JP2016152668A - リニアモータ、磁石ユニット、ステージ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リニアモータ2は、可動子10と、固定子20と、を有する。一対のバックヨーク22a,22bは、可動子10をその可動方向(X方向)と垂直な方向(Y方向)から挟み込むように対向して設けられる。複数の主極磁石24aは、一対のバックヨーク22それぞれの内側側面S1に、可動方向に沿って離間して設けられる。第1補極磁石24cおよび第2補極磁石24dは、隣接する2個の主極磁石24aの間ごとに、可動方向に隣接して設けられる。
【選択図】図3
Description
Wa+Wc+Wd=Wp
0.5×Wp≦Wa≦0.9×Wp
0.1×Wp≦Wc+Wd≦0.5×Wp
を満たしてもよい。
磁石ユニットごとにバックヨークに組み付けることにより、磁石ユニット全体としては、バックヨークとの間に吸引する力が作用する一方で、主極磁石をヨークから引き剥がそうとする力を、弱めることができる。また隣接する磁石ユニット間には吸引力が働くため、組み立て易くなる。
これらの条件を勘案すると、主極磁石24a、補極磁石24c,24dそれぞれの幅は、以下の式を満たすように定めればよい。
Wa+Wc+Wd=Wp
0.5×Wp≦Wa≦0.9×Wp
0.1×Wp≦Wc+Wd≦0.5×Wp
設計および製造の簡素化の観点から、Wc=Wdとしてもよい。
図5(a)に示すように、主極磁石24aの両側面に、第2補極磁石24d、第1補極磁石24cが接着剤により張り合わされ、図5(b)に示すように2種類の磁石ユニット26x,26yが構成される。そしてヨーク22の面S1に、磁石ユニット26x,26yが交互に、接着剤により貼り付けられる。隣接する磁石ユニット26x,26yの間にも接着剤を塗布してもよい。以上が固定子20の製造方法である。
これにより、複数の界磁磁石24、具体的には複数の主極磁石24aと複数の第1補極磁石24c、第2補極磁石24dをヨーク22に貼り合わせる際に、従来のハルバッハ配列ではなしえない順序で組み立てることができ、これにより、主極磁石24aに対して、バックヨーク22から引き離そうとする力が集中的に発生するのを抑制できる。言い換えれば、主極磁石24aの剥離を抑制しうる順序で、界磁磁石24をヨーク22に貼り付けることができる。これにより、組み立て工程、および/または組み立て後の信頼性を高めることができる。
図6は、実施の形態に係るリニアモータ2を用いたステージ装置100の平面図である。このステージ装置100はXYステージと称され、対象物をX方向、Y方向に位置決めする。
Yステージ120は、一対のスライダ124と、一対のスライダ124の間に横架する横架材122と、を備える。横架材122の上には、Xステージ130をX方向に移動させるXリニアモータ2Xが設けられている。Xリニアモータ2Xは、横架材122に固定されX方向に延在する固定子20Yと、Xステージ130の下面に結合された可動子(コイル)10Yとを備える。かくしてXリニアモータ2Xの可動子10を制御することにより、Xステージ130がX方向に位置決めされる。
実施の形態では、図5(a)〜(c)に示すように、主極磁石24aと、その両端の第1補極磁石24c、第2補極磁石24dをひとつの磁石ユニット26として構成した後に、ヨーク22に組み付けたが本発明はそれには限定されない。たとえば磁石ユニット26xと磁石ユニット26yを接着して、ひとつの磁石ユニット26xyを構成し、この磁石ユニット26xyを単位として磁石ユニット26に接着してもよい。
あるいは、はじめに複数の主極磁石24aを横方向に所定間隔で固定子20に接着した後に、第1補極磁石24c、第2補極磁石24dを、間隔を埋めるように接着してもよい。すなわち界磁磁石24のヨーク22の組み付け順序は特に限定されず、界磁磁石24の剥離を防止可能な順序であれば、任意の順序で組み立ててもよい。
実施の形態では、第1補極磁石24c、第2補極磁石24dそれぞれが、主極磁石24aの磁極の方向と垂直方向に着磁される場合を説明したが本発明はそれには限定されない。第1補極磁石24c、第2補極磁石24dは、垂直方向に対して勾配をもって着磁されてもよい。
実施の形態では第1補極磁石24cと第2補極磁石24dの幅Wc,Wdが等しい場合を説明したが、磁気ピッチWpが一定となる条件下で、それらの幅を異ならしてもよい。
Claims (5)
- 可動子と、固定子と、を有するリニアモータであって、
前記固定子は、
前記可動子をその可動方向と垂直な方向から挟み込むように、対向して設けられた一対のバックヨークと、
前記一対のバックヨークそれぞれの内側側面に、前記可動方向に沿って離間して設けられた複数の主極磁石と、
隣接する2個の主極磁石の間ごとに、前記可動方向に隣接して設けられる第1補極磁石および第2補極磁石と、
を備えることを特徴とするリニアモータ。 - 磁極ピッチをWpとするとき、前記主極磁石の幅Wa、前記第1補極磁石の幅Wc、前記第2補極磁石の幅Wdは、
Wa+Wc+Wd=Wp
0.5×Wp≦Wa≦0.9×Wp
0.1×Wp≦Wc+Wd≦0.5×Wp
を満たすことを特徴とする請求項1に記載のリニアモータ。 - 前記主極磁石と、その両端に設けられた2個の補極磁石は、一体構成された後に、前記バックヨークに組み付けられることを特徴とする請求項1または2に記載のリニアモータ。
- 請求項1から3のいずれかに記載のリニアモータを備えることを特徴とするステージ装置。
- 可動子と、固定子と、を有するリニアモータに使用される磁石ユニットであって、
前記固定子は、前記可動子をその可動方向と垂直な方向から挟み込むように対向して設けられた一対のバックヨークを含み、前記一対のバックヨークそれぞれの内側側面に、前記可動方向に沿って前記磁石ユニットが複数個、配置され、
前記磁石ユニットは、
主極磁石と、
前記主極磁石の両端に密に固着した補極磁石と、
を備えることを特徴とする磁石ユニット。
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