JP2019202398A - Cmp装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】簡便な機構でウェハの研磨量を局所的に変化可能なCMP装置を提供する。【解決手段】CMP装置1は、研磨ヘッド2と、プラテン10と、を備えている。プラテン10は、ウェハWを研磨する研磨パッド13が貼着された上定盤20と、ボルト31で上定盤20と一体に固定された下定盤30と、上定盤20と下定盤30との間に冷却水を圧送することにより上定盤20下定盤30に対して上方に湾曲させる流体供給源40と、を備えている。【選択図】図4
Description
本発明はウェハをCMP研磨するCMP装置に関するものである。
半導体製造分野では、シリコンウェハ等の半導体ウェハ(以下、「ウェハ」という)を平坦化するCMP装置が知られている。
特許文献1記載の研磨装置は、化学的機械的研磨、いわゆるCMP(Chemical Mechanical Polishing)技術を適用した研磨装置である。この研磨装置では、研磨ヘッドが、キャリアとリテーナリングに周縁を保持された弾性シートとの隙間に形成されたエア室のエア圧でウェハを研磨布に押し付けて研磨する。また、この研磨装置では、キャリアの下面に複数のエアバッグを設けることにより、ウェハの研磨量を局所的に変化させている。
しかしながら、上述したようなCMP装置では、ウェハの研磨量を局所的に変化させるための機構を研磨ヘッドに設ける必要があり、研磨ヘッドが複雑化するという問題があった。
そこで、簡便な機構でウェハの研磨量を局所的に変化可能なCMP装置を提供するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明に係るCMP装置は、ウェハの下面をプラテンに押し付けて研磨するCMP装置であって、前記プラテンは、前記ウェハを研磨する研磨パッドが上面に設けられた上定盤と、前記上定盤を支持する下定盤と、前記上定盤を上方に湾曲させる湾曲機構と、を備えている。
この構成によれば、湾曲機構が、上定盤を下定盤に対して上方に湾曲させることにより、上定盤の表面形状に沿って研磨パッドも湾曲するため、研磨ヘッドに複雑な機構を設けることなく、ウェハと研磨パッドとの接触具合を局所的に変化させることができる。
また、本発明に係るCMP装置は、前記湾曲機構が、前記上定盤の下面又は前記下定盤の上面に形成された流路に高圧流体を供給して前記上定盤を湾曲させることが好ましい。
この構成によれば、流体の圧力に応じて上定盤の湾曲形状を調整可能なため、ウェハと研磨パッドとの接触具合を簡便に調整することができる。
また、本発明に係るCMP装置は、前記流体が、前記プラテンを冷却する冷却水であることが好ましい。
この構成によれば、冷却水を流通させるための注水管や供給源を流用することができるため、複雑な機構を用いることなく上定盤を湾曲することができる。
また、本発明に係るCMP装置は、前記上定盤と下定盤とを締結するボルトが、平面からみて前記上定盤が湾曲する湾曲領域を囲繞するように配置されていることが好ましい。
この構成によれば、ボルトが湾曲領域の範囲を画定するため、ボルトの設置位置に応じて湾曲領域を任意に変更することができる。
また、本発明に係るCMP装置は、前記ウェハをプラテンに押し付ける研磨ヘッドが、前記プラテンの径方向にスライド可能に設けられていることが好ましい。
この構成によれば、研磨ヘッドをプラテンの径方向に移動させることにより、湾曲した研磨パッドとウェハとの接触範囲を任意に調整可能なため、ウェハの研磨量のピークをウェハ内の任意の場所に設定することができる。
本発明は、湾曲機構が、上定盤を下定盤に対して上方に湾曲させることにより、上定盤の表面形状に沿って研磨パッドも湾曲するため、研磨ヘッドに複雑な機構を設けることなく、ウェハと研磨パッドとの接触具合を局所的に変化させることができる。
本発明の実施形態について図面に基づいて説明する。なお、以下では、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。
また、構成要素等の形状、位置関係に言及するときは、特に明示した場合及び原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似又は類似するもの等を含む。
また、図面は、特徴を分かり易くするために特徴的な部分を拡大する等して誇張する場合があり、構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。また、断面図では、構成要素の断面構造を分かり易くするために、一部の構成要素のハッチングを省略することがある。
図1は、本発明の一実施形態に係るCMP装置1を模式的に示す斜視図である。図2は、CMP装置1を示す平面図及び縦断面図である。図3は、プラテン10を示す平面図及び貯水部32に流体を満たした非加圧状態を示す縦断面図である。
CMP装置1は、ウェハWの一面を平坦に研磨するものである。CMP装置1は、研磨ヘッド2と、プラテン10と、を備えている。
研磨ヘッド2は、プラテン10より小径の円盤状に形成されており、研磨ヘッド2の上方に配置された回転軸2aに連結されている。回転軸2aが図示しないモータの駆動によって回転することにより、研磨ヘッド2は、図1中の矢印D1の方向に回転する。研磨ヘッド2は、図示しない昇降装置によって垂直方向に昇降自在である。研磨ヘッド2が降下することにより、ウェハWがプラテン10に押圧される。研磨ヘッド2が研磨するウェハWは、図示しないウェハ搬送機構によって受け渡される。研磨ヘッド2は、プラテン10の径方向にスライド可能に設けられても構わない。
研磨ヘッド2は、下端に多孔質材料からなる図示しないポーラスチャックを備えている。ポーラスチャックの下面(吸着面)は、略平坦に形成されている。なお、ポーラスチャックの吸着面は、略平坦に形成されたものに限定されるものではなく、例えば、研磨後の所望のウェハ形状に応じて、中心が凸状に膨出したものや中心が凹状に窪んだものであっても構わない。ポーラスチャックは、図示しない真空源に接続されており、ウェハWを吸着保持するように構成されている。
プラテン10は、円盤状に形成されており、プラテン10の下方に配置された回転軸11に連結されている。回転軸11がモータ12の駆動によって回転することにより、プラテン10は図1中の矢印D2の方向に回転する。プラテン10の上面には、研磨パッド13が貼付されており、研磨パッド13上に図示しないノズルから研磨剤と化学薬品との混合物であるCMPスラリーが供給される。なお、図2(a)中の符号Sは、スラリーの滴下位置を示す。
プラテン10は、研磨パッド13が上面に貼付された上定盤20と、上定盤20と略同形に形成されて上定盤20を支持する下定盤30と、を備えている。
下定盤30は、等間隔に離間して設けられた12本のボルト31で上定盤20に締結されている。下定盤30は、回転軸11に連結されており、上定盤20及び下定盤30が一体となって回転するように構成されている。
下定盤30の上面には、中央に凹設された貯水部32と、貯水部32の外周を囲繞するように形成されたシール溝33と、が形成されている。
貯水部32は、回転軸11内に設けられた注水管34に接続されている。注水管34は、回転軸11と同軸上に配置され、図示しないロータリージョイントを介して流体供給源40に接続されている。貯水部32は、下定盤30の表面に形成されているが、上定盤20の下面に形成されても構わない。
シール溝33には、上定盤20と下定盤30との間をシールするOリング35が嵌合されている。
プラテン10は、上定盤20を上方に湾曲させる湾曲機構を備えている。湾曲機構は、貯水部32に流体を圧送する流体供給源40である。流体供給源40から供給される流体の圧力は、図示しないレギュレータによって調整可能である。なお、流体供給源40は、プラテン10を冷却するための冷却水を供給する供給源であるのが好ましい。これにより、装置を簡略化することができる。
流体供給源40から貯水部32に供給された圧縮流体が、ボルト31で締結された外周縁を起点として、上定盤20の中央付近を上方に湾曲させる。上定盤20の湾曲具合は、流体供給源40から供給される流体の圧力に応じて微調整可能である。なお、ボルトの31の設置位置は、プラテン10の外周に限定されない。ボルト31は、上定盤20が湾曲する湾曲領域の範囲を画定するため、ボルト31の設置位置に応じて湾曲領域を任意に変更することができる。
CMP装置1の動作は、図示しない制御手段によって制御される。制御手段は、CMP装置1を構成する構成要素をそれぞれ制御するものである。制御手段は、例えばコンピュータであり、CPU、メモリ等により構成される。なお、制御手段の機能は、ソフトウェアを用いて制御することにより実現されても良く、ハードウェアを用いて動作するものにより実現されても良い。
次に、CMP装置1の作用について図4に基づいて説明する。図4は、貯水部32に圧縮流体を供給した状態を示す図である。流体供給源40から圧縮流体が貯水部32に供給されると、上定盤20の中央付近が上方に湾曲する。これにより、研磨パッド13が凸状に湾曲する。
ウェハWは、その全面が研磨ヘッド2に吸着保持されている。研磨ヘッド2は、ウェハWを研磨パッド13に押し付けるように降下する。
そして、研磨ヘッド2及びプラテン10を回転させた状態でウェハWを凸状に湾曲した研磨パッド13に押圧することにより、凸状に湾曲した研磨パッド13のピーク付近に接触したウェハW研磨量が他の部分より多くなるように研磨が進行する。
なお、研磨ヘッド2をプラテン10の径方向に移動させることにより、湾曲した研磨パッド13とウェハWとの接触位置を任意に調整可能なため、ウェハWの研磨量のピークをウェハW内の任意の場所に設定することができる。
次に、研磨パッド13を上方に湾曲させて研磨した場合と平坦な研磨パッド13で研磨した場合の研磨量を比較した評価データについて説明する。なお、以下では、前者を本発明の実施例と称し、後者を比較例と称す。本実施例では、水圧0.2MPaの冷却水を貯水部32に供給した。一方、比較例では、水圧0MPaの冷却水を貯水部32に供給した。なお、本発明は、本実施例の構成に限定して解釈されるものでない。
図5は、本実施例及び比較例のプラテン表面の高さ変位を示すものである。図5は、縦軸にプラテン表面の高さ変位、横軸に研磨ヘッドの回転中心を原点として径方向座標を表している。図6は、研磨ヘッド2とプラテン10とを同軸上で回転させた場合の本実施例及び比較例の研磨レートを示すものである。図6は、縦軸に研磨レート、横軸にウェハの回転中心を原点として径方向座標を表している。なお、本評価で設定された主な研磨条件は、表1の通りである。
図5によれば、プラテン10の略全面において本実施例の方がプラテン表面の高さが高いことが分かる。具体的には、比較例は、−200mm≦x≦200mm(±20mm以下を除く)の領域において、高さ変位がほぼ0で略平坦であるのに対して、本実施例では、−200mm≦x≦200mm(±20mm以下を除く)の領域において、外周側では80μm程度、中央付近では130μm程度の変位が生じており、研磨パッド13が上方に凸状に湾曲していることが分かる。
また、図6によれば、比較例に対して、本実施例の研磨レートが局所的に変化していることが分かる。具体的には、本実施例は、−110mm≦x≦110の領域において、比較例よりも研磨レートが大きく、x<−110mm、110<xの領域において、比較例よりも研磨レートが小さいことが分かる。
また、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り、上記以外にも種々の改変を為すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。
1 ・・・CMP装置
2 ・・・研磨ヘッド
2a ・・・(研磨ヘッドの)回転軸
10 ・・・プラテン
11 ・・・(プラテンの)回転軸
12 ・・・モータ
13 ・・・研磨パッド
20 ・・・上定盤
30 ・・・下定盤
31 ・・・ボルト
32 ・・・流路
33 ・・・シール溝
34 ・・・注水管
35 ・・・Oリング
40 ・・・流体供給源
W ・・・ウェハ
2 ・・・研磨ヘッド
2a ・・・(研磨ヘッドの)回転軸
10 ・・・プラテン
11 ・・・(プラテンの)回転軸
12 ・・・モータ
13 ・・・研磨パッド
20 ・・・上定盤
30 ・・・下定盤
31 ・・・ボルト
32 ・・・流路
33 ・・・シール溝
34 ・・・注水管
35 ・・・Oリング
40 ・・・流体供給源
W ・・・ウェハ
Claims (5)
- ウェハの下面をプラテンに押し付けて研磨するCMP装置であって、
前記プラテンは、
前記ウェハを研磨する研磨パッドが上面に設けられた上定盤と、
前記上定盤を支持する下定盤と、
前記上定盤を下定盤に対して上方に湾曲させる湾曲機構と、
を備えていることを特徴とするCMP装置。 - 前記湾曲機構は、前記上定盤の下面又は前記下定盤の上面に形成された流路に高圧流体を供給して前記上定盤を湾曲させることを特徴とする請求項1記載のCMP装置。
- 前記流体は、前記プラテンを冷却する冷却水であることを特徴とする請求項2記載のCMP装置。
- 前記上定盤と下定盤とを締結するボルトが、平面からみて前記上定盤が湾曲する湾曲領域を囲繞するように配置されていることを特徴とする請求項1から3の何れか1項記載のCMP装置。
- 前記ウェハをプラテンに押し付ける研磨ヘッドが、前記プラテンの径方向にスライド可能に設けられていることを特徴とする請求項1から4の何れか1項記載のCMP装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018100080A JP2019202398A (ja) | 2018-05-24 | 2018-05-24 | Cmp装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018100080A JP2019202398A (ja) | 2018-05-24 | 2018-05-24 | Cmp装置 |
Publications (1)
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JP2019202398A true JP2019202398A (ja) | 2019-11-28 |
Family
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Family Applications (1)
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JP2018100080A Pending JP2019202398A (ja) | 2018-05-24 | 2018-05-24 | Cmp装置 |
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JP (1) | JP2019202398A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111185846A (zh) * | 2020-01-09 | 2020-05-22 | 徐绪友 | 一种多尺寸兼容的晶圆研磨设备 |
-
2018
- 2018-05-24 JP JP2018100080A patent/JP2019202398A/ja active Pending
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CN111185846A (zh) * | 2020-01-09 | 2020-05-22 | 徐绪友 | 一种多尺寸兼容的晶圆研磨设备 |
CN111185846B (zh) * | 2020-01-09 | 2021-06-29 | 徐绪友 | 一种多尺寸兼容的晶圆研磨设备 |
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