JP2016167461A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
ックスや石英等の誘電体、所定の芯材にY2O3等の誘電性材料を溶射したもの、若しくは、導電体、例えば、アルミニウムの表面にアルマイト処理が施されたものによって構成される。
4 誘電体窓
6 支持梁
8 アンテナ
10 プラズマ処理装置
12 誘電体カバー
13 分割素片
17,40 カバープレート
18 ガス導入穴
27 隙間
28 支持パッド
Claims (4)
- プラズマが発生する処理空間をなす処理室と、
前記プラズマを発生させるために高周波電力が印加される高周波アンテナと、
前記処理空間及び前記高周波アンテナの間に配される誘電体窓と、
前記誘電体窓を支持する梁と、
前記処理空間に対向し、且つ前記処理空間及び前記誘電体窓の間に配される誘電体カバーとを備えるプラズマ処理装置において、
前記誘電体カバーは複数の分割素片が組み合わされて構成され、
隣接する2つの前記分割素片の境目はカバープレートによって覆われ、
前記カバープレートを支持し且つ前記梁に固定されるカバープレート支持具が前記カバープレートとは別に設けられ、
各前記分割素片は前記カバープレートによって下方から支持されることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記隣接する2つの分割素片の境目には所定の幅の隙間が設けられることを特徴とする請求項1記載のプラズマ処理装置。
- 処理ガスを供給するガス供給部をさらに備え、
前記カバープレートは、前記ガス供給部及び前記処理室の間に介在し、且つ前記ガス供給部及び前記処理室を連通するガス導入穴を有することを特徴とする請求項1又は2記載のプラズマ処理装置。 - 前記分割素片の各辺は単一の前記カバープレートによって覆われていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
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JP2016092480A JP2016167461A (ja) | 2016-05-02 | 2016-05-02 | プラズマ処理装置 |
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JP2016092480A JP2016167461A (ja) | 2016-05-02 | 2016-05-02 | プラズマ処理装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2018033644A (ja) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | 株式会社三共 | 遊技機 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010251708A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-11-04 | Tokyo Electron Ltd | 誘導結合プラズマ処理装置のカバー固定具およびカバー固定装置 |
JP2011171153A (ja) * | 2010-02-19 | 2011-09-01 | Tokyo Electron Ltd | カバー固定具及び誘導結合プラズマ処理装置 |
JP2011258622A (ja) * | 2010-06-07 | 2011-12-22 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置及びその誘電体窓構造 |
-
2016
- 2016-05-02 JP JP2016092480A patent/JP2016167461A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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JP2018033644A (ja) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | 株式会社三共 | 遊技機 |
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