JP2016162542A - 測定方法および電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
Description
D2で得られたSTEM像と検出領域D4で得られたSTEM像との差をとった画像I(D2−D4)を模式的に示す図、および検出領域D1で得られたSTEM像と検出領域D3で得られたSTEM像との差をとった画像I(D1−D3)を模式的に示す図である。
域の方向を測定することができる電子顕微鏡を提供することにある。
検出面が複数の検出領域に分割された分割型検出器を備えた電子顕微鏡において、走査透過電子顕微鏡像に対する前記検出領域の方向を測定する測定方法であって、
デフォーカスに伴う前記走査透過電子顕微鏡像のずれの方向から、前記走査透過電子顕微鏡像に対する前記検出領域の方向を測定する工程を含む。
前記検出領域の方向を測定する工程では、同じ前記検出領域で得られたデフォーカス量の異なる複数の前記走査透過電子顕微鏡像の相対的な位置ずれの方向から前記検出領域の方向を求めてもよい。
前記検出領域の方向を測定する工程では、デフォーカス状態において異なる複数の前記検出領域で得られた前記走査透過電子顕微鏡像の相対的な位置ずれの方向から前記検出領域の方向を求めてもよい。
前記検出領域の方向を測定する工程では、デフォーカス状態において異なる2つの前記検出領域で得られた前記走査透過電子顕微鏡像のうちの一方の前記走査透過電子顕微鏡像から他方の前記走査透過電子顕微鏡像を減算した画像を生成してもよい。
2つの前記検出領域は、対向する位置に配置されていてもよい。
試料を透過した電子を検出して走査透過電子顕微鏡像を得るための電子顕微鏡であって、
前記試料を透過した電子を検出する検出面が複数の検出領域に分割された分割型検出器と、
前記走査透過電子顕微鏡像に対する前記検出領域の方向を求める演算部と、
を含み、
前記演算部は、デフォーカスに伴う前記走査透過電子顕微鏡像のずれの方向から、前記走査透過電子顕微鏡像に対する前記検出領域の方向を求める処理を行う。
前記演算部は、同じ前記検出領域で得られたデフォーカス量の異なる複数の前記走査透過電子顕微鏡像の相対的な位置ずれの方向から前記検出領域の方向を求める処理を行ってもよい。
前記演算部は、デフォーカス状態において異なる複数の前記検出領域で得られた前記走査透過電子顕微鏡像の相対的な位置ずれの方向から前記検出領域の方向を求める処理を行ってもよい。
前記演算部で求められた前記検出領域の方向に基づいて、前記検出領域の方向を変化させる制御を行う制御部を含んでもよい。
試料を透過した電子を検出して走査透過電子顕微鏡像を得るための電子顕微鏡であって、
前記試料を透過した電子を検出する検出面が複数の検出領域に分割された分割型検出器と、
前記走査透過電子顕微鏡像に対する前記検出領域の方向を示す画像を生成する処理を行う画像処理部と、
を含み、
前記画像処理部は、デフォーカス状態において異なる2つの前記検出領域で得られた前記走査透過電子顕微鏡像のうちの一方の前記走査透過電子顕微鏡像から他方の前記走査透過電子顕微鏡像を減算した画像を生成する。
2つの前記検出領域は、対向する位置に配置されていてもよい。
1.1. 電子顕微鏡
まず、第1実施形態に係る電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る電子顕微鏡100の構成を模式的に示す図である。
を求めることができる。
次に、第1実施形態に係る電子顕微鏡100を用いた、STEM像に対する検出領域D1,D2,D3,D4の方向を測定するための測定方法について説明する。図8は、第1実施形態に係る電子顕微鏡100を用いた、測定方法の一例を示すフローチャートである。
作部50からの操作信号を受け付けて処理を開始する。
2.1. 電子顕微鏡
次に、第2実施形態に電子顕微鏡について説明する。なお、第2実施形態に係る電子顕微鏡の構成は、上述した図1に示す電子顕微鏡100の構成と同様であり、その図示を省略する。以下、第1実施形態に係る電子顕微鏡100と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
次に、第2実施形態に係る電子顕微鏡を用いた、STEM像に対する検出領域D1,D2,D3,D4の方向を測定するための測定方法について説明する。図10は、第2実施形態に係る電子顕微鏡を用いた、測定方法の一例を示すフローチャートである。以下、第1実施形態に係る測定方法と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
4で得られたSTEM像を取得する(ステップS20)。
3.1. 電子顕微鏡
次に、第3実施形態に係る電子顕微鏡について、図面を参照しながら説明する。図11は、第3実施形態に係る電子顕微鏡300の構成を模式的に示す図である。以下、第3実施形態に係る電子顕微鏡300において、上述した第1実施形態に係る電子顕微鏡100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
倍率等)は同じである。
次に、第3実施形態に係る電子顕微鏡300を用いた、STEM像に対する検出領域D1,D2,D3,D4の方向を測定するための測定方法について説明する。図14は、第3実施形態に係る電子顕微鏡300を用いた、測定方法の一例を示すフローチャートである。以下、第1実施形態および第2実施形態に係る測定方法と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
Claims (11)
- 検出面が複数の検出領域に分割された分割型検出器を備えた電子顕微鏡において、走査透過電子顕微鏡像に対する前記検出領域の方向を測定する測定方法であって、
デフォーカスに伴う前記走査透過電子顕微鏡像のずれの方向から、前記走査透過電子顕微鏡像に対する前記検出領域の方向を測定する工程を含む、測定方法。 - 請求項1において、
前記検出領域の方向を測定する工程では、同じ前記検出領域で得られたデフォーカス量の異なる複数の前記走査透過電子顕微鏡像の相対的な位置ずれの方向から前記検出領域の方向を求める、測定方法。 - 請求項1において、
前記検出領域の方向を測定する工程では、デフォーカス状態において異なる複数の前記検出領域で得られた前記走査透過電子顕微鏡像の相対的な位置ずれの方向から前記検出領域の方向を求める、測定方法。 - 請求項1において、
前記検出領域の方向を測定する工程では、デフォーカス状態において異なる2つの前記検出領域で得られた前記走査透過電子顕微鏡像のうちの一方の前記走査透過電子顕微鏡像から他方の前記走査透過電子顕微鏡像を減算した画像を生成する、測定方法。 - 請求項4において、
2つの前記検出領域は、対向する位置に配置されている、測定方法。 - 試料を透過した電子を検出して走査透過電子顕微鏡像を得るための電子顕微鏡であって、
前記試料を透過した電子を検出する検出面が複数の検出領域に分割された分割型検出器と、
前記走査透過電子顕微鏡像に対する前記検出領域の方向を求める演算部と、
を含み、
前記演算部は、デフォーカスに伴う前記走査透過電子顕微鏡像のずれの方向から、前記走査透過電子顕微鏡像に対する前記検出領域の方向を求める処理を行う、電子顕微鏡。 - 請求項6において、
前記演算部は、同じ前記検出領域で得られたデフォーカス量の異なる複数の前記走査透過電子顕微鏡像の相対的な位置ずれの方向から前記検出領域の方向を求める処理を行う、電子顕微鏡。 - 請求項6において、
前記演算部は、デフォーカス状態において異なる複数の前記検出領域で得られた前記走査透過電子顕微鏡像の相対的な位置ずれの方向から前記検出領域の方向を求める処理を行う、電子顕微鏡。 - 請求項6ないし8のいずれか1項において、
前記演算部で求められた前記検出領域の方向に基づいて、前記検出領域の方向を変化させる制御を行う制御部を含む、電子顕微鏡。 - 試料を透過した電子を検出して走査透過電子顕微鏡像を得るための電子顕微鏡であって、
前記試料を透過した電子を検出する検出面が複数の検出領域に分割された分割型検出器と、
前記走査透過電子顕微鏡像に対する前記検出領域の方向を示す画像を生成する処理を行う画像処理部と、
を含み、
前記画像処理部は、デフォーカス状態において異なる2つの前記検出領域で得られた前記走査透過電子顕微鏡像のうちの一方の前記走査透過電子顕微鏡像から他方の前記走査透過電子顕微鏡像を減算した画像を生成する、電子顕微鏡。 - 請求項10において、
2つの前記検出領域は、対向する位置に配置されている、電子顕微鏡。
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