JP2016159385A - ウェハ研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェハ研磨装置は、エア室A内の圧力エア層でウェハWを研磨パッド5に押圧してウェハWを研磨する。研磨ヘッド10は、キャリア20に外嵌されて、内周側下端部にザグリが形成された円筒状のホルダ30と、ウェハWを収容する凹部41を備え、ザグリに嵌合された円板状のテンプレート40と、ホルダ30とテンプレート40との間に介装される弾性体50と、を備えている。
【選択図】図2
Description
2 ・・・ プラテン
3 ・・・ (プラテンの)回転軸
4 ・・・ モータ
5 ・・・ 研磨パッド
10・・・ 研磨ヘッド
10a・・・(研磨ヘッドの)回転軸
20・・・ キャリア
20a・・・(キャリアの)下面
21・・・ エアシール部
22・・・ エアフロートライン
30・・・ ホルダ
31・・・ ザグリ
31a・・・(ザグリの)底面
32・・・ 第1の位置決め縦孔
40・・・ テンプレート
41・・・ 凹部
42・・・ 第2の位置決め縦孔
50・・・ 弾性基材
50a・・・(弾性基材の)上面
51・・・ 第3の位置決め縦孔
60・・・ 弾性接着剤(弾性体)
70・・・ バッキングフィルム
80・・・ 位置決めピン
81・・・ 大径部
82・・・ 小径部
A ・・・ エア室
W ・・・ ウェハ
Wa・・・(ウェハの)被研磨面
Claims (4)
- 研磨ヘッドに装着されたウェハをキャリアの下方に発生させた圧力エア層で研磨パッドに押圧して前記ウェハを研磨するウェハ研磨装置であって、
前記研磨ヘッドは、
前記キャリアに外嵌されて、内周側下端部にザグリが形成された円筒状のホルダと、
前記ウェハを収容する凹部を備え、前記ザグリに嵌合された円板状のテンプレートと、
前記ホルダと前記テンプレートとの間に介装される弾性体と、
を備えていることを特徴とするウェハ研磨装置。 - 前記ホルダ及び前記テンプレートに同軸上にそれぞれ形成された位置決め用縦孔に挿通された位置決めピンを備えていることを特徴とする請求項1記載のウェハ研磨装置。
- 前記テンプレート上に被覆された弾性基材を備え、
前記ホルダと前記テンプレートと前記弾性基材とは、同一材質から成ることを特徴とする請求項1又は2記載のウェハ研磨装置。 - 前記ホルダと前記テンプレートと前記弾性基材とは、ポリフェニレンサルファイド樹脂製であることを特徴とする請求項4の何れか1項記載のウェハ研磨装置。
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