JP2016161415A - 熱式流量センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】配管10における外壁面のうちの所定箇所の温度を検出する第1温度センサ20と、第1温度センサ20と離間した状態で配管10の外壁面上に配置され、配管10の外壁面を加熱または冷却することにより、測定媒体と熱の授受を行う伝熱素子50と、配管10の外壁面における伝熱素子50によって加熱または冷却された部分の温度を検出する第2温度センサ30と、所定の処理を行う制御手段60とを備える。そして、伝熱素子50と配管10の外壁面との間に、伝熱素子50と配管40との間の熱流束を直接検出する熱流束センサ40を配置し、制御手段60にて、第1温度センサ20で検出された温度、第2温度センサ30で検出された温度、熱流束センサで直接検出された熱流束に基づいて、測定媒体の流量を検出する。
【選択図】図1
Description
本発明の第1実施形態について説明する。本実施形態の熱式流量センサは、配管10内を流れる測定媒体の流量を検出するものであり、温度を検出する第1、第2温度センサ20、30と、熱流束を検出する熱流束センサ40と、配管10を加熱する伝熱素子50と、制御部60とを備えている。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して第2温度センサ30の配置箇所を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して第2温度センサ30と熱流束センサ40とを一体化したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態は、第3実施形態に対して第1温度センサ20も熱流束センサ40と一体化したものであり、その他に関しては第3実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第5実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して熱流束センサ40と伝熱素子50とを一体化したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明の第6実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して第1温度センサ20の配置箇所を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
11 通路
20 第1温度センサ
30 第2温度センサ
40 熱流束センサ
50 伝熱素子
60 制御手段(制御部)
Claims (7)
- 配管(10)における外壁面のうちの所定箇所の温度を検出することによって前記配管内の通路(11)を流れる測定媒体の温度を検出する第1温度センサ(20)と、
前記第1温度センサと離間した状態で前記配管の外壁面上に配置され、前記配管の外壁面を加熱または冷却することにより、前記測定媒体と熱の授受を行う伝熱素子(50)と、
前記配管の外壁面における前記伝熱素子によって加熱または冷却された部分の温度を検出する第2温度センサ(30)と、
所定の処理を行う制御手段(60)と、を備え、
前記伝熱素子と前記配管の外壁面との間には、前記伝熱素子と前記配管との間の熱流束を検出する熱流束センサ(40)が配置されており、
前記制御手段は、前記第1温度センサで検出された温度、前記第2温度センサで検出された温度、前記熱流束センサで検出された熱流束に基づいて、前記測定媒体の流量を検出することを特徴とする熱式流量センサ。 - 前記伝熱素子は、前記熱流束センサと前記伝熱素子との積層方向から視たとき、前記熱流束センサ内に位置していることを特徴とする請求項1に記載の熱式流量センサ。
- 前記熱流束センサは、熱可塑性樹脂にて構成される絶縁基材(100)に厚さ方向に貫通する複数の第1、第2ビアホール(101、102)が形成されていると共に、前記第1、第2ビアホールに互いに異なる金属で形成された第1、第2層間接続部材(130、140)が埋め込まれ、かつ、前記絶縁基材の表面(100a)に表面パターン(121)が形成されていると共に、前記表面と反対側の裏面(100b)に裏面パターン(111)が形成され、前記第1、第2層間接続部材が前記表面パターンおよび前記裏面パターンを介して交互に直列接続された構成とされていることを特徴とする請求項1または2に記載の熱式流量センサ。
- 前記第2温度センサは、前記熱流束センサと一体化されていることを特徴とする請求項請求項3に記載の熱式流量センサ。
- 前記第1温度センサは、前記熱流束センサと一体化されていることを特徴とする請求項3または4に記載の熱式流量センサ。
- 前記伝熱素子は、熱可塑性樹脂にて構成される絶縁基材(200)に厚さ方向に貫通する複数の第1、第2ビアホール(201、202)が形成されていると共に、前記第1、第2ビアホールに互いに異なる金属で形成された第1、第2層間接続部材(230、240)が埋め込まれ、かつ、前記絶縁基材の表面(200a)に表面パターン(221)が形成されていると共に、前記表面と反対側の裏面(200b)に裏面パターン(211)が形成され、当該第1、第2層間接続部材が前記表面パターンおよび前記裏面パターンを介して交互に直列接続された構成とされており、前記熱流束センサと一体化されていることを特徴とする請求項3ないし5のいずれか1つに記載の熱式流量センサ。
- 前記第1温度センサは、前記伝熱素子と前記配管の周方向に離間して配置されることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1つに記載の熱式流量センサ。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015040555A JP6380168B2 (ja) | 2015-03-02 | 2015-03-02 | 熱式流量センサ |
EP16758714.6A EP3267162A4 (en) | 2015-03-02 | 2016-02-08 | Thermal flow rate sensor |
PCT/JP2016/053667 WO2016140019A1 (ja) | 2015-03-02 | 2016-02-08 | 熱式流量センサ |
CN201680013067.6A CN107430019B (zh) | 2015-03-02 | 2016-02-08 | 热式流量传感器 |
US15/554,112 US10458825B2 (en) | 2015-03-02 | 2016-02-08 | Thermal flow-rate sensor |
KR1020177024486A KR101902828B1 (ko) | 2015-03-02 | 2016-02-08 | 열식 유량 센서 |
TW105106135A TWI606230B (zh) | 2015-03-02 | 2016-03-01 | Thermal flow sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015040555A JP6380168B2 (ja) | 2015-03-02 | 2015-03-02 | 熱式流量センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016161415A true JP2016161415A (ja) | 2016-09-05 |
JP6380168B2 JP6380168B2 (ja) | 2018-08-29 |
Family
ID=56845008
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015040555A Active JP6380168B2 (ja) | 2015-03-02 | 2015-03-02 | 熱式流量センサ |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10458825B2 (ja) |
EP (1) | EP3267162A4 (ja) |
JP (1) | JP6380168B2 (ja) |
KR (1) | KR101902828B1 (ja) |
CN (1) | CN107430019B (ja) |
TW (1) | TWI606230B (ja) |
WO (1) | WO2016140019A1 (ja) |
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- 2016-02-08 EP EP16758714.6A patent/EP3267162A4/en not_active Withdrawn
- 2016-02-08 CN CN201680013067.6A patent/CN107430019B/zh active Active
- 2016-02-08 WO PCT/JP2016/053667 patent/WO2016140019A1/ja active Application Filing
- 2016-02-08 KR KR1020177024486A patent/KR101902828B1/ko active IP Right Grant
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---|---|
CN107430019A (zh) | 2017-12-01 |
EP3267162A4 (en) | 2018-04-11 |
JP6380168B2 (ja) | 2018-08-29 |
US10458825B2 (en) | 2019-10-29 |
CN107430019B (zh) | 2020-01-03 |
WO2016140019A1 (ja) | 2016-09-09 |
KR20170110664A (ko) | 2017-10-11 |
TWI606230B (zh) | 2017-11-21 |
TW201643383A (zh) | 2016-12-16 |
EP3267162A1 (en) | 2018-01-10 |
US20180038722A1 (en) | 2018-02-08 |
KR101902828B1 (ko) | 2018-10-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171030 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
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R250 | Receipt of annual fees |
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