JP2016176898A - Electronic component conveyance device and electronic component inspection device - Google Patents
Electronic component conveyance device and electronic component inspection device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016176898A JP2016176898A JP2015059167A JP2015059167A JP2016176898A JP 2016176898 A JP2016176898 A JP 2016176898A JP 2015059167 A JP2015059167 A JP 2015059167A JP 2015059167 A JP2015059167 A JP 2015059167A JP 2016176898 A JP2016176898 A JP 2016176898A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxygen concentration
- electronic component
- unit
- level
- display
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
Description
本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関するものである。 The present invention relates to an electronic component conveying device and an electronic component inspection device.
従来から、例えばICデバイス等の電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置が知られている。この電子部品検査装置は、一般的に、ICデバイスを検査する検査部と、検査部までICデバイスを搬送するための電子部品搬送装置とを有している。 2. Description of the Related Art Conventionally, an electronic component inspection apparatus that inspects electrical characteristics of an electronic component such as an IC device has been known. This electronic component inspection apparatus generally includes an inspection unit that inspects an IC device and an electronic component transfer device that transfers the IC device to the inspection unit.
また、電子部品検査装置を用いた検査は、ICデバイスを所定温度に加熱したり冷却しながら行われることがある。ICデバイスを加熱する場合、ICデバイスが配置されている配置部材などを加熱することにより、ICデバイスを加熱する。一方、ICデバイスを冷却する場合、ICデバイスが配置されている配置部材を冷却することにより、ICデバイスを冷却する。また、ICデバイスを冷却する場合、ICデバイスに結露や結氷(着氷)が生じないよう配置部材の周囲の雰囲気の湿度(装置内の湿度)を低下させる。湿度を低下させるには、一般的に、窒素ガスを装置内に供給する。窒素ガスを使用すると、室内の酸素濃度が低下する。そのため、作業者の安全を確保するべく、室内には酸素濃度計が設けられている。 Also, the inspection using the electronic component inspection apparatus may be performed while heating or cooling the IC device to a predetermined temperature. When heating an IC device, the IC device is heated by heating an arrangement member on which the IC device is arranged. On the other hand, when cooling an IC device, the IC device is cooled by cooling an arrangement member on which the IC device is arranged. When the IC device is cooled, the humidity of the atmosphere around the arrangement member (humidity in the apparatus) is reduced so that condensation or icing (icing) does not occur in the IC device. In order to reduce the humidity, nitrogen gas is generally supplied into the apparatus. When nitrogen gas is used, the oxygen concentration in the room decreases. Therefore, an oxygen concentration meter is provided in the room to ensure the safety of the operator.
このような電子部品検査装置の一例として、例えば、特許文献1には、ICデバイスの電気的特性を検査する検査部を備えたICハンドラーが開示されている。また、例えば、特許文献2には、ウエハに付加価値を与える基板処理装置が開示されている。
As an example of such an electronic component inspection apparatus, for example,
このような従来の電子部品検査装置では、例えば、装置内の酸素濃度等の各種装置状況を操作画面により確認することができる。 In such a conventional electronic component inspection device, for example, various device conditions such as oxygen concentration in the device can be confirmed on the operation screen.
しかしながら、従来の電子部品検査装置では、酸素濃度が数値で表示されているため、作業者は、例えば、装置(電子部品検査装置)内の酸素濃度を一目で判別することや監視することが難しかった。 However, in the conventional electronic component inspection apparatus, since the oxygen concentration is displayed as a numerical value, it is difficult for an operator to determine or monitor the oxygen concentration in the apparatus (electronic component inspection apparatus) at a glance, for example. It was.
本発明の目的は、装置内の酸素濃度を容易かつ迅速に判別することや監視することができる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide an electronic component transport device and an electronic component inspection device that can easily and quickly determine and monitor the oxygen concentration in the device.
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。 SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.
[適用例1]
本発明の電子部品搬送装置は、酸素濃度を表示する酸素濃度表示部を有し、
前記酸素濃度表示部は、前記酸素濃度の大きさに応じた表示が可能であることを特徴とする。
[Application Example 1]
The electronic component transport device of the present invention has an oxygen concentration display unit that displays the oxygen concentration,
The oxygen concentration display unit can display according to the magnitude of the oxygen concentration.
これにより、作業者は酸素濃度の大きさを数値とは異なる表示にて確認することができる。そのため、作業者は、装置内の酸素濃度を一目で容易かつ迅速に判別したり監視したりすることができる。 Thereby, the operator can confirm the magnitude | size of oxygen concentration by the display different from a numerical value. Therefore, the operator can easily and quickly determine or monitor the oxygen concentration in the apparatus at a glance.
[適用例2]
本発明の電子部品搬送装置では、前記酸素濃度表示部は、前記酸素濃度の大きさの範囲に応じた段階的な表示が可能であることが好ましい。
[Application Example 2]
In the electronic component transport apparatus according to the present invention, it is preferable that the oxygen concentration display unit can perform stepwise display according to the range of the oxygen concentration.
これにより、装置内の酸素濃度をより容易かつより迅速に判別したり監視したりすることができる。 Thereby, the oxygen concentration in the apparatus can be determined and monitored more easily and more quickly.
[適用例3]
本発明の電子部品搬送装置では、前記酸素濃度表示部は、前記酸素濃度の大きさの範囲に応じて色を変えることが可能であることが好ましい。
[Application Example 3]
In the electronic component transport device of the present invention, it is preferable that the oxygen concentration display unit can change the color according to the range of the oxygen concentration.
これにより、装置内の酸素濃度をさらに容易かつさらに迅速に判別したり監視したりすることができる。 As a result, the oxygen concentration in the apparatus can be determined and monitored more easily and more quickly.
[適用例4]
本発明の電子部品搬送装置では、前記酸素濃度表示部は、前記酸素濃度が大きい方から順に、波長域が500〜580nmである色と、波長域が610〜750nmである色とに分けて表示することができることが好ましい。
[Application Example 4]
In the electronic component transport device of the present invention, the oxygen concentration display unit displays the color in a wavelength range of 500 to 580 nm and the color in a wavelength range of 610 to 750 nm in order from the highest oxygen concentration. Preferably it can be done.
これにより、作業者は、酸素濃度表示部に表示された色を確認することで、装置内の酸素濃度をより容易に判別したり監視したりすることができる。例えば、波長域が500〜580nmの色である場合は、酸素濃度が低い状態ではないとし、波長域が610〜750nmの色である場合は、酸素濃度が低い状態であるとする。これにより、作業者は前記の判別をより容易かつより迅速に行うことができる。 As a result, the operator can more easily determine or monitor the oxygen concentration in the apparatus by checking the color displayed on the oxygen concentration display unit. For example, it is assumed that the oxygen concentration is not low when the wavelength range is 500 to 580 nm, and the oxygen concentration is low when the wavelength range is 610 to 750 nm. Thereby, the operator can perform the above-described determination more easily and more quickly.
[適用例5]
本発明の電子部品搬送装置では、前記酸素濃度表示部は、前記酸素濃度が大きい方から順に、波長域が500〜580nmである色と、波長域が580〜610nmである色と、波長域が610〜750nmである色とに分けて表示することができることが好ましい。
[Application Example 5]
In the electronic component transport apparatus according to the present invention, the oxygen concentration display unit includes a color having a wavelength range of 500 to 580 nm, a color having a wavelength range of 580 to 610 nm, and a wavelength range in descending order of the oxygen concentration. It is preferable that the display can be divided into colors of 610 to 750 nm.
これにより、作業者は、酸素濃度表示部に表示された色を確認することで、装置内の酸素濃度をより容易に判別したり監視したりすることができる。例えば、波長域が500〜580nmの色である場合は、酸素濃度が低い状態ではないとし、波長域が580〜610nmの色である場合は、酸素濃度が若干低くなっている状態であるとし、波長域が610〜750nmの色である場合は、酸素濃度が低い状態であるとする。これにより、作業者は前記の判別をより容易かつより迅速に行うことができる。 As a result, the operator can more easily determine or monitor the oxygen concentration in the apparatus by checking the color displayed on the oxygen concentration display unit. For example, when the wavelength region is a color of 500 to 580 nm, the oxygen concentration is not low, and when the wavelength region is a color of 580 to 610 nm, the oxygen concentration is slightly lower. When the wavelength range is 610 to 750 nm, it is assumed that the oxygen concentration is low. Thereby, the operator can perform the above-described determination more easily and more quickly.
[適用例6]
本発明の電子部品搬送装置では、前記酸素濃度表示部は、レベルゲージを有することが好ましい。
[Application Example 6]
In the electronic component conveying apparatus of the present invention, it is preferable that the oxygen concentration display unit has a level gauge.
これにより、作業者は、酸素濃度の大きさをレベルゲージで確認することができるため、装置内の酸素濃度をより容易に判別したり監視したりすることができる。 Thereby, since the operator can confirm the magnitude | size of oxygen concentration with a level gauge, he can discriminate | determine and monitor the oxygen concentration in an apparatus more easily.
[適用例7]
本発明の電子部品搬送装置では、前記酸素濃度表示部は、点滅表示部を有し、
前記点滅表示部は、前記酸素濃度の大きさに応じて点滅速度が変化することが好ましい。
[Application Example 7]
In the electronic component transport device of the present invention, the oxygen concentration display unit has a blinking display unit,
It is preferable that the blinking display portion changes in blinking speed according to the magnitude of the oxygen concentration.
これにより、作業者は、点滅表示部で点滅速度を確認することができるため、装置内の酸素濃度をより容易に判別したり監視したりすることができる。 Thereby, since the operator can confirm the blinking speed on the blinking display unit, the operator can more easily determine or monitor the oxygen concentration in the apparatus.
[適用例8]
本発明の電子部品搬送装置では、電子部品を検査する検査部を配置することが可能な検査部配置領域と、
前記検査部配置領域に前記電子部品を供給する搬送部を配置することが可能な電子部品供給領域と、
前記検査部配置領域から前記電子部品を回収する搬送部を配置することが可能な電子部品回収領域とを有し、
前記酸素濃度表示部は、前記検査部配置領域、前記電子部品供給領域および前記電子部品回収領域の少なくとも1つの領域内の前記酸素濃度を表示することが可能であることが好ましい。
[Application Example 8]
In the electronic component transport device of the present invention, an inspection unit arrangement area in which an inspection unit for inspecting electronic components can be arranged,
An electronic component supply region capable of arranging a transport unit that supplies the electronic component to the inspection unit arrangement region;
An electronic component collection area capable of arranging a transport unit for collecting the electronic component from the inspection unit arrangement area;
It is preferable that the oxygen concentration display unit can display the oxygen concentration in at least one of the inspection unit arrangement region, the electronic component supply region, and the electronic component recovery region.
これにより、所望の室内の酸素濃度をより容易に判別したり監視したりすることができる。 Thereby, it is possible to more easily determine or monitor the desired oxygen concentration in the room.
[適用例9]
本発明の電子部品検査装置は、酸素濃度を表示する酸素濃度表示部と、
電子部品を検査する検査部とを備え、
前記酸素濃度表示部は、前記酸素濃度の大きさに応じた表示が可能であることを特徴とする。
[Application Example 9]
An electronic component inspection apparatus according to the present invention includes an oxygen concentration display unit that displays an oxygen concentration,
An inspection unit for inspecting electronic components,
The oxygen concentration display unit can display according to the magnitude of the oxygen concentration.
これにより、作業者は酸素濃度の大きさを数値とは異なる表示にて確認することができる。そのため、作業者は、装置内の酸素濃度を一目で容易かつ迅速に判別したり監視したりすることができる。 Thereby, the operator can confirm the magnitude | size of oxygen concentration by the display different from a numerical value. Therefore, the operator can easily and quickly determine or monitor the oxygen concentration in the apparatus at a glance.
以下、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置について添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, an electronic component conveying device and an electronic component inspection device of the present invention will be described in detail based on embodiments shown in the accompanying drawings.
<第1実施形態>
図1は、本発明の第1実施形態に係る電子部品検査装置を示す概略斜視図である。図2は、図1に示す検査装置(電子部品検査装置)の概略平面図である。図3は、図1に示す検査装置の一部を示すブロック図である。図4は、図1に示すモニターに表示されるウインドウを示す図である。図5は、図4に示す状態表示部を示す図である。図6は、図4に示す状態表示部が有する酸素表示部の表示を示す図である。図7は、図4に示す状態表示部が有する湿度表示部の表示を示す図である。
<First Embodiment>
FIG. 1 is a schematic perspective view showing an electronic component inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic plan view of the inspection apparatus (electronic component inspection apparatus) shown in FIG. FIG. 3 is a block diagram showing a part of the inspection apparatus shown in FIG. FIG. 4 is a diagram showing a window displayed on the monitor shown in FIG. FIG. 5 is a diagram showing the status display unit shown in FIG. FIG. 6 is a diagram showing a display on the oxygen display unit included in the state display unit shown in FIG. FIG. 7 is a diagram showing the display of the humidity display unit included in the status display unit shown in FIG.
なお、以下では、説明の便宜上、図1に示すように、互いに直交する3軸をX軸、Y軸およびZ軸とする。また、X軸とY軸を含むXY平面が水平となっており、Z軸が鉛直となっている。また、X軸に平行な方向を「X方向」とも言い、Y軸に平行な方向を「Y方向」とも言い、Z軸に平行な方向を「Z方向」とも言う。また、X軸、Y軸およびZ軸の各軸の矢印の方向をプラス側、矢印と反対の方向をマイナス側と言う。また、電子部品の搬送方向の上流側を単に「上流側」とも言い、下流側を単に「下流側」とも言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干(例えば5°未満程度)傾いた状態も含む。 In the following, for convenience of explanation, as shown in FIG. 1, three axes orthogonal to each other are referred to as an X axis, a Y axis, and a Z axis. Further, the XY plane including the X axis and the Y axis is horizontal, and the Z axis is vertical. A direction parallel to the X axis is also referred to as “X direction”, a direction parallel to the Y axis is also referred to as “Y direction”, and a direction parallel to the Z axis is also referred to as “Z direction”. The direction of the arrow of each axis of the X axis, the Y axis, and the Z axis is referred to as a plus side, and the direction opposite to the arrow is referred to as a minus side. Further, the upstream side in the conveying direction of the electronic component is also simply referred to as “upstream side”, and the downstream side is also simply referred to as “downstream side”. In addition, the term “horizontal” in the specification of the present application is not limited to complete horizontal, and includes a state slightly inclined (for example, less than about 5 °) with respect to the horizontal as long as transportation of electronic components is not hindered.
図1に示す検査装置(電子部品検査装置)1は、例えば、BGA(Ball grid array)パッケージやLGA(Land grid array)パッケージ等のICデバイス、LCD(Liquid Crystal Display)、CIS(CMOS Image Sensor)等の電子部品の電気的特性を検査・試験(以下単に「検査」と言う)するための装置である。なお、以下では、説明の便宜上、検査を行う前記電子部品としてICデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ICデバイス90」とする。
An inspection apparatus (electronic component inspection apparatus) 1 shown in FIG. 1 includes, for example, an IC device such as a BGA (Ball grid array) package and an LGA (Land grid array) package, an LCD (Liquid Crystal Display), and a CIS (CMOS Image Sensor). It is an apparatus for inspecting and testing (hereinafter simply referred to as “inspection”) electrical characteristics of electronic components such as the above. Hereinafter, for convenience of explanation, the case where an IC device is used as the electronic component to be inspected will be described as a representative, and this will be referred to as “
図1および図2に示すように、検査装置1は、ICデバイス90を搬送する電子部品搬送装置10と、検査部16と、表示部40および操作部50を有する設定表示部60とを備えている。なお、本実施形態では、検査部16、および、後述する制御装置30が有する検査制御部312を除く構成によって電子部品搬送装置10が構成されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
また、図1および図2に示すように、検査装置1は、トレイ供給領域A1と、デバイス供給領域(電子部品供給領域)A2と、検査部16が設けられている検査領域(検査部配置領域)A3と、デバイス回収領域(電子部品回収領域)A4と、トレイ除去領域A5とに分けられている。この検査装置1において、ICデバイス90は、トレイ供給領域A1からトレイ除去領域A5まで各領域を順に経由し、途中の検査領域A3で検査が行われる。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
また、検査装置1は、常温環境下、低温環境下および高温環境下で検査を行うことができるよう構成されている。
Further, the
以下、検査装置1について領域A1〜A5ごとに説明する。
〈トレイ供給領域A1〉
トレイ供給領域A1は、未検査状態の複数のICデバイス90が配列されたトレイ200が供給される領域である。トレイ供給領域A1では、多数のトレイ200を積み重ねることができる。
Hereinafter, the
<Tray supply area A1>
The tray supply area A1 is an area to which a
〈デバイス供給領域A2〉
デバイス供給領域A2は、トレイ供給領域A1からのトレイ200上の複数のICデバイス90がそれぞれ検査領域A3まで供給される領域である。なお、トレイ供給領域A1とデバイス供給領域A2とを跨ぐように、トレイ200を搬送するトレイ搬送機構(搬送部)11A、11Bが設けられている。
<Device supply area A2>
The device supply area A2 is an area where a plurality of
デバイス供給領域A2には、温度調整部(ソークプレート)12と、供給ロボット(デバイス搬送ヘッド)13と、供給空トレイ搬送機構15とが設けられている。
In the device supply area A2, a temperature adjustment unit (soak plate) 12, a supply robot (device transfer head) 13, and a supply empty
温度調整部12は、ICデバイス90を配置し、配置されたICデバイス90を加熱または冷却して、当該ICデバイス90を検査に適した温度に調整(制御)する装置である。図2に示す構成では、温度調整部12は、Y方向に2つ配置、固定されている。そして、トレイ搬送機構11Aによってトレイ供給領域A1から搬入されたトレイ200上のICデバイス90は、いずれかの温度調整部12に搬送され、載置される。なお、図示しないが、温度調整部12には、温度調整部12におけるICデバイス90の温度を検出する温度検出部が設けられている。
The
図2に示す供給ロボット13は、ICデバイス90の搬送を行う搬送部であり、デバイス供給領域A2内でX方向、Y方向およびZ方向に移動可能に支持されている。この供給ロボット13は、トレイ供給領域A1から搬入されたトレイ200と温度調整部12との間のICデバイス90の搬送と、温度調整部12と後述するデバイス供給部14との間のICデバイス90の搬送とを担っている。なお、供給ロボット13は、ICデバイス90を把持する複数の把持部(図示せず)を有している。各把持部は、吸着ノズルを備えており、ICデバイス90を吸着することで把持することができる。また、供給ロボット13は、ICデバイス90を加熱または冷却することができるように構成されている。
The
供給空トレイ搬送機構15は、全てのICデバイス90が除去された状態の空のトレイ200をX方向に搬送する搬送部(搬送機構)である。そして、この搬送後、空のトレイ200は、トレイ搬送機構11Bによってデバイス供給領域A2からトレイ供給領域A1に戻される。
The supply empty
〈検査領域A3〉
検査領域A3は、ICデバイス90が検査される領域である。この検査領域A3には、デバイス供給部14と、検査部16と、測定ロボット(デバイス搬送ヘッド)17と、デバイス回収部18とが設けられている。
<Inspection area A3>
The inspection area A3 is an area where the
デバイス供給部14は、温度調整(温度制御)されたICデバイス90を検査部16近傍まで搬送する搬送部である。このデバイス供給部14は、デバイス供給領域A2と検査領域A3との間をX方向に沿って移動可能に支持されている。また、図2に示す構成では、デバイス供給部14は、Y方向に2つ配置されており、温度調整部12上のICデバイス90は、いずれかのデバイス供給部14に搬送され、載置される。なお、この搬送は、供給ロボット13によって行われる。また、デバイス供給部14は、ICデバイス90を加熱または冷却することができるように構成されている。また、図示はしないが、デバイス供給部14には、デバイス供給部14におけるICデバイス90の温度を検出する温度検出部が設けられている。
The
検査部16は、ICデバイス90の電気的特性を検査・試験するユニットであり、ICデバイス90を検査する場合にそのICデバイス90を保持する保持部である。検査部16には、ICデバイス90を保持した状態で当該ICデバイス90の端子と電気的に接続される複数のプローブピンが設けられている。そして、ICデバイス90の端子とプローブピンとが電気的に接続され(接触し)、プローブピンを介してICデバイス90の検査が行われる。また、検査部16は、ICデバイス90を加熱または冷却することができるように構成されている。また、図示はしないが、検査部16には、検査部16におけるICデバイス90の温度を検出する温度検出部が設けられている。
The
測定ロボット17は、ICデバイス90の搬送を行う搬送部であり、検査領域A3内で移動可能に支持されている。この測定ロボット17は、デバイス供給領域A2から搬入されたデバイス供給部14上のICデバイス90を検査部16上に搬送し、載置することができる。また、ICデバイス90を検査する場合に、測定ロボット17は、ICデバイス90を検査部16に向けて押圧し、これにより、ICデバイス90を検査部16に当接させる。これによって、前述したように、ICデバイス90の端子と検査部16のプローブピンとが電気的に接続される。なお、測定ロボット17は、ICデバイス90を把持する複数の把持部(図示せず)を有している。各把持部は、吸着ノズルを備えており、ICデバイス90を吸着することで把持することができる。また、測定ロボット17はICデバイス90を加熱または冷却することができるように構成されている。また、図示はしないが、測定ロボット17には、測定ロボット17におけるICデバイス90の温度を検出する温度検出部が設けられている。
The measurement robot 17 is a transport unit that transports the
デバイス回収部18は、検査部16での検査が終了したICデバイス90をデバイス回収領域A4まで搬送する搬送部である。このデバイス回収部18は、検査領域A3とデバイス回収領域A4との間をX方向に沿って移動可能に支持されている。また、図2に示す構成では、デバイス回収部18は、デバイス供給部14と同様に、Y方向に2つ配置されており、検査部16上のICデバイス90は、いずれかのデバイス回収部18に搬送され、載置される。なお、この搬送は、測定ロボット17によって行われる。また、図示はしないが、デバイス回収部18には、デバイス回収部18におけるICデバイス90の温度を検出する温度検出部が設けられていても良い。
The
〈デバイス回収領域A4〉
デバイス回収領域A4は、検査が終了したICデバイス90が回収される領域である。このデバイス回収領域A4には、回収用トレイ19と、回収ロボット(デバイス搬送ヘッド)20と、回収空トレイ搬送機構(トレイ搬送機構)21とが設けられている。また、デバイス回収領域A4には、3つの空のトレイ200も用意されている。
<Device collection area A4>
The device collection area A4 is an area in which the
回収用トレイ19は、ICデバイス90が載置される載置部であり、デバイス回収領域A4内に固定され、図2に示す構成では、X方向に並んで3つ配置されている。また、空のトレイ200も、ICデバイス90が載置される載置部であり、X方向に並んで3つ配置されている。そして、デバイス回収領域A4に移動してきたデバイス回収部18上のICデバイス90は、これらの回収用トレイ19および空のトレイ200のうちのいずれかに搬送され、載置される。これにより、ICデバイス90は、検査結果ごとに回収されて、分類されることとなる。
The
回収ロボット20は、ICデバイス90の搬送を行う搬送部であり、デバイス回収領域A4内でX方向、Y方向およびZ方向に移動可能に支持されている。この回収ロボット20は、ICデバイス90をデバイス回収部18から回収用トレイ19や空のトレイ200に搬送することができる。なお、回収ロボット20は、ICデバイス90を把持する複数の把持部(図示せず)を有している。各把持部は、吸着ノズルを備えており、ICデバイス90を吸着することで把持することができる。
The collection robot 20 is a conveyance unit that conveys the
回収空トレイ搬送機構21は、トレイ除去領域A5から搬入された空のトレイ200をX方向に搬送させる搬送部(搬送機構)である。そして、この搬送後、空のトレイ200は、ICデバイス90が回収される位置に配されることとなる、すなわち、前記3つの空のトレイ200のうちのいずれかとなり得る。
The collection empty
〈トレイ除去領域A5〉
トレイ除去領域A5は、検査済み状態の複数のICデバイス90が配列されたトレイ200が回収され、除去される領域である。トレイ除去領域A5では、多数のトレイ200を積み重ねることができる。なお、デバイス回収領域A4とトレイ除去領域A5とを跨ぐように、トレイ200を1枚ずつ搬送するトレイ搬送機構(搬送部)22A、22Bが設けられている。トレイ搬送機構22Aは、検査済みのICデバイス90が載置されたトレイ200をデバイス回収領域A4からトレイ除去領域A5に搬送する。トレイ搬送機構22Bは、ICデバイス90を回収するための空のトレイ200をトレイ除去領域A5からデバイス回収領域A4に搬送する。
<Tray removal area A5>
The tray removal area A5 is an area where the
以上説明したような各領域A1〜A5は、互いに、図示しない壁部やシャッター等により仕切られている。そして、デバイス供給領域A2は、壁部やシャッター等で画成された第1室(Input)R1となっており、検査領域A3は、壁部やシャッター等で画成された第2室(Index)R2となっており、デバイス回収領域A4は、壁部やシャッター等で画成された第3室(Output)R3となっている。また、第1室(室)R1、第2室(室)R2および第3室(室)R3は、それぞれ、気密性や断熱性を確保することができるように構成されている。これにより、第1室R1、第2室R2および第3室R3は、それぞれ、湿度や温度を可能な限り維持することができる。 Each of the regions A1 to A5 as described above is partitioned from each other by a wall portion or a shutter (not shown). The device supply area A2 is a first chamber (Input) R1 defined by walls and shutters, and the inspection area A3 is a second chamber (Index) defined by walls and shutters. ) R2 and the device collection area A4 is a third chamber (Output) R3 defined by walls, shutters, and the like. The first chamber (chamber) R1, the second chamber (chamber) R2, and the third chamber (chamber) R3 are each configured to ensure airtightness and heat insulation. Thereby, each of the first chamber R1, the second chamber R2, and the third chamber R3 can maintain humidity and temperature as much as possible.
また、図2に示すように、第1室R1には、第1室R1内の温度を検出する温度センサー(温度計)241と、第1室R1内の湿度(相対湿度)を検出する湿度センサー(湿度計)251と、第1室R1内の酸素濃度を検出する酸素濃度センサー(酸素濃度計)261とが設けられている。また、第2室R2には、第2室R2内の温度を検出する温度センサー(温度計)242と、第2室R2内の湿度(相対湿度)を検出する湿度センサー(湿度計)252とが設けられている。また、第3室R3には、第3室R3内の酸素濃度を検出する酸素濃度センサー(酸素濃度計)263が設けられている。 Further, as shown in FIG. 2, the first chamber R1 includes a temperature sensor (thermometer) 241 for detecting the temperature in the first chamber R1, and a humidity for detecting the humidity (relative humidity) in the first chamber R1. A sensor (hygrometer) 251 and an oxygen concentration sensor (oxygen meter) 261 for detecting the oxygen concentration in the first chamber R1 are provided. The second chamber R2 includes a temperature sensor (thermometer) 242 that detects the temperature in the second chamber R2, and a humidity sensor (hygrometer) 252 that detects the humidity (relative humidity) in the second chamber R2. Is provided. The third chamber R3 is provided with an oxygen concentration sensor (oxygen concentration meter) 263 that detects the oxygen concentration in the third chamber R3.
また、図示はしないが、検査装置1は、ドライエアー供給機構を有している。ドライエアー供給機構は、第1室R1、第2室R2および第3室R3に湿度の低い空気、窒素等の気体(以下、ドライエアーとも言う)を供給できるよう構成されている。そのため、必要に応じて、ドライエアーを供給することにより、ICデバイス90の結露、結氷(着氷)を防止することができる。
Although not shown, the
次に、制御装置30と、表示部40および操作部50を有する設定表示部60とについて説明する。
Next, the
〈制御装置30〉
図3に示すように、制御装置30は、検査装置1の各部を制御する機能を有し、駆動制御部311および検査制御部312を有する制御部31と、記憶部32とを有している。
<
As illustrated in FIG. 3, the
駆動制御部311は、各部(トレイ搬送機構11A、11B、温度調整部12、供給ロボット13、供給空トレイ搬送機構15、デバイス供給部14、検査部16、測定ロボット17、デバイス回収部18、回収ロボット20、回収空トレイ搬送機構21およびトレイ搬送機構22A、22B)の駆動等を制御する。検査制御部312は、例えば、記憶部32内に記憶されたプログラム(ソフトウェア)に基づいて、検査部16に配置されたICデバイス90の検査等を行うことも可能である。
The
また、制御部31は、各部の駆動や検査結果等を表示部40に表示する機能や、操作部50からの入力に従って処理を行う機能等をも有している。
記憶部32は、制御部31が各種処理を行うためのプログラムやデータ等を記憶する。
The
The
なお、前述した温度センサー241、242、湿度センサー251、252、酸素濃度センサー261、263は、それぞれ制御装置30と接続している。
The
〈設定表示部60〉
前述したように、設定表示部60は、表示部40および操作部50を有する。
<
As described above, the setting
表示部40は、各部の駆動や検査結果等を表示するモニター41を有する。モニター41は、例えば、液晶表示パネルや有機EL等の表示パネル等で構成することができる。作業者は、このモニター41を介して、検査装置1の各種処理や条件等を設定したり、確認したりすることができる。なお、表示部40は、図1に示すように、検査装置1の図中上方に配置されている。
The
操作部50は、マウス51等の入力デバイスであり、作業者による操作に応じた操作信号を制御部31に出力する。したがって、作業者は、マウス51を用いて、制御部31に対して各種処理等の指示を行うことができる。なお、マウス51(操作部50)は、図1に示すように、検査装置1の図中右側で、表示部40に近い位置に配置されている。また、本実施形態では、操作部50としてマウス51を用いているが、操作部50はこれに限定されず、例えばキーボード、トラックボール、タッチパネル等の入力デバイス等であってもよい。
以上、検査装置1の構成について簡単に説明した。
The
The configuration of the
このような検査装置1は、前述したように、温度調整部12、供給ロボット13、デバイス供給部14、検査部16および測定ロボット17が、加熱および冷却可能に構成されている。このため、温度調整部12、供給ロボット13、デバイス供給部14、検査部16および測定ロボット17が加熱されると、その加熱に応じて、温度調整部12、供給ロボット13、デバイス供給部14、検査部16および測定ロボット17が配置されている第1室R1および第2室R2の温度が上昇する。これにより、高温環境下でのICデバイス90の検査を行うことができる。なお、高温環境下で検査をする場合には、温度調整部12、供給ロボット13、デバイス供給部14、検査部16および測定ロボット17は、例えば、30〜130℃程度に加熱制御される。
As described above, the
また、温度調整部12、供給ロボット13、デバイス供給部14、検査部16および測定ロボット17が冷却されると、その冷却に応じて、第1室R1および第2室R2の温度も下降する。これにより、低温環境下でのICデバイス90の検査を行うことができる。なお、低温環境下で検査をする場合には、温度調整部12、供給ロボット13、デバイス供給部14、検査部16および測定ロボット17は、例えば、−60〜25℃程度に冷却制御される。
Further, when the
また、温度調整部12、供給ロボット13、デバイス供給部14、検査部16および測定ロボット17を常温に制御することで、常温環境下でのICデバイス90の検査を行うことができる。また、温度調整部12、供給ロボット13、デバイス供給部14、検査部16および測定ロボット17を加熱や冷却しないことにより、常温環境下でのICデバイス90の検査をすることも可能である。なお、常温環境下で検査をする場合には、温度調整部12、供給ロボット13、デバイス供給部14、検査部16および測定ロボット17は、例えば、25〜35℃程度に制御される。
Further, by controlling the
このように、温度調整部12、供給ロボット13、デバイス供給部14、検査部16および測定ロボット17の温度を制御(調整)することで、常温環境下、低温環境下および高温環境下でのICデバイス90の検査をすることができる。なお、この制御では、必要に応じて第1室R1、第2室R2および第3室R3にドライエアーを供給することでICデバイス90の温度や湿度を制御する。また、この制御では、温度調整部12、デバイス供給部14、検査部16およびデバイス回収部18にそれぞれ設けられた温度検出部(図示せず)にてICデバイス90の温度を検出し、制御部31によって、検出された温度に応じてフィードバック制御を行う。これにより、ICデバイス90は、搬送されている間、温度が設定温度付近に維持される。
In this way, by controlling (adjusting) the temperatures of the
また、本実施形態の検査装置1は、検査装置1内の酸素濃度、湿度および温度をモニター41により確認できるように構成されている。以下、この点について説明する。
In addition, the
検査装置1が起動されたとき、制御部31は、モニター41上に、図4に示すようなウインドウ(画面)WDを表示する。このウインドウWD内の左下側には、検査装置1内の酸素濃度、湿度および温度を示す状態表示部7が設けられている。
When the
図5に示すように、本実施形態では、状態表示部7は、4つの列と4つの行からなるテーブル(表)70で構成されている。テーブル70は、各室R1〜R3の酸素濃度を表示しているフィールド71と、各室R1〜R3の湿度を表示しているフィールド72と、各室R1〜R3の温度を表示しているフィールド73とを有している。
As shown in FIG. 5, in the present embodiment, the state display unit 7 is configured by a table 70 having four columns and four rows. The table 70 is a
フィールド71は、上の行から順に、第2室R2内の酸素濃度を数値で表示することができるセル712と、第1室R1内の酸素濃度を数値で表示することができるセル711と、第3室R3内の酸素濃度を数値で表示することができるセル713とを有している。
The
セル711に表示されている酸素濃度は、第1室R1内に設けられた酸素濃度センサー261により検出された値である。セル713に表示されている酸素濃度は、第3室R3内に設けられた酸素濃度センサー263により検出された値である。なお、本実施形態では、前述したように、第2室R2内に酸素濃度センサーが設けられていない。そのため、セル712には、第2室R2内に酸素濃度センサーが設けられていないことを示す「―」が表示されている。
The oxygen concentration displayed in the
フィールド72は、上の行から順に、第2室R2内の湿度を数値で表示することができるセル722と、第1室R1内の湿度を数値で表示することができるセル721と、第3室R3内の湿度を数値で表示することができるセル723とを有している。
The
セル722に表示されている湿度は、第2室R2内に設けられた湿度センサー252により検出された値である。セル721に表示されている湿度は、第1室R1内に設けられた湿度センサー251により検出された値である。なお、本実施形態では、前述したように、第3室R3内に湿度センサーが設けられていない。そのため、セル723には、第3室R3内に湿度センサーが設けられていないことを示す「―」が表示されている。
The humidity displayed in the
フィールド73は、上の行から順に、第2室R2内の温度を数値で表示することができるセル732と、第1室R1内の温度を数値で表示することができるセル731と、第3室R3内の温度を数値で表示することができるセル733とを有している。
The
セル732に表示されている温度は、第2室R2内に設けられた温度センサー242により検出された値である。セル731に表示されている温度は、第1室R1内に設けられた温度センサー241により検出された値である。なお、本実施形態では、前述したように、第3室R3内には温度センサーが設けられていない。そのため、セル733には、第3室R3内に温度センサーが設けられていないことを示す「―」が表示されている。
The temperature displayed in the
このような構成の状態表示部7が有するフィールド71は、酸素濃度の大きさに応じて段階的に異なる表示を行う酸素濃度表示部としての機能を有する。具体的には、フィールド71が有するセル711〜713が、酸素濃度の大きさに応じて4段階の異なる表示をすることができる。セル711〜713は、同様の表示が可能であるため、以下では、代表してセル711の表示について説明する。
The
図6に示すように、セル711は、第1レベルO1、第2レベルO2、第3レベルO3および第4レベルO4の4つのレベル(4段階)に分けて異なる表示をすることができる。なお、本実施形態では、4つのレベルに分けているが、レベルの数は4つに限定されない。
As shown in FIG. 6, the
第1レベルO1では、図6(a)に示すように、セル711の背景色が、波長域が500〜580nmの範囲内の色、すなわち緑色で表示される。このように表示される第1レベルO1は、酸素濃度センサー261により測定された酸素濃度が16%を超える状態である。この第1レベルO1は、第1室R1内の酸素濃度が低い状態ではなく、安全を確保できる酸素濃度であるといえる。
At the first level O1, as shown in FIG. 6A, the background color of the
第2レベルO2では、図6(b)に示すように、セル711の背景色が、波長域が580〜610nmの範囲内である色、すなわち黄色で表示される。このように表示される第2レベルO2は、酸素濃度センサー261により測定された酸素濃度が6%以上16%以下の状態である。この第2レベルO2は、第1室R1内の酸素濃度が若干低くなっている状態であり、酸素濃度が低い状態となる可能性がある酸素濃度であるといえる。
At the second level O2, as shown in FIG. 6B, the background color of the
第3レベルO3では、図6(c)に示すように、セル711の背景色が、波長域が610〜750nmの範囲内である色、すなわち、赤色で表示される。このように表示される第3レベルO3は、酸素濃度センサー261により測定された酸素濃度が6%未満の状態である。この第3レベルO3は、第1室R1内の酸素濃度が低い状態となる可能性が高く、要注意するべき酸素濃度であるといえる。
At the third level O3, as shown in FIG. 6C, the background color of the
第4レベルO4では、図6(d)に示すように、セル711の背景色が赤色で表示されるとともに、セル711内には数値の代わりに「ERROR」と表示される。このように表示される第4レベルO4は、第1室R1における酸素濃度測定に関して異常が生じている状態(エラーが生じている状態)である。酸素濃度測定に関して異常が生じている状態としては、例えば、制御装置30と酸素濃度センサー261との接続に不具合が生じ、酸素濃度を上手く読み込むことができない状態等が挙げられる。
At the fourth level O4, as shown in FIG. 6D, the background color of the
このように、セル711が、酸素濃度の大きさに応じて段階的に異なる背景色で表示されることで、作業者は、第1室R1内の酸素濃度が低い状態であるかを一目でより容易かつより迅速に判別することができる。
As described above, the
特に、セル711の背景色は、前述したように、酸素濃度の高い方から順に、緑色、黄色、赤色と表示されるため、第1室R1内の酸素濃度が低い状態であるか、また、酸素濃度が若干低くなっている状態であるかをさらに容易かつさらに迅速に判別することができる。
In particular, since the background color of the
また、第4レベルO4では、セル711の背景色が赤色で表示されるとともに、セル711内に「ERROR」と表示されるため、第1室R1内の酸素濃度が低い状態であることとは別に、酸素濃度測定に関して異常が生じていることを特に容易かつ特に迅速に判別することができる。
In addition, at the fourth level O4, the background color of the
なお、セル711の背景色は、作業者が視覚的に各レベルを把握することができれば、如何なる色であってもよい。ただし、上述したように、緑色、黄色、赤色と表示されることによって、作業者は、第1室R1内の酸素濃度が低い状態であるか否かを把握しやすいため好ましい。
The background color of the
以上説明したようなセル711の表示と同様に、セル712、713についても、それぞれ、酸素濃度の大きさに応じて段階的に異なる表示を行うことが可能である。このため、作業者は、室R1〜R3内ごとに酸素濃度が低い状態であるか否かをより容易に判別することができる。このように、作業者は、室R1〜R3内ごとの酸素濃度をより容易に判別したり監視したりすることができる。
Similar to the display of the
また、状態表示部7が有するフィールド72は、湿度の大きさに応じて段階的に異なる表示を行う湿度表示部としての機能を有する。具体的には、フィールド72が有するセル721〜723は、湿度の大きさに応じて4段階の異なる表示をすることができる。セル721〜723は、同様の表示が可能であるため、以下では、代表してセル722の表示について説明する。
In addition, the
図7に示すように、セル722は、第1レベルH1、第2レベルH2、第3レベルH3および第4レベルH4の4つのレベル(4段階)に分けて異なる表示をすることができる。なお、本実施形態では、4つのレベルに分けているが、レベルの数は4つに限定されない。
As shown in FIG. 7, the
ここで、本明細書において、ICデバイス90に結露が生じない湿度の臨界点を、限界湿度(%)と言う。すなわち、測定された湿度(%)が限界湿度(%)を超えると、ICデバイス90に結露が生じる。また、結露の発生は、湿度と温度に関係しており、限界湿度(%)は温度ごとに異なる。そして、制御装置30には、所定の温度に応じた限界湿度(%)が記憶されており、制御装置30は、所定の温度に応じた限界湿度(%)を求めることができる。
Here, in this specification, the critical point of humidity at which condensation does not occur in the
第1レベルH1では、図7(a)に示すように、セル722の背景色が、白色で表示される。このように表示される第1レベルH1は、湿度センサー252により測定された湿度(%)が、温度センサー242により測定された温度における限界湿度(%)よりも3(%)低い値未満の状態である。すなわち、第1レベルH1は、測定された湿度(%)<限界湿度(%)−3(%)の状態である。この第1レベルH1は、搬送部や載置部にあるICデバイス90に結露が生じ難い状態であるといえる。
At the first level H1, as shown in FIG. 7A, the background color of the
第2レベルH2では、図7(b)に示すように、セル722の背景色が、波長域が580〜610nmの範囲内である色、すなわち黄色で表示される。このように表示される第2レベルH2は、湿度センサー252により測定された湿度(%)が、温度センサー242により測定された温度における限界湿度(%)よりも3(%)低い値以上であり、かつ、限界湿度(%)以下の状態である。すなわち、限界湿度(%)−3(%)≦測定された湿度(%)≦限界湿度(%)の状態である。この第2レベルH2は、各部にあるICデバイス90に結露が生じる状態に近い状態であり、ICデバイス90に結露が生じる可能性がある湿度といえる。
At the second level H2, as shown in FIG. 7B, the background color of the
第3レベルH3では、図7(c)に示すように、セル722の背景色が、波長域が610〜750nmの範囲内である色、すなわち、赤色で表示される。このように表示される第3レベルH3は、湿度センサー252により測定された湿度(%)が、温度センサー242により測定された温度における限界湿度(%)を超える状態である。すなわち、限界湿度(%)<測定された湿度(%)の状態である。この第3レベルH3は、各部にあるICデバイス90に結露が生じる湿度であるといえる。
At the third level H3, as shown in FIG. 7C, the background color of the
第4レベルH4では、図7(d)に示すように、セル722の背景色が赤色で表示されるとともに、セル722内には、数値の代わりに「ERROR」と表示される。このように表示される第4レベルH4は、第2室R2における湿度測定に関して異常が生じている状態(エラーが生じている状態)である。湿度測定に関して異常が生じている状態としては、例えば、制御装置30と湿度センサー252との接続に不具合が生じ、湿度を上手く読み込むことができない状態等が挙げられる。
At the fourth level H4, as shown in FIG. 7D, the background color of the
このように、セル722が、湿度の大きさに応じて段階的に異なる背景色で表示されることで、作業者は、第2室R2がICデバイス90に結露を生じさせる状態であるかを一目でより容易かつより迅速に判別することができる。
In this way, the
特に、セル722の背景色は、前述したように、湿度の低い方から順に、白色、黄色、赤色と表示されることで、作業者は、第2室R2がICデバイス90に結露を生じさせる状態であるか、または、ICデバイス90に結露を生じさせる状態に近い状態であるかをさらに容易かつさらに迅速に判別することができる。
In particular, as described above, the background color of the
なお、セル722の背景色は、作業者が視覚的に各レベルを把握することができれば、如何なる色であってもよい。ただし、上述したように、白色、黄色、赤色と表示されることによって、作業者は、ICデバイス90に結露を生じさせるか否かを把握しやすいため好ましい。
The background color of the
また、第4レベルH4では、セル722の背景色が赤色で表示されるとともに、セル722内に「ERROR」と表示されるため、第2室R2内がICデバイス90に結露を生じさせる状態であることとは別に、湿度測定に関して異常が生じていることを特に容易かつ特に迅速に判別することができる。
Further, at the fourth level H4, the background color of the
以上説明したようなセル722の表示と同様に、セル721、723についても、それぞれ、湿度の大きさに応じて段階的に異なる表示を行うことが可能である。このため、作業者は、室R1〜R3内ごとに結露が生じる状態であるか否かをより容易に判別することができる。
以上、本実施形態の検査装置1について説明した。
Similar to the display of the
The
なお、前述した説明では、各室R1〜R3の酸素濃度の大きさに応じて段階的に異なる表示を行うことが可能に構成されていたが、室R1〜R3のうちの少なくとも1つの酸素濃度を段階的に表示できるよう構成されていればよい。同様に、本実施形態では、各室R1〜R3の湿度の大きさに応じて段階的に異なる表示を行うことが可能に構成されていたが、室R1〜R3のうちの少なくとも1つの湿度を段階的に表示できるよう構成されていればよい。 In the above description, it has been configured to be able to perform different displays in stages depending on the magnitude of the oxygen concentration in each of the chambers R1 to R3. However, at least one oxygen concentration in the chambers R1 to R3 is used. It is only necessary to be configured so that can be displayed step by step. Similarly, in the present embodiment, it is configured to be able to perform different display in stages according to the humidity level of each of the rooms R1 to R3. However, at least one humidity in the rooms R1 to R3 is set. What is necessary is just to be comprised so that it can display in steps.
また、前述した説明では、セル711は、背景色が酸素濃度の大きさに応じて段階的に異なる色で表示されたが、セル711は、酸素濃度の大きさに応じて作業者が判別することができるように表示されれば、如何なる表示であってもよい。例えば、セル711の文字の色が、段階的に異なる色で表示されてもよい。また、例えば、セル711の背景が、異なるパターンで表示されてもよい。また、酸素濃度を数値で表示することに加え、段階的に異なるメッセージを表示してもよい。例えば、第1レベルO1では「安全」と表示し、第2レベルO2では「危険」と表示し、第3レベルO3では「要注意」と表示し、第4レベルO4では「異常」と表示してもよい。なお、セル712、713についても同様である。また、セル721〜723についても上記と同様である。
In the above description, the background color of the
また、第3レベルO3や第4レベルO3では、制御部31によって、検出された酸素濃度に応じてフィードバック制御を行ってもよい。例えば、第3レベルO3や第4レベルO4の場合には、検査装置1の各部の駆動を停止させたり、作業者に第3レベルO3や第4レベルO3であることを知らせるための警報を報知したりしてもよい。
Further, at the third level O3 or the fourth level O3, the
また、同様に、第3レベルH3や第4レベルH3では、制御部31によって、検出された湿度に応じてフィードバック制御を行ってもよい。例えば、第3レベルH3や第4レベルH4の場合には、検査装置1の各部の駆動を停止させたり、作業者に第3レベルH3や第4レベルH3であることを知らせるための警報を報知したり、ドライエアー供給装置を直ちに可動させてもよい。
Similarly, at the third level H3 and the fourth level H3, the
また、フィールド73が有するセル731〜733が、表示される温度に応じて段階的に異なる表示を行うことができる温度表示部としての機能を有していてもよい。
In addition, the
<第2実施形態>
図8は、本発明の第2実施形態に係る電子部品検査装置が有する状態表示部7を示す図である。
Second Embodiment
FIG. 8 is a diagram showing a state display unit 7 included in the electronic component inspection apparatus according to the second embodiment of the present invention.
以下、この図を参照して第2実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。 Hereinafter, the second embodiment will be described with reference to this drawing. However, the difference from the above-described embodiment will be mainly described, and the description of the same matters will be omitted.
本実施形態は、状態表示部を構成しているテーブルの構成が異なること以外は、前述した実施形態と同様である。 The present embodiment is the same as the above-described embodiment except that the configuration of the table constituting the status display unit is different.
本実施形態では、図8に示すテーブル70が有するフィールド71のセル711〜713と、フィールド72のセル721〜723とが、それぞれ、酸素濃度の大きさと湿度の大きさに応じて点滅する点滅表示部としての機能を有している。
In the present embodiment, the
まず、セル711〜713について説明するが、これらは同様の構成であるため、以下では、セル711について代表して説明する。
First, the
図8に示すように、セル711に表示された数値が、酸素濃度の大きさに応じて段階的に点滅するよう構成されている。そして、各数値の点滅速度は、段階的に変化するよう構成されている。
As shown in FIG. 8, the numerical value displayed in the
図8(a)に示すように、第1レベルO1では、セル711に表示された酸素濃度を示す数値は点滅しない。これに対し、図8(b)に示すように、第2レベルO2では、セル711に表示された酸素濃度を示す数値が点滅する。また、図8(c)に示すように、第3レベルO3では、セル711に表示された酸素濃度を示す数値が、第2レベルO2における点滅速度よりも早い速度で点滅する。また、図8(d)に示すように、第4レベルO4では、セル711に表示された「ERROR」が、第3レベルO3における点滅速度と同等の速度で点滅する。
As shown in FIG. 8A, at the first level O1, the numerical value indicating the oxygen concentration displayed in the
このように、セル711内の数値が、酸素濃度の大きさに応じて段階的に異なる点滅速度で表示されることで、作業者は、表示された酸素濃度の大きさが酸素濃度が低い状態であるか一目でより容易かつより迅速に判別することができる。特に、第2レベルO2よりも第3レベルO3の方が数値の点滅速度が速くなる。すなわち、酸素濃度が小さくなるほど、点滅速度が速くなる。このため、第2室R2内の酸素濃度が低い状態であるか、また、酸素濃度が若干低くなっている状態であるかをさらに容易かつさらに迅速に判別することができる。
As described above, the numerical value in the
次に、セル721〜723について説明するが、これらは同様の構成であるため、以下では、セル722について代表して説明する。
Next, the
図8に示すように、セル722に表示された数値が、湿度の大きさに応じて段階的に点滅するよう構成されている。そして、各数値の点滅速度は、段階的に変化するよう構成されている。
As shown in FIG. 8, the numerical value displayed in the
図8(a)に示すように、第1レベルH1では、セル722に表示された湿度を示す数値は点滅しない。これに対し、図8(b)に示すように、第2レベルH2では、セル722に表示された湿度を示す数値が点滅する。また、図8(c)に示すように、第3レベルH3では、セル722に表示された湿度を示す数値が、第2レベルH2における点滅速度よりも早い速度で点滅する。また、図8(d)に示すように、第4レベルH4では、セル722に表示された「ERROR」が、第3レベルH3における点滅速度と同等の速度で点滅する。
As shown in FIG. 8A, at the first level H1, the numerical value indicating the humidity displayed in the
このように、セル722内の数値が、湿度の大きさに応じて段階的に異なる点滅速度で表示されることで、作業者は、表示された湿度の大きさがICデバイス90に結露を生じさせる状態であるかを一目でより容易かつより迅速に判別することができる。特に、第2レベルH2よりも第3レベルH3の方が数値の点滅速度が速くなる。すなわち、湿度が大きくなるほど、点滅速度が速くなる。このため、第2室R2がICデバイス90に結露を生じさせる状態であるか、または、ICデバイス90に結露を生じさせる状態に近い状態であるかをさらに容易かつさらに迅速に判別することができる。
As described above, the numerical value in the
このような第2実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を奏することができる。 Also according to the second embodiment, the same effects as those of the first embodiment described above can be obtained.
なお、前述した説明では、数値が点滅するように構成されていたが、点滅する箇所は如何なる箇所であってもよい。例えば、セル711自体が点滅するように構成されていてもよい。また、例えば、セル711の各背景色が、前述した第1実施形態のように段階的に異なる色で表示され、その表示された背景色が点滅するように構成されていてもよい。なお、セル712、713、721、723についても同様である。
In the above description, the numerical value blinks, but the blinking portion may be any location. For example, the
また、前述した説明では、点滅速度が、レベルが大きくなるほど速くなったが、各レベルにおける点滅速度はこれに限定されない。例えば、第3レベルO3と第4レベルO4とは、異なる点滅速度で表示されてもよい。また、第1レベルO1や第1レベルH1においても数値が点滅するよう構成されていてもよい。 In the above description, the blinking speed increases as the level increases. However, the blinking speed at each level is not limited to this. For example, the third level O3 and the fourth level O4 may be displayed at different blinking speeds. Also, the numerical values may be blinked at the first level O1 and the first level H1.
<第3実施形態>
図9は、本発明の第3実施形態に係る電子部品検査装置が有する状態表示部が備えるレベルゲージ部を示す図である。図10は、図9に示すレベルゲージの表示を示す図である。
<Third Embodiment>
FIG. 9 is a diagram illustrating a level gauge unit included in a state display unit included in the electronic component inspection apparatus according to the third embodiment of the present invention. FIG. 10 is a diagram showing a display of the level gauge shown in FIG.
以下、これらの図を参照して第3実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。 Hereinafter, the third embodiment will be described with reference to these drawings. However, the difference from the above-described embodiment will be mainly described, and description of similar matters will be omitted.
本実施形態は、状態表示部の構成が異なること以外は、前述した実施形態と同様である。 The present embodiment is the same as the above-described embodiment except that the configuration of the status display unit is different.
本実施形態では、図9に示すように、状態表示部7が、各室R1〜R3の酸素濃度を表示しているレベルゲージ部74と、各室R1〜R3の湿度を表示しているレベルゲージ部75と、各室R1〜R3の温度を表示しているレベルゲージ部76とで構成されている。
In the present embodiment, as shown in FIG. 9, the state display unit 7 is a
レベルゲージ部74は、第2室R2内の酸素濃度を表示している棒状のレベルゲージ742と、第1室R1内の酸素濃度を表示している棒状のレベルゲージ741と、第3室R3内の酸素濃度を表示している棒状のレベルゲージ743とを有している。レベルゲージ741〜743は、それぞれ、酸素濃度の大きさの指標となる目盛りS74と、酸素濃度の大きさに応じて変位するバーB74と、各種メッセージを表示することができるメッセージ表示部M74とを有している。このようなレベルゲージ741〜743は、それぞれ、酸素濃度の大きさに応じてバーB74が図中上下方向に変位し、酸素濃度の大きさに応じた目盛りS74にバーB74の上端が位置する。なお、本実施形態においても、第1実施形態と同様に、第2室R2内には酸素濃度センサーが設けられていないため、図9では、レベルゲージ742にバーB74が表示されていない。
The
レベルゲージ部75は、第2室R2内の湿度を表示している棒状のレベルゲージ752と、第1室R1内の湿度を表示している棒状のレベルゲージ751と、第3室R3内の湿度を表示している棒状のレベルゲージ753とを有している。レベルゲージ751〜753は、それぞれ、湿度の大きさの指標となる目盛りS75と、湿度の大きさに応じて変位するバーB75と、各種メッセージを表示することができるメッセージ表示部M75とを有している。このようなレベルゲージ751〜753は、それぞれ、湿度の大きさに応じてバーB75が図中上下方向に変位し、湿度の大きさに応じた目盛りS75にバーB75の上端が位置する。なお、本実施形態においても、第1実施形態と同様に、第3室R3内には湿度センサーが設けられていないため、図9では、レベルゲージ753にバーB75が表示されていない。
The
レベルゲージ部76は、第2室R2内の温度を表示している棒状のレベルゲージ762と、第1室R1内の温度を表示している棒状のレベルゲージ761と、第3室R3内の温度を表示している棒状のレベルゲージ763とを有している。レベルゲージ761〜763は、それぞれ、温度の大きさの指標となる目盛りS76と、温度の大きさに応じて変位するバーB76と、各種メッセージを表示することができるメッセージ表示部M76とを有している。このようなレベルゲージ761〜763は、それぞれ、温度の大きさに応じてバーB76が図中上下方向に変位し、温度の大きさに応じた目盛りS76にバーB76の上端が位置する。なお、本実施形態においても、第1実施形態と同様に、第3室R3内に温度センサーが設けられていないため、図9では、レベルゲージ763にバーB76が表示されていない。
The
このような構成の状態表示部7が有するレベルゲージ741〜743は、それぞれ、酸素濃度の大きさに応じて段階的に異なる表示を行う酸素濃度表示部としての機能を有する。レベルゲージ741〜743は、同様の表示が可能であるため、以下では、代表してレベルゲージ741の表示について説明する。
Each of the level gauges 741 to 743 included in the state display unit 7 having such a configuration has a function as an oxygen concentration display unit that performs different display in stages according to the magnitude of the oxygen concentration. Since the level gauges 741 to 743 can perform the same display, the display of the
図10に示すように、レベルゲージ741は、酸素濃度の大きさに応じて第1レベルO1、第2レベルO2、第3レベルO3および第4レベルO4の4つのレベル(4段階)に分けて表示がなされる。
As shown in FIG. 10, the
図10(a)に示すように、第1レベルO1では、バーB74が緑色で表示される。図10(b)に示すように、第2レベルO2では、バーB74が黄色で表示される。図10(c)に示すように、第3レベルO3では、バーB74が赤色で表示される。図10(d)に示すように、第4レベルO4では、バーB74が非表示になるとともに、メッセージ表示部M74に「EEROR」と表示される。 As shown in FIG. 10A, at the first level O1, the bar B74 is displayed in green. As shown in FIG. 10B, the bar B74 is displayed in yellow at the second level O2. As shown in FIG. 10C, at the third level O3, the bar B74 is displayed in red. As shown in FIG. 10D, at the fourth level O4, the bar B74 is not displayed, and “EEROR” is displayed on the message display unit M74.
このように、レベルゲージ741のバーB74が、酸素濃度の大きさに応じて段階的に異なる色で表示されることで、作業者は、第1室R内の酸素濃度が低い状態であるかを一目でより容易かつより迅速に判別することができる。
In this way, the bar B74 of the
また、状態表示部7が有するレベルゲージ751〜753は、それぞれ、湿度の大きさに応じて段階的に異なる表示を行う湿度表示部としての機能を有する。レベルゲージ751〜753は、同様の表示が可能であるため、以下では、代表してレベルゲージ752の表示について説明する。
Further, the level gauges 751 to 753 included in the state display unit 7 each have a function as a humidity display unit that performs different display in stages according to the magnitude of humidity. Since the level gauges 751 to 753 can display the same, the display of the
図10に示すように、レベルゲージ752は、湿度の大きさに応じて第1レベルH1、第2レベルH2、第3レベルH3および第4レベルH4の4つのレベル(4段階)に分けて表示がなされる。
As shown in FIG. 10, the
図10(e)に示すように、第1レベルH1では、バーB75が白色で表示される。図10(f)に示すように、第2レベルH2では、バーB75が黄色で表示される。図10(g)に示すように、第3レベルH3では、バーB75が赤色で表示される。図10(h)に示すように、第4レベルH4では、バーB75が非表示になるとともに、メッセージ表示部M75に「EEROR」と表示される。 As shown in FIG. 10E, at the first level H1, the bar B75 is displayed in white. As shown in FIG. 10F, the bar B75 is displayed in yellow at the second level H2. As shown in FIG. 10G, at the third level H3, the bar B75 is displayed in red. As shown in FIG. 10H, at the fourth level H4, the bar B75 is not displayed, and “EEROR” is displayed on the message display unit M75.
このように、レベルゲージ752のバーB75が、湿度の大きさに応じて段階的に異なる色で表示されることで、作業者は、表示された湿度の大きさがICデバイス90に結露を生じさせる状態であるかを一目でより容易かつより迅速に判別することができる。
As described above, the bar B75 of the
このような第3実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を奏することができる。 According to the third embodiment, the same effect as that of the first embodiment described above can be obtained.
なお、前述した説明では、レベルゲージ741は、棒状をなしていたが、レベルゲージ741の形状は、これに限定されず、例えば、アーチ状をなしていてもよい。また、レベルゲージ741は、バーB74を有していたが、例えば、バーB74に変えて、目盛りS74を指し示す指針(図示せず)を有する構成であってもよい。なお、レベルゲージ742、743、751〜753、761〜763についても同様である。
In the above description, the
以上、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を図示の好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、他の任意の構成物が付加されていてもよい。例えば、状態表示部は、第1実施形態で説明したテーブルと、第3実施形態で説明したレベルゲージとを有する構成であってもよい。 As mentioned above, although the electronic component conveyance apparatus and electronic component inspection apparatus of this invention were demonstrated based on preferred embodiment of illustration, this invention is not limited to this, The structure of each part has the same function. Any configuration can be substituted. Moreover, other arbitrary components may be added. For example, the status display unit may be configured to include the table described in the first embodiment and the level gauge described in the third embodiment.
また、前述した実施形態では、設定表示部は、操作部と表示部とを備えていたが、例えば、表示部と操作部とが一体になった構成でもよい。表示部と操作部とが一体になった構成としては、例えば、表示部が有するモニターがタッチパネルになっている構成が挙げられる。 In the above-described embodiment, the setting display unit includes the operation unit and the display unit. However, for example, a configuration in which the display unit and the operation unit are integrated may be used. As a configuration in which the display unit and the operation unit are integrated, for example, a configuration in which a monitor included in the display unit is a touch panel can be given.
また、前述した実施形態では、第2室に酸素濃度センサーが設けられていなかったが、第2室に酸素濃度センサーが設けられていてもよい。また、前述した説明では、第3室に湿度センサーおよび温度センサーが設けられていなかったが、第3室に湿度センサーおよび温度センサーが設けられていてもよい。 In the embodiment described above, the oxygen concentration sensor is not provided in the second chamber, but an oxygen concentration sensor may be provided in the second chamber. In the above description, the humidity sensor and the temperature sensor are not provided in the third chamber, but the humidity sensor and the temperature sensor may be provided in the third chamber.
また、前述した実施形態における各フィールドおよび各セルの配列や配置は、図示したものに限定されない。例えば、前述した実施形態では、図中左側から、酸素濃度を表示しているフィールド、湿度を表示しているフィールド、および、温度を表示しているフィールドがこの順で並んでいたが、これらフィールドの配置はこれに限定されない。例えば、図中左側から、温度を表示しているフィールド、湿度を表示しているフィールド、および、酸素濃度を表示しているフィールドがこの順で並んでいても構わない。また、例えば、これらフィールドは、図中左右方向に並んで配置されていたが、図中上下方向に並んで配置されていてもよい。 In addition, the arrangement and arrangement of each field and each cell in the above-described embodiment are not limited to those illustrated. For example, in the above-described embodiment, from the left side of the drawing, the field displaying the oxygen concentration, the field displaying the humidity, and the field displaying the temperature are arranged in this order. The arrangement of is not limited to this. For example, from the left side of the figure, a field displaying temperature, a field displaying humidity, and a field displaying oxygen concentration may be arranged in this order. Further, for example, these fields are arranged side by side in the horizontal direction in the figure, but may be arranged side by side in the vertical direction in the figure.
また、前述した実施形態における各レベルゲージ部および各レベルゲージの配列や配置は、図示したものに限定されない。例えば、前述した実施形態では、図中左側から、酸素濃度を表示しているレベルゲージ部、湿度を表示しているレベルゲージ部、および、温度を表示しているレベルゲージ部がこの順で並んでいたが、これらレベルゲージ部の配置はこれに限定されない。例えば、図中左側から、温度を表示しているレベルゲージ部、湿度を表示しているレベルゲージ部、および、酸素濃度を表示しているレベルゲージ部がこの順で並んでいても構わない。また、これらレベルゲージ部は、図中左右方向に並んで配置されていたが、図中上下方向に並んで配置されていてもよい。 Further, the arrangement and arrangement of the level gauge portions and the level gauges in the above-described embodiment are not limited to those illustrated. For example, in the embodiment described above, from the left side in the figure, the level gauge part displaying the oxygen concentration, the level gauge part displaying the humidity, and the level gauge part displaying the temperature are arranged in this order. However, the arrangement of the level gauge portions is not limited to this. For example, from the left side of the figure, a level gauge part displaying temperature, a level gauge part displaying humidity, and a level gauge part displaying oxygen concentration may be arranged in this order. These level gauge portions are arranged side by side in the left-right direction in the figure, but may be arranged side by side in the up-down direction in the figure.
1‥‥検査装置
10‥‥電子部品搬送装置
90‥‥ICデバイス
200‥‥トレイ
11A‥‥トレイ搬送機構
11B‥‥トレイ搬送機構
12‥‥温度調整部
13‥‥供給ロボット
14‥‥デバイス供給部
15‥‥供給空トレイ搬送機構
16‥‥検査部
17‥‥測定ロボット
18‥‥デバイス回収部
19‥‥回収用トレイ
20‥‥回収ロボット
21‥‥回収空トレイ搬送機構
22A‥‥トレイ搬送機構
22B‥‥トレイ搬送機構
241、242‥‥温度センサー
251、252‥‥湿度センサー
261、263‥‥酸素濃度センサー
30‥‥制御装置
31‥‥制御部
32‥‥記憶部
311‥‥駆動制御部
312‥‥検査制御部
40‥‥表示部
41‥‥モニター
50‥‥操作部
51‥‥マウス
60‥‥設定表示部
7‥‥状態表示部
70‥‥テーブル
71‥‥フィールド
711‥‥セル
712‥‥セル
713‥‥セル
72‥‥フィールド
721‥‥セル
722‥‥セル
723‥‥セル
73‥‥フィールド
731‥‥セル
732‥‥セル
733‥‥セル
74‥‥レベルゲージ部
741‥‥レベルゲージ
742‥‥レベルゲージ
743‥‥レベルゲージ
75‥‥レベルゲージ部
751‥‥レベルゲージ
752‥‥レベルゲージ
753‥‥レベルゲージ
76‥‥レベルゲージ部
761‥‥レベルゲージ
762‥‥レベルゲージ
763‥‥レベルゲージ
B74‥‥バー
B75‥‥バー
B76‥‥バー
M74‥‥メッセージ表示部
M75‥‥メッセージ表示部
M76‥‥メッセージ表示部
S74‥‥目盛り
S75‥‥目盛り
S76‥‥目盛り
WD‥‥ウインドウ
H1‥‥第1レベル
H2‥‥第2レベル
H3‥‥第3レベル
H4‥‥第4レベル
O1‥‥第1レベル
O2‥‥第2レベル
O3‥‥第3レベル
O4‥‥第4レベル
A1‥‥トレイ供給領域(領域)
A2‥‥デバイス供給領域(領域)
A3‥‥検査領域(領域)
A4‥‥デバイス回収領域(領域)
A5‥‥トレイ除去領域(領域)
R1‥‥第1室
R2‥‥第2室
R3‥‥第3室
DESCRIPTION OF
A2 ... Device supply area (area)
A3 ... Inspection area (area)
A4 ... Device collection area (area)
A5 Tray removal area (area)
R1 ... 1st room R2 ... 2nd room R3 ... 3rd room
Claims (9)
前記酸素濃度表示部は、前記酸素濃度の大きさに応じた表示が可能であることを特徴とする電子部品搬送装置。 Having an oxygen concentration display for displaying the oxygen concentration;
The oxygen concentration display unit can display according to the magnitude of the oxygen concentration.
前記点滅表示部は、前記酸素濃度の大きさに応じて点滅速度が変化する請求項1ないし6のいずれか1項に記載の電子部品搬送装置。 The oxygen concentration display part has a blinking display part,
7. The electronic component carrying device according to claim 1, wherein the blinking display portion changes in blinking speed according to the magnitude of the oxygen concentration.
前記検査部配置領域に前記電子部品を供給する搬送部を配置することが可能な電子部品供給領域と、
前記検査部配置領域から前記電子部品を回収する搬送部を配置することが可能な電子部品回収領域とを有し、
前記酸素濃度表示部は、前記検査部配置領域、前記電子部品供給領域および前記電子部品回収領域の少なくとも1つの領域内の前記酸素濃度を表示することが可能である請求項1ないし7のいずれか1項に記載の電子部品搬送装置。 An inspection part arrangement area in which an inspection part for inspecting electronic components can be arranged; and
An electronic component supply region capable of arranging a transport unit that supplies the electronic component to the inspection unit arrangement region;
An electronic component collection area capable of arranging a transport unit for collecting the electronic component from the inspection unit arrangement area;
The oxygen concentration display unit can display the oxygen concentration in at least one of the inspection unit arrangement region, the electronic component supply region, and the electronic component recovery region. The electronic component conveying apparatus according to item 1.
電子部品を検査する検査部とを備え、
前記酸素濃度表示部は、前記酸素濃度の大きさに応じた表示が可能であることを特徴とする電子部品検査装置。 An oxygen concentration display for displaying the oxygen concentration;
An inspection unit for inspecting electronic components,
The electronic component inspection apparatus, wherein the oxygen concentration display unit is capable of displaying according to the magnitude of the oxygen concentration.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015059167A JP6575094B2 (en) | 2015-03-23 | 2015-03-23 | Electronic component conveying device and electronic component inspection device |
TW107114741A TWI657252B (en) | 2015-02-13 | 2016-02-05 | Electronic component conveying device and electronic component inspection device |
TW105104184A TWI639011B (en) | 2015-02-13 | 2016-02-05 | Electronic component conveying device and electronic component inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015059167A JP6575094B2 (en) | 2015-03-23 | 2015-03-23 | Electronic component conveying device and electronic component inspection device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016176898A true JP2016176898A (en) | 2016-10-06 |
JP6575094B2 JP6575094B2 (en) | 2019-09-18 |
Family
ID=57069031
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015059167A Expired - Fee Related JP6575094B2 (en) | 2015-02-13 | 2015-03-23 | Electronic component conveying device and electronic component inspection device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6575094B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019018198A (en) * | 2017-07-11 | 2019-02-07 | 旭化成株式会社 | Flowing water sterilization module |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5679851U (en) * | 1979-11-27 | 1981-06-29 | ||
US4765193A (en) * | 1987-06-08 | 1988-08-23 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Oxygen system analyzer |
JPH0545325A (en) * | 1991-08-13 | 1993-02-23 | Casio Comput Co Ltd | Oxygen-concentration detecting apparatus |
JP2003168709A (en) * | 2001-11-30 | 2003-06-13 | Tokyo Electron Ltd | Reliability evaluating and testing device, reliability evaluating and testing system, contactor, and reliability evaluating and testing method |
JP2003347382A (en) * | 2002-05-28 | 2003-12-05 | Fujitsu Ltd | Inspection device for dielectric film, inspection method and manufacturing method of semiconductor device |
JP2004093451A (en) * | 2002-09-02 | 2004-03-25 | Tokyo Electron Ltd | Probe method and probe device |
JP2004111442A (en) * | 2002-09-13 | 2004-04-08 | Fujitsu Ltd | Semiconductor inspecting device |
JP2005063469A (en) * | 2004-12-06 | 2005-03-10 | Osaka Gas Co Ltd | Alarm device for gas leakage |
JP2005135314A (en) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Riken Keiki Co Ltd | Oxygen gas concentration monitoring device |
JP2009040107A (en) * | 2007-08-06 | 2009-02-26 | Denso Corp | Image display control device and image display control system |
JP2012202709A (en) * | 2011-03-23 | 2012-10-22 | New Cosmos Electric Corp | Indicator |
JP2013252776A (en) * | 2012-06-06 | 2013-12-19 | Mitsubishi Electric Corp | Air conditioning system for vehicle |
KR101496056B1 (en) * | 2013-12-06 | 2015-02-25 | 세메스 주식회사 | Apparatus for inspecting display cells |
JP2015047912A (en) * | 2013-08-30 | 2015-03-16 | パナソニック株式会社 | Vehicle management system, information acquisition device, information display device, and terminal device |
-
2015
- 2015-03-23 JP JP2015059167A patent/JP6575094B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5679851U (en) * | 1979-11-27 | 1981-06-29 | ||
US4765193A (en) * | 1987-06-08 | 1988-08-23 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Oxygen system analyzer |
JPH0545325A (en) * | 1991-08-13 | 1993-02-23 | Casio Comput Co Ltd | Oxygen-concentration detecting apparatus |
JP2003168709A (en) * | 2001-11-30 | 2003-06-13 | Tokyo Electron Ltd | Reliability evaluating and testing device, reliability evaluating and testing system, contactor, and reliability evaluating and testing method |
JP2003347382A (en) * | 2002-05-28 | 2003-12-05 | Fujitsu Ltd | Inspection device for dielectric film, inspection method and manufacturing method of semiconductor device |
JP2004093451A (en) * | 2002-09-02 | 2004-03-25 | Tokyo Electron Ltd | Probe method and probe device |
JP2004111442A (en) * | 2002-09-13 | 2004-04-08 | Fujitsu Ltd | Semiconductor inspecting device |
JP2005135314A (en) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Riken Keiki Co Ltd | Oxygen gas concentration monitoring device |
JP2005063469A (en) * | 2004-12-06 | 2005-03-10 | Osaka Gas Co Ltd | Alarm device for gas leakage |
JP2009040107A (en) * | 2007-08-06 | 2009-02-26 | Denso Corp | Image display control device and image display control system |
JP2012202709A (en) * | 2011-03-23 | 2012-10-22 | New Cosmos Electric Corp | Indicator |
JP2013252776A (en) * | 2012-06-06 | 2013-12-19 | Mitsubishi Electric Corp | Air conditioning system for vehicle |
JP2015047912A (en) * | 2013-08-30 | 2015-03-16 | パナソニック株式会社 | Vehicle management system, information acquisition device, information display device, and terminal device |
KR101496056B1 (en) * | 2013-12-06 | 2015-02-25 | 세메스 주식회사 | Apparatus for inspecting display cells |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019018198A (en) * | 2017-07-11 | 2019-02-07 | 旭化成株式会社 | Flowing water sterilization module |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6575094B2 (en) | 2019-09-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9664733B2 (en) | Probe device for testing electrical characteristics of semiconductor element | |
JP2013036941A (en) | Inspection device and inspection method of magnetic sensor | |
JP6575094B2 (en) | Electronic component conveying device and electronic component inspection device | |
TWI638175B (en) | Electronic component conveying device, electronic component inspection device, positioning device for electronic components, and positioning method of electronic component conveying device | |
TWI619951B (en) | Electronic component transfer device and electronic component inspection device | |
US7187164B2 (en) | Apparatus for calibrating a probe station | |
JP2016176902A (en) | Electronic component conveyance device and electronic component inspection device | |
TW201812948A (en) | Electronic component conveying device, and electronic component checking device | |
TWI639011B (en) | Electronic component conveying device and electronic component inspection device | |
JP5197145B2 (en) | Probe position correcting method and prober | |
JP2017015483A (en) | Electronic component conveyance device and electronic component inspection device | |
JP2017049017A (en) | Electronic component conveying device, and electronic component checking device | |
JP6536111B2 (en) | Electronic component conveying apparatus and electronic component inspection apparatus | |
WO2016129208A1 (en) | Electronic component transfer device and electronic component inspection device | |
JP2017015477A (en) | Electronic component conveyance device and electronic component inspection device | |
JP2016223828A (en) | Electronic component conveying apparatus and electronic component inspection apparatus | |
JP2016176897A (en) | Electronic component conveyance device and electronic component inspection device | |
TWI674421B (en) | Electronic component conveying device and electronic component inspection device | |
JP7369639B2 (en) | How to determine abnormality in electronic component transport equipment | |
JP2017015479A (en) | Electronic component conveyance device and electronic component inspection device | |
JP6436321B2 (en) | Method and apparatus for measuring electrical characteristics of electronic parts | |
KR100984716B1 (en) | Calibration method of led chip measurement and apparatus therefor | |
JP2017032374A (en) | Electronic component conveyance apparatus and electronic component inspection apparatus | |
JP2016176901A (en) | Electronic component conveyance device and electronic component inspection device | |
JP7362507B2 (en) | Electronic component transport device, electronic component inspection device, and pocket position detection method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180213 |
|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20180905 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20181107 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181121 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190124 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190423 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190527 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190723 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190805 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6575094 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |