, a polarized light measurement device 1, and a control unit 104.
まず、本実施の形態に係る偏光光測定装置１について例示する。
図１、図２に示すように、偏光光測定装置１には、偏光部２、検出部３、移動部４、および制御部５が設けられている。
First, the polarized light measurement apparatus 1 according to the present embodiment will be exemplified.
As shown in FIGS. 1 and 2, the polarized light measurement apparatus 1 includes a polarization unit 2, a detection unit 3, a moving unit 4, and a control unit 5.
偏光部２は、偏光子２０（第１の偏光子の一例に相当する）、保持部２１、および移動部２２を有する。
偏光子２０には、後述する偏光光Ｌｐが入射する。
偏光子２０は、偏光光Ｌｐの偏光方向を測定する際に用いられる。偏光子２０は、検光子と呼ばれることもある。
偏光子２０は、偏光光Ｌｐの所定の方向に振動する成分のみを透過させて、偏光光Ｌｐｐとする。
偏光子２０は、ワイヤーグリッド型の偏光素子とすることができる。
偏光子２０は、例えば、石英などからなる基板と、基板上に互いに平行となるように設けられた複数の直線状の線状体を有するものとすることができる。
この場合、複数の線状体は、等間隔に設けられている。線状体のピッチ寸法は、入射する光の波長以下とすることができる。線状体のピッチ寸法は、入射する光の波長の１／３以下とすることが好ましい。
The polarizing unit 2 includes a polarizer 20 (corresponding to an example of a first polarizer), a holding unit 21, and a moving unit 22.
Polarized light Lp described later is incident on the polarizer 20.
The polarizer 20 is used when measuring the polarization direction of the polarized light Lp. The polarizer 20 is sometimes called an analyzer.
The polarizer 20 transmits only the component of the polarized light Lp that vibrates in a predetermined direction, thereby obtaining the polarized light Lpp.
The polarizer 20 can be a wire grid type polarizing element.
For example, the polarizer 20 may include a substrate made of quartz or the like and a plurality of linear linear bodies provided on the substrate so as to be parallel to each other.
In this case, the plurality of linear bodies are provided at equal intervals. The pitch dimension of the linear body can be made equal to or less than the wavelength of incident light. The pitch dimension of the linear body is preferably set to 1/3 or less of the wavelength of incident light.
線状体の材料は、例えば、クロムやアルミニウム合金などの金属とすることができる。 なお、一般的には、線状体は導電性材料から形成されるが、線状体は絶縁性材料や半導体材料から形成することもできる。
例えば、線状体は、酸化チタンなどのチタンを含む材料や、シリコンを含む材料などから形成することができる。
後述するように、光源１０１ａからは、波長が紫外線の波長領域（例えば、２００ｎｍ以上、４００ｎｍ以下の波長領域）にある光が照射される。そのため、線状体をシリコンを含む材料から形成すれば、消光比を高めることができる。すなわち、線状体をシリコンを含む材料から形成すれば、検出精度を向上させることができる。
The material of the linear body can be, for example, a metal such as chromium or an aluminum alloy. In general, the linear body is formed of a conductive material, but the linear body can be formed of an insulating material or a semiconductor material.
For example, the linear body can be formed from a material containing titanium, such as titanium oxide, or a material containing silicon.
As will be described later, the light source 101a emits light having a wavelength in the ultraviolet wavelength region (for example, a wavelength region of 200 nm or more and 400 nm or less). Therefore, the extinction ratio can be increased by forming the linear body from a material containing silicon. That is, detection accuracy can be improved by forming the linear body from a material containing silicon.
保持部２１は、本体部２１ａおよび保持爪２１ｂを有する。
本体部２１ａは、板状を呈している。本体部２１ａには、厚み方向を貫通する孔２１ａ１が設けられている。
保持爪２１ｂは、孔２１ａの周縁に設けられている。保持爪２１ｂは、偏光子２０の周縁を保持する。
偏光子２０は、孔２１ａを塞ぐようにして本体部２１ａの上に設けられ、保持爪２１ｂにより保持されている。
そのため、偏光子２０を透過した光は、孔２１ａ１を通って検出部３に入射することができる。
The holding part 21 has a main body part 21a and a holding claw 21b.
The main body portion 21a has a plate shape. The main body 21a is provided with a hole 21a1 penetrating in the thickness direction.
The holding claw 21b is provided on the periphery of the hole 21a. The holding claw 21 b holds the periphery of the polarizer 20.
The polarizer 20 is provided on the main body 21a so as to close the hole 21a, and is held by a holding claw 21b.
Therefore, the light transmitted through the polarizer 20 can enter the detection unit 3 through the hole 21a1.
移動部２２は、保持部２１を保持し、所定の方向に移動させる。保持部２１には偏光子２０が設けられているので、保持部２１を移動させることで偏光子２０を移動させることができる。
移動部２２は、例えば、保持部２１を所定の方向に移動させるためのガイド、サーボモータやエアシリンダなどの駆動機器、保持部２１の位置を検出する位置検出器などを備えたものとすることができる。
The moving unit 22 holds the holding unit 21 and moves it in a predetermined direction. Since the holder 20 is provided with the polarizer 20, the polarizer 20 can be moved by moving the holder 21.
The moving unit 22 includes, for example, a guide for moving the holding unit 21 in a predetermined direction, a driving device such as a servo motor and an air cylinder, a position detector that detects the position of the holding unit 21, and the like. Can do.
移動部２２は、偏光光の光量を測定する際には、光電変換部３０の上に光の入射を阻害するものがないように、保持部２１（偏光子２０）を移動させる。
また、移動部２２は、偏光光の偏光方向を測定する際には、光電変換部３０の上に偏光子２０が位置するように保持部２１（偏光子２０）を移動させる。
この際、偏光子２０の中心が、光源１０１ａから光電変換部３０に向う軸Ｒの位置と重なるようにする。
すなわち、移動部２２は、偏光光Ｌｐが偏光子２０を介して光電変換部３０に入射する偏光子２０の第１の位置と、偏光光Ｌｐが直接光電変換部３０に入射する偏光子２０の第２の位置と、の間において、偏光子２０を移動させる。
この場合、移動部２２は、偏光光Ｌｐの偏光方向を測定する際には、第１の位置に偏光子２０を移動させる。移動部２２は、偏光光Ｌｐの光量を測定する際には、第２の位置に偏光子２０を移動させる。
When measuring the amount of polarized light, the moving unit 22 moves the holding unit 21 (polarizer 20) so that there is nothing that obstructs the incidence of light on the photoelectric conversion unit 30.
Further, when measuring the polarization direction of the polarized light, the moving unit 22 moves the holding unit 21 (polarizer 20) so that the polarizer 20 is positioned on the photoelectric conversion unit 30.
At this time, the center of the polarizer 20 is overlapped with the position of the axis R from the light source 101 a toward the photoelectric conversion unit 30.
That is, the moving unit 22 includes the first position of the polarizer 20 where the polarized light Lp enters the photoelectric conversion unit 30 via the polarizer 20, and the polarization of the polarizer 20 where the polarized light Lp directly enters the photoelectric conversion unit 30. The polarizer 20 is moved between the second position and the second position.
In this case, the moving unit 22 moves the polarizer 20 to the first position when measuring the polarization direction of the polarized light Lp. The moving unit 22 moves the polarizer 20 to the second position when measuring the amount of the polarized light Lp.
検出部３は、光電変換部３０および回転部３１を有する。
光電変換部３０は、保持部２１（偏光子２０）の下方（光源１０１ａ側とは反対側）に設けられている。
光電変換部３０は、受光した光の光量に応じた電気信号を出力する。光電変換部３０は、例えば、フォトダイオードなどの光電変換素子を備えたものとすることができる。
The detection unit 3 includes a photoelectric conversion unit 30 and a rotation unit 31.
The photoelectric conversion unit 30 is provided below the holding unit 21 (polarizer 20) (on the side opposite to the light source 101a side).
The photoelectric conversion unit 30 outputs an electrical signal corresponding to the amount of received light. For example, the photoelectric conversion unit 30 may include a photoelectric conversion element such as a photodiode.
回転部３１は、光源１０１ａから光電変換部３０に向う軸Ｒを中心として、偏光子２０を回転方向に移動させる。偏光光Ｌｐの偏光方向を測定する際には、偏光子２０の中心が軸Ｒの位置と重なっているので、回転部３１は、偏光子２０の中心軸回りに偏光子２０を回転移動させることができる。そのため、偏光子２０に設けられた線状体が延びる方向を変化させることができる。 The rotation unit 31 moves the polarizer 20 in the rotation direction about the axis R from the light source 101a toward the photoelectric conversion unit 30. When measuring the polarization direction of the polarized light Lp, since the center of the polarizer 20 overlaps the position of the axis R, the rotating unit 31 rotates the polarizer 20 around the central axis of the polarizer 20. Can do. Therefore, the direction in which the linear body provided in the polarizer 20 extends can be changed.
回転部３１は、取付部３１ａおよび基部３１ｂを有する。
取付部３１ａの内部には、光電変換部３０が設けられている。取付部３１ａの一方の端面には、光電変換部３０の受光面が露出している。
また、取付部３１ａには、偏光部２が設けられている。例えば、取付部３１ａの中心部に光電変換部３０を設け、取付部３１ａの周縁部に移動部２２を設けることができる。
The rotating part 31 has a mounting part 31a and a base part 31b.
A photoelectric conversion unit 30 is provided inside the attachment portion 31a. The light receiving surface of the photoelectric conversion unit 30 is exposed at one end face of the mounting portion 31a.
Moreover, the polarizing part 2 is provided in the attachment part 31a. For example, the photoelectric conversion part 30 can be provided in the center part of the attachment part 31a, and the moving part 22 can be provided in the peripheral part of the attachment part 31a.
基部３１ｂの一方の端部には、取付部３１ａが設けられている。
基部３１ｂの他方の端部は、移動部４０に取り付けられている。
基部３１ｂは、軸Ｒを中心として、取付部３１ａを回転方向に移動させる。
基部３１ｂは、例えば、回転テーブル、サーボモータなどの駆動機器、エンコーダなどの位置検出器などを備えたものとすることができる。
An attachment portion 31a is provided at one end of the base portion 31b.
The other end of the base 31 b is attached to the moving unit 40.
The base portion 31b moves the attachment portion 31a in the rotation direction about the axis R.
The base 31b can include, for example, a rotary table, a driving device such as a servo motor, a position detector such as an encoder, and the like.
移動部４は、偏光部２および検出部３を移動させる。
移動部４は、第１移動部４０および第２移動部４１を有する。
第１移動部４０には、取付部３１ａが取り付けられている。そのため、第１移動部４０は、Ｙ方向に偏光部２および検出部３を移動させることができる。
第２移動部４１には、第１移動部４０が取り付けられている。そのため、第２移動部４１は、Ｘ方向に偏光部２および検出部３を移動させることができる。
第１移動部４０および第２移動部４１は、例えば、位置検出器を備えた単軸ロボットなどとすることができる。
ただし、移動部４の構成は、例示をしたものに限定されるわけではない。移動部４は、所定の平面内（例えば、水平面内）において、偏光部２および検出部３を移動させることができ、移動させた偏光部２および検出部３の位置を求めることができるものであればよい。
The moving unit 4 moves the polarizing unit 2 and the detecting unit 3.
The moving unit 4 includes a first moving unit 40 and a second moving unit 41.
An attachment portion 31 a is attached to the first moving portion 40. Therefore, the first moving unit 40 can move the polarization unit 2 and the detection unit 3 in the Y direction.
A first moving unit 40 is attached to the second moving unit 41. Therefore, the second moving unit 41 can move the polarizing unit 2 and the detecting unit 3 in the X direction.
The first moving unit 40 and the second moving unit 41 can be, for example, a single-axis robot provided with a position detector.
However, the configuration of the moving unit 4 is not limited to that illustrated. The moving unit 4 can move the polarizing unit 2 and the detecting unit 3 in a predetermined plane (for example, in a horizontal plane), and can determine the positions of the moved polarizing unit 2 and detecting unit 3. I just need it.
制御部５は、偏光光測定装置１に設けられた各要素の動作を制御する。
例えば、制御部５は、移動部４（第１移動部４０および第２移動部４１）を制御して、偏光部２および検出部３を所望の位置に移動させる。
制御部５は、基部３１ｂを制御して、偏光子２０の中心軸回りに所定の角度だけ偏光子２０を回転移動させる。
制御部５は、移動部２２を制御して、保持部２１（偏光子２０）を移動させる。
また、制御部５は、制御部１０４からの指令に基づいて、偏光光Ｌｐの測定を行う。
例えば、制御部５は、光電変換部３０からの出力と、基部３１ｂからの回転位置情報に基づいて、偏光光Ｌｐの偏光方向を演算する。
また、制御部５は、光電変換部３０からの出力に基づいて、偏光光Ｌｐの光量を演算する。
演算された偏光光Ｌｐの偏光方向と偏光光Ｌｐの光量は、図示しない表示装置などに出力することもできるし、制御部１０４に向けて出力することもできる。
なお、偏光光Ｌｐの測定に関する詳細は後述する。
また、制御部５は、後述する制御部１０４と一体的に設けられていてもよいし、制御部１０４が制御部５の機能を併せ持つようにしてもよい。
The control unit 5 controls the operation of each element provided in the polarized light measurement device 1.
For example, the control unit 5 controls the moving unit 4 (the first moving unit 40 and the second moving unit 41) to move the polarizing unit 2 and the detecting unit 3 to desired positions.
The controller 5 controls the base 31b to rotate and move the polarizer 20 around the central axis of the polarizer 20 by a predetermined angle.
The control unit 5 controls the moving unit 22 to move the holding unit 21 (polarizer 20).
Further, the control unit 5 measures the polarized light Lp based on a command from the control unit 104.
For example, the control unit 5 calculates the polarization direction of the polarized light Lp based on the output from the photoelectric conversion unit 30 and the rotational position information from the base 31b.
Further, the control unit 5 calculates the amount of the polarized light Lp based on the output from the photoelectric conversion unit 30.
The calculated polarization direction of the polarized light Lp and the light amount of the polarized light Lp can be output to a display device (not shown) or the like, or can be output to the control unit 104.
Details regarding the measurement of the polarized light Lp will be described later.
The control unit 5 may be provided integrally with the control unit 104 described later, or the control unit 104 may have the function of the control unit 5 together.
次に、図１に戻って、本実施の形態に係る偏光光照射装置１００について例示をする。 照射部１０１は、光源１０１ａおよびリフレクタ１０１ｂを有する。
光源１０１ａは、波長が紫外線の波長領域にある光を照射する。
光源１０１ａから照射された光は、さまざまな振動方向成分を有するいわゆる非偏光の光である。
光源１０１ａは、例えば、２５６ｎｍ付近の波長の紫外線を照射するロングアーク型の高圧水銀ランプとすることができる。
光源１０１ａは、例えば、ロングアーク型のメタルハライドランプや蛍光ランプなど線状光源としてもよい。
光源１０１ａは、例えば、紫外線を出射する発光素子（例えば、発光ダイオード、レーザーダイオード、有機発光ダイオードなど）や、ショートアーク水銀ランプのような点状の光源を直線状に複数配置したものとすることもできる。
光源１０１ａは、所定の方向に直線状に延びた形態を有するものとすることができる。
光源１０１ａは、被照射体２００を搬送する方向（Ｘ方向）と直交する方向（Ｙ方向）に延びるように設置することができる。
Next, returning to FIG. 1, the polarized light irradiation apparatus 100 according to the present embodiment will be illustrated. The irradiation unit 101 includes a light source 101a and a reflector 101b.
The light source 101a emits light having a wavelength in the wavelength region of ultraviolet rays.
The light emitted from the light source 101a is so-called non-polarized light having various vibration direction components.
The light source 101a can be, for example, a long arc type high-pressure mercury lamp that irradiates ultraviolet rays having a wavelength near 256 nm.
The light source 101a may be a linear light source such as a long arc type metal halide lamp or a fluorescent lamp.
As the light source 101a, for example, a plurality of point light sources such as light emitting elements (for example, light emitting diodes, laser diodes, and organic light emitting diodes) that emit ultraviolet rays and short arc mercury lamps are linearly arranged. You can also.
The light source 101a can have a form extending linearly in a predetermined direction.
The light source 101a can be installed so as to extend in a direction (Y direction) orthogonal to a direction (X direction) in which the irradiated object 200 is conveyed.
リフレクタ１０１ｂは、一方が開口した樋形状を有している。
リフレクタ１０１ｂの断面形状は、楕円形の一部とすることができる。
リフレクタ１０１ｂの内面は、反射鏡となっている。
リフレクタ１０１ｂの内部には、光源１０１ａが設けられている。
光源１０１ａは、リフレクタ１０１ｂの長手方向に沿うように配置されている。
リフレクタ１０１ｂは、光源１０１ａからリフレクタ１０１ｂの内面に向かう光を反射させて、偏光部１０２に入射させる。
The reflector 101b has a bowl shape with one side opened.
The cross-sectional shape of the reflector 101b can be a part of an ellipse.
The inner surface of the reflector 101b is a reflecting mirror.
A light source 101a is provided inside the reflector 101b.
The light source 101a is arranged along the longitudinal direction of the reflector 101b.
The reflector 101b reflects the light traveling from the light source 101a toward the inner surface of the reflector 101b and causes the light to enter the polarizing unit 102.
図３に示すように、偏光部１０２は、偏光子１０２ａ（第２の偏光子の一例に相当する）、保持部材１０２ｂ、および保持部材１０２ｃを有する。
偏光子１０２ａは、光源１０１ａから照射された光を、特定の偏光方向を持つ偏光光Ｌｐにする。
As illustrated in FIG. 3, the polarizing unit 102 includes a polarizer 102a (corresponding to an example of a second polarizer), a holding member 102b, and a holding member 102c.
The polarizer 102a turns the light emitted from the light source 101a into polarized light Lp having a specific polarization direction.
偏光子１０２ａは、例えば、前述した偏光子２０と同様の構成を有するものとすることができる。 For example, the polarizer 102a may have the same configuration as the polarizer 20 described above.
保持部材１０２ｂは、枠状を呈し、偏光子１０２ａの周縁を保持する。
偏光子１０２ａの基板は、石英などから形成されるので、偏光子１０２ａの端部などが欠けやすくなる。そのため、保持部材１０２ｂは、偏光子１０２ａを保護するために設けられている。
なお、偏光子１０２ａの欠損などが生じにくい場合には、保持部材１０２ｂを設ける必要はない。
The holding member 102b has a frame shape and holds the periphery of the polarizer 102a.
Since the substrate of the polarizer 102a is made of quartz or the like, the end of the polarizer 102a or the like is likely to be chipped. Therefore, the holding member 102b is provided to protect the polarizer 102a.
Note that the holding member 102b is not necessarily provided when the polarizer 102a is not easily damaged.
保持部材１０２ｂの一方の端面の中央部分には、半円状の凹部１０２ｂ１が設けられている。
保持部材１０２ｂの凹部１０２ｂ１が設けられた端面と対峙する端面には、矩形状の凹部１０２ｂ２が設けられている。凹部１０２ｂ２は、中央部分からずれた位置（例えば、保持部材１０２ｂの角部の近傍）に設けられている。
長さの長い偏光子１０２ａを製造するのは困難である。そのため、偏光子１０２ａおよび保持部材１０２ｂは、光源１０１ａが延びる方向（Ｙ方向）に沿って並べて複数組設けられている。
なお、複数の保持部材１０２ｂ同士の間には、所定の隙間が設けられ、後述する傾き調整（偏光方向のばらつき調整）ができるようになっている。
A semicircular recess 102b1 is provided at the center of one end face of the holding member 102b.
A rectangular recess 102b2 is provided on the end face of the holding member 102b opposite to the end face provided with the recess 102b1. The concave portion 102b2 is provided at a position shifted from the central portion (for example, near the corner portion of the holding member 102b).
It is difficult to manufacture the polarizer 102a having a long length. Therefore, a plurality of sets of the polarizer 102a and the holding member 102b are provided side by side along the direction in which the light source 101a extends (Y direction).
In addition, a predetermined gap is provided between the plurality of holding members 102b so that inclination adjustment (polarization direction variation adjustment) described later can be performed.
保持部材１０２ｃは、枠部１０２ｃ１の内部に複数の保持部材１０２ｂを保持する。
保持部材１０２ｃは、枠部１０２ｃ１、支持部１０２ｃ２、弾性部１０２ｃ３、および調整部１０２ｃ４を有する。
支持部１０２ｃ２、弾性部１０２ｃ３、および調整部１０２ｃ４は、複数の保持部材１０２ｂのそれぞれに対して１組ずつ設けられている。
枠部１０２ｃ１は、枠状を呈している。枠部１０２ｃ１は、光源１０１ａが延びる方向（Ｙ方向）に延びている。
The holding member 102c holds a plurality of holding members 102b inside the frame portion 102c1.
The holding member 102c includes a frame portion 102c1, a support portion 102c2, an elastic portion 102c3, and an adjustment portion 102c4.
One set of the support portion 102c2, the elastic portion 102c3, and the adjustment portion 102c4 is provided for each of the plurality of holding members 102b.
The frame portion 102c1 has a frame shape. The frame part 102c1 extends in the direction (Y direction) in which the light source 101a extends.
支持部１０２ｃ２は、円柱状を呈し、凹部１０２ｂ１に接触している。
弾性部１０２ｃ３は、弾性力により、保持部材１０２ｂを支持部１０２ｃ２に押し付ける。弾性部１０２ｃ３は、基部１０２ｃ３ａおよびコイルバネ１０２ｃ３ｂを有する。
基部１０２ｃ３ａは、保持部材１０２ｃに設けられている。基部１０２ｃ３ａは、凹部１０２ｂ２と対峙する位置に設けられている。
コイルバネ１０２ｃ３ｂは、基部１０２ｃ３ａと凹部１０２ｂ１の間に設けられている。
The support portion 102c2 has a cylindrical shape and is in contact with the recess 102b1.
The elastic portion 102c3 presses the holding member 102b against the support portion 102c2 by elastic force. The elastic portion 102c3 has a base portion 102c3a and a coil spring 102c3b.
The base 102c3a is provided on the holding member 102c. The base 102c3a is provided at a position facing the recess 102b2.
The coil spring 102c3b is provided between the base 102c3a and the recess 102b1.
調整部１０２ｃ４は、弾性部１０２ｃ３と離隔させて設けられている。
調整部１０２ｃ４は、例えば、保持部材１０２ｂの中心線１０２ｂ３に対して弾性部１０２ｃ３と線対称となる位置に設けることができる。
調整部１０２ｃ４は、基部１０２ｃ４ａおよび突出部１０２ｃ４ｂを有する。
基部１０２ｃ４ａは、保持部材１０２ｃに設けられている。
The adjustment portion 102c4 is provided to be separated from the elastic portion 102c3.
The adjusting portion 102c4 can be provided, for example, at a position that is symmetrical with the elastic portion 102c3 with respect to the center line 102b3 of the holding member 102b.
The adjustment portion 102c4 has a base portion 102c4a and a protruding portion 102c4b.
The base 102c4a is provided on the holding member 102c.
突出部１０２ｃ４ｂは、基部１０２ｃ４ａに設けられている。突出部１０２ｃ４ｂは、基部１０２ｃ４ａからの突出している。突出部１０２ｃ４ｂの先端は、保持部材１０２ｂと接触している。突出部１０２ｃ４ｂは、基部１０２ｃ４ａからの突出長さＤを変化させることができる。
突出部１０２ｃ４ｂは、例えば、段階的に突出する機構やねじ機構を有し、偏光光測定装置１による測定結果に基づいて突出長さＤを変化させるものとすることができる。
この場合、ねじ機構を有する突出部１０２ｃ４ｂとすれば、無段階の調整が可能となるので、段階的に突出するものよりも微調整が容易となる。
なお、作業員が突出部１０２ｃ４ｂを操作して突出長さＤを変化させてもよいし、突出部１０２ｃ４ｂに設けられた駆動機構により突出部１０２ｃ４ｂを駆動して突出長さＤを変化させてもよい。
The protrusion 102c4b is provided on the base 102c4a. The protruding portion 102c4b protrudes from the base portion 102c4a. The tip of the protruding portion 102c4b is in contact with the holding member 102b. The protrusion 102c4b can change the protrusion length D from the base 102c4a.
The protrusion 102c4b has, for example, a mechanism that protrudes stepwise and a screw mechanism, and can change the protrusion length D based on the measurement result of the polarized light measurement device 1.
In this case, if the projecting portion 102c4b having a screw mechanism is used, stepless adjustment is possible, so that fine adjustment is easier than that in a stepwise manner.
Note that the operator may change the protrusion length D by operating the protrusion 102c4b, or may change the protrusion length D by driving the protrusion 102c4b by a driving mechanism provided in the protrusion 102c4b. Good.
１組の支持部１０２ｃ２、弾性部１０２ｃ３、および調整部１０２ｃ４により、１つの保持部材１０２ｂが３点支持されている。
図３に示すように、突出部１０２ｃ４ｂの突出長さＤを変化させれば、支持部１０２ｃ２を支点として、保持部材１０２ｂ、ひいては偏光子１０２ａを回転方向に移動させることができる。偏光子１０２ａを回転方向に移動させれば、偏光子１０２ａに設けられた線状体が延びる方向を変化させることができる。
そのため、偏光光測定装置１による測定結果に基づいて突出長さＤを変化させることで、複数の偏光子１０２ａごとに偏光方向のばらつき調整を行うことができる。
One holding member 102b is supported at three points by one set of the support portion 102c2, the elastic portion 102c3, and the adjustment portion 102c4.
As shown in FIG. 3, if the projecting length D of the projecting portion 102c4b is changed, the holding member 102b and thus the polarizer 102a can be moved in the rotation direction with the support portion 102c2 as a fulcrum. If the polarizer 102a is moved in the rotation direction, the direction in which the linear body provided in the polarizer 102a extends can be changed.
Therefore, the variation in the polarization direction can be adjusted for each of the plurality of polarizers 102a by changing the protrusion length D based on the measurement result by the polarized light measurement device 1.
搬送部１０３は、光源１０１ａが延びる方向と直交する方向（Ｘ方向）に被照射体２００を搬送する。
搬送部１０３は、光源１０１ａの偏光部１０２が設けられる側の下方を被照射体２００が通過するように被照射体２００を搬送する。
搬送部１０３は、例えば、被照射体２００を保持する保持装置と、単軸ロボットなどの搬送装置などを備えたものとすることができる。
The conveyance part 103 conveys the to-be-irradiated body 200 in the direction (X direction) orthogonal to the direction where the light source 101a extends.
The transport unit 103 transports the irradiated object 200 so that the irradiated object 200 passes below the side of the light source 101a where the polarizing unit 102 is provided.
The transport unit 103 may include, for example, a holding device that holds the irradiated object 200 and a transport device such as a single-axis robot.
制御部１０４は、照射部１０１および搬送部１０３の動作を制御する。
例えば、制御部１０４は、光源１０１ａを制御して、光源１０１ａから波長が紫外線の波長領域にある光Ｌを出射させる。
制御部１０４は、搬送部１０３を制御して、光源１０１ａの偏光部１０２が設けられる側の下方を被照射体２００が通過するように、搬送部１０３に被照射体２００を搬送させる。
また、制御部１０４は、偏光光測定装置１による測定結果に基づいて、突出部１０２ｃ４ｂに設けられた駆動機構を制御して、複数の偏光子１０２ａごとに偏光方向のばらつき調整を行うこともできる。
The control unit 104 controls the operations of the irradiation unit 101 and the transport unit 103.
For example, the control unit 104 controls the light source 101a to emit light L having a wavelength in the ultraviolet wavelength region from the light source 101a.
The control unit 104 controls the transport unit 103 to cause the transport unit 103 to transport the irradiated body 200 so that the irradiated body 200 passes below the side of the light source 101a where the polarizing unit 102 is provided.
Further, the control unit 104 can also control the driving mechanism provided in the protruding portion 102c4b based on the measurement result by the polarized light measurement device 1, and adjust the polarization direction variation for each of the plurality of polarizers 102a. .
次に、偏光光測定装置１の作用、および偏光光照射装置１００の作用について例示する。
図４は、偏光光照射装置１００による偏光光Ｌｐの生成と、偏光光測定装置１による偏光光Ｌｐの偏光方向の測定について例示をするための模式斜視図である。
制御部１０４は、光源１０１ａを制御して、光源１０１ａから波長が紫外線の波長領域にある光Ｌを出射させる。光源１０１ａから出射した光Ｌは、直接またはリフレクタ１０１ｂの内面で反射して、リフレクタ１０１ｂの開口から出射する。リフレクタ１０１ｂの開口から出射した光Ｌは、様々な方向、例えば、Ｂ方向やＣ方向に振動する成分を含んでいる。
Next, the operation of the polarized light measurement device 1 and the operation of the polarized light irradiation device 100 will be illustrated.
FIG. 4 is a schematic perspective view for illustrating the generation of the polarized light Lp by the polarized light irradiation device 100 and the measurement of the polarization direction of the polarized light Lp by the polarized light measurement device 1.
The control unit 104 controls the light source 101a to emit light L having a wavelength in the ultraviolet wavelength region from the light source 101a. The light L emitted from the light source 101a is reflected directly or by the inner surface of the reflector 101b and is emitted from the opening of the reflector 101b. The light L emitted from the opening of the reflector 101b includes components that vibrate in various directions, for example, the B direction and the C direction.
光Ｌは、偏光子１０２ａに入射し、偏光子１０２ａを透過することで偏光光Ｌｐとなる。
前述したように、偏光子１０２ａには、所定の方向に延びる複数の線状体が設けられている。そのため、偏光子１０２ａは、光Ｌの成分のうち、線状体が延びる方向と直交する方向に振動する成分のみを透過させる。そのため、光Ｌは、偏光子１０２ａを透過すると、所定の方向（例えば、Ｃ方向）に振動する成分のみを持つ偏光光Ｌｐとなる。
以上の様にして、偏光光照射装置１００は、偏光光Ｌｐを生成する。
被照射体２００の配向処理を行う場合には、偏光光Ｌｐは被照射体２００に照射される。しかしながら、被照射体２００が配置されていると偏光光Ｌｐの偏光方向を測定することができないので、偏光光Ｌｐの偏光方向を測定する場合には、被照射体２００が配置されず、偏光光Ｌｐは偏光光測定装置１に設けられた偏光子２０に入射する。
The light L enters the polarizer 102a and passes through the polarizer 102a to become polarized light Lp.
As described above, the polarizer 102a is provided with a plurality of linear bodies extending in a predetermined direction. Therefore, the polarizer 102a transmits only the component of the light L that vibrates in the direction orthogonal to the direction in which the linear body extends. Therefore, when the light L passes through the polarizer 102a, it becomes polarized light Lp having only a component that vibrates in a predetermined direction (for example, the C direction).
As described above, the polarized light irradiation device 100 generates the polarized light Lp.
In the case of performing the alignment process of the irradiation target 200, the polarized light Lp is irradiated to the irradiation target 200. However, since the polarization direction of the polarized light Lp cannot be measured if the irradiated object 200 is disposed, the irradiated object 200 is not disposed and the polarized light is not measured when measuring the polarization direction of the polarized light Lp. Lp is incident on the polarizer 20 provided in the polarized light measurement apparatus 1.
制御部５は、移動部２２を制御して、光電変換部３０の上に偏光子２０が位置するように保持部２１（偏光子２０）を移動させる。
偏光光Ｌｐは、偏光子２０を透過することで偏光光Ｌｐｐとなる。
偏光光Ｌｐｐは、光電変換部３０に入射し、受光した光の光量に応じた電気信号が出力される。
また、制御部５は、回転部３１（基部３１ｂ）を制御して、偏光子２０を回転方向に移動させて、偏光子２０に設けられた線状体が延びる方向を変化させる。
The control unit 5 controls the moving unit 22 to move the holding unit 21 (polarizer 20) so that the polarizer 20 is positioned on the photoelectric conversion unit 30.
The polarized light Lp becomes the polarized light Lpp by passing through the polarizer 20.
The polarized light Lpp enters the photoelectric conversion unit 30, and an electrical signal corresponding to the amount of received light is output.
Further, the control unit 5 controls the rotation unit 31 (base unit 31b) to move the polarizer 20 in the rotation direction, thereby changing the direction in which the linear body provided in the polarizer 20 extends.
線状体が延びる方向が変化すれば、偏光光Ｌｐの偏光方向に応じて偏光光Ｌｐｐの照度が変化する。例えば、回転角度θが、０°、−２０°、９０°では、偏光光Ｌｐｐの照度が異なるものとなり、光電変換部３０から出力される電気信号の値が異なるものとなる。 そのため、光電変換部３０から出力された電気信号の値が最大または最小となった時の回転角度θが分かれば、予め求められた回転角度θと偏光光Ｌｐの偏光方向との関係から偏光光Ｌｐの偏光方向を求めることができる。 If the direction in which the linear body extends changes, the illuminance of the polarized light Lpp changes according to the polarization direction of the polarized light Lp. For example, when the rotation angle θ is 0 °, −20 °, and 90 °, the illuminance of the polarized light Lpp is different, and the value of the electric signal output from the photoelectric conversion unit 30 is different. Therefore, if the rotation angle θ when the value of the electrical signal output from the photoelectric conversion unit 30 becomes maximum or minimum is known, the polarized light is determined from the relationship between the rotation angle θ obtained in advance and the polarization direction of the polarized light Lp. The polarization direction of Lp can be obtained.
例えば、回転角度θが９０°の場合をＸ方向、回転角度θが０°の場合をＹ方向とし、回転角度θが０°の場合に光電変換部３０から出力された電気信号の値が最大となった場合には、偏光光Ｌｐの偏光方向はＹ方向となる。
なお、回転角度θが０°の場合に光電変換部３０から出力された電気信号の値が最小となった場合には、偏光光Ｌｐの偏光方向はＸ方向となる。
For example, when the rotation angle θ is 90 °, the X direction is set, and when the rotation angle θ is 0 °, the Y direction is set. When the rotation angle θ is 0 °, the value of the electric signal output from the photoelectric conversion unit 30 is the maximum. In this case, the polarization direction of the polarized light Lp is the Y direction.
When the value of the electric signal output from the photoelectric conversion unit 30 is minimized when the rotation angle θ is 0 °, the polarization direction of the polarized light Lp is the X direction.
偏光光Ｌｐの偏光方向の測定においては、光電変換部３０から出力される電気信号の最大値または最小値の前後を測定するだけで十分である。
以上の様に、制御部５は、光電変換部３０からの出力と、回転部３１（基部３１ｂ）からの回転位置情報に基づいて、偏光光Ｌｐの偏光方向を演算する。
In measuring the polarization direction of the polarized light Lp, it is sufficient to measure around the maximum value or the minimum value of the electric signal output from the photoelectric conversion unit 30.
As described above, the control unit 5 calculates the polarization direction of the polarized light Lp based on the output from the photoelectric conversion unit 30 and the rotation position information from the rotation unit 31 (base unit 31b).
偏光光Ｌｐの偏光方向の測定は、複数の偏光子１０２ａが並ぶ方向（Ｙ方向）に沿って、任意の複数位置において行う。
制御部５は、移動部４を制御して、複数の偏光子１０２ａが並ぶ方向における任意の位置に偏光部２および検出部３を移動させ、前述した偏光光Ｌｐの偏光方向の測定を行う。 なお、移動範囲は、少なくとも照射部１０１の有効照射範囲とすることが好ましい。
複数位置において偏光光Ｌｐの偏光方向を測定すれば、複数位置における偏光光Ｌｐの偏光方向、すなわち、偏光光Ｌｐの偏光方向のばらつきを求めることができる。
The measurement of the polarization direction of the polarized light Lp is performed at arbitrary plural positions along the direction (Y direction) in which the plural polarizers 102a are arranged.
The control unit 5 controls the moving unit 4 to move the polarizing unit 2 and the detecting unit 3 to arbitrary positions in the direction in which the plurality of polarizers 102a are arranged, and measures the polarization direction of the polarized light Lp described above. The moving range is preferably at least the effective irradiation range of the irradiation unit 101.
By measuring the polarization direction of the polarized light Lp at a plurality of positions, the polarization direction of the polarized light Lp at the plurality of positions, that is, the variation in the polarization direction of the polarized light Lp can be obtained.
偏光光照射装置１００により生成された偏光光Ｌｐの光量を測定する場合には、制御部５は、移動部２２を制御して、保持部２１（偏光子２０）を移動させて、偏光光Ｌｐを光電変換部３０に直接入射させる。
光電変換部３０は、受光した光の光量に応じた電気信号を出力するので、出力された電気信号の値に基づいて偏光光Ｌｐの光量を求めることができる。
すなわち、制御部５は、光電変換部３０からの出力に基づいて、偏光光の光量を演算する。
When measuring the light quantity of the polarized light Lp generated by the polarized light irradiation device 100, the control unit 5 controls the moving unit 22 to move the holding unit 21 (polarizer 20), and the polarized light Lp. Is directly incident on the photoelectric conversion unit 30.
Since the photoelectric conversion unit 30 outputs an electrical signal corresponding to the amount of light received, the photoelectric conversion unit 30 can determine the amount of polarized light Lp based on the value of the output electrical signal.
That is, the control unit 5 calculates the amount of polarized light based on the output from the photoelectric conversion unit 30.
求められた偏光光Ｌｐの偏光方向のばらつきや、偏光光Ｌｐの光量は、偏光光Ｌｐの測定結果として、制御部５から制御部１０４に送られる。 The obtained variation in the polarization direction of the polarized light Lp and the amount of the polarized light Lp are sent from the control unit 5 to the control unit 104 as a measurement result of the polarized light Lp.
偏光光Ｌｐの偏光方向のばらつきが所定の範囲を超えた場合には、偏光方向のばらつきが大きい位置の直上ないしはその近辺に位置する偏光子１０２ａの傾きを調整する。
この場合、制御部５または制御部１０４から表示装置などに出力された情報に基づいて、作業員が突出部１０２ｃ４ｂを操作して偏光子１０２ａの傾きを調整することができる。
また、制御部１０４が突出部１０２ｃ４ｂを駆動する駆動機構を制御して偏光子１０２ａの傾きを調整することもできる。
When the variation in the polarization direction of the polarized light Lp exceeds a predetermined range, the inclination of the polarizer 102a located immediately above or near the position where the variation in the polarization direction is large is adjusted.
In this case, based on the information output from the control unit 5 or the control unit 104 to the display device or the like, the operator can adjust the inclination of the polarizer 102a by operating the protrusion 102c4b.
In addition, the control unit 104 can adjust the inclination of the polarizer 102a by controlling the driving mechanism that drives the protrusion 102c4b.
偏光子１０２ａの傾き調整の後には、複数の位置において、偏光光Ｌｐｐの偏光方向を再度測定する。
そして、偏光光Ｌｐの偏光方向のばらつきが所定の範囲内となるまで、前述した手順が繰り返される。
After adjusting the inclination of the polarizer 102a, the polarization direction of the polarized light Lpp is measured again at a plurality of positions.
Then, the above-described procedure is repeated until the variation in the polarization direction of the polarized light Lp falls within a predetermined range.
偏光光Ｌｐの偏光方向のばらつきが所定の範囲内となった場合には、被照射体２００の配向処理を行う。
被照射体２００の配向処理を行う場合には、制御部５は、移動部４を制御して、被照射体２００の搬送領域外に偏光部２および検出部３を退避させる。
この様にすれば、被照射体２００と、偏光部２および検出部３との干渉を回避することができる。
When the variation in the polarization direction of the polarized light Lp falls within a predetermined range, the alignment process of the irradiated object 200 is performed.
When performing the alignment process of the irradiation target 200, the control unit 5 controls the moving unit 4 to retract the polarization unit 2 and the detection unit 3 outside the conveyance region of the irradiation target 200.
In this way, it is possible to avoid interference between the irradiated object 200 and the polarization unit 2 and the detection unit 3.
次に、制御部１０４は、光源１０１ａを制御して、光源１０１ａから波長が紫外線の波長領域にある光Ｌを出射させる。
また、制御部１０４は、搬送部１０３を制御して、光源１０１ａの偏光部１０２が設けられた側の下方を被照射体２００が通過するようにする。
光源１０１ａから出射した光Ｌは、偏光子１０２ａに入射し、偏光子１０２ａを透過することで偏光光Ｌｐとなる。
偏光光Ｌｐは、被照射体２００に入射し、偏光光Ｌｐにより配向処理が施される。
また、光源１０１ａの偏光部１０２が設けられた側の下方を被照射体２００が通過することで、被照射体２００の全域に配向処理が施される。
Next, the control unit 104 controls the light source 101a to emit light L having a wavelength in the ultraviolet wavelength region from the light source 101a.
In addition, the control unit 104 controls the transport unit 103 so that the irradiated object 200 passes under the light source 101a on the side where the polarizing unit 102 is provided.
The light L emitted from the light source 101a enters the polarizer 102a and passes through the polarizer 102a to become polarized light Lp.
The polarized light Lp is incident on the irradiated object 200 and is subjected to alignment treatment by the polarized light Lp.
Further, the irradiated object 200 passes below the light source 101a on the side where the polarizing portion 102 is provided, so that the entire area of the irradiated object 200 is subjected to the alignment treatment.
本実施の形態によれば、偏光光Ｌｐの偏光方向の測定と、偏光光Ｌｐの光量の測定とを切り換える際に、移動部２２を用いて偏光子２０を移動させるので、作業員が偏光子２０の取り付けと取り外しとを行う場合に比べて再現性を格段に向上させることができる。 そのため、偏光光Ｌｐの偏光方向と偏光光Ｌｐの光量を精度よく測定することができる。
また、偏光光照射装置１００に偏光光測定装置１を内蔵することも可能であるため、既存の偏光光照射装置に偏光光測定装置１を取り付けることもできる。
According to the present embodiment, when the polarization direction of the polarized light Lp and the measurement of the light amount of the polarized light Lp are switched, the polarizer 20 is moved using the moving unit 22, so that an operator can use the polarizer. The reproducibility can be remarkably improved as compared with the case where 20 is attached and removed. Therefore, it is possible to accurately measure the polarization direction of the polarized light Lp and the amount of light of the polarized light Lp.
In addition, since the polarized light measuring device 1 can be incorporated in the polarized light irradiation device 100, the polarized light measuring device 1 can be attached to an existing polarized light irradiation device.
以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。 As mentioned above, although several embodiment of this invention was illustrated, these embodiment is shown as an example and is not intending limiting the range of invention. These novel embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, changes, and the like can be made without departing from the spirit of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are included in the invention described in the claims and equivalents thereof. Further, the above-described embodiments can be implemented in combination with each other.
１ 偏光光測定装置、２ 偏光部、３ 検出部、４ 移動部、５ 制御部、２０ 偏光子、２１ 保持部、２２ 移動部、３０ 光電変換部、３１ 回転部、３１ａ 取付部、３１ｂ 基部、４０ 第１移動部、４１ 第２移動部、１００ 偏光光照射装置、１０１ 照射部、１０１ａ 光源、１０１ｂ リフレクタ、１０２ 偏光部、１０２ａ 偏光子、１０２ｂ 保持部材、１０２ｃ 保持部材、１０２ｃ４ 調整部、１０２ｃ４ｂ 突出部、１０３ 搬送部、１０４ 制御部、２００ 被照射体、Ｌ 光、Ｌｐ 偏光光、Ｌｐｐ 偏光光 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Polarized light measuring apparatus, 2 Polarizing part, 3 Detection part, 4 Moving part, 5 Control part, 20 Polarizer, 21 Holding part, 22 Moving part, 30 Photoelectric conversion part, 31 Rotating part, 31a Mounting part, 31b Base part, 40 1st moving part, 41 2nd moving part, 100 polarized light irradiation device, 101 irradiation part, 101a light source, 101b reflector, 102 polarizing part, 102a polarizer, 102b holding member, 102c holding member, 102c4 adjustment part, 102c4b protruding Part, 103 transport part, 104 control part, 200 irradiated body, L light, Lp polarized light, Lpp polarized light
Claims (5)
前記第１の偏光子を回転方向に移動させる回転部と；
受光した光の光量に応じた電気信号を出力する光電変換部と；
前記偏光光が前記第１の偏光子を介して前記光電変換部に入射する前記第１の偏光子の第１の位置と、前記偏光光が直接前記光電変換部に入射する前記第１の偏光子の第２の位置と、の間において、前記第１の偏光子を移動させる移動部と；
を具備した偏光光測定装置。 A first polarizer on which polarized light is incident;
A rotating unit that moves the first polarizer in a rotating direction;
A photoelectric conversion unit that outputs an electrical signal according to the amount of received light;
The first position of the first polarizer where the polarized light is incident on the photoelectric conversion unit via the first polarizer, and the first polarization where the polarized light is directly incident on the photoelectric conversion unit A moving part for moving the first polarizer between a second position of the child;
A polarized light measuring apparatus.
前記偏光光の光量を測定する際には、前記第２の位置に前記第１の偏光子を移動させる請求項１記載の偏光光測定装置。 The moving unit moves the first polarizer to the first position when measuring the polarization direction of the polarized light,
The polarized light measurement apparatus according to claim 1, wherein when measuring the amount of the polarized light, the first polarizer is moved to the second position.
前記光源が延びる方向に沿って並べて設けられ、前記光源から出射した光を偏光光とする複数の第２の偏光子と；
前記複数の第２の偏光子の前記光源側とは反対側に設けられた請求項１〜３のいずれか１つに記載の偏光光測定装置と；
を具備した偏光光照射装置。 A light source having a configuration extending in a predetermined direction;
A plurality of second polarizers arranged side by side along the direction in which the light source extends and using light emitted from the light source as polarized light;
The polarized light measuring device according to any one of claims 1 to 3, wherein the polarized light measuring device is provided on a side opposite to the light source side of the plurality of second polarizers;
A polarized light irradiation apparatus comprising:
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Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011127993A (en) * | 2009-12-17 | 2011-06-30 | Tamron Co Ltd | Apparatus and method for lens inspection |
| JP2012211771A (en) * | 2011-03-30 | 2012-11-01 | Shimadzu Corp | Electron beam analyzer |
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Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011127993A (en) * | 2009-12-17 | 2011-06-30 | Tamron Co Ltd | Apparatus and method for lens inspection |
| JP2012211771A (en) * | 2011-03-30 | 2012-11-01 | Shimadzu Corp | Electron beam analyzer |
| WO2013157113A1 (en) * | 2012-04-19 | 2013-10-24 | 信越エンジニアリング株式会社 | Photo-orienting illumination device |
| JP2014010388A (en) * | 2012-07-02 | 2014-01-20 | Harison Toshiba Lighting Corp | Polarized light irradiation device |
| JP2014174287A (en) * | 2013-03-07 | 2014-09-22 | V Technology Co Ltd | Scanning exposure device and scanning exposure method |
| JP2015018082A (en) * | 2013-07-10 | 2015-01-29 | 大日本印刷株式会社 | Polarizer |
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