JP2016143863A - 波長可変レーザ装置及び光干渉断層計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の反射鏡と、第2の反射鏡と、第1の反射鏡と第2の反射鏡との間に形成された活性層と、を有し、活性層と第2の反射鏡との間に間隙が形成され、間隙の長さが変化することで共振波長が変化する波長可変レーザ装置であって、活性層は、第1の活性層と、利得スペクトルのピーク波長が第1の活性層の利得スペクトルのピーク波長と異なる第2の活性層と、を有し、間隙の長さに応じて、第1の活性層と第2の活性層の各々に対する励起が制御される。
【選択図】図1
Description
Lgap ≒ 1.6 × λL ・・・(1)
本発明の第1実施形態による波長可変レーザ装置及びその波長可変レーザ装置を用いた測定装置について図1乃至図5を用いて説明する。
まず、本実施形態による波長可変レーザ装置10について説明する。
次に、本実施形態による波長可変レーザ装置の評価結果について説明する。
次に、本実施形態による波長可変レーザ装置を用いた測定装置について図4を用いて説明する。図4は、本実施形態による測定装置を示す概略図である。
本発明の第2実施形態による波長可変レーザ装置について図5を用いて説明する。図5は、本実施形態による波長可変レーザ装置を示す断面図である。図1乃至図4に示す第1実施形態による波長可変レーザ装置等と同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略または簡潔にする。
本発明の第3実施形態による波長可変レーザ装置について図6を用いて説明する。図6は、本実施形態による波長可変レーザ装置を示す断面図である。図1乃至図5に示す第1又は第2実施形態による波長可変レーザ装置等と同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略または簡潔にする。
本発明の第4実施形態による波長可変レーザ装置について図7を用いて説明する。図7は、本実施形態による波長可変レーザ装置を示す断面図である。図1乃至図6に示す第1乃至第3実施形態による波長可変レーザ装置等と同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略または簡潔にする。
本発明の第5実施形態による波長可変レーザ装置について図8を用いて説明する。図8は、本実施形態による波長可変レーザ装置の駆動方法を示す図である。図1乃至図7に示す第1乃至第4実施形態による波長可変レーザ装置等と同一の構成要素には、同一の符号を付して説明を省略または簡潔にする。
上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
10…波長可変レーザ装置
12…共振器
101…基板
102…下部反射鏡
103…積層体
104…間隙、エアギャップ
106…上部反射鏡
110、113…電極
122…梁状の支持部、可動機構
140…第1の活性層
141…第1の半導体層
142…第2の活性層
143…第2の半導体層
150,151…電極
Claims (14)
- 第1の反射鏡と、第2の反射鏡と、前記第1の反射鏡と前記第2の反射鏡との間に形成された活性層と、を有し、前記活性層と前記第2の反射鏡との間に間隙が形成され、前記間隙の長さが変化することで共振波長が変化する波長可変レーザ装置であって、
前記活性層は、第1の活性層と、前記第1の活性層の上に形成され、利得スペクトルのピーク波長が前記第1の活性層の利得スペクトルのピーク波長と異なる第2の活性層と、を有し、
前記間隙の長さに応じて、前記第1の活性層と前記第2の活性層の各々に対する励起が制御される
ことを特徴とする波長可変レーザ装置。 - 前記第1の活性層と前記第2の活性層との間に形成された第1の半導体層と、
前記第2の活性層の上に形成された、前記第1の半導体層とは反対の導電型の第2の半導体層と、
前記第1の半導体層に電気的に接続された第1の電極と、
前記第2の半導体層に電気的に接続された第2の電極と、を更に有し、
前記第1の電極を介して前記第1の活性層に注入される電流と、前記第2の電極を介して前記第2の活性層に注入される電流とを、前記間隙の長さに応じてそれぞれ制御することにより、前記第1の活性層と前記第2の活性層の各々に対する励起が制御される
ことを特徴とする請求項1記載の波長可変レーザ装置。 - 前記第1の活性層及び前記第2の活性層のうちの一方に接続された半導体層と、
前記半導体層に電気的に接続された電極と、を更に有し、
前記電極を介して前記第1の活性層及び前記第2の活性層のうちの前記一方に注入される電流を、前記間隙の長さに応じて制御することにより、前記第1の活性層及び前記第2の活性層のうちの前記一方に対する励起が制御され、
光の照射を、前記間隙の長さに応じて制御することにより、前記第1の活性層及び前記第2の活性層のうちの他方に対する励起が制御される
ことを特徴とする請求項1記載の波長可変レーザ装置。 - 前記間隙の長さに応じて第1の波長の光を照射することにより、前記第1の活性層及び前記第2の活性層のうちの一方の励起が制御され、
前記間隙の長さに応じて、前記第1の波長とは異なる第2の波長の光を照射することにより、前記第1の活性層及び前記第2の活性層のうちの他方の励起が制御される
ことを特徴とする請求項1記載の波長可変レーザ装置。 - 前記第2の活性層上に形成された半導体層と、
前記半導体層に電気的に接続された電極と、を更に有し、
前記電極を介して注入する電流の大きさを、前記間隙の長さに応じて制御することにより、前記第1の活性層と前記第2の活性層の各々に対する励起が制御される
ことを特徴とする請求項1記載の波長可変レーザ装置。 - 前記間隙の長さが所定値以上の際における前記第1の活性層及び前記第2の活性層のうちの一方の励起強度は、前記間隙の長さが前記所定値未満の際における前記第1の活性層及び前記第2の活性層のうちの前記一方の励起強度より強く、
前記間隙の長さが前記所定値以上の際における前記第1の活性層及び前記第2の活性層のうちの他方の励起強度は、前記間隙の長さが前記所定値未満の際における前記第1の活性層及び前記第2の活性層の前記他方の励起強度より弱い
ことを特徴とした請求項1乃至5のいずれか1項に記載の波長可変レーザ装置。 - 前記間隙を減少させる際における前記第1の活性層及び前記第2の活性層のうちの一方の励起強度は、前記第1の活性層及び前記第2の活性層のうちの他方の励起強度より高く、
前記間隙を増加させる際における前記第1の活性層及び前記第2の活性層のうちの前記他方の励起強度は、前記第1の活性層及び前記第2の活性層のうちの前記一方の励起強度より高い
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の波長可変レーザ装置。 - 前記第1の活性層の前記利得スペクトルの前記ピーク波長及び前記第2の活性層の前記利得スペクトルの前記ピーク波長のうちの一方は、前記第1の反射鏡又は前記第2の反射鏡の高反射帯域の中心波長より長く、
前記第1の活性層の前記利得スペクトルの前記ピーク波長及び前記第2の活性層の前記利得スペクトルの前記ピーク波長のうちの他方は、前記第1の反射鏡又は前記第2の反射鏡の高反射帯域の中心波長より短い
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の波長可変レーザ装置。 - 前記第1の反射鏡と前記第2の反射鏡とを含む共振器における縦モード間隔は、前記第1の反射鏡の高反射帯域及び前記第2の反射鏡の高反射帯域のいずれよりも小さい
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の波長可変レーザ装置。 - 1060nmを含む波長域で発振波長が掃引され、
前記第1の反射鏡と前記第2の反射鏡とを含む共振器における縦モード間隔は30nmより大きい
ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の波長可変レーザ装置。 - 前記第1の反射鏡と前記第2の反射鏡とを含む共振器における縦モード間隔は、発振波長での33meVのエネルギー差に相当する波長差より大きい
ことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の波長可変レーザ装置。 - 1060nmを含む波長域で発振波長が掃引され、
前記第1の反射鏡と前記第2の反射鏡との間隔を変化させていない状態における前記間隙の長さは、1.7μmより大きい
ことを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の波長可変レーザ装置。 - 前記第1の反射鏡と前記第2の反射鏡との間隔を変化させていない状態における前記間隙の長さは、前記第1の反射鏡又は前記第2の反射鏡の高反射帯域の中心波長の1.6倍より大きい
ことを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の波長可変レーザ装置。 - 請求項1乃至13のいずれか1項に記載の波長可変レーザ装置と、
前記波長可変レーザ装置からの光を、測定対象物へ照射される照射光と参照光とに分岐させ、前記測定対象物に照射された前記照射光の反射光と前記参照光とによる干渉光を発生させる干渉光学系と、
前記干渉光を受光する光検出部と、
前記光検出部からの信号に基づき、前記測定対象物の情報を取得する情報取得部と、
を有することを特徴とする光干渉断層計。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015021300A JP6730783B2 (ja) | 2015-02-05 | 2015-02-05 | 波長可変レーザ装置及び光干渉断層計 |
PCT/JP2016/000455 WO2016125474A1 (en) | 2015-02-05 | 2016-01-29 | Wavelength tunable laser device and optical coherence tomography apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015021300A JP6730783B2 (ja) | 2015-02-05 | 2015-02-05 | 波長可変レーザ装置及び光干渉断層計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016143863A true JP2016143863A (ja) | 2016-08-08 |
JP6730783B2 JP6730783B2 (ja) | 2020-07-29 |
Family
ID=55349898
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015021300A Active JP6730783B2 (ja) | 2015-02-05 | 2015-02-05 | 波長可変レーザ装置及び光干渉断層計 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6730783B2 (ja) |
WO (1) | WO2016125474A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019187666A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | 株式会社Qdレーザ | 半導体レーザおよび検査装置 |
WO2019220795A1 (ja) * | 2018-05-18 | 2019-11-21 | 株式会社Qdレーザ | 面発光レーザおよび検査装置 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA3048197A1 (en) | 2016-12-21 | 2018-06-28 | Acucela Inc. | Miniaturized mobile, low cost optical coherence tomography system for home based ophthalmic applications |
CN112638233B (zh) | 2018-06-20 | 2024-06-14 | 奥克塞拉有限公司 | 基于家庭的眼科应用的微型移动低成本光学相干断层扫描系统 |
EP4081096A4 (en) | 2019-12-26 | 2024-01-10 | Acucela Inc. | OPTICAL COHERENCE TOMOGRAPHY PATIENT ALIGNMENT SYSTEM FOR HOME-BASED OPHTHALMIC APPLICATIONS |
US10959613B1 (en) | 2020-08-04 | 2021-03-30 | Acucela Inc. | Scan pattern and signal processing for optical coherence tomography |
AU2021324968A1 (en) | 2020-08-14 | 2023-03-02 | Acucela Inc. | System and method for optical coherence tomography a-scan decurving |
US11393094B2 (en) | 2020-09-11 | 2022-07-19 | Acucela Inc. | Artificial intelligence for evaluation of optical coherence tomography images |
US11911105B2 (en) | 2020-09-30 | 2024-02-27 | Acucela Inc. | Myopia prediction, diagnosis, planning, and monitoring device |
WO2022204622A1 (en) | 2021-03-24 | 2022-09-29 | Acucela Inc. | Axial length measurement monitor |
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2015
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2016
- 2016-01-29 WO PCT/JP2016/000455 patent/WO2016125474A1/en active Application Filing
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2016125474A1 (en) | 2016-08-11 |
JP6730783B2 (ja) | 2020-07-29 |
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RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
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