JP2016173614A - 反射型回折素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】所定の波長の光線を透過する材料の1つの面に光線を透過しない反射膜で覆われたエシェル型回折格子が形成された反射型回折素子であって、前記回折格子10aは入射光10fに正対するブレーズ面10dnと隣接するブレーズ面10dn+1同士を接続する非ブレーズ面10enの繰り返しにより構成される。前記ブレーズ面10dnと非ブレーズ面10enがなす角度αを鋭角に形成した。ブレーズ面10dnにおける格子頂部Aに発生する欠陥が、隣接するブレーズ面10dn+1の影に入り、入射光10fが欠陥部分により散乱光となることを防止する。
【選択図】図2
Description
D=pcosθ+h (1)
h=tanβ・psinθ (2)
α+β=90° (3)
となる。辺ACの長さhは反射型回折素子10の材料により変化させることができる。格子頂部Aが欠け易い材料であればhを大きめに設定し、欠けにくい材料であればhを小さめに設定する。角度βを変えることでhを調整することができる。式(3)より角度βを0以上に設定することで格子頂部の角度αは鋭角に形成される。
次に具体的な実施例について説明する。本実施例では単結晶テルル化カドミウム亜鉛(CdZnTe)製のイマージョン回折素子である反射型回折素子について添付図面を参照して詳細に説明する。図3は本発明の実施例に係わる反射型回折素子10の斜視図を示し、図3を用いて本発明による反射型回折素子10の基本構成を説明する。
10a エシェル型回折格子
10b 金属反射膜
10c 入射面
10dn ブレーズ面
10dn+1 隣接するブレーズ面
10en 非ブレーズ面
10f 入射光
20 切削加工装置
21 XYスライダー
22 Zスライダー
23 バイト取付冶具
25 被加工物
30 バイト
31 シャンク
32 単結晶ダイヤモンド
33 切刃稜線(ブレーズ面転写)
34 切刃稜線(非ブレーズ面転写)
A 格子頂部
D 格子深さ
h 線分ACの長さ
p 格子間隙(ピッチ)
α 格子頂部の角度(鋭角)、バイト頂角
β 非ブレーズ面と線分B´Cがなす角
Claims (2)
- 所定の波長の光線を透過する材料の1つの面に光線を透過しない反射膜で覆われたエシェル型回折格子が形成された反射型回折素子であって、
前記回折格子は入射光に正対するブレーズ面と隣接する前記ブレーズ面同士を接続する非ブレーズ面の繰り返しにより構成され、前記ブレーズ面と前記非ブレーズ面がなす角度を鋭角に形成したことを特徴とする反射型回折素子。 - 前記ブレーズ面と前記非ブレーズ面がなす角度は、前記ブレーズ面における格子頂点に発生する欠陥が、前記入射光の隣接する前記ブレーズ面による影に入るように設定される、
請求項1記載の反射型回折素子。
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JP2021018392A (ja) * | 2019-07-23 | 2021-02-15 | キヤノン株式会社 | 回折素子および分光装置、ならびに回折素子の製造方法 |
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