JP2016176898A - Electronic component conveyance device and electronic component inspection device - Google Patents

Electronic component conveyance device and electronic component inspection device Download PDF

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清水 博之
Hiroyuki Shimizu
博之 清水
山崎 孝
Takashi Yamazaki
孝 山崎
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セイコーエプソン株式会社
Seiko Epson Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electronic component conveyance device and an electronic component inspection device, in which an oxygen concentration in the device can be easily and rapidly discriminated or monitored.SOLUTION: The electronic component conveyance device includes an oxygen concentration display unit for displaying an oxygen concentration, in which the oxygen concentration display unit can display in accordance with degrees of the oxygen concentration. The oxygen concentration display unit preferably can display in a gradual manner in accordance with degrees of the oxygen concentration. The electronic component inspection device includes an oxygen concentration display unit for displaying an oxygen concentration and an inspection unit for inspecting an electronic component, in which the oxygen concentration display unit can display in accordance with degrees of the oxygen concentration.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関するものである。 The present invention relates to an electronic component transporting apparatus and an electronic component testing apparatus.

従来から、例えばICデバイス等の電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置が知られている。 Conventionally, for example, an electronic component inspection apparatus for inspecting electrical characteristics of an electronic component of the IC device or the like is known. この電子部品検査装置は、一般的に、ICデバイスを検査する検査部と、検査部までICデバイスを搬送するための電子部品搬送装置とを有している。 The electronic component testing apparatus generally has an inspection unit for inspecting an IC device, an electronic component conveying device for conveying an IC device to the inspection unit.

また、電子部品検査装置を用いた検査は、ICデバイスを所定温度に加熱したり冷却しながら行われることがある。 Moreover, inspection using the electronic component testing device may be performed with cooling or heating the IC device to a predetermined temperature. ICデバイスを加熱する場合、ICデバイスが配置されている配置部材などを加熱することにより、ICデバイスを加熱する。 When heating the IC device by heating the like locating member which IC devices are arranged to heat the IC device. 一方、ICデバイスを冷却する場合、ICデバイスが配置されている配置部材を冷却することにより、ICデバイスを冷却する。 On the other hand, when cooling the IC device, by cooling the locating member which IC devices are arranged to cool the IC device. また、ICデバイスを冷却する場合、ICデバイスに結露や結氷(着氷)が生じないよう配置部材の周囲の雰囲気の湿度(装置内の湿度)を低下させる。 In the case of cooling the IC device, to lower the dew and frost on the IC device (the humidity within the apparatus) humidity of the atmosphere surrounding the locating member so that (ice) does not occur. 湿度を低下させるには、一般的に、窒素ガスを装置内に供給する。 To reduce the humidity, generally, for supplying nitrogen gas into the apparatus. 窒素ガスを使用すると、室内の酸素濃度が低下する。 Using nitrogen gas, the oxygen concentration in the room decreases. そのため、作業者の安全を確保するべく、室内には酸素濃度計が設けられている。 Therefore, in order to ensure the safety of workers, oximeter is provided in the chamber.

このような電子部品検査装置の一例として、例えば、特許文献1には、ICデバイスの電気的特性を検査する検査部を備えたICハンドラーが開示されている。 An example of such an electronic component testing device, for example, Patent Document 1, IC handler is disclosed which includes an inspection unit for inspecting the electrical characteristics of the IC device. また、例えば、特許文献2には、ウエハに付加価値を与える基板処理装置が開示されている。 Further, for example, Patent Document 2, the substrate processing apparatus to add value to the wafer is disclosed.

このような従来の電子部品検査装置では、例えば、装置内の酸素濃度等の各種装置状況を操作画面により確認することができる。 In such a conventional electronic component testing device, for example, it can be confirmed by various devices status, such as oxygen concentration in the device operation screen.

特開2009−97899号公報 JP 2009-97899 JP 特開2010−27791号公報 JP 2010-27791 JP

しかしながら、従来の電子部品検査装置では、酸素濃度が数値で表示されているため、作業者は、例えば、装置(電子部品検査装置)内の酸素濃度を一目で判別することや監視することが難しかった。 However, in the conventional electronic component inspecting apparatus, since the oxygen concentration is displayed numerically, the worker, for example, device it is difficult to (electronic component inspection apparatus) to determine the oxygen concentration at a glance and in monitoring It was.

本発明の目的は、装置内の酸素濃度を容易かつ迅速に判別することや監視することができる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide an electronic component transporting apparatus and an electronic component testing apparatus capable of and monitoring to determine the oxygen concentration in the apparatus easily and quickly.

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。 The present invention has been made to solve at least part of the problems described above, and can be realized as the following forms or application examples.

[適用例1] [Application Example 1]
本発明の電子部品搬送装置は、酸素濃度を表示する酸素濃度表示部を有し、 Electronic component conveying apparatus of the present invention has an oxygen concentration display unit for displaying the oxygen concentration,
前記酸素濃度表示部は、前記酸素濃度の大きさに応じた表示が可能であることを特徴とする。 The oxygen concentration display unit is characterized in that the can display corresponding to the magnitude of the oxygen concentration.

これにより、作業者は酸素濃度の大きさを数値とは異なる表示にて確認することができる。 Thus, the operator can confirm at a different display than the numerical magnitude of the oxygen concentration. そのため、作業者は、装置内の酸素濃度を一目で容易かつ迅速に判別したり監視したりすることができる。 Therefore, the operator can or monitor easily and quickly determine the oxygen concentration in the system at a glance.

[適用例2] [Application Example 2]
本発明の電子部品搬送装置では、前記酸素濃度表示部は、前記酸素濃度の大きさの範囲に応じた段階的な表示が可能であることが好ましい。 In the electronic component transporting apparatus of the present invention, the oxygen concentration display unit, it is preferable that the oxygen concentration in the size stepwise display corresponding to the range of are possible.

これにより、装置内の酸素濃度をより容易かつより迅速に判別したり監視したりすることができる。 This makes it possible to or monitor to determine the oxygen concentration in the device more easily and more quickly.

[適用例3] [Application Example 3]
本発明の電子部品搬送装置では、前記酸素濃度表示部は、前記酸素濃度の大きさの範囲に応じて色を変えることが可能であることが好ましい。 In the electronic component transporting apparatus of the present invention, the oxygen concentration display unit is preferably capable of changing color according to the range of magnitude of the oxygen concentration.

これにより、装置内の酸素濃度をさらに容易かつさらに迅速に判別したり監視したりすることができる。 This makes it possible or easier and more quickly determine or monitor the oxygen concentration in the device.

[適用例4] [Application Example 4]
本発明の電子部品搬送装置では、前記酸素濃度表示部は、前記酸素濃度が大きい方から順に、波長域が500〜580nmである色と、波長域が610〜750nmである色とに分けて表示することができることが好ましい。 In the electronic component transporting apparatus of the present invention, the oxygen concentration display unit in order of the oxygen concentration is high, the color wavelength range is 500 to 580 nm, is divided into a color wavelength range is 610~750nm display it is preferable to be able to.

これにより、作業者は、酸素濃度表示部に表示された色を確認することで、装置内の酸素濃度をより容易に判別したり監視したりすることができる。 Thus, the operator, by confirming the color displayed on the oxygen concentration display unit, or can be monitored or determined the oxygen concentration in the device more easily. 例えば、波長域が500〜580nmの色である場合は、酸素濃度が低い状態ではないとし、波長域が610〜750nmの色である場合は、酸素濃度が低い状態であるとする。 For example, if the wavelength range is a color of 500~580nm is an oxygen concentration is not a low state, if the wavelength range is a color of 610~750nm is an oxygen concentration is low. これにより、作業者は前記の判別をより容易かつより迅速に行うことができる。 Thus, the operator can discriminate a said more easily and more quickly.

[適用例5] [Application Example 5]
本発明の電子部品搬送装置では、前記酸素濃度表示部は、前記酸素濃度が大きい方から順に、波長域が500〜580nmである色と、波長域が580〜610nmである色と、波長域が610〜750nmである色とに分けて表示することができることが好ましい。 In the electronic component transporting apparatus of the present invention, the oxygen concentration display unit in order of the oxygen concentration is high, the color wavelength range is 500 to 580 nm, the color wavelength range is 580~610Nm, the wavelength region it is preferred that can be displayed separately in color and is 610~750Nm.

これにより、作業者は、酸素濃度表示部に表示された色を確認することで、装置内の酸素濃度をより容易に判別したり監視したりすることができる。 Thus, the operator, by confirming the color displayed on the oxygen concentration display unit, or can be monitored or determined the oxygen concentration in the device more easily. 例えば、波長域が500〜580nmの色である場合は、酸素濃度が低い状態ではないとし、波長域が580〜610nmの色である場合は、酸素濃度が若干低くなっている状態であるとし、波長域が610〜750nmの色である場合は、酸素濃度が低い状態であるとする。 For example, a case where the wavelength range is a color of 500~580nm is an oxygen concentration is not a low state, if the wavelength range is a color of 580~610nm is a state in which the oxygen concentration is slightly lower, when the wavelength range is a color of 610~750nm is an oxygen concentration is low. これにより、作業者は前記の判別をより容易かつより迅速に行うことができる。 Thus, the operator can discriminate a said more easily and more quickly.

[適用例6] [Application Example 6]
本発明の電子部品搬送装置では、前記酸素濃度表示部は、レベルゲージを有することが好ましい。 In the electronic component transporting apparatus of the present invention, the oxygen concentration display portion preferably has a level gauge.

これにより、作業者は、酸素濃度の大きさをレベルゲージで確認することができるため、装置内の酸素濃度をより容易に判別したり監視したりすることができる。 Thus, the operator, it is possible to verify the magnitude of the oxygen concentration at the level gauge can be or monitor to determine the oxygen concentration in the device more easily.

[適用例7] Application Example 7]
本発明の電子部品搬送装置では、前記酸素濃度表示部は、点滅表示部を有し、 In the electronic component transporting apparatus of the present invention, the oxygen concentration display unit includes a flashing unit,
前記点滅表示部は、前記酸素濃度の大きさに応じて点滅速度が変化することが好ましい。 The flashing portion preferably blink rate varies according to the magnitude of the oxygen concentration.

これにより、作業者は、点滅表示部で点滅速度を確認することができるため、装置内の酸素濃度をより容易に判別したり監視したりすることができる。 Thus, the operator, it is possible to confirm the blink rate flashing display can be or monitor to determine the oxygen concentration in the device more easily.

[適用例8] Application Example 8]
本発明の電子部品搬送装置では、電子部品を検査する検査部を配置することが可能な検査部配置領域と、 In the electronic component transporting apparatus of the present invention, an inspection portion arrangement region capable of arranging the inspection unit for inspecting the electronic component,
前記検査部配置領域に前記電子部品を供給する搬送部を配置することが可能な電子部品供給領域と、 An electronic component supply region capable of arranging the transport unit supplying the electronic component to the measurement part arrangement area,
前記検査部配置領域から前記電子部品を回収する搬送部を配置することが可能な電子部品回収領域とを有し、 And an electronic component collecting region capable of arranging the transport unit for recovering the electronic component from the measurement part arrangement area,
前記酸素濃度表示部は、前記検査部配置領域、前記電子部品供給領域および前記電子部品回収領域の少なくとも1つの領域内の前記酸素濃度を表示することが可能であることが好ましい。 The oxygen concentration display unit, the inspection unit arrangement region, it is preferable that it is possible to display the oxygen concentration of at least one region of the electronic component supply region and the electronic component collection area.

これにより、所望の室内の酸素濃度をより容易に判別したり監視したりすることができる。 This makes it possible or easier to determine or monitor the oxygen concentration of the desired chamber.

[適用例9] Application Example 9]
本発明の電子部品検査装置は、酸素濃度を表示する酸素濃度表示部と、 Electronic component testing apparatus of the present invention, the oxygen concentration display unit for displaying the oxygen concentration,
電子部品を検査する検査部とを備え、 And a checking unit for checking the electronic component,
前記酸素濃度表示部は、前記酸素濃度の大きさに応じた表示が可能であることを特徴とする。 The oxygen concentration display unit is characterized in that the can display corresponding to the magnitude of the oxygen concentration.

これにより、作業者は酸素濃度の大きさを数値とは異なる表示にて確認することができる。 Thus, the operator can confirm at a different display than the numerical magnitude of the oxygen concentration. そのため、作業者は、装置内の酸素濃度を一目で容易かつ迅速に判別したり監視したりすることができる。 Therefore, the operator can or monitor easily and quickly determine the oxygen concentration in the system at a glance.

本発明の第1実施形態に係る電子部品検査装置を示す概略斜視図である。 The electronic component testing apparatus according to a first embodiment of the present invention is a schematic perspective view showing. 図1に示す検査装置(電子部品検査装置)の概略平面図である。 It is a schematic plan view of the inspection apparatus shown in FIG. 1 (electronic component inspection apparatus). 図1に示す検査装置の一部を示すブロック図である。 It is a block diagram showing a part of the inspection apparatus shown in FIG. 図1に示すモニターに表示されるウインドウを示す図である。 It is a diagram showing a window displayed on the monitor shown in Figure 1. 図4に示す状態表示部を示す図である。 It is a diagram showing a state display unit shown in FIG. 図4に示す状態表示部が有する酸素濃度表示部の表示を示す図である。 Is a diagram showing a display of oxygen concentration display unit included in the status display unit shown in FIG. 図4に示す状態表示部が有する湿度表示部の表示を示す図である。 Is a diagram showing a display of the humidity display unit included in the status display unit shown in FIG. 本発明の第2実施形態に係る電子部品検査装置が有する状態表示部を示す図である。 Is a diagram showing a state display unit for an electronic component testing apparatus has according to a second embodiment of the present invention. 本発明の第3実施形態に係る電子部品検査装置が有する状態表示部が備えるレベルゲージ部を示す図である。 The third level gauge unit status display unit comprises an electronic component testing apparatus has according to the embodiment of the present invention. FIG. 図9に示すレベルゲージの表示を示す図である。 It is a diagram showing a display of the level gauge shown in Fig.

以下、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置について添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter will be described in detail with reference to embodiments shown in the accompanying drawings an electronic component transporting apparatus and an electronic component testing apparatus of the present invention.

<第1実施形態> <First Embodiment>
図1は、本発明の第1実施形態に係る電子部品検査装置を示す概略斜視図である。 Figure 1 is a schematic perspective view showing an electronic component testing apparatus according to a first embodiment of the present invention. 図2は、図1に示す検査装置(電子部品検査装置)の概略平面図である。 Figure 2 is a schematic plan view of the inspection apparatus shown in FIG. 1 (electronic component inspection apparatus). 図3は、図1に示す検査装置の一部を示すブロック図である。 Figure 3 is a block diagram showing a part of the inspection apparatus shown in FIG. 図4は、図1に示すモニターに表示されるウインドウを示す図である。 Figure 4 is a diagram showing a window displayed on the monitor shown in Figure 1. 図5は、図4に示す状態表示部を示す図である。 Figure 5 is a diagram showing a state display unit shown in FIG. 図6は、図4に示す状態表示部が有する酸素表示部の表示を示す図である。 Figure 6 is a diagram showing a display of oxygen display unit included in the status display unit shown in FIG. 図7は、図4に示す状態表示部が有する湿度表示部の表示を示す図である。 Figure 7 is a diagram showing a display of the humidity display unit included in the status display unit shown in FIG.

なお、以下では、説明の便宜上、図1に示すように、互いに直交する3軸をX軸、Y軸およびZ軸とする。 In the following, for convenience of explanation, as shown in FIG. 1, X-axis three mutually orthogonal axes, and Y and Z axes. また、X軸とY軸を含むXY平面が水平となっており、Z軸が鉛直となっている。 Also, XY plane including the X axis and the Y-axis has a horizontal, Z axis represents the vertical. また、X軸に平行な方向を「X方向」とも言い、Y軸に平行な方向を「Y方向」とも言い、Z軸に平行な方向を「Z方向」とも言う。 Moreover, refers to a direction parallel to the X axis as "X direction", the direction parallel to the Y axis referred to as "Y direction", the direction parallel to the Z-axis is also referred to as "Z direction". また、X軸、Y軸およびZ軸の各軸の矢印の方向をプラス側、矢印と反対の方向をマイナス側と言う。 Further, X-axis, Y-axis and Z-axis positive side in the direction of arrow of each axis, the direction opposite arrow say minus side. また、電子部品の搬送方向の上流側を単に「上流側」とも言い、下流側を単に「下流側」とも言う。 In addition, also referred to as simply the upstream side of the conveying direction of the electronic parts "upstream" refers to simply as "downstream" the downstream side. また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干(例えば5°未満程度)傾いた状態も含む。 Further, referred to herein as "horizontal" is not limited to a complete horizontal, as long as the transport of the electronic component is not inhibited slightly (e.g., approximately less than 5 °) to the horizontal including tilted.

図1に示す検査装置(電子部品検査装置)1は、例えば、BGA(Ball grid array)パッケージやLGA(Land grid array)パッケージ等のICデバイス、LCD(Liquid Crystal Display)、CIS(CMOS Image Sensor)等の電子部品の電気的特性を検査・試験(以下単に「検査」と言う)するための装置である。 Inspection apparatus shown in FIG. 1 (electronic component inspection apparatus) 1 is, for example, BGA (Ball grid array) package or LGA (Land grid array) IC device package or the like, LCD (Liquid Crystal Display), CIS (CMOS Image Sensor) a device for inspecting and testing electrical characteristics of an electronic component (hereinafter simply referred to as "test") and the like. なお、以下では、説明の便宜上、検査を行う前記電子部品としてICデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ICデバイス90」とする。 In the following, for convenience of explanation, described as a representative case of using the IC device as the electronic component to be inspected, it is referred to as "IC device 90".

図1および図2に示すように、検査装置1は、ICデバイス90を搬送する電子部品搬送装置10と、検査部16と、表示部40および操作部50を有する設定表示部60とを備えている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the inspection device 1 includes an electronic component conveying device 10 for conveying the IC device 90, an inspection unit 16, and a setting display unit 60 having a display unit 40 and operation unit 50 there. なお、本実施形態では、検査部16、および、後述する制御装置30が有する検査制御部312を除く構成によって電子部品搬送装置10が構成されている。 In the present embodiment, the inspection unit 16, and the electronic component conveying device 10 is constituted by a structure except for the inspection control unit 312 included in the control device 30 described later.

また、図1および図2に示すように、検査装置1は、トレイ供給領域A1と、デバイス供給領域(電子部品供給領域)A2と、検査部16が設けられている検査領域(検査部配置領域)A3と、デバイス回収領域(電子部品回収領域)A4と、トレイ除去領域A5とに分けられている。 Further, as shown in FIGS. 1 and 2, the inspection device 1 includes a tray supply region A1, a device supply region (EC supplying area) A2, inspection area inspection unit 16 is provided (the inspection unit arrangement area ) and A3, a device collection region (electronic parts collection area) A4, is divided into a tray removal area A5. この検査装置1において、ICデバイス90は、トレイ供給領域A1からトレイ除去領域A5まで各領域を順に経由し、途中の検査領域A3で検査が行われる。 In this inspection apparatus 1, IC device 90, from the tray supply area A1 to the tray removal area A5 through each area in order to perform inspection in the middle of the inspection area A3.

また、検査装置1は、常温環境下、低温環境下および高温環境下で検査を行うことができるよう構成されている。 The inspection apparatus 1, under normal temperature, and is configured so that inspection may be carried out at a low temperature environment and high temperature environment.

以下、検査装置1について領域A1〜A5ごとに説明する。 The following describes the inspection apparatus 1 for each region A1 to A5.
〈トレイ供給領域A1〉 <Tray supply area A1>
トレイ供給領域A1は、未検査状態の複数のICデバイス90が配列されたトレイ200が供給される領域である。 Tray supply area A1 is an area where the tray 200 in which a plurality of IC devices 90 of the untested state is arranged is supplied. トレイ供給領域A1では、多数のトレイ200を積み重ねることができる。 In the tray supply area A1, it can be stacked multiple trays 200.

〈デバイス供給領域A2〉 <Device supply region A2>
デバイス供給領域A2は、トレイ供給領域A1からのトレイ200上の複数のICデバイス90がそれぞれ検査領域A3まで供給される領域である。 Device supply area A2, a plurality of IC devices 90 of the tray 200 on the tray supply area A1 is an area to be supplied to the inspection area A3. なお、トレイ供給領域A1とデバイス供給領域A2とを跨ぐように、トレイ200を搬送するトレイ搬送機構(搬送部)11A、11Bが設けられている。 Incidentally, so as to straddle the tray supply region A1 and the device supply region A2, the tray transport mechanism for transporting the tray 200 (conveying unit) 11A, 11B are provided.

デバイス供給領域A2には、温度調整部(ソークプレート)12と、供給ロボット(デバイス搬送ヘッド)13と、供給空トレイ搬送機構15とが設けられている。 The device supply region A2, and the temperature adjustment unit (soak plate) 12, a supply robot (device carrying head) 13 is provided with supply empty tray transfer mechanism 15.

温度調整部12は、ICデバイス90を配置し、配置されたICデバイス90を加熱または冷却して、当該ICデバイス90を検査に適した温度に調整(制御)する装置である。 Temperature adjusting unit 12, to place the IC device 90, by heating or cooling the placed IC device 90 is a device for adjusting (controlling) the IC device 90 to a temperature suitable for inspection. 図2に示す構成では、温度調整部12は、Y方向に2つ配置、固定されている。 In the configuration shown in FIG. 2, the temperature adjusting unit 12, arranged two in the Y direction, and is fixed. そして、トレイ搬送機構11Aによってトレイ供給領域A1から搬入されたトレイ200上のICデバイス90は、いずれかの温度調整部12に搬送され、載置される。 The tray transporting mechanism 11A tray supply region IC devices 90 on the tray 200 which is carried from A1 by is conveyed either to the temperature adjustment unit 12, it is placed. なお、図示しないが、温度調整部12には、温度調整部12におけるICデバイス90の温度を検出する温度検出部が設けられている。 Although not shown, the temperature adjusting unit 12, the temperature detecting section for detecting a temperature of the IC device 90 in the temperature adjusting unit 12 is provided.

図2に示す供給ロボット13は、ICデバイス90の搬送を行う搬送部であり、デバイス供給領域A2内でX方向、Y方向およびZ方向に移動可能に支持されている。 Supply robot 13 shown in FIG. 2 is a conveying unit for conveying the IC device 90 is movably supported within the device supplying area A2 X direction, the Y and Z directions. この供給ロボット13は、トレイ供給領域A1から搬入されたトレイ200と温度調整部12との間のICデバイス90の搬送と、温度調整部12と後述するデバイス供給部14との間のICデバイス90の搬送とを担っている。 The supply robot 13, the conveyance of the IC device 90 between the tray supply tray 200 has been carried from the area A1 and a temperature adjusting unit 12, the IC device 90 between the device supply unit 14 to be described later to the temperature adjustment unit 12 It is responsible for and transport. なお、供給ロボット13は、ICデバイス90を把持する複数の把持部(図示せず)を有している。 The supply robot 13 has a plurality of gripping portions for gripping the IC device 90 (not shown). 各把持部は、吸着ノズルを備えており、ICデバイス90を吸着することで把持することができる。 Each gripper is provided with a suction nozzle, can grip by suction the IC device 90. また、供給ロボット13は、ICデバイス90を加熱または冷却することができるように構成されている。 The supply robot 13 is configured to be able to heat or cool the IC device 90.

供給空トレイ搬送機構15は、全てのICデバイス90が除去された状態の空のトレイ200をX方向に搬送する搬送部(搬送機構)である。 Supply empty tray transfer mechanism 15 is a conveying unit for conveying the empty tray 200 in a state where all of the IC devices 90 has been removed in the X-direction (conveying mechanism). そして、この搬送後、空のトレイ200は、トレイ搬送機構11Bによってデバイス供給領域A2からトレイ供給領域A1に戻される。 After this conveyance, the empty tray 200 is returned from the device supply area A2 to the tray supply region A1 by the tray conveyance mechanism 11B.

〈検査領域A3〉 <Inspection area A3>
検査領域A3は、ICデバイス90が検査される領域である。 Examination region A3 is a region where the IC device 90 is inspected. この検査領域A3には、デバイス供給部14と、検査部16と、測定ロボット(デバイス搬送ヘッド)17と、デバイス回収部18とが設けられている。 The inspection area A3, and the device supply 14, an inspection unit 16, and the measurement robot (device carrying head) 17, is provided a device recovery unit 18.

デバイス供給部14は、温度調整(温度制御)されたICデバイス90を検査部16近傍まで搬送する搬送部である。 Device supply unit 14 is a conveyance section for conveying the temperature adjustment (temperature control) is an IC device 90 to the vicinity of the inspection unit 16. このデバイス供給部14は、デバイス供給領域A2と検査領域A3との間をX方向に沿って移動可能に支持されている。 The device supply unit 14 is movably supported along between the examination region A3 and the device supply area A2 in the X direction. また、図2に示す構成では、デバイス供給部14は、Y方向に2つ配置されており、温度調整部12上のICデバイス90は、いずれかのデバイス供給部14に搬送され、載置される。 In the configuration shown in FIG. 2, the device supply unit 14 is arranged two in the Y direction, IC devices 90 on the temperature adjusting unit 12 is conveyed either to the device supply 14 is placed that. なお、この搬送は、供給ロボット13によって行われる。 Note that this transport is effected by the supply robot 13. また、デバイス供給部14は、ICデバイス90を加熱または冷却することができるように構成されている。 The device supply unit 14 is configured to be able to heat or cool the IC device 90. また、図示はしないが、デバイス供給部14には、デバイス供給部14におけるICデバイス90の温度を検出する温度検出部が設けられている。 Although not shown, the device supply 14, a temperature detection unit for detecting a temperature of the IC device 90 in the device supply unit 14 is provided.

検査部16は、ICデバイス90の電気的特性を検査・試験するユニットであり、ICデバイス90を検査する場合にそのICデバイス90を保持する保持部である。 Inspection unit 16 is a unit for checking and testing the electrical characteristics of the IC device 90, a holding portion for holding the IC device 90 when inspecting the IC device 90. 検査部16には、ICデバイス90を保持した状態で当該ICデバイス90の端子と電気的に接続される複数のプローブピンが設けられている。 The inspection unit 16, a plurality of probe pins to be terminal and electrically connected to the IC device 90 is provided in the state of holding the IC device 90. そして、ICデバイス90の端子とプローブピンとが電気的に接続され(接触し)、プローブピンを介してICデバイス90の検査が行われる。 Then, the terminal and the probe pins of the IC device 90 is electrically connected (contact), the inspection of the IC device 90 is performed through the probe pins. また、検査部16は、ICデバイス90を加熱または冷却することができるように構成されている。 The inspection unit 16 is configured to be able to heat or cool the IC device 90. また、図示はしないが、検査部16には、検査部16におけるICデバイス90の温度を検出する温度検出部が設けられている。 Although not shown, the inspection unit 16, the temperature detector is provided for detecting the temperature of the IC device 90 in the inspection unit 16.

測定ロボット17は、ICデバイス90の搬送を行う搬送部であり、検査領域A3内で移動可能に支持されている。 Measurement robot 17 is a conveying unit for conveying the IC device 90 is movably supported within the test area A3. この測定ロボット17は、デバイス供給領域A2から搬入されたデバイス供給部14上のICデバイス90を検査部16上に搬送し、載置することができる。 This measurement robot 17 can carry the IC device 90 on the device supply unit 14, which is carried from the device supply area A2 onto the inspection unit 16 is placed. また、ICデバイス90を検査する場合に、測定ロボット17は、ICデバイス90を検査部16に向けて押圧し、これにより、ICデバイス90を検査部16に当接させる。 Moreover, when inspecting the IC device 90, measuring robot 17 presses the IC device 90 to the inspection unit 16, thereby, it is brought into contact with the IC device 90 to the inspection unit 16. これによって、前述したように、ICデバイス90の端子と検査部16のプローブピンとが電気的に接続される。 Thus, as described above, the probe pin of the inspection unit 16 and the terminal of the IC device 90 are electrically connected. なお、測定ロボット17は、ICデバイス90を把持する複数の把持部(図示せず)を有している。 The measurement robot 17 has a plurality of gripping portions for gripping the IC device 90 (not shown). 各把持部は、吸着ノズルを備えており、ICデバイス90を吸着することで把持することができる。 Each gripper is provided with a suction nozzle, can grip by suction the IC device 90. また、測定ロボット17はICデバイス90を加熱または冷却することができるように構成されている。 The measurement robot 17 is configured to be able to heat or cool the IC device 90. また、図示はしないが、測定ロボット17には、測定ロボット17におけるICデバイス90の温度を検出する温度検出部が設けられている。 Further, although not shown, the measuring robot 17, the temperature detecting section for detecting a temperature of the IC device 90 in the measurement robot 17 is provided.

デバイス回収部18は、検査部16での検査が終了したICデバイス90をデバイス回収領域A4まで搬送する搬送部である。 Device recovery unit 18 is a conveyance section for conveying the IC device 90 which the inspection has been completed in the inspection unit 16 to the device collection area A4. このデバイス回収部18は、検査領域A3とデバイス回収領域A4との間をX方向に沿って移動可能に支持されている。 The device collecting unit 18 is movably supported along between the examination region A3 and the device collection area A4 in the X direction. また、図2に示す構成では、デバイス回収部18は、デバイス供給部14と同様に、Y方向に2つ配置されており、検査部16上のICデバイス90は、いずれかのデバイス回収部18に搬送され、載置される。 In the configuration shown in FIG. 2, the device recovery unit 18, like the device supply unit 14 are arranged two in the Y direction, IC device 90 on the test unit 16 may be any device recovery section 18 is transported to, it is placed. なお、この搬送は、測定ロボット17によって行われる。 Note that this transport is carried out by measuring the robot 17. また、図示はしないが、デバイス回収部18には、デバイス回収部18におけるICデバイス90の温度を検出する温度検出部が設けられていても良い。 Although not shown, the device recovery unit 18, the temperature detection unit for detecting a temperature of the IC device 90 in the device recovery unit 18 may be provided.

〈デバイス回収領域A4〉 <Device recovery area A4>
デバイス回収領域A4は、検査が終了したICデバイス90が回収される領域である。 Device collection area A4 is an area in which the IC device 90 which the inspection has been completed is recovered. このデバイス回収領域A4には、回収用トレイ19と、回収ロボット(デバイス搬送ヘッド)20と、回収空トレイ搬送機構(トレイ搬送機構)21とが設けられている。 The device collection area A4, a recovery tray 19, the collection robot (device carrying head) 20, a recovery empty tray transfer mechanism (tray transporting mechanism) 21 is provided. また、デバイス回収領域A4には、3つの空のトレイ200も用意されている。 Further, the device recovery area A4, are prepared also three empty tray 200.

回収用トレイ19は、ICデバイス90が載置される載置部であり、デバイス回収領域A4内に固定され、図2に示す構成では、X方向に並んで3つ配置されている。 Collecting tray 19, a mounting portion on which the IC device 90 is mounted, is fixed to the device collecting region A4, in the configuration shown in FIG. 2, it is arranged three side by side in the X direction. また、空のトレイ200も、ICデバイス90が載置される載置部であり、X方向に並んで3つ配置されている。 Further, the empty tray 200 is also a mounting portion on which the IC device 90 is mounted, are arranged three side by side in the X direction. そして、デバイス回収領域A4に移動してきたデバイス回収部18上のICデバイス90は、これらの回収用トレイ19および空のトレイ200のうちのいずれかに搬送され、載置される。 Then, IC device 90 on the device recovery unit 18 which has moved to the device collection area A4 is transferred to one of these recovery tray 19 and the empty tray 200 is placed. これにより、ICデバイス90は、検査結果ごとに回収されて、分類されることとなる。 Thus, IC device 90, are collected every test result, it would be classified.

回収ロボット20は、ICデバイス90の搬送を行う搬送部であり、デバイス回収領域A4内でX方向、Y方向およびZ方向に移動可能に支持されている。 Collection robot 20 is a conveying unit for conveying the IC device 90 is movably supported in the device collection area A4 X direction, the Y and Z directions. この回収ロボット20は、ICデバイス90をデバイス回収部18から回収用トレイ19や空のトレイ200に搬送することができる。 The collection robot 20 can carry the IC device 90 from the device recovery section 18 to the recovery tray 19 and the empty tray 200. なお、回収ロボット20は、ICデバイス90を把持する複数の把持部(図示せず)を有している。 The recovery robot 20 has a plurality of gripping portions for gripping the IC device 90 (not shown). 各把持部は、吸着ノズルを備えており、ICデバイス90を吸着することで把持することができる。 Each gripper is provided with a suction nozzle, can grip by suction the IC device 90.

回収空トレイ搬送機構21は、トレイ除去領域A5から搬入された空のトレイ200をX方向に搬送させる搬送部(搬送機構)である。 Recovering the empty tray transfer mechanism 21, a conveyance unit for conveying empty trays 200 conveyed from the tray removal area A5 in the X direction (conveyance mechanism). そして、この搬送後、空のトレイ200は、ICデバイス90が回収される位置に配されることとなる、すなわち、前記3つの空のトレイ200のうちのいずれかとなり得る。 After this conveyance, the empty tray 200, so that the IC device 90 is arranged at a position to be recovered, i.e., may be one of the three empty tray 200.

〈トレイ除去領域A5〉 <Tray removal area A5>
トレイ除去領域A5は、検査済み状態の複数のICデバイス90が配列されたトレイ200が回収され、除去される領域である。 Tray removal area A5, the tray 200 in which a plurality of IC devices 90 of the inspected state are arranged is collected, a region to be removed. トレイ除去領域A5では、多数のトレイ200を積み重ねることができる。 In tray removal area A5, it can be stacked multiple trays 200. なお、デバイス回収領域A4とトレイ除去領域A5とを跨ぐように、トレイ200を1枚ずつ搬送するトレイ搬送機構(搬送部)22A、22Bが設けられている。 As in straddle a device collection area A4 and the tray removed area A5, the tray transport mechanism for transporting the tray 200 one by one (conveying unit) 22A, 22B are provided. トレイ搬送機構22Aは、検査済みのICデバイス90が載置されたトレイ200をデバイス回収領域A4からトレイ除去領域A5に搬送する。 Tray transporting mechanism 22A transports the tray 200 to test IC devices 90 is placed from the device collection area A4 in tray removal area A5. トレイ搬送機構22Bは、ICデバイス90を回収するための空のトレイ200をトレイ除去領域A5からデバイス回収領域A4に搬送する。 Tray transporting mechanism 22B conveys the empty tray 200 for collecting an IC device 90 from the tray removal area A5 in the device collection area A4.

以上説明したような各領域A1〜A5は、互いに、図示しない壁部やシャッター等により仕切られている。 Or each region A1~A5 as described in, one another and are separated by a wall portion and a shutter (not shown) or the like. そして、デバイス供給領域A2は、壁部やシャッター等で画成された第1室(Input)R1となっており、検査領域A3は、壁部やシャッター等で画成された第2室(Index)R2となっており、デバイス回収領域A4は、壁部やシャッター等で画成された第3室(Output)R3となっている。 Then, the device supplying area A2, the wall portion and the first chamber which is defined by the shutter or the like has a (Input) R1, inspection area A3, a second chamber which is defined by the wall, a shutter or the like (Index ) has become R2, device collection area A4 is adapted third chamber which is defined by the wall, a shutter or the like and (Output) R3. また、第1室(室)R1、第2室(室)R2および第3室(室)R3は、それぞれ、気密性や断熱性を確保することができるように構成されている。 Further, the first chamber (chamber) R1, the second chamber (chamber) R2, and a third chamber (chamber) R3 are each configured to be able to secure airtightness and thermal insulation. これにより、第1室R1、第2室R2および第3室R3は、それぞれ、湿度や温度を可能な限り維持することができる。 Thus, the first chamber R1, the second chamber R2 and the third chamber R3 can be maintained respectively, as possible humidity and temperature.

また、図2に示すように、第1室R1には、第1室R1内の温度を検出する温度センサー(温度計)241と、第1室R1内の湿度(相対湿度)を検出する湿度センサー(湿度計)251と、第1室R1内の酸素濃度を検出する酸素濃度センサー(酸素濃度計)261とが設けられている。 Further, as shown in FIG. 2, the first chamber R1, the humidity detecting a temperature sensor (thermometer) 241 for detecting the temperature in the first chamber R1, the humidity (relative humidity) in the first chamber R1 a sensor (hygrometer) 251, and the oxygen concentration sensor (oximeter) 261 for detecting the oxygen concentration in the first chamber R1 is provided. また、第2室R2には、第2室R2内の温度を検出する温度センサー(温度計)242と、第2室R2内の湿度(相対湿度)を検出する湿度センサー(湿度計)252とが設けられている。 Further, in the second chamber R2, a temperature sensor (thermometer) 242 for detecting the temperature in the second chamber R2, a humidity sensor (hygrometer) 252 for detecting the humidity (relative humidity) in the second chamber R2 It is provided. また、第3室R3には、第3室R3内の酸素濃度を検出する酸素濃度センサー(酸素濃度計)263が設けられている。 Further, in the third chamber R3, the oxygen concentration sensor (oximeter) 263 is provided for detecting the oxygen concentration in the third chamber R3.

また、図示はしないが、検査装置1は、ドライエアー供給機構を有している。 Although not shown, the inspection apparatus 1 has a dry air supply mechanism. ドライエアー供給機構は、第1室R1、第2室R2および第3室R3に湿度の低い空気、窒素等の気体(以下、ドライエアーとも言う)を供給できるよう構成されている。 Dry air supply mechanism, the first chamber R1, a low humidity into the second chamber R2 and the third chamber R3 air, gases such as nitrogen and is configured to be able to supply (hereinafter, also referred to as dry air). そのため、必要に応じて、ドライエアーを供給することにより、ICデバイス90の結露、結氷(着氷)を防止することができる。 Therefore, if necessary, by supplying dry air, condensation of the IC device 90, it is possible to prevent freezing of the (icing).

次に、制御装置30と、表示部40および操作部50を有する設定表示部60とについて説明する。 Next, the control unit 30 will be described with setting display unit 60 having a display unit 40 and operation unit 50.

〈制御装置30〉 <Controller 30>
図3に示すように、制御装置30は、検査装置1の各部を制御する機能を有し、駆動制御部311および検査制御部312を有する制御部31と、記憶部32とを有している。 3, the control unit 30 has a function for controlling each unit of the inspection apparatus 1, a control unit 31 having a drive control unit 311 and the test control unit 312, a storage unit 32 .

駆動制御部311は、各部(トレイ搬送機構11A、11B、温度調整部12、供給ロボット13、供給空トレイ搬送機構15、デバイス供給部14、検査部16、測定ロボット17、デバイス回収部18、回収ロボット20、回収空トレイ搬送機構21およびトレイ搬送機構22A、22B)の駆動等を制御する。 Drive control unit 311, each part (tray transporting mechanism 11A, 11B, the temperature adjusting unit 12, the supply robot 13, the supply empty tray transfer mechanism 15, the device supply unit 14, the inspection unit 16, measuring robot 17, the device recovery unit 18, recovery robot 20, collecting the empty tray transfer mechanism 21 and tray transporting mechanism 22A, 22B) controls the drive circuit of a. 検査制御部312は、例えば、記憶部32内に記憶されたプログラム(ソフトウェア)に基づいて、検査部16に配置されたICデバイス90の検査等を行うことも可能である。 Test control unit 312, for example, on the basis of the stored program (software) in the storage unit 32, it is also possible to perform the inspection of the IC device 90 disposed in the inspection unit 16.

また、制御部31は、各部の駆動や検査結果等を表示部40に表示する機能や、操作部50からの入力に従って処理を行う機能等をも有している。 The control unit 31 has a function of displaying each part of the drive and the inspection result and the like on the display section 40 also has a function for performing processing in accordance with input from the operation unit 50.
記憶部32は、制御部31が各種処理を行うためのプログラムやデータ等を記憶する。 Storage unit 32, the control unit 31 stores programs and data for performing various processes.

なお、前述した温度センサー241、242、湿度センサー251、252、酸素濃度センサー261、263は、それぞれ制御装置30と接続している。 The temperature sensors 241 and 242 described above, the humidity sensor 251 and 252, the oxygen concentration sensor 261 and 263 is connected to the respective control device 30.

〈設定表示部60〉 <Setting display section 60>
前述したように、設定表示部60は、表示部40および操作部50を有する。 As described above, setting the display unit 60 includes a display unit 40 and operation unit 50.

表示部40は、各部の駆動や検査結果等を表示するモニター41を有する。 Display unit 40 includes a monitor 41 for displaying the various parts of the drive and the inspection results and the like. モニター41は、例えば、液晶表示パネルや有機EL等の表示パネル等で構成することができる。 Monitor 41 may be composed of a display panel such as a liquid crystal display panel or an organic EL. 作業者は、このモニター41を介して、検査装置1の各種処理や条件等を設定したり、確認したりすることができる。 Worker, via the monitor 41, set the various processes and conditions of the inspection apparatus 1, or can confirm. なお、表示部40は、図1に示すように、検査装置1の図中上方に配置されている。 The display unit 40, as shown in FIG. 1, are disposed upward in the drawing of the testing device 1.

操作部50は、マウス51等の入力デバイスであり、作業者による操作に応じた操作信号を制御部31に出力する。 Operation unit 50 is an input device such as a mouse 51, and outputs an operation signal corresponding to the operation by the operator to the control unit 31. したがって、作業者は、マウス51を用いて、制御部31に対して各種処理等の指示を行うことができる。 Thus, the operator, using the mouse 51, it is possible to perform an instruction for various processes such as the control unit 31. なお、マウス51(操作部50)は、図1に示すように、検査装置1の図中右側で、表示部40に近い位置に配置されている。 Incidentally, the mouse 51 (operation unit 50), as shown in FIG. 1, the right side in the figure in the inspection apparatus 1 is disposed in a position close to the display unit 40. また、本実施形態では、操作部50としてマウス51を用いているが、操作部50はこれに限定されず、例えばキーボード、トラックボール、タッチパネル等の入力デバイス等であってもよい。 Further, in the present embodiment uses the mouse 51 as the operation unit 50, operation unit 50 is not limited to this, for example, a keyboard, a trackball may be an input device such as a touch panel.
以上、検査装置1の構成について簡単に説明した。 Above, briefly described the structure of the inspection apparatus 1.

このような検査装置1は、前述したように、温度調整部12、供給ロボット13、デバイス供給部14、検査部16および測定ロボット17が、加熱および冷却可能に構成されている。 Such inspection apparatus 1, as described above, the temperature adjustment unit 12, the supply robot 13, the device supply unit 14, the inspection unit 16 and the measuring robot 17 is configured to be heated and cooled. このため、温度調整部12、供給ロボット13、デバイス供給部14、検査部16および測定ロボット17が加熱されると、その加熱に応じて、温度調整部12、供給ロボット13、デバイス供給部14、検査部16および測定ロボット17が配置されている第1室R1および第2室R2の温度が上昇する。 Therefore, the temperature adjusting unit 12, the supply robot 13, when the device supply unit 14, the inspection unit 16 and the measuring robot 17 is heated, depending on heating temperature adjusting unit 12, the supply robot 13, the device supply 14, temperature of the first chamber R1 and second chamber R2 inspection unit 16 and the measuring robot 17 is arranged to increase. これにより、高温環境下でのICデバイス90の検査を行うことができる。 Thus, it is possible to inspect the IC device 90 in a high-temperature environment. なお、高温環境下で検査をする場合には、温度調整部12、供給ロボット13、デバイス供給部14、検査部16および測定ロボット17は、例えば、30〜130℃程度に加熱制御される。 In the case of the test in a high temperature environment, the temperature adjusting unit 12, the supply robot 13, the device supply unit 14, the inspection unit 16 and the measuring robot 17, for example, is heated controlled to about 30 to 130 ° C..

また、温度調整部12、供給ロボット13、デバイス供給部14、検査部16および測定ロボット17が冷却されると、その冷却に応じて、第1室R1および第2室R2の温度も下降する。 The temperature adjustment unit 12, the supply robot 13, the device supply unit 14, the inspection unit 16 and the measuring robot 17 is cooled, in accordance with the cooling, also lowered the temperature of the first chamber R1 and second chamber R2. これにより、低温環境下でのICデバイス90の検査を行うことができる。 Thus, it is possible to inspect the IC device 90 in a low-temperature environment. なお、低温環境下で検査をする場合には、温度調整部12、供給ロボット13、デバイス供給部14、検査部16および測定ロボット17は、例えば、−60〜25℃程度に冷却制御される。 In the case of the test in a low-temperature environment, the temperature adjusting unit 12, the supply robot 13, the device supply unit 14, the inspection unit 16 and the measuring robot 17, for example, be cooled controlled to about -60~25 ℃.

また、温度調整部12、供給ロボット13、デバイス供給部14、検査部16および測定ロボット17を常温に制御することで、常温環境下でのICデバイス90の検査を行うことができる。 The temperature adjustment unit 12, the supply robot 13, by controlling the device supplying unit 14, an inspection unit 16 and the measuring robot 17 to room temperature, it is possible to inspect the IC device 90 under normal temperature. また、温度調整部12、供給ロボット13、デバイス供給部14、検査部16および測定ロボット17を加熱や冷却しないことにより、常温環境下でのICデバイス90の検査をすることも可能である。 The temperature adjustment unit 12, the supply robot 13, the device supply unit 14, by not heating or cooling of the inspection unit 16 and the measuring robot 17, it is also possible to test the IC device 90 under normal temperature. なお、常温環境下で検査をする場合には、温度調整部12、供給ロボット13、デバイス供給部14、検査部16および測定ロボット17は、例えば、25〜35℃程度に制御される。 In the case of the test under the normal temperature environment, the temperature adjusting unit 12, the supply robot 13, the device supply unit 14, the inspection unit 16 and the measuring robot 17 is controlled, for example, about 25 to 35 ° C..

このように、温度調整部12、供給ロボット13、デバイス供給部14、検査部16および測定ロボット17の温度を制御(調整)することで、常温環境下、低温環境下および高温環境下でのICデバイス90の検査をすることができる。 Thus, the temperature adjusting unit 12, the supply robot 13, the device supply unit 14, by controlling the temperature of the inspection unit 16 and the measuring robot 17 (adjustment), a normal temperature environment, IC under low temperature environment and a high temperature environment it is possible to test the device 90. なお、この制御では、必要に応じて第1室R1、第2室R2および第3室R3にドライエアーを供給することでICデバイス90の温度や湿度を制御する。 Incidentally, this control, which controls the first chamber R1, the temperature and humidity of the IC device 90 by supplying dry air to the second chamber R2 and the third chamber R3 as needed. また、この制御では、温度調整部12、デバイス供給部14、検査部16およびデバイス回収部18にそれぞれ設けられた温度検出部(図示せず)にてICデバイス90の温度を検出し、制御部31によって、検出された温度に応じてフィードバック制御を行う。 Further, in this control, detects the temperature of the temperature adjusting unit 12, the device supply unit 14, IC device 90 at a temperature detection unit respectively provided in the inspection unit 16 and a device recovery unit 18 (not shown), the control unit by 31 performs feedback control in accordance with the detected temperature. これにより、ICデバイス90は、搬送されている間、温度が設定温度付近に維持される。 Thus, IC device 90, while being transported, the temperature is maintained near the set temperature.

また、本実施形態の検査装置1は、検査装置1内の酸素濃度、湿度および温度をモニター41により確認できるように構成されている。 The inspection apparatus 1 of the present embodiment is configured so as to be confirmed by the monitor 41 the oxygen concentration, humidity and temperature in the inspection apparatus 1. 以下、この点について説明する。 This point will be described below.

検査装置1が起動されたとき、制御部31は、モニター41上に、図4に示すようなウインドウ(画面)WDを表示する。 When the inspection apparatus 1 is started, the control unit 31, on the monitor 41 to display a window (screen) WD as shown in FIG. このウインドウWD内の左下側には、検査装置1内の酸素濃度、湿度および温度を示す状態表示部7が設けられている。 The the lower left side of the window WD, the oxygen concentration in the inspection apparatus 1, the state display unit 7 indicating the humidity and temperature is provided.

図5に示すように、本実施形態では、状態表示部7は、4つの列と4つの行からなるテーブル(表)70で構成されている。 As shown in FIG. 5, in the present embodiment, the state display section 7 is composed of a table (table) 70 consisting of four columns and four rows. テーブル70は、各室R1〜R3の酸素濃度を表示しているフィールド71と、各室R1〜R3の湿度を表示しているフィールド72と、各室R1〜R3の温度を表示しているフィールド73とを有している。 Table 70 includes a field 71 that displays an oxygen concentration of each chamber R1-R3, a field 72 that displays the humidity chambers R1-R3, displaying the temperature of each chamber R1-R3 field and a 73.

フィールド71は、上の行から順に、第2室R2内の酸素濃度を数値で表示することができるセル712と、第1室R1内の酸素濃度を数値で表示することができるセル711と、第3室R3内の酸素濃度を数値で表示することができるセル713とを有している。 Field 71, in order from the top row, the cell 712 can display the oxygen concentration in the second chamber R2 by a numerical value, the cell 711 can display oxygen concentration in the first chamber R1 in numerical, and a cell 713 that can display the oxygen concentration in the third chamber R3 numerically.

セル711に表示されている酸素濃度は、第1室R1内に設けられた酸素濃度センサー261により検出された値である。 Oxygen concentration that is displayed in the cell 711 is a value detected by the oxygen concentration sensor 261 provided in the first chamber R1. セル713に表示されている酸素濃度は、第3室R3内に設けられた酸素濃度センサー263により検出された値である。 Oxygen concentration that is displayed in the cell 713 is a value detected by the oxygen concentration sensor 263 provided in the third chamber R3. なお、本実施形態では、前述したように、第2室R2内に酸素濃度センサーが設けられていない。 In the present embodiment, as described above, the oxygen concentration sensor is not provided in the second chamber R2. そのため、セル712には、第2室R2内に酸素濃度センサーが設けられていないことを示す「―」が表示されている。 Therefore, the cell 712 indicates that the oxygen concentration sensor is not provided in the second chamber R2 "-" is displayed.

フィールド72は、上の行から順に、第2室R2内の湿度を数値で表示することができるセル722と、第1室R1内の湿度を数値で表示することができるセル721と、第3室R3内の湿度を数値で表示することができるセル723とを有している。 Field 72 includes, in order from the top row, the cell 722 can display the humidity in the second chamber R2 by a numerical value, the cell 721 can be displayed humidity in the first chamber R1 in numerical, third and a cell 723 that can be displayed indoor humidity R3 numerically.

セル722に表示されている湿度は、第2室R2内に設けられた湿度センサー252により検出された値である。 Humidity are displayed in the cell 722 is a value detected by the humidity sensor 252 provided in the second chamber R2. セル721に表示されている湿度は、第1室R1内に設けられた湿度センサー251により検出された値である。 Humidity are displayed in the cell 721 is a value detected by the humidity sensor 251 provided in the first chamber R1. なお、本実施形態では、前述したように、第3室R3内に湿度センサーが設けられていない。 In the present embodiment, as described above, the humidity sensor is not provided in the third chamber R3. そのため、セル723には、第3室R3内に湿度センサーが設けられていないことを示す「―」が表示されている。 Therefore, the cell 723 indicates that the humidity sensor is not provided in the third chamber R3 "-" is displayed.

フィールド73は、上の行から順に、第2室R2内の温度を数値で表示することができるセル732と、第1室R1内の温度を数値で表示することができるセル731と、第3室R3内の温度を数値で表示することができるセル733とを有している。 Field 73, in order from the top row, the cell 732 can display the temperature in the second chamber R2 by a numerical value, the cell 731 can display the temperature in the first chamber R1 in numerical, third and a cell 733 that can display the temperature in the chamber R3 numerically.

セル732に表示されている温度は、第2室R2内に設けられた温度センサー242により検出された値である。 Temperature on the cell 732 is a value detected by the temperature sensor 242 provided in the second chamber R2. セル731に表示されている温度は、第1室R1内に設けられた温度センサー241により検出された値である。 Temperature on the cell 731 is a value detected by the temperature sensor 241 provided in the first chamber R1. なお、本実施形態では、前述したように、第3室R3内には温度センサーが設けられていない。 In the present embodiment, as described above, the temperature sensor is not provided in the third chamber R3. そのため、セル733には、第3室R3内に温度センサーが設けられていないことを示す「―」が表示されている。 Therefore, the cell 733 indicates that the temperature sensor is not provided in the third chamber R3 "-" is displayed.

このような構成の状態表示部7が有するフィールド71は、酸素濃度の大きさに応じて段階的に異なる表示を行う酸素濃度表示部としての機能を有する。 Such configuration fields 71 ​​status display unit 7 has the functions as the oxygen concentration display unit for performing different display stepwise according to the magnitude of the oxygen concentration. 具体的には、フィールド71が有するセル711〜713が、酸素濃度の大きさに応じて4段階の異なる表示をすることができる。 Specifically, cells 711-713 which field 71 has are capable of different display of four levels in accordance with the magnitude of the oxygen concentration. セル711〜713は、同様の表示が可能であるため、以下では、代表してセル711の表示について説明する。 Cells 711-713 are the possible display similar, in the following, a description will be given of a display cell 711 and a representative.

図6に示すように、セル711は、第1レベルO1、第2レベルO2、第3レベルO3および第4レベルO4の4つのレベル(4段階)に分けて異なる表示をすることができる。 As shown in FIG. 6, the cell 711 may be first level O1, the second level O2, a different display is divided into third level O3 and four levels of the 4-level O4 (4 steps). なお、本実施形態では、4つのレベルに分けているが、レベルの数は4つに限定されない。 In the present embodiment, is divided into four levels, number of levels is not limited to four.

第1レベルO1では、図6(a)に示すように、セル711の背景色が、波長域が500〜580nmの範囲内の色、すなわち緑色で表示される。 In the first level O1, as shown in FIG. 6 (a), the background color of the cell 711, the wavelength range of color within the range of 500 to 580 nm, i.e., is displayed in green. このように表示される第1レベルO1は、酸素濃度センサー261により測定された酸素濃度が16%を超える状態である。 First level O1 is thus displayed is a state in which the measured oxygen concentration by the oxygen concentration sensor 261 exceeds 16%. この第1レベルO1は、第1室R1内の酸素濃度が低い状態ではなく、安全を確保できる酸素濃度であるといえる。 The first level O1 is not a concentration of oxygen in the first chamber R1 is low, it can be said that an oxygen concentration which can ensure safety.

第2レベルO2では、図6(b)に示すように、セル711の背景色が、波長域が580〜610nmの範囲内である色、すなわち黄色で表示される。 In the second level O2, as shown in FIG. 6 (b), the background color of the cell 711, a color wavelength range is within the range of 580~610Nm, that is, displayed in yellow. このように表示される第2レベルO2は、酸素濃度センサー261により測定された酸素濃度が6%以上16%以下の状態である。 The second level O2 displayed as is the oxygen concentration below 16% 6% or more while being measured by the oxygen concentration sensor 261. この第2レベルO2は、第1室R1内の酸素濃度が若干低くなっている状態であり、酸素濃度が低い状態となる可能性がある酸素濃度であるといえる。 The second level O2 is a state in which the oxygen concentration in the first chamber R1 becomes slightly lower, it can be said that the oxygen concentration is oxygen concentration that may be low.

第3レベルO3では、図6(c)に示すように、セル711の背景色が、波長域が610〜750nmの範囲内である色、すなわち、赤色で表示される。 In the third level O3, as shown in FIG. 6 (c), the background color of the cell 711, a color wavelength range is within the range of 610~750Nm, i.e., is displayed in red. このように表示される第3レベルO3は、酸素濃度センサー261により測定された酸素濃度が6%未満の状態である。 Third level O3 which is thus display the measured oxygen concentration by the oxygen concentration sensor 261 is in a state of less than 6%. この第3レベルO3は、第1室R1内の酸素濃度が低い状態となる可能性が高く、要注意するべき酸素濃度であるといえる。 The third level O3 is possible that the oxygen concentration in the first chamber R1 becomes a low state is high, it can be said that an oxygen concentration should be careful.

第4レベルO4では、図6(d)に示すように、セル711の背景色が赤色で表示されるとともに、セル711内には数値の代わりに「ERROR」と表示される。 In the fourth level O4, as shown in FIG. 6 (d), together with the background color of the cell 711 is displayed in red, within the cells 711 labeled "ERROR" instead of numbers. このように表示される第4レベルO4は、第1室R1における酸素濃度測定に関して異常が生じている状態(エラーが生じている状態)である。 The fourth level O4 displayed as is a state in which abnormality regarding the oxygen concentration measurement in first chamber R1 occurs (a state in which an error has occurred). 酸素濃度測定に関して異常が生じている状態としては、例えば、制御装置30と酸素濃度センサー261との接続に不具合が生じ、酸素濃度を上手く読み込むことができない状態等が挙げられる。 Conditions that abnormality regarding the oxygen concentration measurement is occurring, for example, cause failure in the connection between the control device 30 and the oxygen concentration sensor 261, such state can not read the oxygen concentration well and the like.

このように、セル711が、酸素濃度の大きさに応じて段階的に異なる背景色で表示されることで、作業者は、第1室R1内の酸素濃度が低い状態であるかを一目でより容易かつより迅速に判別することができる。 Thus, cell 711, that depending on the size of the oxygen concentration is displayed in a stepwise different background color, the operator at a glance whether the oxygen concentration in the first chamber R1 is lower state it can be discriminated more easily and more quickly.

特に、セル711の背景色は、前述したように、酸素濃度の高い方から順に、緑色、黄色、赤色と表示されるため、第1室R1内の酸素濃度が低い状態であるか、また、酸素濃度が若干低くなっている状態であるかをさらに容易かつさらに迅速に判別することができる。 In particular, the background color of the cell 711, as described above, the higher the oxygen concentration in the order, green, yellow, to be displayed as red, or the oxygen concentration in the first chamber R1 is low, also, oxygen concentration can be more easily and more quickly determine whether the state has become slightly lower.

また、第4レベルO4では、セル711の背景色が赤色で表示されるとともに、セル711内に「ERROR」と表示されるため、第1室R1内の酸素濃度が低い状態であることとは別に、酸素濃度測定に関して異常が生じていることを特に容易かつ特に迅速に判別することができる。 Further, in the fourth level O4, along with the background color of the cell 711 is displayed in red, to be displayed as "ERROR" in the cell 711, the oxygen concentration in the first chamber R1 is lower state separately, it is possible to particularly easy and particularly quickly determine that an abnormality with respect to oxygen concentration measurement has occurred.

なお、セル711の背景色は、作業者が視覚的に各レベルを把握することができれば、如何なる色であってもよい。 Incidentally, the background color of the cell 711, if it is possible the operator to grasp visually the level may be any color. ただし、上述したように、緑色、黄色、赤色と表示されることによって、作業者は、第1室R1内の酸素濃度が低い状態であるか否かを把握しやすいため好ましい。 However, as described above, green, yellow, by being displayed red, the operator, preferably the oxygen concentration in the first chamber R1 is easy to understand whether a low state.

以上説明したようなセル711の表示と同様に、セル712、713についても、それぞれ、酸素濃度の大きさに応じて段階的に異なる表示を行うことが可能である。 More similar to the display of the cell 711 as described, the cells 712, 713 also can be performed, respectively, different views stepwise according to the magnitude of the oxygen concentration. このため、作業者は、室R1〜R3内ごとに酸素濃度が低い状態であるか否かをより容易に判別することができる。 Therefore, the operator can oxygen concentration is more easily determined whether or not a low state for each inner chamber R1-R3. このように、作業者は、室R1〜R3内ごとの酸素濃度をより容易に判別したり監視したりすることができる。 Thus, the operator, or can more easily determine or monitor the oxygen concentration of each within the chamber R1-R3.

また、状態表示部7が有するフィールド72は、湿度の大きさに応じて段階的に異なる表示を行う湿度表示部としての機能を有する。 Also, field 72 state display unit 7 has functions as the humidity indicating unit for performing different display stepwise according to the magnitude of the humidity. 具体的には、フィールド72が有するセル721〜723は、湿度の大きさに応じて4段階の異なる表示をすることができる。 Specifically, cells from 721 to 723 of field 72 has may be different representations of four stages in accordance with the magnitude of humidity. セル721〜723は、同様の表示が可能であるため、以下では、代表してセル722の表示について説明する。 Cells 721-723 are the possible display similar, in the following, a description will be given of a display cell 722 and a representative.

図7に示すように、セル722は、第1レベルH1、第2レベルH2、第3レベルH3および第4レベルH4の4つのレベル(4段階)に分けて異なる表示をすることができる。 As shown in FIG. 7, the cell 722 may be first level H1, the second level H2, a different display is divided into four levels (four levels) of the third level H3 and the fourth level H4. なお、本実施形態では、4つのレベルに分けているが、レベルの数は4つに限定されない。 In the present embodiment, is divided into four levels, number of levels is not limited to four.

ここで、本明細書において、ICデバイス90に結露が生じない湿度の臨界点を、限界湿度(%)と言う。 In the present specification, the critical point of the humidity condensation on the IC device 90 does not occur, it says limit humidity (%). すなわち、測定された湿度(%)が限界湿度(%)を超えると、ICデバイス90に結露が生じる。 That is, when the measured humidity (%) exceeds the limit humidity (%), condensation occurs in the IC device 90. また、結露の発生は、湿度と温度に関係しており、限界湿度(%)は温度ごとに異なる。 Further, occurrence of condensation is related to humidity and temperature, the limit humidity (%) is different for each temperature. そして、制御装置30には、所定の温度に応じた限界湿度(%)が記憶されており、制御装置30は、所定の温度に応じた限界湿度(%)を求めることができる。 Then, the control device 30, limit humidity corresponding to a predetermined temperature (%) is stored, the control unit 30 can determine the limit humidity (%) corresponding to a predetermined temperature.

第1レベルH1では、図7(a)に示すように、セル722の背景色が、白色で表示される。 In the first level H1, as shown in FIG. 7 (a), the background color of the cell 722 is displayed in white. このように表示される第1レベルH1は、湿度センサー252により測定された湿度(%)が、温度センサー242により測定された温度における限界湿度(%)よりも3(%)低い値未満の状態である。 First level H1 is thus displayed, the humidity measured by the humidity sensor 252 (%) is 3 (%) than the limit humidity (%) in the temperature measured by the temperature sensor 242 below lower value of the state it is. すなわち、第1レベルH1は、測定された湿度(%)<限界湿度(%)−3(%)の状態である。 That is, the first level H1 is measured humidity (%) <limit humidity (%) - a state of 3 (%). この第1レベルH1は、搬送部や載置部にあるICデバイス90に結露が生じ難い状態であるといえる。 The first level H1 is said to condensation on the IC device 90 in the transport unit or the mounting portion is hardly a state which.

第2レベルH2では、図7(b)に示すように、セル722の背景色が、波長域が580〜610nmの範囲内である色、すなわち黄色で表示される。 In the second level H2, as shown in FIG. 7 (b), the background color of the cell 722, a color wavelength range is within the range of 580~610Nm, that is, displayed in yellow. このように表示される第2レベルH2は、湿度センサー252により測定された湿度(%)が、温度センサー242により測定された温度における限界湿度(%)よりも3(%)低い値以上であり、かつ、限界湿度(%)以下の状態である。 Thus, in the second level H2, it displayed, humidity (%) measured by the humidity sensor 252, 3 (%) than the limit humidity (%) in the temperature measured by the temperature sensor 242 located at a lower value than and limit humidity (%) are the following conditions. すなわち、限界湿度(%)−3(%)≦測定された湿度(%)≦限界湿度(%)の状態である。 That is, the limit humidity (%) - a state of 3 (%) ≦ measured humidity (%) ≦ limit humidity (%). この第2レベルH2は、各部にあるICデバイス90に結露が生じる状態に近い状態であり、ICデバイス90に結露が生じる可能性がある湿度といえる。 The second level H2, a state close to the state in which dew condensation occurs in the IC device 90 in each unit, it can be said that humidity that may condensation occurs in the IC device 90.

第3レベルH3では、図7(c)に示すように、セル722の背景色が、波長域が610〜750nmの範囲内である色、すなわち、赤色で表示される。 In the third level H3, as shown in FIG. 7 (c), the background color of the cell 722, a color wavelength range is within the range of 610~750Nm, i.e., is displayed in red. このように表示される第3レベルH3は、湿度センサー252により測定された湿度(%)が、温度センサー242により測定された温度における限界湿度(%)を超える状態である。 Third level H3 that is thus displayed, the humidity measured by the humidity sensor 252 (%) is a state exceeding the limit humidity (%) at the temperature measured by the temperature sensor 242. すなわち、限界湿度(%)<測定された湿度(%)の状態である。 That is a state of the limit humidity (%) <measured humidity (%). この第3レベルH3は、各部にあるICデバイス90に結露が生じる湿度であるといえる。 The third level H3 is said to be moisture condensation occurs in the IC device 90 in the respective sections.

第4レベルH4では、図7(d)に示すように、セル722の背景色が赤色で表示されるとともに、セル722内には、数値の代わりに「ERROR」と表示される。 In the fourth level H4, as shown in FIG. 7 (d), together with the background color of the cell 722 is displayed in red, within cell 722, labeled "ERROR" instead of numbers. このように表示される第4レベルH4は、第2室R2における湿度測定に関して異常が生じている状態(エラーが生じている状態)である。 The fourth level H4 is displayed as is the state where the abnormality with respect to humidity measurement occurs in the second chamber R2 (the state where an error has occurred). 湿度測定に関して異常が生じている状態としては、例えば、制御装置30と湿度センサー252との接続に不具合が生じ、湿度を上手く読み込むことができない状態等が挙げられる。 Conditions that abnormal respect humidity measurement occurs, for example, cause failure in the connection between the control unit 30 and the humidity sensor 252, such state can not be read successfully humidity and the like.

このように、セル722が、湿度の大きさに応じて段階的に異なる背景色で表示されることで、作業者は、第2室R2がICデバイス90に結露を生じさせる状態であるかを一目でより容易かつより迅速に判別することができる。 Thus, cell 722, it is displayed in a stepwise different background color depending on the size of the humidity, the operator, the second chamber R2 is whether the state to cause dew condensation on the IC device 90 it can be discriminated more easily and more quickly at a glance.

特に、セル722の背景色は、前述したように、湿度の低い方から順に、白色、黄色、赤色と表示されることで、作業者は、第2室R2がICデバイス90に結露を生じさせる状態であるか、または、ICデバイス90に結露を生じさせる状態に近い状態であるかをさらに容易かつさらに迅速に判別することができる。 In particular, the background color of the cell 722, as described above, in order from the lower humidity, white, that appear yellow, and red, the worker second chamber R2 causes a dew condensation on the IC device 90 or a state, or, whether a state close to the state to cause dew condensation on the IC device 90 can be more easily and more quickly determine.

なお、セル722の背景色は、作業者が視覚的に各レベルを把握することができれば、如何なる色であってもよい。 Incidentally, the background color of the cell 722, if it is possible the operator to grasp visually the level may be any color. ただし、上述したように、白色、黄色、赤色と表示されることによって、作業者は、ICデバイス90に結露を生じさせるか否かを把握しやすいため好ましい。 However, as described above, white, yellow, by being displayed red, the operator preferred because easy to understand whether cause condensation to IC device 90.

また、第4レベルH4では、セル722の背景色が赤色で表示されるとともに、セル722内に「ERROR」と表示されるため、第2室R2内がICデバイス90に結露を生じさせる状態であることとは別に、湿度測定に関して異常が生じていることを特に容易かつ特に迅速に判別することができる。 Further, in the fourth level H4, with the background color of the cell 722 is displayed in red, to be displayed as "ERROR" in the cell 722, in a state in which the second chamber R2 causes a dew condensation on the IC device 90 Apart from that there can be particularly easily and especially quickly determine that an abnormality has occurred with respect to humidity measurement.

以上説明したようなセル722の表示と同様に、セル721、723についても、それぞれ、湿度の大きさに応じて段階的に異なる表示を行うことが可能である。 More similar to the display of the cell 722 as described, the cells 721 and 723 are also respectively, it is possible to perform different display stepwise according to the magnitude of the humidity. このため、作業者は、室R1〜R3内ごとに結露が生じる状態であるか否かをより容易に判別することができる。 Therefore, the operator can determine whether or not the state condensation occurs in each inner chamber R1~R3 ​​more easily.
以上、本実施形態の検査装置1について説明した。 This completes the description of the inspection device 1 of the present embodiment.

なお、前述した説明では、各室R1〜R3の酸素濃度の大きさに応じて段階的に異なる表示を行うことが可能に構成されていたが、室R1〜R3のうちの少なくとも1つの酸素濃度を段階的に表示できるよう構成されていればよい。 In the above description, but is configured to be capable of performing different display stepwise according to the magnitude of the oxygen concentration in each chamber R1-R3, at least one of the oxygen concentration of the chamber R1-R3 only it needs to be configured for stepwise displayed. 同様に、本実施形態では、各室R1〜R3の湿度の大きさに応じて段階的に異なる表示を行うことが可能に構成されていたが、室R1〜R3のうちの少なくとも1つの湿度を段階的に表示できるよう構成されていればよい。 Similarly, in the present embodiment, it is configured to be capable of performing different display stepwise according to the magnitude of the humidity chambers R1-R3, at least one humidity of chamber R1-R3 only it needs to be configured for stepwise display.

また、前述した説明では、セル711は、背景色が酸素濃度の大きさに応じて段階的に異なる色で表示されたが、セル711は、酸素濃度の大きさに応じて作業者が判別することができるように表示されれば、如何なる表示であってもよい。 Further, in the above description, the cell 711 is the background color is displayed in a stepwise different colors depending on the size of the oxygen concentration, the cell 711, the operator determines in accordance with the magnitude of the oxygen concentration if it is displayed so that it can be any display. 例えば、セル711の文字の色が、段階的に異なる色で表示されてもよい。 For example, the color of the character of the cell 711, may be displayed in different colors stepwise. また、例えば、セル711の背景が、異なるパターンで表示されてもよい。 Further, for example, the cell background 711 may be displayed in different patterns. また、酸素濃度を数値で表示することに加え、段階的に異なるメッセージを表示してもよい。 In addition to displaying the oxygen concentration in the figures may be displayed stepwise different messages. 例えば、第1レベルO1では「安全」と表示し、第2レベルO2では「危険」と表示し、第3レベルO3では「要注意」と表示し、第4レベルO4では「異常」と表示してもよい。 For example, the first level O1 displayed as "safe", the second level O2 labeled as "Danger", the third level O3 labeled "suspect", displayed as the fourth level O4 "abnormal" it may be. なお、セル712、713についても同様である。 This also applies to cells 712 and 713. また、セル721〜723についても上記と同様である。 Also, the same as described above for the cells 721-723.

また、第3レベルO3や第4レベルO3では、制御部31によって、検出された酸素濃度に応じてフィードバック制御を行ってもよい。 Further, the third level O3 and fourth level O3, the control unit 31, the feedback control may be performed depending on the detected oxygen concentration. 例えば、第3レベルO3や第4レベルO4の場合には、検査装置1の各部の駆動を停止させたり、作業者に第3レベルO3や第4レベルO3であることを知らせるための警報を報知したりしてもよい。 For example, in the case of the third level O3 and fourth level O4 may notify the alarm to signal that or stopping the driving of each unit of the inspection apparatus 1, a third-level O3 and fourth level O3 worker it may be or.

また、同様に、第3レベルH3や第4レベルH3では、制御部31によって、検出された湿度に応じてフィードバック制御を行ってもよい。 Similarly, the third level H3 and the fourth level H3, the control unit 31, the feedback control may be performed according to the detected humidity. 例えば、第3レベルH3や第4レベルH4の場合には、検査装置1の各部の駆動を停止させたり、作業者に第3レベルH3や第4レベルH3であることを知らせるための警報を報知したり、ドライエアー供給装置を直ちに可動させてもよい。 For example, in the case of the third level H3 and the fourth level H4 is informing an alarm to signal that or stopping the driving of each unit of the inspection apparatus 1, a third level H3 and the fourth level H3 worker or, it may be immediately moving the dry air supply device.

また、フィールド73が有するセル731〜733が、表示される温度に応じて段階的に異なる表示を行うことができる温度表示部としての機能を有していてもよい。 The cell 731-733 that field 73 has may have a function as a temperature display unit which can perform different display stepwise in accordance with the temperature displayed.

<第2実施形態> <Second Embodiment>
図8は、本発明の第2実施形態に係る電子部品検査装置が有する状態表示部7を示す図である。 Figure 8 is a diagram showing a state display section 7 that the electronic component testing apparatus has according to a second embodiment of the present invention.

以下、この図を参照して第2実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。 Hereinafter, the second embodiment will be described with reference to the figure focuses on the differences from the embodiment described above, the same matters will be omitted.

本実施形態は、状態表示部を構成しているテーブルの構成が異なること以外は、前述した実施形態と同様である。 Embodiment except that the configuration of the table constituting a state display unit are different, is similar to the embodiment described above.

本実施形態では、図8に示すテーブル70が有するフィールド71のセル711〜713と、フィールド72のセル721〜723とが、それぞれ、酸素濃度の大きさと湿度の大きさに応じて点滅する点滅表示部としての機能を有している。 In this embodiment, the cells 711 to 713 of field 71 with the table 70 shown in FIG. 8, the cell field 72 721-723, respectively, blinking display to blink according to the size of the size and humidity of the oxygen concentration It has a function as a part.

まず、セル711〜713について説明するが、これらは同様の構成であるため、以下では、セル711について代表して説明する。 First, a description will be given cell 711-713, since these have the same configuration, the following description will be representatively described cell 711.

図8に示すように、セル711に表示された数値が、酸素濃度の大きさに応じて段階的に点滅するよう構成されている。 As shown in FIG. 8, number displayed in the cell 711 is configured to stepwise flashing depending on the size of the oxygen concentration. そして、各数値の点滅速度は、段階的に変化するよう構成されている。 The blink rate of each numerical value, is configured to change stepwise.

図8(a)に示すように、第1レベルO1では、セル711に表示された酸素濃度を示す数値は点滅しない。 As shown in FIG. 8 (a), the first level O1, numerical value indicating the oxygen concentration, which is displayed in the cell 711 does not blink. これに対し、図8(b)に示すように、第2レベルO2では、セル711に表示された酸素濃度を示す数値が点滅する。 In contrast, as shown in FIG. 8 (b), the second level O2, numerical value indicating the oxygen concentration, which is displayed in the cell 711 flashes. また、図8(c)に示すように、第3レベルO3では、セル711に表示された酸素濃度を示す数値が、第2レベルO2における点滅速度よりも早い速度で点滅する。 Further, as shown in FIG. 8 (c), the third level O3, numerical value indicating the oxygen concentration, which is displayed in the cell 711, to blink at a faster rate than the blinking rate in the second level O2. また、図8(d)に示すように、第4レベルO4では、セル711に表示された「ERROR」が、第3レベルO3における点滅速度と同等の速度で点滅する。 Further, as shown in FIG. 8 (d), the fourth level O4, is displayed in the cell 711 "ERROR" is flashing in flash rate equivalent to the rate in the third-level O3.

このように、セル711内の数値が、酸素濃度の大きさに応じて段階的に異なる点滅速度で表示されることで、作業者は、表示された酸素濃度の大きさが酸素濃度が低い状態であるか一目でより容易かつより迅速に判別することができる。 Thus, numerical values ​​in the cells 711, depending on the size of the oxygen concentration by being displayed in different blinking rate in steps, the operator, the oxygen concentration is low the size of the display oxygen concentration state it can be discriminated more easily and more quickly at a glance whether there are. 特に、第2レベルO2よりも第3レベルO3の方が数値の点滅速度が速くなる。 In particular, blink rate numbers are towards third level O3 is faster than the second level O2. すなわち、酸素濃度が小さくなるほど、点滅速度が速くなる。 That is, as the oxygen concentration decreases, blinking speed increases. このため、第2室R2内の酸素濃度が低い状態であるか、また、酸素濃度が若干低くなっている状態であるかをさらに容易かつさらに迅速に判別することができる。 Therefore, if the second chamber is an oxygen concentration is low in R2, also the oxygen concentration can be more easily and more quickly determine whether the state has become slightly lower.

次に、セル721〜723について説明するが、これらは同様の構成であるため、以下では、セル722について代表して説明する。 Next, a description will be given cell 721-723, since these have the same configuration, the following description will be representatively described cell 722.

図8に示すように、セル722に表示された数値が、湿度の大きさに応じて段階的に点滅するよう構成されている。 As shown in FIG. 8, number displayed in the cell 722 is configured to stepwise flashing depending on the size of the humidity. そして、各数値の点滅速度は、段階的に変化するよう構成されている。 The blink rate of each numerical value, is configured to change stepwise.

図8(a)に示すように、第1レベルH1では、セル722に表示された湿度を示す数値は点滅しない。 As shown in FIG. 8 (a), the first level H1, numerical value indicating the humidity are displayed in the cell 722 does not blink. これに対し、図8(b)に示すように、第2レベルH2では、セル722に表示された湿度を示す数値が点滅する。 In contrast, as shown in FIG. 8 (b), the second level H2, numerical value indicating the humidity are displayed in the cell 722 flashes. また、図8(c)に示すように、第3レベルH3では、セル722に表示された湿度を示す数値が、第2レベルH2における点滅速度よりも早い速度で点滅する。 Further, as shown in FIG. 8 (c), the third level H3, numerical value indicating the humidity are displayed in the cell 722, to blink at a faster rate than the blinking rate in the second level H2. また、図8(d)に示すように、第4レベルH4では、セル722に表示された「ERROR」が、第3レベルH3における点滅速度と同等の速度で点滅する。 Further, as shown in FIG. 8 (d), the fourth level H4, displayed in cell 722 "ERROR" is flashing in flash rate equivalent to the rate in the third-level H3.

このように、セル722内の数値が、湿度の大きさに応じて段階的に異なる点滅速度で表示されることで、作業者は、表示された湿度の大きさがICデバイス90に結露を生じさせる状態であるかを一目でより容易かつより迅速に判別することができる。 Thus, numerical values ​​in the cells 722, by being displayed in different blinking rate stepwise according to the magnitude of the humidity, the operator, the size of the displayed humidity cause condensation on the IC device 90 whether a state to be able to determine more easily and more quickly at a glance. 特に、第2レベルH2よりも第3レベルH3の方が数値の点滅速度が速くなる。 In particular, blink rate than the second level H2 value is towards the third level and H3 faster. すなわち、湿度が大きくなるほど、点滅速度が速くなる。 That is, the humidity increases, blinking speed increases. このため、第2室R2がICデバイス90に結露を生じさせる状態であるか、または、ICデバイス90に結露を生じさせる状態に近い状態であるかをさらに容易かつさらに迅速に判別することができる。 Therefore, it is possible to the second chamber R2 is either a state causes condensation to IC device 90, or, more easily and more quickly determines whether a state close to the state to cause dew condensation on the IC device 90 .

このような第2実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を奏することができる。 According to such a second embodiment, it is possible to achieve the same effect as the first embodiment described above.

なお、前述した説明では、数値が点滅するように構成されていたが、点滅する箇所は如何なる箇所であってもよい。 In the above description, numeric values ​​has been configured to flash, flashing area may be any positions. 例えば、セル711自体が点滅するように構成されていてもよい。 For example, the cell 711 itself may be configured to blink. また、例えば、セル711の各背景色が、前述した第1実施形態のように段階的に異なる色で表示され、その表示された背景色が点滅するように構成されていてもよい。 Further, for example, the background color of the cell 711, are displayed in different colors stepwise as in the first embodiment described above, the displayed background color may be configured to flash. なお、セル712、713、721、723についても同様である。 This also applies to cells 712,713,721,723.

また、前述した説明では、点滅速度が、レベルが大きくなるほど速くなったが、各レベルにおける点滅速度はこれに限定されない。 Further, in the above description, blinking rate, became fast that level increases, blink rate is not limited thereto at each level. 例えば、第3レベルO3と第4レベルO4とは、異なる点滅速度で表示されてもよい。 For example, a third-level O3 and the fourth level O4, may be displayed in different blinking rates. また、第1レベルO1や第1レベルH1においても数値が点滅するよう構成されていてもよい。 Moreover, numerical value in the first level O1 and the first level H1 is may be configured to blink.

<第3実施形態> <Third Embodiment>
図9は、本発明の第3実施形態に係る電子部品検査装置が有する状態表示部が備えるレベルゲージ部を示す図である。 Figure 9 is a diagram showing a third level gauge unit status display unit comprises an electronic component testing apparatus has according to the embodiment of the present invention. 図10は、図9に示すレベルゲージの表示を示す図である。 Figure 10 is a diagram showing a display of the level gauge shown in Fig.

以下、これらの図を参照して第3実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。 Hereinafter, a third embodiment will be described with reference to these drawings, will focus on differences from the embodiment described above, the same matters will be omitted.

本実施形態は、状態表示部の構成が異なること以外は、前述した実施形態と同様である。 This embodiment, except for the configuration of the state display unit are different, it is similar to the embodiment described above.

本実施形態では、図9に示すように、状態表示部7が、各室R1〜R3の酸素濃度を表示しているレベルゲージ部74と、各室R1〜R3の湿度を表示しているレベルゲージ部75と、各室R1〜R3の温度を表示しているレベルゲージ部76とで構成されている。 In the present embodiment, as shown in FIG. 9, the status display unit 7, a level gauge 74 displaying the oxygen concentration of the chambers R1-R3, displaying the humidity chambers R1-R3 level a gauge portion 75, and a level gauge 76 displaying the temperature of each chamber R1-R3.

レベルゲージ部74は、第2室R2内の酸素濃度を表示している棒状のレベルゲージ742と、第1室R1内の酸素濃度を表示している棒状のレベルゲージ741と、第3室R3内の酸素濃度を表示している棒状のレベルゲージ743とを有している。 Level gauge 74, a second chamber level gauge 742 of the rod-like displaying the oxygen concentration in the R2, a level gauge 741 of the rod-like displaying the oxygen concentration in the first chamber R1, a third chamber R3 and a level gauge 743 of the rod-like displaying the oxygen concentration in the. レベルゲージ741〜743は、それぞれ、酸素濃度の大きさの指標となる目盛りS74と、酸素濃度の大きさに応じて変位するバーB74と、各種メッセージを表示することができるメッセージ表示部M74とを有している。 Level gauge 741-743, respectively, and graduation S74 as an index of the magnitude of the oxygen concentration, the bar B74 is displaced in accordance with the magnitude of the oxygen concentration, and a message display section M74 which can display various messages It has. このようなレベルゲージ741〜743は、それぞれ、酸素濃度の大きさに応じてバーB74が図中上下方向に変位し、酸素濃度の大きさに応じた目盛りS74にバーB74の上端が位置する。 Such level gauge 741-743, respectively, bar B74 is displaced in the vertical direction in the drawing in accordance with the magnitude of the oxygen concentration, the upper end of the bar B74 is located in the graduation S74 corresponding to the magnitude of the oxygen concentration. なお、本実施形態においても、第1実施形態と同様に、第2室R2内には酸素濃度センサーが設けられていないため、図9では、レベルゲージ742にバーB74が表示されていない。 Also in this embodiment, like the first embodiment, since the second chamber R2 is not an oxygen concentration sensor is provided, in FIG. 9, the bar B74 is not visible in the level gauge 742.

レベルゲージ部75は、第2室R2内の湿度を表示している棒状のレベルゲージ752と、第1室R1内の湿度を表示している棒状のレベルゲージ751と、第3室R3内の湿度を表示している棒状のレベルゲージ753とを有している。 Level gauge portion 75, a second chamber level gauge 752 of the rod-like displaying the humidity in R2, a first chamber level gauge 751 of the rod-like displaying the humidity in R1, the third chamber R3 and a level gauge 753 of the rod-like displaying the humidity. レベルゲージ751〜753は、それぞれ、湿度の大きさの指標となる目盛りS75と、湿度の大きさに応じて変位するバーB75と、各種メッセージを表示することができるメッセージ表示部M75とを有している。 Level gauge 751-753 respectively have a graduation S75 as an index of the magnitude of the humidity, and the bar B75 is displaced in accordance with the magnitude of the humidity, and a message display section M75 which can display various messages ing. このようなレベルゲージ751〜753は、それぞれ、湿度の大きさに応じてバーB75が図中上下方向に変位し、湿度の大きさに応じた目盛りS75にバーB75の上端が位置する。 Such level gauge 751-753, respectively, in accordance with the magnitude of the humidity bar B75 is displaced in the vertical direction in the drawing, the upper end of the bar B75 is located in the graduation S75 corresponding to the magnitude of the humidity. なお、本実施形態においても、第1実施形態と同様に、第3室R3内には湿度センサーが設けられていないため、図9では、レベルゲージ753にバーB75が表示されていない。 Also in this embodiment, like the first embodiment, since the third chamber R3 is not humidity sensor is provided, in FIG. 9, the bar B75 is not visible in the level gauge 753.

レベルゲージ部76は、第2室R2内の温度を表示している棒状のレベルゲージ762と、第1室R1内の温度を表示している棒状のレベルゲージ761と、第3室R3内の温度を表示している棒状のレベルゲージ763とを有している。 Level gauge portion 76, a second chamber level gauge 762 of the rod-like displaying the temperature in R2, a first chamber level gauge 761 of the rod-like displaying the temperature in R1, the third chamber R3 and a level gauge 763 of the rod-like displaying the temperature. レベルゲージ761〜763は、それぞれ、温度の大きさの指標となる目盛りS76と、温度の大きさに応じて変位するバーB76と、各種メッセージを表示することができるメッセージ表示部M76とを有している。 Level gauge 761-763 respectively have a graduation S76 as an index of magnitude of the temperature, and the bar B76 is displaced in accordance with the magnitude of the temperature, and a message display section M76 which can display various messages ing. このようなレベルゲージ761〜763は、それぞれ、温度の大きさに応じてバーB76が図中上下方向に変位し、温度の大きさに応じた目盛りS76にバーB76の上端が位置する。 Such level gauge 761-763, respectively, in accordance with the magnitude of the temperature bar B76 is displaced in the vertical direction in the drawing, the upper end of the bar B76 is located in the graduation S76 in accordance with the magnitude of the temperature. なお、本実施形態においても、第1実施形態と同様に、第3室R3内に温度センサーが設けられていないため、図9では、レベルゲージ763にバーB76が表示されていない。 Also in this embodiment, like the first embodiment, since the temperature sensor to the third chamber R3 is not provided, FIG. 9, the bar B76 is not visible in the level gauge 763.

このような構成の状態表示部7が有するレベルゲージ741〜743は、それぞれ、酸素濃度の大きさに応じて段階的に異なる表示を行う酸素濃度表示部としての機能を有する。 Such configuration level gauge 741-743 the state display unit 7 has a each have a function as an oxygen concentration indicator unit for performing different display stepwise according to the magnitude of the oxygen concentration. レベルゲージ741〜743は、同様の表示が可能であるため、以下では、代表してレベルゲージ741の表示について説明する。 Level gauge 741-743 are the possible display similar, in the following, a description will be given of a display of the level gauge 741 as a representative.

図10に示すように、レベルゲージ741は、酸素濃度の大きさに応じて第1レベルO1、第2レベルO2、第3レベルO3および第4レベルO4の4つのレベル(4段階)に分けて表示がなされる。 As shown in FIG. 10, the level gauge 741, the first level O1 according to the size of the oxygen concentration, the second level O2, divided into third level O3 and four levels of the 4-level O4 (4 stages) display is performed.

図10(a)に示すように、第1レベルO1では、バーB74が緑色で表示される。 As shown in FIG. 10 (a), the first level O1, bar B74 is displayed in green. 図10(b)に示すように、第2レベルO2では、バーB74が黄色で表示される。 As shown in FIG. 10 (b), the second level O2, bar B74 is displayed in yellow. 図10(c)に示すように、第3レベルO3では、バーB74が赤色で表示される。 As shown in FIG. 10 (c), the third level O3, bar B74 is displayed in red. 図10(d)に示すように、第4レベルO4では、バーB74が非表示になるとともに、メッセージ表示部M74に「EEROR」と表示される。 As shown in FIG. 10 (d), the fourth level O4, a bar B74 with hidden, it is displayed as "EEROR" in the message display unit M74.

このように、レベルゲージ741のバーB74が、酸素濃度の大きさに応じて段階的に異なる色で表示されることで、作業者は、第1室R内の酸素濃度が低い状態であるかを一目でより容易かつより迅速に判別することができる。 Thus, the bar B74 level gauge 741, that is displayed in a stepwise different colors depending on the size of the oxygen concentration, the operator or the oxygen concentration in the first chamber R is lower state it can be discriminated more easily and more quickly at a glance.

また、状態表示部7が有するレベルゲージ751〜753は、それぞれ、湿度の大きさに応じて段階的に異なる表示を行う湿度表示部としての機能を有する。 The level gauge 751 to 753 to the state display unit 7 has, respectively, has a function as a humidity indicating unit for performing different display stepwise according to the magnitude of the humidity. レベルゲージ751〜753は、同様の表示が可能であるため、以下では、代表してレベルゲージ752の表示について説明する。 Level gauge 751-753 are the possible display similar, in the following, a description will be given of a display of the level gauge 752 as a representative.

図10に示すように、レベルゲージ752は、湿度の大きさに応じて第1レベルH1、第2レベルH2、第3レベルH3および第4レベルH4の4つのレベル(4段階)に分けて表示がなされる。 As shown in FIG. 10, the level gauge 752, the first level H1 depending on the size of the humidity, the second level H2, displayed in four levels of third level H3 and the fourth level H4 (4 stages) It is made.

図10(e)に示すように、第1レベルH1では、バーB75が白色で表示される。 As shown in FIG. 10 (e), the first level H1, bar B75 is displayed in white. 図10(f)に示すように、第2レベルH2では、バーB75が黄色で表示される。 As shown in FIG. 10 (f), the second level H2, bar B75 is displayed in yellow. 図10(g)に示すように、第3レベルH3では、バーB75が赤色で表示される。 As shown in FIG. 10 (g), the third level H3, bar B75 is displayed in red. 図10(h)に示すように、第4レベルH4では、バーB75が非表示になるとともに、メッセージ表示部M75に「EEROR」と表示される。 As shown in FIG. 10 (h), the fourth level H4, a bar B75 with hidden, is displayed as "EEROR" in the message display unit M75.

このように、レベルゲージ752のバーB75が、湿度の大きさに応じて段階的に異なる色で表示されることで、作業者は、表示された湿度の大きさがICデバイス90に結露を生じさせる状態であるかを一目でより容易かつより迅速に判別することができる。 Thus, the bar B75 level gauge 752, that is displayed in a stepwise different colors depending on the size of the humidity, the operator, the size of the displayed humidity cause condensation on the IC device 90 whether a state to be able to determine more easily and more quickly at a glance.

このような第3実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を奏することができる。 According to such a third embodiment, it is possible to achieve the same effect as the first embodiment described above.

なお、前述した説明では、レベルゲージ741は、棒状をなしていたが、レベルゲージ741の形状は、これに限定されず、例えば、アーチ状をなしていてもよい。 In the description given above, the level gauge 741, had a rod shape, the shape of the level gauge 741 is not limited thereto, for example, it may form an arch shape. また、レベルゲージ741は、バーB74を有していたが、例えば、バーB74に変えて、目盛りS74を指し示す指針(図示せず)を有する構成であってもよい。 The level gauge 741, had a bar B74, for example, instead of the bar B74, may be configured with a pointer (not shown) that points to the scale S74. なお、レベルゲージ742、743、751〜753、761〜763についても同様である。 The same applies to the level gauge 742,743,751~753,761~763.

以上、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を図示の好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。 While there has been described based on the preferred embodiments of the electronic component transporting apparatus and illustrates an electronic component testing apparatus of the present invention, the present invention is not limited to this, each section of the structure has the same function it can be replaced with any configuration. また、他の任意の構成物が付加されていてもよい。 Also, it may be added other arbitrary structures. 例えば、状態表示部は、第1実施形態で説明したテーブルと、第3実施形態で説明したレベルゲージとを有する構成であってもよい。 For example, the state display unit includes a table described in the first embodiment, it may be configured to have a level gauge described in the third embodiment.

また、前述した実施形態では、設定表示部は、操作部と表示部とを備えていたが、例えば、表示部と操作部とが一体になった構成でもよい。 Further, in the embodiment described above, setting the display unit is provided with the display unit and the operating unit, for example, a display unit and the operation unit may be configured with integral. 表示部と操作部とが一体になった構成としては、例えば、表示部が有するモニターがタッチパネルになっている構成が挙げられる。 The configuration in which the display unit and the operation unit is integrated, for example, the configuration monitor of the display unit is a touch panel.

また、前述した実施形態では、第2室に酸素濃度センサーが設けられていなかったが、第2室に酸素濃度センサーが設けられていてもよい。 Further, in the embodiment described above, the oxygen concentration sensor is not provided in the second chamber, the oxygen concentration sensor may be provided in the second chamber. また、前述した説明では、第3室に湿度センサーおよび温度センサーが設けられていなかったが、第3室に湿度センサーおよび温度センサーが設けられていてもよい。 Further, in the above description, a humidity sensor and a temperature sensor is not provided to the third chamber, a humidity sensor and a temperature sensor may be provided to the third chamber.

また、前述した実施形態における各フィールドおよび各セルの配列や配置は、図示したものに限定されない。 The arrangement and the arrangement of each field and each cell in the above-described embodiments are not limited to those illustrated. 例えば、前述した実施形態では、図中左側から、酸素濃度を表示しているフィールド、湿度を表示しているフィールド、および、温度を表示しているフィールドがこの順で並んでいたが、これらフィールドの配置はこれに限定されない。 For example, in the embodiment described above, from the left in the figure, fields that display the oxygen concentration, the field displaying the humidity, and, although the field that displays the temperature has lined in this order, these fields placement is not limited thereto. 例えば、図中左側から、温度を表示しているフィールド、湿度を表示しているフィールド、および、酸素濃度を表示しているフィールドがこの順で並んでいても構わない。 For example, from the left in the figure, the field displaying the temperature field that displays the humidity, and, fields that display the oxygen concentration may be lined in this order. また、例えば、これらフィールドは、図中左右方向に並んで配置されていたが、図中上下方向に並んで配置されていてもよい。 Further, for example, these fields, which had been arranged in the horizontal direction in the figure, may be arranged side by side in the vertical direction in FIG.

また、前述した実施形態における各レベルゲージ部および各レベルゲージの配列や配置は、図示したものに限定されない。 The arrangement and the arrangement of the level gauge unit and the level gauge in the embodiment described above is not limited to those illustrated. 例えば、前述した実施形態では、図中左側から、酸素濃度を表示しているレベルゲージ部、湿度を表示しているレベルゲージ部、および、温度を表示しているレベルゲージ部がこの順で並んでいたが、これらレベルゲージ部の配置はこれに限定されない。 For example, in the embodiment described above, from the left in the figure, level gauge unit that displays an oxygen concentration level gauge unit displaying the humidity, and, level gauge unit displaying the temperature arranged in this order There was Idei, arrangement of level gauge unit is not limited thereto. 例えば、図中左側から、温度を表示しているレベルゲージ部、湿度を表示しているレベルゲージ部、および、酸素濃度を表示しているレベルゲージ部がこの順で並んでいても構わない。 For example, from the left in the figure, level gauge unit displaying the temperature, level gauge unit displaying the humidity, and, level gauge unit that displays the oxygen concentration may be lined in this order. また、これらレベルゲージ部は、図中左右方向に並んで配置されていたが、図中上下方向に並んで配置されていてもよい。 These level gauge unit, which had been arranged in the horizontal direction in the figure, may be arranged side by side in the vertical direction in FIG.

1‥‥検査装置10‥‥電子部品搬送装置90‥‥ICデバイス200‥‥トレイ11A‥‥トレイ搬送機構11B‥‥トレイ搬送機構12‥‥温度調整部13‥‥供給ロボット14‥‥デバイス供給部15‥‥供給空トレイ搬送機構16‥‥検査部17‥‥測定ロボット18‥‥デバイス回収部19‥‥回収用トレイ20‥‥回収ロボット21‥‥回収空トレイ搬送機構22A‥‥トレイ搬送機構22B‥‥トレイ搬送機構241、242‥‥温度センサー251、252‥‥湿度センサー261、263‥‥酸素濃度センサー30‥‥制御装置31‥‥制御部32‥‥記憶部311‥‥駆動制御部312‥‥検査制御部40‥‥表示部41‥‥モニター50‥‥操作部51‥‥マウス60‥‥設定表示部7‥‥状態表示部70‥‥テーブ 1 ‥‥ inspection apparatus 10 ‥‥ electronic component conveying device 90 ‥‥ IC device 200 ‥‥ tray 11A ‥‥ tray transporting mechanism 11B ‥‥ tray transporting mechanism 12 ‥‥ temperature adjusting unit 13 ‥‥ supply robot 14 ‥‥ device supply unit 15 ‥‥ supply empty tray transfer mechanism 16 ‥‥ inspection unit 17 ‥‥ measuring robot 18 ‥‥ device collecting unit 19 ‥‥ collecting tray 20 ‥‥ collection robot 21 ‥‥ collecting the empty tray transfer mechanism 22A ‥‥ tray transporting mechanism 22B ‥‥ tray transporting mechanism 241 and 242 ‥‥ temperature sensor 251 and 252 ‥‥ humidity sensor 261, 263 ‥‥ oxygen concentration sensor 30 ‥‥ controller 31 ‥‥ controller 32 ‥‥ storage unit 311 ‥‥ drive controller 312 ‥ ‥ inspection control unit 40 ‥‥ display unit 41 ‥‥ monitor 50 ‥‥ operation unit 51 ‥‥ mouse 60 ‥‥ setting display unit 7 ‥‥ state display unit 70 ‥‥ table 71‥‥フィールド711‥‥セル712‥‥セル713‥‥セル72‥‥フィールド721‥‥セル722‥‥セル723‥‥セル73‥‥フィールド731‥‥セル732‥‥セル733‥‥セル74‥‥レベルゲージ部741‥‥レベルゲージ742‥‥レベルゲージ743‥‥レベルゲージ75‥‥レベルゲージ部751‥‥レベルゲージ752‥‥レベルゲージ753‥‥レベルゲージ76‥‥レベルゲージ部761‥‥レベルゲージ762‥‥レベルゲージ763‥‥レベルゲージB74‥‥バーB75‥‥バーB76‥‥バーM74‥‥メッセージ表示部M75‥‥メッセージ表示部M76‥‥メッセージ表示部S74‥‥目盛りS75‥‥目盛りS76‥‥目盛りWD‥‥ウインドウH1‥‥第1レベルH2‥‥第2レベ 71 ‥‥ field 711 ‥‥ cell 712 ‥‥ cell 713 ‥‥ cell 72 ‥‥ field 721 ‥‥ cell 722 ‥‥ cell 723 ‥‥ cell 73 ‥‥ field 731 ‥‥ cell 732 ‥‥ cell 733 ‥‥ cell 74 ‥ ‥ level gauge unit 741 ‥‥ level gauge 742 ‥‥ level gauge 743 ‥‥ level gauge 75 ‥‥ level gauge unit 751 ‥‥ level gauge 752 ‥‥ level gauge 753 ‥‥ level gauge 76 ‥‥ level gauge unit 761 ‥‥ level gauge 762 ‥‥ level gauge 763 ‥‥ level gauge B74 ‥‥ bar B75 ‥‥ bar B76 ‥‥ bar M74 ‥‥ message display portion M75 ‥‥ message display portion M76 ‥‥ message display unit S74 ‥‥ graduation S75 ‥‥ graduation S76 ‥‥ scale WD ‥‥ window H1 ‥‥ first level H2 ‥‥ second level H3‥‥第3レベルH4‥‥第4レベルO1‥‥第1レベルO2‥‥第2レベルO3‥‥第3レベルO4‥‥第4レベルA1‥‥トレイ供給領域(領域) H3 ‥‥ third level H4 ‥‥ fourth level O1 ‥‥ first level O2 ‥‥ second level O3 ‥‥ third level O4 ‥‥ fourth level A1 ‥‥ tray supply region (region)
A2‥‥デバイス供給領域(領域) A2 ‥‥ device supply area (area)
A3‥‥検査領域(領域) A3 ‥‥ inspection area (area)
A4‥‥デバイス回収領域(領域) A4 ‥‥ device collection area (area)
A5‥‥トレイ除去領域(領域) A5 ‥‥ tray removal area (area)
R1‥‥第1室R2‥‥第2室R3‥‥第3室 R1 ‥‥ first chamber R2 ‥‥ second chamber R3 ‥‥ third chamber

Claims (9)

  1. 酸素濃度を表示する酸素濃度表示部を有し、 Has an oxygen concentration display unit for displaying the oxygen concentration,
    前記酸素濃度表示部は、前記酸素濃度の大きさに応じた表示が可能であることを特徴とする電子部品搬送装置。 The oxygen concentration display unit, the electronic component conveying device, characterized in that display is possible in accordance with the magnitude of the oxygen concentration.
  2. 前記酸素濃度表示部は、前記酸素濃度の大きさの範囲に応じた段階的な表示が可能である請求項1に記載の電子部品搬送装置。 The oxygen concentration display unit, the electronic component transporting apparatus according to claim 1 wherein the stepwise display is possible in accordance with the size range of the oxygen concentration.
  3. 前記酸素濃度表示部は、前記酸素濃度の大きさの範囲に応じて色を変えることが可能である請求項1または2に記載の電子部品搬送装置。 The oxygen concentration display unit, the electronic component transporting apparatus according to claim 1 or 2 it is possible to change the color depending on the size range of the oxygen concentration.
  4. 前記酸素濃度表示部は、前記酸素濃度が大きい方から順に、波長域が500〜580nmである色と、波長域が610〜750nmである色とに分けて表示することができる請求項1ないし3のいずれか1項に記載の電子部品搬送装置。 The oxygen concentration display unit in order of the oxygen concentration is high, the color wavelength range is 500 to 580 nm, claims 1 may be wavelength range is displayed separately in color and is 610~750Nm 3 electronic component conveying device according to any one of.
  5. 前記酸素濃度表示部は、前記酸素濃度が大きい方から順に、波長域が500〜580nmである色と、波長域が580〜610nmである色と、波長域が610〜750nmである色とに分けて表示することができる請求項1ないし3のいずれか1項に記載の電子部品搬送装置。 The oxygen concentration display unit in order of the oxygen concentration is high, the color wavelength range is 500 to 580 nm, the color wavelength range is 580~610Nm, divided into a color wavelength range is 610~750nm claims 1 can be displayed Te to the electronic component conveying device according to any one of 3.
  6. 前記酸素濃度表示部は、レベルゲージを有する請求項1ないし5のいずれか1項に記載の電子部品搬送装置。 The oxygen concentration display unit, the electronic component transporting apparatus according to any one of claims 1 to 5 has a level gauge.
  7. 前記酸素濃度表示部は、点滅表示部を有し、 The oxygen concentration display unit includes a flashing unit,
    前記点滅表示部は、前記酸素濃度の大きさに応じて点滅速度が変化する請求項1ないし6のいずれか1項に記載の電子部品搬送装置。 The flashing unit, the electronic component conveying device according to any one of claims 1 to 6 blink rate varies according to the magnitude of the oxygen concentration.
  8. 電子部品を検査する検査部を配置することが可能な検査部配置領域と、 An inspection unit arrangement region capable of arranging the inspection unit for inspecting the electronic component,
    前記検査部配置領域に前記電子部品を供給する搬送部を配置することが可能な電子部品供給領域と、 An electronic component supply region capable of arranging the transport unit supplying the electronic component to the measurement part arrangement area,
    前記検査部配置領域から前記電子部品を回収する搬送部を配置することが可能な電子部品回収領域とを有し、 And an electronic component collecting region capable of arranging the transport unit for recovering the electronic component from the measurement part arrangement area,
    前記酸素濃度表示部は、前記検査部配置領域、前記電子部品供給領域および前記電子部品回収領域の少なくとも1つの領域内の前記酸素濃度を表示することが可能である請求項1ないし7のいずれか1項に記載の電子部品搬送装置。 The oxygen concentration display unit, the inspection unit arrangement area, one of the electronic component supply region and the electronic component collecting claims 1 it is possible to display the oxygen concentration of at least one region of the regions 7 electronic component conveying device according to item 1.
  9. 酸素濃度を表示する酸素濃度表示部と、 And the oxygen concentration display unit for displaying the oxygen concentration,
    電子部品を検査する検査部とを備え、 And a checking unit for checking the electronic component,
    前記酸素濃度表示部は、前記酸素濃度の大きさに応じた表示が可能であることを特徴とする電子部品検査装置。 The oxygen concentration display unit, the electronic component testing apparatus, characterized in that display is possible in accordance with the magnitude of the oxygen concentration.
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