JP2016160120A - 酸化物焼結体、スパッタリング用ターゲット、及びそれを用いて得られる酸化物半導体薄膜 - Google Patents
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Abstract
Description
(a)組成
本発明の酸化物焼結体は、インジウム、ガリウム及びケイ素からなる酸化物焼結体であって、ガリウムの含有量がGa/(In+Ga)原子数比で0.08以上0.49以下、かつケイ素の含有量がSi/(In+Ga+Si)原子数比で0.0001以上0.25未満であることを特徴とする。
本発明の酸化物焼結体は、ビックスバイト型構造のIn2O3相及びβ−Ga2O3型構造のGaInO3相によって構成されるが、これらに加えて(Ga,In)2O3相を多少含んでもよい。さらには、トルトバイタイト型構造のIn2(Si2O7)相を含んでもよい。
本発明の酸化物焼結体の製造では、酸化インジウム粉末と酸化ガリウム粉末からなる酸化物粉末、ならびに二酸化ケイ素粉末を原料粉末として用いることが好ましいが、一酸化ケイ素粉末や金属ケイ素粉末を用いてもよい。
本発明のターゲットは、本発明の酸化物焼結体を所定の大きさに加工することで得られる。ターゲットとして用いる場合には、さらに表面を研磨加工し、バッキングプレートに接着して得ることができる。ターゲット形状は、平板形が好ましいが、円筒形でもよい。円筒形ターゲットを用いる場合には、ターゲット回転によるパーティクル発生を抑制することが好ましい。また、上記酸化物焼結体を、例えば円柱形状に加工してタブレットとし、蒸着法やイオンプレーティング法による成膜に使用することができる。
本発明の非晶質の酸化物半導体薄膜は、主に、前記のスパッタリング用ターゲットを用いて、スパッタリング法で基板上に一旦非晶質の酸化物薄膜を形成し、次いでアニール処理を施すことによって得られる。
本発明の非晶質の酸化物半導体薄膜の膜厚は限定されるものではないが、10〜500nm、好ましくは20〜300nm、さらに好ましくは30〜100nmである。10nm未満であると十分な半導体特性が得られず、結果として高いキャリア移動度が実現しない。一方、500nmを超えると生産性の問題が生じてしまうので好ましくない。
得られた酸化物焼結体の金属元素の組成をICP発光分光法によって調べた。得られた酸化物焼結体の端材を用いて、X線回折装置(フィリップス製)を用いて粉末法による生成相の同定を行った。また、得られた酸化物焼結体を集束イオンビーム装置を用いて薄片化を行い、走査透過電子顕微鏡(日立ハイテクノロジーズ製)により結晶粒の観察を行い、エネルギー分散型X線分析(日立ハイテクノロジーズ製)により各結晶粒の組成を調べた。
得られた酸化物薄膜の組成をICP発光分光法によって調べた。酸化物薄膜の膜厚は表面粗さ計(テンコール社製)で測定した。成膜速度は、膜厚と成膜時間から算出した。酸化物薄膜のキャリア濃度及び移動度は、ホール効果測定装置(東陽テクニカ製)によって求めた。膜の生成相はX線回折測定によって同定した。
酸化インジウム粉末と酸化ガリウム粉末、ならびに二酸化ケイ素粉末を平均粒径1.0μm以下となるよう調整して原料粉末とした。これらの原料粉末を、表1及び表2の実施例及び比較例のGa/(In+Ga)原子数比、Si/(In+Ga+Si)原子数比の通りになるように調合し、水とともに樹脂製ポットに入れ、湿式ボールミルで混合した。この際、硬質ZrO2ボールを用い、混合時間を18時間とした。混合後、スラリーを取り出し、濾過、乾燥、造粒した。造粒物を、冷間静水圧プレスで3ton/cm2の圧力をかけて成形した。
表1の結果より、実施例1〜19では、ガリウム含有量がGa/(In+Ga)原子数比で0.08以上0.49以下であり、ケイ素の含有量がSi/(In+Ga+Si)原子量比で0.0001以上0.25未満の場合には、ビックスバイト型構造のIn2O3相及びβ−Ga2O3型構造のGaInO3相、β−Ga2O3型構造のGaInO3相と(Ga,In)2O3相あるいはトルトバイタイト型のIn2(Si2O7)によって構成されていた。これに対して、比較例1〜3では、酸化物焼結体のガリウム又はケイ素含有量が本発明の範囲より少ない。比較例1、2では、このためにビックスバイト型構造のIn2O3相のみによって構成される酸化物焼結体となってしまっている。また、比較例3〜6、8では、ケイ素含有量が過剰であるために、スパッタリング成膜時にアーキングが発生し、均質な膜を得ることができず、本発明の目的とする酸化物焼結体が得られていない。
Claims (10)
- インジウム、ガリウム及びケイ素を酸化物として含有し、
前記ガリウムの含有量がGa/(In+Ga)原子数比で0.08以上0.49以下であり、
前記ケイ素の含有量がSi/(In+Ga+Si)原子数比で0.0001以上0.25未満であることを特徴とする酸化物焼結体。 - ビックスバイト型構造のIn2O3相を主相とし、In2O3相以外の生成相としてβ−Ga2O3型構造のGaInO3相、あるいはβ−Ga2O3型構造のGaInO3相と(Ga,In)2O3相を含むことを特徴とする請求項1に記載の酸化物焼結体。
- トルトバイタイト型構造のIn2(Si2O7)相を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の酸化物焼結体。
- 前記ケイ素の含有量がSi/(In+Ga+Si)原子数比で0.01以上0.20以下である請求項1〜3に記載の酸化物焼結体。
- 前記ガリウムの含有量がGa/(In+Ga)原子数比で0.15以上0.45以下である請求項1〜4に記載の酸化物焼結体。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の酸化物焼結体を加工して得られるスパッタリング用ターゲット。
- 請求項6に記載のスパッタリング用ターゲットを用いてスパッタリング法によって基板上に形成された後、酸化性雰囲気における熱処理を施されたことを特徴とする非晶質の酸化物半導体薄膜。
- キャリア濃度が4.0×1018cm−3未満、かつキャリア移動度が10cm2/V・s以上であることを特徴とする請求項7に記載の酸化物半導体薄膜。
- キャリア濃度が6.0×1017cm−3以下であることを特徴とする請求項8に記載の酸化物半導体薄膜。
- キャリア移動度が15cm2/V・s以上である請求項8又は9に記載の酸化物半導体薄膜。
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