JP2016143872A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】機能水生成部400においては、予め定められた液体に予め定められた気体が所定量溶解され、機能水が生成される。生成された機能水は、配管p2およびリンス処理用供給管pp2を通して洗浄処理部に供給される。洗浄処理部においては、機能水生成部400から供給された機能水がリンス処理用供給管pp2およびリンス処理用ノズルを通して基板に供給される。機能水を生成するために機能水生成部400に供給される液体または機能水生成部400により生成された機能水のうち少なくとも一方を冷却するように、冷却ユニット320が設けられる。
【選択図】図2
Description
(1)基板処理装置の構成
図1は第1の実施の形態に係る基板処理装置の構成を示す模式図である。図1に示すように、本実施の形態に係る基板処理装置100は、薬液ユニット1、リンス液ユニット2、洗浄処理部3および制御部4を含む。
一般に、アルカリ性の薬液を用いて基板Wの薬液処理が行われた後に純水を用いた基板Wのリンス処理が行われる場合には、基板W上でアルカリ性の薬液が純水により薄められる。それにより、弱アルカリ性領域(およそph9〜ph10)の混合液が生成される。この場合、基板W上のアルミニウムなどの金属膜が損傷をうけるペーハーショックが起こる。加えて、純水により基板Wのリンス処理を行う場合には、基板Wが帯電することにより基板W上の金属膜が損傷を受ける場合がある。
機能水生成部400において生成される炭酸水は、図2の配管p2およびリンス処理用供給管pp2を通して図1のリンス処理用ノズル70から基板Wに吐出される。このとき、洗浄処理部3内でリンス処理用ノズル70を流れる炭酸水は大気圧雰囲気に解放される。そのため、基板Wに吐出される炭酸水の圧力は、ほぼ大気圧となり、配管p2、リンス処理用供給管pp2およびリンス処理用ノズル70を流れる炭酸水の圧力に比べて低くなる。
図4は、第1の実施の形態に係るリンス液ユニット2の他の構成例を示すブロック図である。図4のリンス液ユニット2においては、冷却ユニット320および温度センサTS1が配管p1ではなく配管p2に介挿される。すなわち、冷却ユニット320が配管p2における機能水生成部400の下流に設けられる。また、冷却ユニット320の下流に温度センサTS1が設けられる。それにより、本例の冷却ユニット320は、機能水生成部400により生成された炭酸水を冷却する。また、冷却ユニット320により冷却された炭酸水の温度が温度センサTS1により検出される。
第2の実施の形態に係る基板処理装置は、以下の点を除いて第1の実施の形態に係る基板処理装置100と同じ構成および動作を有する。図5は、第2の実施の形態に係る基板処理装置の構成を示す模式図である。図5に示すように、第2の実施の形態に係る洗浄処理部3には、第1の実施の形態に係る洗浄処理部3(図1)の構成に加えて冷却気体供給部510および温度センサTS2が設けられる。
第3の実施の形態に係る基板処理装置は、以下の点を除いて第2の実施の形態に係る基板処理装置と同じ構成および動作を有する。図6は、第3の実施の形態に係る基板処理装置の構成を示す模式図である。図6に示すように、第3の実施の形態に係る洗浄処理部3においては、図5の真空吸着方式のスピンチャック21に代えて機械式のスピンチャック21が用いられる。具体的には、本例のスピンチャック21は、円板状のスピンベース21aおよび複数のチャックピン21bを有する。複数のチャックピン21bは、スピンベース21a上に設けられ、基板Wの外周部を保持する。
第4の実施の形態に係る基板処理装置は、以下の点を除いて第2の実施の形態に係る基板処理装置と同じ構成および動作を有する。図7は、第4の実施の形態に係る基板処理装置の構成を示す模式図である。図7に示すように、第4の実施の形態に係る洗浄処理部3には、図5の冷却気体供給部510に代えて気体供給部610、排気部620および圧力センサPS2が設けられる。上記のように、チャンバCHは、基板Wの搬入および搬出用の開口部(図示せず)がシャッタ(図示せず)で閉じられることにより、内部空間が密閉されるように形成されている。
第5の実施の形態に係る基板処理装置は、以下の点を除いて第2の実施の形態に係る基板処理装置と同じ構成および動作を有する。図8は、第5の実施の形態に係る基板処理装置の構成を示す模式図である。
(1)第1の実施の形態に関して
図2および図4のリンス液ユニット2においては、冷却ユニット320は機能水生成部400の上流または下流に設けられているが、本発明はこれに限られない。冷却ユニット320は、機能水生成部400に設けられてもよい。この場合、機能水生成部400において機能水が生成されるとともに生成された機能水が冷却される。
第2の実施の形態に係る基板処理装置は枚葉式の基板処理装置であるが、本発明はこれに限定されない。基板処理装置はバッチ式の基板処理装置であってもよい。
第3の実施の形態に係る基板処理装置においては、スピンチャック21により回転する基板Wの裏面に冷却流体を供給することにより基板Wが冷却されるが、本発明はこれに限定されない。回転しない基板Wにリンス液を供給することによりリンス処理が可能である場合には、スピンチャック21に代えてクーリングプレート上でリンス処理を行ってもよい。
第4の実施の形態に係る基板処理装置は枚葉式の基板処理装置であるが、本発明はこれに限定されない。基板処理装置はバッチ式の基板処理装置であってもよい。
第1〜第5の実施の形態においては、図3のリンス液ユニット2に脱気モジュール310が設けられるが、本発明はこれに限定されない。図3の純水供給源8から予め脱気された純水がリンス液ユニット2に供給される場合には、脱気モジュール310は設けられなくてもよい。それにより、リンス液ユニット2の小型化が実現される。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各構成要素との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
2 リンス液ユニット
3 洗浄処理部
4 制御部
8 純水供給源
9 気体供給源
21 スピンチャック
21a スピンベース
21b チャックピン
23 処理カップ
24 ガード
25 回転軸
26 冷却流体供給管
27 下面ノズル
28 冷却流体供給部
34 排液管
35 回収管
36 チャック回転駆動機構
37 遮断板昇降駆動機構
38 遮断板回転駆動機構
50 薬液処理用ノズル
70 リンス処理用ノズル
81 アーム
82 支持軸
83 遮断板
84 気体供給路
100 基板処理装置
310 脱気モジュール
320 冷却ユニット
330 気液混合モジュール
340 ミキシングバルブ
400 機能水生成部
510 冷却気体供給部
610 気体供給部
620 排気部
CH チャンバ
p1,p2,p3,p4,p5,p6,pp3,pp4,pp5,pp6 配管
PA 第1ポート
PB 第2ポート
PC 第3ポート
PD 第4ポート
PE 液体導入口
PF 機能水導出口
PG 第5ポート
pp1 薬液処理用供給管
pp2 リンス処理用供給管
pb バイパス管
PS1,PS3 圧力センサ
TS1,TS2,TS3 温度センサ
v1,v2,v3 バルブ
W 基板
Claims (11)
- 基板に処理液を用いた処理を行う処理部と、
前記処理部に前記処理液を供給する処理液供給系と、
冷却部とを備え、
前記処理液供給系は、
予め定められた液体に予め定められた気体を溶解させることにより前記処理液を生成する処理液生成部と、
前記液体を前記処理液生成部に導く液体流路と、
前記処理液生成部により生成された前記処理液を前記処理部に導く処理液流路とを含み、
前記冷却部は、前記処理液供給系における前記液体および前記処理液のうち少なくとも一方を冷却する、基板処理装置。 - 前記冷却部は、前記処理部における前記処理液の温度が常温よりも低くなるように、前記処理液供給系における前記液体および前記処理液のうち少なくとも一方を冷却する、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記処理液生成部は、前記気体を加圧しつつ前記液体に供給することにより前記処理液を生成し、
前記冷却部は、前記液体流路を流れる前記液体を冷却し、
前記基板処理装置は、
前記冷却部により冷却された前記液体の温度を検出する温度検出部と、
前記処理液生成部により生成される前記処理液中の気体の濃度が前記温度検出部により検出された温度かつ大気圧での前記処理液の溶解度よりも低くなるように、前記処理液生成部において前記液体に供給される前記気体の圧力を制御する制御部とをさらに備える、請求項1または2記載の基板処理装置。 - 基板に処理液を用いた処理を行う処理部と、
予め定められた液体に予め定められた気体を溶解させることにより前記処理液を生成する処理液生成部と、
前記処理液生成部により生成された前記処理液を前記処理部に導く処理液流路と、
前記処理部において前記処理液流路から基板に供給される前記処理液を冷却する冷却部とを備える、基板処理装置。 - 前記処理部は、基板を保持する保持部を含み、
前記処理液流路は、前記処理部において前記保持部により保持される基板に前記処理液を吐出するノズルを含み、
前記冷却部は、前記保持部により保持される基板を取り囲む雰囲気の温度が常温よりも低くなるように前記雰囲気を冷却する、請求項4記載の基板処理装置。 - 前記処理液流路を流れる処理液の温度を検出する第1の温度検出部と、
前記雰囲気の温度を検出する第2の温度検出部と、
前記第1および第2の温度検出部により検出された温度に基づいて、前記雰囲気の温度が前記処理液流路を流れる前記処理液の温度以下となるように前記冷却部を制御する制御部とをさらに備える、請求項5記載の基板処理装置。 - 前記処理部は、基板を保持する保持部を含み、
前記処理液流路は、前記処理部において前記保持部により保持される基板に前記処理液を吐出するノズルを含み、
前記冷却部は、前記保持部により保持される基板を冷却する、請求項4記載の基板処理装置。 - 前記処理液流路を流れる処理液の温度を検出する第3の温度検出部と、
前記保持部により保持される基板の温度を検出する第4の温度検出部と、
前記第3および第4の温度検出部により検出された温度に基づいて、前記保持部により保持される基板の温度が前記処理液流路を流れる前記処理液の温度以下となるように前記冷却部を制御する制御部とをさらに備える、請求項7記載の基板処理装置。 - 基板に処理液を用いた処理を行うための処理室と、
予め定められた液体に予め定められた気体を溶解させることにより前記処理液を生成する処理液生成部と、
前記処理液生成部により生成された処理液を前記処理室に導く処理液流路と、
前記処理室内で基板に供給される処理液の圧力を大気圧よりも高く保持する圧力保持部とを備える、基板処理装置。 - 前記圧力保持部は、前記処理室内の圧力を調整可能に構成された、請求項9記載の基板処理装置。
- 前記処理室内で基板を水平に保持する保持部をさらに備え、
前記処理液流路は、前記保持部により保持される基板の上面に前記処理液を吐出するノズルを含み、
前記圧力保持部は、前記保持部により保持される基板の上面に対向するように構成された遮断板を含み、
前記遮断板は、前記ノズルから基板の上面に前記処理液が吐出される際に、基板の上面と当該遮断板との間の空間が前記処理液で満たされるように配置される、請求項9記載の基板処理装置。
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