JP2016142753A - Photosensitive resin composition, cured member comprising the same, and image display device having the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、液晶表示装置や有機EL表示装置等の画像表示装置などに用いられる保護膜、絶縁膜、平坦化膜、カラムスペーサー、バンク、カラーフィルター、樹脂ブラックマトリックスなどの部材をフォトリソでパターニングして形成可能な感光性樹脂組成物に関する。より詳細には、低温で形成可能な感光性樹脂組成物、それで構成される硬化部材、それを備えた画像表示装置に関する。 In the present invention, members such as a protective film, an insulating film, a planarizing film, a column spacer, a bank, a color filter, and a resin black matrix used for an image display device such as a liquid crystal display device or an organic EL display device are patterned with photolithography. It is related with the photosensitive resin composition which can be formed. More specifically, the present invention relates to a photosensitive resin composition that can be formed at a low temperature, a cured member composed thereof, and an image display device including the same.
近年、軽量化や耐衝撃性、曲げ特性などの要求特性を満たすフレキシブルディスプレイが普及してきており、それらにおいては部材を形成するための基板として、フレキシブルなプラスチック基板が用いられている。また、コストダウンや少量多品種への対応としてのプリンティングエレクトロニクスの観点でもロール・ツー・ロール等に対応できるフレキシブルなプラスチック基板が検討されている。 In recent years, flexible displays that satisfy required characteristics such as weight reduction, impact resistance, and bending characteristics have become widespread, and in these, flexible plastic substrates are used as substrates for forming members. In addition, flexible plastic substrates that can be used for roll-to-roll are also being studied from the viewpoint of printing electronics as a means of reducing costs and dealing with a small variety of products.
このようなフレキシブルなプラスチック基板としては、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレートなどが検討されているが、これらは従来のガラス基板と比べ耐熱性に劣る。そこで、プラスチック基板にかかる熱的なストレスを軽減するため、フレキシブルディスプレイの製造プロセスにおいては従来よりも低温化が求められている。フレキシブルディスプレイを製造する上で最も高温が要求されるプロセスの一つに保護膜や絶縁膜などの部材を形成するためのベーク工程があり、このベーク工程の低温化が求められている。
また、この他にも例えば液晶ディスプレイの偏光膜を塗布式で形成することで軽量化やコストダウンを求める動きがあるが、塗布型偏光膜上に形成する保護膜なども、偏光膜や液晶層などにダメージを与えない温度で形成させる必要があり、低温化(低温硬化性)が求められる。
さらに、例えば画像表示装置に用いられるカラーフィルターにおいては、高コントラスト化を達成する方法として、色材を顔料系から染料系へ移行することが種々検討されているが、染料は顔料に比べて熱に弱く、その点からもカラーフィルター形成用材料の低温硬化性が求められる。また、色材として顔料を用いる場合でも、低温硬化の方が高コントラストを得られることが知られており、その観点からも低温硬化性が求められている。
As such a flexible plastic substrate, polycarbonate, polyethylene terephthalate, and the like have been studied, but these are inferior in heat resistance as compared with a conventional glass substrate. Therefore, in order to reduce the thermal stress applied to the plastic substrate, the temperature of the flexible display manufacturing process is required to be lower than before. There is a baking process for forming a member such as a protective film and an insulating film as one of the processes requiring the highest temperature in manufacturing a flexible display, and the temperature of the baking process is required to be lowered.
In addition to this, for example, there is a movement to reduce the weight and cost by forming a polarizing film of a liquid crystal display by a coating type, but a protective film formed on a coating type polarizing film is also a polarizing film or a liquid crystal layer. It is necessary to form at a temperature that does not damage the material, and a low temperature (low temperature curability) is required.
Furthermore, for example, in color filters used in image display devices, as a method for achieving high contrast, various studies have been made on shifting a color material from a pigment system to a dye system. In view of this, the low temperature curability of the color filter forming material is also required. Further, even when a pigment is used as the color material, it is known that high-temperature curing can obtain higher contrast, and low-temperature curability is also required from this viewpoint.
この様な低温硬化性の感光性樹脂組成物としてはエポキシやオキセタンのカチオン重合を利用したものや、さらにこれらにラジカル重合性の材料を組み合わせた報告が各種見られる。
例えば特許文献1にはエポキシ基含有重合体とカチオン重合開始剤の組み合わせが、特許文献2にはエポキシ基及びオキセタニル基含有共重合体と、オニウム塩などの光感応性酸発生剤との組み合わせが、特許文献3にはオキセタニル基含有共重合体と、オニウム塩などの光感応性酸発生剤と、エポキシ化合物との組み合わせが記載されている。
また、特許文献4や5にはエポキシ基含有共重合体を用いたカチオン重合系とラジカル重合系との組み合わせが、さらに特許文献6や7にはオキセタン化合物を用いたカチオン重合系とラジカル重合系の組み合わせが開示されている。
As such a low temperature curable photosensitive resin composition, various reports using cationic polymerization of epoxy and oxetane, and further combining radically polymerizable materials with these are seen.
For example, Patent Document 1 includes a combination of an epoxy group-containing polymer and a cationic polymerization initiator, and Patent Document 2 includes a combination of an epoxy group and oxetanyl group-containing copolymer and a photosensitive acid generator such as an onium salt. Patent Document 3 describes a combination of an oxetanyl group-containing copolymer, a photo-sensitive acid generator such as an onium salt, and an epoxy compound.
Patent Documents 4 and 5 show a combination of a cationic polymerization system using an epoxy group-containing copolymer and a radical polymerization system, and Patent Documents 6 and 7 show a cationic polymerization system and a radical polymerization system using an oxetane compound. A combination of these is disclosed.
近年、プロセス及びパネル構造の簡略化の市場要求が高まっており、低温の製造プロセスにおいてもフォトリソ性と十分な強度を兼ね備えた材料が求められている。
本発明者が検討したところ、特許文献1〜7に記載されている感光性樹脂組成物は電気信頼性が十分ではなく、液晶ディスプレイや有機ELディスプレイに用いた場合、画像の焼き付きや寿命の低下、駆動電圧の上昇といった悪影響を及ぼし、また、有機TFTの半導体に近接する場合には移動度を下げたり、ヒステリシスを発生させたりするといった問題があることが見出された。
In recent years, market demands for simplification of processes and panel structures are increasing, and materials having both photolithographic properties and sufficient strength are required even in low-temperature manufacturing processes.
When this inventor examined, the photosensitive resin composition described in patent documents 1-7 is not enough in electrical reliability, and when it is used for a liquid crystal display or an organic EL display, image burn-in and life reduction It has been found that there are problems such as an adverse effect such as an increase in driving voltage, and a decrease in mobility and the occurrence of hysteresis when close to the organic TFT semiconductor.
本発明は、このような従来技術に鑑みてなされたものである。すなわち、本発明は、フォトリソによりパターニングが可能であり、電気信頼性が良好な硬化部材を低温で形成可能な感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such conventional techniques. That is, an object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition that can be patterned by photolithography and can form a cured member having good electrical reliability at a low temperature.
本発明者は、前記課題を解決すべく種々検討を行った。その結果、エポキシ基を有する側鎖αを含むビニル重合体、光カチオン重合開始剤、エチレン性不飽和基含有化合物、及び熱ラジカル重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物が、フォトリソによるパターニング性と、低温硬化時の高い電気信頼性を両立することが可能であることを見出し、本発明を完成するに至った。即ち、本発明の要旨は次の通りである。 The inventor has made various studies to solve the above problems. As a result, a photosensitive resin composition containing a vinyl polymer containing a side chain α having an epoxy group, a cationic photopolymerization initiator, an ethylenically unsaturated group-containing compound, and a thermal radical polymerization initiator is patterned by photolithography. And the present inventors have found that it is possible to achieve both high electrical reliability during low-temperature curing and have completed the present invention. That is, the gist of the present invention is as follows.
[1] (A)エポキシ基を有する側鎖αを含むビニル重合体、(B)光カチオン重合開始剤、(C)エチレン性不飽和基含有化合物、及び(D)熱ラジカル重合開始剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
[2] (D)熱ラジカル重合開始剤が、10時間半減期温度が70〜140℃の熱ラジカル重合開始剤を含む、[1]に記載の感光性樹脂組成物。
[3] (D)熱ラジカル重合開始剤が、下記一般式(1)で示されるアゾ化合物を含む、[1]又は[2]に記載の感光性樹脂組成物。
[1] Contains (A) a vinyl polymer containing a side chain α having an epoxy group, (B) a photocationic polymerization initiator, (C) an ethylenically unsaturated group-containing compound, and (D) a thermal radical polymerization initiator. A photosensitive resin composition characterized by comprising:
[2] The photosensitive resin composition according to [1], wherein (D) the thermal radical polymerization initiator includes a thermal radical polymerization initiator having a 10-hour half-life temperature of 70 to 140 ° C.
[3] The photosensitive resin composition according to [1] or [2], wherein (D) the thermal radical polymerization initiator includes an azo compound represented by the following general formula (1).
(上記一般式(1)中、R1及びR2は各々独立して、置換基を有してもよい炭素数1〜6のアルキル基を表し、同一の炭素原子に結合しているR1とR2とが結合して環を形成していてもよい。R3は置換基を有していてもよい炭素数1〜10のアルキル基を表す。Xは、O又はNHを表す。) (In the general formula (1), each independently of R 1 and R 2 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms which may have a substituent, R 1 attached to the same carbon atom And R 2 may combine to form a ring, R 3 represents an optionally substituted alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, and X represents O or NH.
[4] さらに(E)アルキルエーテル基及びアシルオキシル基からなる群から選ばれる2以上の置換基を有する、ナフタレン化合物又はアントラセン化合物を含有する、[1]乃至[3]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[5] (A)ビニル重合体が、環状脂肪族基を有する側鎖βを含む、[1]乃至[4]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[6] (A)ビニル重合体が、カルボキシル基又は芳香族性水酸基を有する側鎖γを含む、[1]乃至[5]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[4] The method according to any one of [1] to [3], further comprising (E) a naphthalene compound or an anthracene compound having two or more substituents selected from the group consisting of an alkyl ether group and an acyloxyl group. Photosensitive resin composition.
[5] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [4], wherein (A) the vinyl polymer includes a side chain β having a cyclic aliphatic group.
[6] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [5], wherein (A) the vinyl polymer includes a side chain γ having a carboxyl group or an aromatic hydroxyl group.
[7] さらに(F)色材を含有する、[1]乃至[6]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[8] さらに(G)無機ナノ粒子を含有する、[1]乃至[7]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[9] さらに(H)撥液剤を含有する、[1]乃至[8]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
[10] [1]乃至[9]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物で構成される硬化部材。
[11] 1以上の凸部を有する、[10]に記載の硬化部材。
[12] [10]又は[11]に記載の硬化部材を備えた画像表示装置。
[7] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [6], further comprising (F) a color material.
[8] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [7], further comprising (G) inorganic nanoparticles.
[9] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [8], further comprising (H) a liquid repellent.
[10] A cured member composed of the photosensitive resin composition according to any one of [1] to [9].
[11] The cured member according to [10], having one or more convex portions.
[12] An image display device comprising the curing member according to [10] or [11].
[13] 異方性色素膜上に構成される保護層であって、[1]乃至[6]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を用いて形成される保護層。
[14] 前記異方性色素膜が塗布により形成されるものである、[13]に記載の保護層。
[15] 異方性色素膜上に、[13]又は[14]に記載の保護層を備えた偏光素子。
[16] 異方性色素膜上に[1]乃至[6]のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を湿式成膜し、露光後、現像液で前記異方性色素膜及び感光性樹脂組成物膜の両方を現像する、偏光素子の製造方法。
[17] [15]に記載の偏光素子を備えた画像表示装置。
[13] A protective layer formed on the anisotropic dye film, which is formed using the photosensitive resin composition according to any one of [1] to [6].
[14] The protective layer according to [13], wherein the anisotropic dye film is formed by coating.
[15] A polarizing element comprising the protective layer according to [13] or [14] on an anisotropic dye film.
[16] The photosensitive resin composition according to any one of [1] to [6] is wet-formed on the anisotropic dye film, and after exposure, the anisotropic dye film and the photosensitive resin are developed with a developer. A method for producing a polarizing element, wherein both of the composition films are developed.
[17] An image display device comprising the polarizing element according to [15].
本発明の感光性樹脂組成物によれば、フォトリソによりパターニング可能であり、電気信頼性が良好な硬化部材を低温で形成可能である。 According to the photosensitive resin composition of the present invention, it is possible to form a cured member that can be patterned by photolithography and has good electrical reliability at a low temperature.
以下に、本発明の実施の形態を詳細に説明する。但し、以下に記載する説明は、本発明の実施形態の一例(代表例)であり、本発明はその要旨を超えない限り、これらの内容に限定されるものではない。
本発明において、「(メタ)アクリル酸」とは、アクリル酸とメタクリル酸の双方を含み、「(メタ)アクリレート」、「(メタ)アクリロイル」なども同様の意味を表す。また、モノマー名の前に「(ポリ)」をつけたものは、該モノマー及び該ポリマーを意味する。
本発明において、「全固形分」とは、本発明の感光性樹脂組成物の構成成分のうち、溶剤を除くすべての成分を意味する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail. However, the description described below is an example (representative example) of an embodiment of the present invention, and the present invention is not limited to these contents as long as it does not exceed the gist thereof.
In the present invention, “(meth) acrylic acid” includes both acrylic acid and methacrylic acid, and “(meth) acrylate”, “(meth) acryloyl” and the like have the same meaning. Moreover, what added "(poly)" before the monomer name means this monomer and this polymer.
In the present invention, the “total solid content” means all components except the solvent among the constituent components of the photosensitive resin composition of the present invention.
[感光性樹脂組成物]
本発明の感光性樹脂組成物は、(A)エポキシ基を有する側鎖αを含むビニル重合体、(B)光カチオン重合開始剤、(C)エチレン性不飽和基含有化合物、及び(D)熱ラジカル重合開始剤を含有する。本発明の感光性樹脂組成物は、さらに(E)アルキルエーテル基及びアシルオキシル基からなる群から選ばれる2以上の置換基を有する、ナフタレン化合物又はアントラセン化合物を含有してもよく、(F)色材、(G)無機ナノ粒子、(H)撥液剤を含有していてもよい。また、シリコン及び/又はフッ素系界面活性剤を含有していてもよく、その他の添加剤を適宜含有することもできる。
[Photosensitive resin composition]
The photosensitive resin composition of the present invention comprises (A) a vinyl polymer containing a side chain α having an epoxy group, (B) a photocationic polymerization initiator, (C) an ethylenically unsaturated group-containing compound, and (D). Contains a thermal radical polymerization initiator. The photosensitive resin composition of the present invention may further contain (E) a naphthalene compound or an anthracene compound having two or more substituents selected from the group consisting of an alkyl ether group and an acyloxyl group. It may contain a coloring material, (G) inorganic nanoparticles, and (H) a liquid repellent. Further, silicon and / or fluorine-based surfactants may be contained, and other additives may be appropriately contained.
[(A)エポキシ基を有する側鎖αを含むビニル重合体]
本発明の感光性樹脂組成物は、(A)エポキシ基を有する側鎖αを含むビニル重合体を含有することで、フォトリソ時の光硬化性や現像パターン形成性、光・熱硬化時の収縮の低減、柔軟性や浸透性を抑えた優れた膜質などを達成することが可能となる。
[(A) Vinyl polymer containing side chain α having epoxy group]
The photosensitive resin composition of the present invention contains (A) a vinyl polymer containing a side chain α having an epoxy group, so that photocurability during photolithography, development pattern formation, shrinkage during photo / thermosetting. It is possible to achieve excellent film quality with reduced reduction in flexibility and permeability.
エポキシ基を有する側鎖αを含むビニル重合体の化学構造は特に限定されないが、例えば、エポキシ基を有する側鎖αを含む、下記一般式(2)で表される繰り返し単位構造を含むものを挙げることができる。 The chemical structure of the vinyl polymer containing the side chain α having an epoxy group is not particularly limited. For example, the vinyl polymer having a repeating unit structure represented by the following general formula (2) containing the side chain α having an epoxy group Can be mentioned.
上記一般式(2)中、R4は水素原子又はメチル基を表す。
αは、直接結合又は2価の連結基を表す。ただし、式(2)中のエポキシ基のαとは結合していない炭素原子が、αと結合して環を形成していてもよい。
In the general formula (2), R 4 represents a hydrogen atom or a methyl group.
α represents a direct bond or a divalent linking group. However, a carbon atom not bonded to α of the epoxy group in formula (2) may be bonded to α to form a ring.
αにおける2価の連結基としては、例えば置換基を有していてもよいアルキレン基が挙げられ、アルキレン基におけるメチレン基は、不飽和結合、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合、チオエステル結合、アミド結合及びウレタン結合からなる群から選ばれる少なくとも1種の結合により置換されていてもよい。例えばエステル結合やアミド結合を含む連結基が挙げられる。
アルキレン基の炭素数は特に限定されないが、合成のし易さの観点からは1以上であることが好ましく、また、製膜性の観点からは9以下であることが好ましく、7以下であることがより好ましく、5以下であることがさらに好ましく、3以下であることが特に好ましい。
アルキレン基が有していてもよい置換基としては、例えば、ハロゲン原子、炭素数2〜8のアルケニル基、炭素数1〜8のアルコキシル基、フェニル基、メシチル基、トリル基、ナフチル基、シアノ基、アセチルオキシ基、炭素数2〜9のアルキルカルボニルオキシ基、スルファモイル基、炭素数2〜9のアルキルスルファモイル基、炭素数2〜9のアルキルカルボニル基、フェネチル基、ヒドロキシエチル基、アセチルアミド基、炭素数1〜4のアルキル基が結合してなるジアルキルアミノエチル基、トリフルオロメチル基、炭素数1〜8のトリアルキルシリル基、ニトロ基、炭素数1〜8のアルキルチオ基などが挙げられ、好ましくは炭素数1〜8のアルコキシル基、シアノ基、アセチルオキシ基、炭素数2〜8のアルキルカルボキシル基、スルファモイル基、炭素数2〜9のアルキルスルファモイル基、ハロゲン原子である。合成のし易さの観点からは、アルキレン基が無置換であることが好ましい。
Examples of the divalent linking group for α include an alkylene group which may have a substituent, and the methylene group in the alkylene group includes an unsaturated bond, an ether bond, a thioether bond, an ester bond, a thioester bond, and an amide. It may be substituted with at least one bond selected from the group consisting of a bond and a urethane bond. Examples thereof include a linking group containing an ester bond or an amide bond.
The number of carbon atoms of the alkylene group is not particularly limited, but is preferably 1 or more from the viewpoint of ease of synthesis, and is preferably 9 or less from the viewpoint of film forming properties, and is 7 or less. Is more preferably 5 or less, and particularly preferably 3 or less.
Examples of the substituent that the alkylene group may have include, for example, a halogen atom, an alkenyl group having 2 to 8 carbon atoms, an alkoxyl group having 1 to 8 carbon atoms, a phenyl group, a mesityl group, a tolyl group, a naphthyl group, and a cyano group. Group, acetyloxy group, C2-C9 alkylcarbonyloxy group, sulfamoyl group, C2-C9 alkylsulfamoyl group, C2-C9 alkylcarbonyl group, phenethyl group, hydroxyethyl group, acetyl An amide group, a dialkylaminoethyl group formed by bonding an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a trifluoromethyl group, a trialkylsilyl group having 1 to 8 carbon atoms, a nitro group, an alkylthio group having 1 to 8 carbon atoms, and the like. Preferably, an alkoxyl group having 1 to 8 carbon atoms, a cyano group, an acetyloxy group, an alkyl carboxyl having 2 to 8 carbon atoms , Sulfamoyl group, an alkylsulfamoyl group having 2 to 9 carbon atoms, a halogen atom. From the viewpoint of ease of synthesis, the alkylene group is preferably unsubstituted.
αの中でも、合成のし易さの観点からは、直接結合、エーテル結合で中断されたアルキレン基、又はエステル結合で中断されたアルキレン基が好ましく、エステル結合で中断されたアルキレン基がより好ましく、−(C=O)−O−CH2−基であることがさらに好ましい。なお、エーテル結合で中断されたアルキレン基とは、アルキレン基を構成するC−C結合の間にエーテル結合(−O−結合)を有するアルキレン基を意味する。同様に、エステル結合で中断されたアルキレン基とは、アルキレン基を構成するC−C結合の間にエステル結合(−CO−O−結合)を有するアルキレン基を意味する。 Among α, from the viewpoint of ease of synthesis, an alkylene group interrupted by a direct bond, an ether bond, or an ester bond is preferable, and an alkylene group interrupted by an ester bond is more preferable, More preferably, it is a — (C═O) —O—CH 2 — group. The alkylene group interrupted by an ether bond means an alkylene group having an ether bond (—O— bond) between C—C bonds constituting the alkylene group. Similarly, an alkylene group interrupted by an ester bond means an alkylene group having an ester bond (—CO—O— bond) between C—C bonds constituting the alkylene group.
(A)エポキシ基を有する側鎖αを含むビニル重合体を得るには、重合成分としてエポキシ基含有ビニル化合物を用いる方法が挙げられる。エポキシ基含有ビニル化合物としては、例えば次の様な化合物が挙げられる。 (A) In order to obtain a vinyl polymer containing a side chain α having an epoxy group, a method using an epoxy group-containing vinyl compound as a polymerization component can be mentioned. Examples of the epoxy group-containing vinyl compound include the following compounds.
エポキシ基含有ビニル化合物としては、アリルグリシジルエーテル、グリシジル(メタ)アクリレート、2−メチルグリシジル(メタ)アクリレート、α−エチルグリシジル(メタ)アクリレート、α−n−プロピルグリシジル(メタ)アクリレート、α−n−ブチルグリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシブチル(メタ)アクリレート、6,7−エポキシヘプチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレートグリシジルエーテル、グリシジルエーテルグリシジルクロトネート、グリシジルイソクロトネート、クロトニルグリシジルエーテル、イタコン酸モノアルキルモノグリシジルエステル、フマル酸モノアルキルモノグリシジルエステル、マレイン酸モノアルキルモノグリシジルエステル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等の脂肪族エポキシ基含有、エポキシ基含有ビニル化合物、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチル(メタ)アクリレート、2,3−エポキシシクロペンチルメチル(メタ)アクリレート、7,8−エポキシ〔トリシクロ[5.2.1.0]デシ−2−イル〕オキシメチル(メタ)アクリレート等の脂環式エポキシ基含有ビニル化合物等が挙げられる。 Examples of the epoxy group-containing vinyl compound include allyl glycidyl ether, glycidyl (meth) acrylate, 2-methylglycidyl (meth) acrylate, α-ethylglycidyl (meth) acrylate, α-n-propylglycidyl (meth) acrylate, α-n. -Butyl glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxybutyl (meth) acrylate, 6,7-epoxyheptyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate glycidyl ether, glycidyl ether glycidyl crotonate, glycidyl isocroto Crotonyl glycidyl ether, monoalkyl monoglycidyl itaconate, monoalkyl monoglycidyl fumarate, monoalkyl monoglycidyl maleate, o-vinyl Aliphatic epoxy group-containing compounds such as benzyl glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether, p-vinylbenzyl glycidyl ether, epoxy group-containing vinyl compounds, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth) acrylate, 2- (3,4 -Epoxycyclohexyl) ethyl (meth) acrylate, 2,3-epoxycyclopentylmethyl (meth) acrylate, 7,8-epoxy [tricyclo [5.2.1.0] dec-2-yl] oxymethyl (meth) acrylate And alicyclic epoxy group-containing vinyl compounds.
これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を任意の組合せと比率で用いてもよい。これらの中でも、基板との接着性との観点からは脂肪族エポキシ基含有ビニル化合物を用いることが好ましく、(メタ)アクリレート化合物を用いることがより好ましく、グリシジル(メタ)アクリレート又は4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレートグリシジルエーテルを用いることがさらに好ましい。 One of these may be used alone, or two or more thereof may be used in any combination and ratio. Among these, from the viewpoint of adhesion to the substrate, it is preferable to use an aliphatic epoxy group-containing vinyl compound, more preferably a (meth) acrylate compound, glycidyl (meth) acrylate or 4-hydroxybutyl ( More preferably, (meth) acrylate glycidyl ether is used.
(A)ビニル重合体におけるエポキシ基含有ビニル化合物由来の繰り返し単位構造(前記一般式(2)で表される繰り返し単位構造)の含有割合は、30mol%以上であることが好ましく、40mol%以上であることがより好ましく、50mol%以上であることがさらに好ましい。また通常100mol%以下であり、99mol%以下であることが好ましく、90mol%以下であることがより好ましく、80mol%以下であることがさらに好ましく、70mol%以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで露光感度や電気信頼性、耐薬品性を確保できる傾向があり、前記上限値以下とすることで優れた膜質や現像時のパターニング性を確保することができる傾向がある。 (A) The content ratio of the repeating unit structure derived from the epoxy group-containing vinyl compound in the vinyl polymer (the repeating unit structure represented by the general formula (2)) is preferably 30 mol% or more, and 40 mol% or more. More preferably, it is more preferably 50 mol% or more. Moreover, it is 100 mol% or less normally, It is preferable that it is 99 mol% or less, It is more preferable that it is 90 mol% or less, It is further more preferable that it is 80 mol% or less, It is especially preferable that it is 70 mol% or less. There is a tendency that exposure sensitivity, electrical reliability, and chemical resistance can be ensured by setting it to the above lower limit value or more, and there is a tendency that excellent film quality and patterning property at the time of development can be ensured by setting the upper limit value or less. is there.
(A)ビニル重合体はさらに、環状脂肪族基を有する側鎖βを含んでいてもよい。側鎖βを含むことで、均一な優れた膜質となる傾向がある。 (A) The vinyl polymer may further contain a side chain β having a cyclic aliphatic group. By including the side chain β, there is a tendency that uniform and excellent film quality is obtained.
環状脂肪族基を有する側鎖βを含むビニル重合体の化学構造は特に限定されないが、例えば、環状脂肪族基を有する側鎖βを含む、下記一般式(3)で表される繰り返し単位構造を含むものを挙げることができる。 The chemical structure of the vinyl polymer containing the side chain β having a cycloaliphatic group is not particularly limited. For example, the repeating unit structure represented by the following general formula (3) containing the side chain β having a cycloaliphatic group Can be included.
上記一般式(3)中、R5は水素原子又はメチル基を表す。
βは、直接結合又は2価の連結基を表す。
R6は、置換基を有していてもよい環状脂肪族基を表す。
In the general formula (3), R 5 represents a hydrogen atom or a methyl group.
β represents a direct bond or a divalent linking group.
R 6 represents a cyclic aliphatic group which may have a substituent.
βにおける2価の連結基としては、例えばエーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合、チオエステル結合、アミド結合、ウレタン結合、置換基を有していてもよいアルキレン基等が挙げられる。アルキレン基の一部のメチレン基は、不飽和結合、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合、チオエステル結合、アミド結合及びウレタン結合からなる群から選ばれる少なくとも1種の結合により置換されていてもよい。例えばエステル結合やアミド結合を含む連結基が挙げられる。
アルキレン基の炭素数は特に限定されないが、合成のし易さの観点からは1以上であることが好ましく、また、製膜性の観点からは9以下であることが好ましく、7以下であることがより好ましい。
アルキレン基が有していてもよい置換基としては、例えば、ハロゲン原子、炭素数2〜8のアルケニル基、炭素数1〜8のアルコキシル基、フェニル基、メシチル基、トリル基、ナフチル基、シアノ基、アセチルオキシ基、炭素数2〜9のアルキルカルボニルオキシ基、スルファモイル基、炭素数2〜9のアルキルスルファモイル基、炭素数2〜9のアルキルカルボニル基、フェネチル基、ヒドロキシエチル基、アセチルアミド基、炭素数1〜4のアルキル基が結合してなるジアルキルアミノエチル基、トリフルオロメチル基、炭素数1〜8のトリアルキルシリル基、ニトロ基、炭素数1〜8のアルキルチオ基などが挙げられ、好ましくは炭素数1〜8のアルコキシル基、シアノ基、アセチルオキシ基、炭素数2〜8のアルキルカルボキシル基、スルファモイル基、炭素数2〜9のアルキルスルファモイル基、ハロゲン原子である。合成のし易さの観点からは、アルキレン基が無置換であることが好ましい。
Examples of the divalent linking group in β include an ether bond, a thioether bond, an ester bond, a thioester bond, an amide bond, a urethane bond, and an alkylene group that may have a substituent. A part of the methylene group of the alkylene group may be substituted with at least one bond selected from the group consisting of an unsaturated bond, an ether bond, a thioether bond, an ester bond, a thioester bond, an amide bond and a urethane bond. Examples thereof include a linking group containing an ester bond or an amide bond.
The number of carbon atoms of the alkylene group is not particularly limited, but is preferably 1 or more from the viewpoint of ease of synthesis, and is preferably 9 or less from the viewpoint of film forming properties, and is 7 or less. Is more preferable.
Examples of the substituent that the alkylene group may have include, for example, a halogen atom, an alkenyl group having 2 to 8 carbon atoms, an alkoxyl group having 1 to 8 carbon atoms, a phenyl group, a mesityl group, a tolyl group, a naphthyl group, and a cyano group. Group, acetyloxy group, C2-C9 alkylcarbonyloxy group, sulfamoyl group, C2-C9 alkylsulfamoyl group, C2-C9 alkylcarbonyl group, phenethyl group, hydroxyethyl group, acetyl An amide group, a dialkylaminoethyl group formed by bonding an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a trifluoromethyl group, a trialkylsilyl group having 1 to 8 carbon atoms, a nitro group, an alkylthio group having 1 to 8 carbon atoms, and the like. Preferably, an alkoxyl group having 1 to 8 carbon atoms, a cyano group, an acetyloxy group, an alkyl carboxyl having 2 to 8 carbon atoms , Sulfamoyl group, an alkylsulfamoyl group having 2 to 9 carbon atoms, a halogen atom. From the viewpoint of ease of synthesis, the alkylene group is preferably unsubstituted.
βの中でも、合成のし易さの観点からは、直接結合、エーテル結合、エステル結合、エーテル結合で中断されたアルキレン基、又はエステル結合で中断されたアルキレン基が好ましく、エステル結合がより好ましい。なお、エーテル結合で中断されたアルキレン基とは、アルキレン基を構成するC−C結合の間にエーテル結合(−O−結合)を有するアルキレン基を意味する。同様に、エステル結合で中断されたアルキレン基とは、アルキレン基を構成するC−C結合の間にエステル結合(−CO−O−結合)を有するアルキレン基を意味する。 Among β, from the viewpoint of ease of synthesis, a direct bond, an ether bond, an ester bond, an alkylene group interrupted by an ether bond, or an alkylene group interrupted by an ester bond is preferable, and an ester bond is more preferable. The alkylene group interrupted by an ether bond means an alkylene group having an ether bond (—O— bond) between C—C bonds constituting the alkylene group. Similarly, an alkylene group interrupted by an ester bond means an alkylene group having an ester bond (—CO—O— bond) between C—C bonds constituting the alkylene group.
R6における環状脂肪族基の炭素数は特に限定されないが、膜の強度の観点からは5以上であることが好ましく、6以上であることがより好ましく、8以上であることがさらに好ましく、また、ビニル重合体の反応性の観点からは20以下であることが好ましく、15以下であることがより好ましく、12以下であることがさらに好ましい。
また、環状脂肪族基は単環であっても、多環であってもよいが、膜の強度の観点からは多環であることが好ましい。
環状脂肪族基の具体例としては、シクロヘキシル基、ジシクロペンタニル基、アダマンチル基、ノルボルニル基、テトラシクロデカニル基等が挙げられ、これらの中でも膜の強度の観点から、ジシクロペンタニル基又はアダマンチル基が好ましい。
The number of carbon atoms of the cycloaliphatic group in R 6 is not particularly limited, but is preferably 5 or more from the viewpoint of film strength, more preferably 6 or more, further preferably 8 or more, From the viewpoint of the reactivity of the vinyl polymer, it is preferably 20 or less, more preferably 15 or less, and even more preferably 12 or less.
The cyclic aliphatic group may be monocyclic or polycyclic, but is preferably polycyclic from the viewpoint of film strength.
Specific examples of the cycloaliphatic group include a cyclohexyl group, a dicyclopentanyl group, an adamantyl group, a norbornyl group, a tetracyclodecanyl group, etc. Among these, from the viewpoint of the strength of the film, a dicyclopentanyl group Or an adamantyl group is preferable.
環状脂肪族基を有する側鎖βを含むビニル重合体を得るには、重合成分として環状脂肪族基含有ビニル化合物を用いることが好ましい。環状脂肪族基含有ビニル化合物としては、例えばシクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、t−ブチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、ノルボルニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、1−アダマンチル(メタ)アクリレート、2−メチル−2−アダマンチル(メタ)アクリレート、2−エチル−2−アダマンチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を任意の組合せと比率で用いてもよい。これらの中でも、製膜した膜の強度の観点からは多環式の環状脂肪族基含有ビニル化合物を用いることが好ましく、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート又は2−メチル−2−アダマンチル(メタ)アクリレートを用いることがさらに好ましい。
In order to obtain a vinyl polymer containing a side chain β having a cycloaliphatic group, it is preferable to use a cycloaliphatic group-containing vinyl compound as a polymerization component. Examples of the cyclic aliphatic group-containing vinyl compound include cyclohexyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, t-butylcyclohexyl (meth) acrylate, norbornyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, and dicyclopentenyloxy. Examples include ethyl (meth) acrylate, dicyclopentanyl (meth) acrylate, 1-adamantyl (meth) acrylate, 2-methyl-2-adamantyl (meth) acrylate, and 2-ethyl-2-adamantyl (meth) acrylate. .
One of these may be used alone, or two or more thereof may be used in any combination and ratio. Among these, it is preferable to use a polycyclic cycloaliphatic group-containing vinyl compound from the viewpoint of the strength of the film formed, and dicyclopentanyl (meth) acrylate or 2-methyl-2-adamantyl (meth). More preferably, acrylate is used.
(A)ビニル重合体におけるこれら環状脂肪族基含有ビニル化合物由来の繰り返し単位構造(前記一般式(3)で表される繰り返し単位構造)の含有割合は、1mol%以上であることが好ましく、10mol%以上であることがより好ましく、15mol%以上であることがさらに好ましい。また、40mol%以下であることが好ましく、35mol%以下であることがより好ましく、20mol%以下であることがさらに好ましい。前記下限値以上とすることで塗布形成した膜の強度や電気信頼性を確保できる傾向があり、前記上限値以下とすることで露光感度を確保できる傾向がある。 (A) The content ratio of the repeating unit structure derived from these cyclic aliphatic group-containing vinyl compounds in the vinyl polymer (repeating unit structure represented by the general formula (3)) is preferably 1 mol% or more, and 10 mol. % Or more is more preferable, and it is further more preferable that it is 15 mol% or more. Moreover, it is preferable that it is 40 mol% or less, It is more preferable that it is 35 mol% or less, It is further more preferable that it is 20 mol% or less. There exists a tendency which can ensure the intensity | strength and electric reliability of the film | membrane which apply | coated and formed by setting it as the said lower limit or more, and there exists a tendency which can ensure exposure sensitivity by setting it as the said upper limit or less.
(A)ビニル重合体は、アルカリ現像性を付与させる目的で、カルボキシル基又は芳香族性水酸基を有する側鎖γを含んでいても良い。 (A) The vinyl polymer may contain a side chain γ having a carboxyl group or an aromatic hydroxyl group for the purpose of imparting alkali developability.
カルボキシル基又は芳香族性水酸基を有する側鎖γを含むビニル重合体の化学構造は特に限定されないが、例えば、カルボキシル基又は芳香族性水酸基を有する側鎖γを含む、下記一般式(4)で表される繰り返し単位構造を含むものを挙げることができる。 The chemical structure of the vinyl polymer containing a side chain γ having a carboxyl group or an aromatic hydroxyl group is not particularly limited. For example, in the following general formula (4) containing a side chain γ having a carboxyl group or an aromatic hydroxyl group The thing containing the repeating unit structure represented can be mentioned.
上記一般式(4)中、R7は水素原子又はメチル基を表す。
γは、直接結合又は2価の連結基を表す。
R8は、カルボキシル基、又は芳香族性水酸基を有する基を表す。
In the general formula (4), R 7 represents a hydrogen atom or a methyl group.
γ represents a direct bond or a divalent linking group.
R 8 represents a carboxyl group or a group having an aromatic hydroxyl group.
γにおける2価の連結基としては、例えばエーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合、チオエステル結合、アミド結合、ウレタン結合、置換基を有していてもよいアルキレン基等が挙げられる。アルキレン基の一部のメチレン基は、不飽和結合、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合、チオエステル結合、アミド結合及びウレタン結合からなる群から選ばれる少なくとも1種の結合により置換されていてもよい。例えばエステル結合やアミド結合を含む連結基が挙げられる。
アルキレン基の炭素数は特に限定されないが、合成のし易さの観点からは1以上であることが好ましく、また、製膜性の観点からは9以下であることが好ましく、7以下であることがより好ましい。
アルキレン基が有していてもよい置換基としては、例えば、ハロゲン原子、炭素数2〜8のアルケニル基、炭素数1〜8のアルコキシル基、フェニル基、メシチル基、トリル基、ナフチル基、シアノ基、アセチルオキシ基、炭素数2〜9のアルキルカルボニルオキシ基、スルファモイル基、炭素数2〜9のアルキルスルファモイル基、炭素数2〜9のアルキルカルボニル基、フェネチル基、ヒドロキシエチル基、アセチルアミド基、炭素数1〜4のアルキル基が結合してなるジアルキルアミノエチル基、トリフルオロメチル基、炭素数1〜8のトリアルキルシリル基、ニトロ基、炭素数1〜8のアルキルチオ基などが挙げられ、好ましくは炭素数1〜8のアルコキシル基、シアノ基、アセチルオキシ基、炭素数2〜8のアルキルカルボキシル基、スルファモイル基、炭素数2〜9のアルキルスルファモイル基、ハロゲン原子である。合成のし易さの観点からは、アルキレン基が無置換であることが好ましい。
Examples of the divalent linking group for γ include an ether bond, a thioether bond, an ester bond, a thioester bond, an amide bond, a urethane bond, and an alkylene group that may have a substituent. A part of the methylene group of the alkylene group may be substituted with at least one bond selected from the group consisting of an unsaturated bond, an ether bond, a thioether bond, an ester bond, a thioester bond, an amide bond and a urethane bond. Examples thereof include a linking group containing an ester bond or an amide bond.
The number of carbon atoms of the alkylene group is not particularly limited, but is preferably 1 or more from the viewpoint of ease of synthesis, and is preferably 9 or less from the viewpoint of film forming properties, and is 7 or less. Is more preferable.
Examples of the substituent that the alkylene group may have include, for example, a halogen atom, an alkenyl group having 2 to 8 carbon atoms, an alkoxyl group having 1 to 8 carbon atoms, a phenyl group, a mesityl group, a tolyl group, a naphthyl group, and a cyano group. Group, acetyloxy group, C2-C9 alkylcarbonyloxy group, sulfamoyl group, C2-C9 alkylsulfamoyl group, C2-C9 alkylcarbonyl group, phenethyl group, hydroxyethyl group, acetyl An amide group, a dialkylaminoethyl group formed by bonding an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a trifluoromethyl group, a trialkylsilyl group having 1 to 8 carbon atoms, a nitro group, an alkylthio group having 1 to 8 carbon atoms, and the like. Preferably, an alkoxyl group having 1 to 8 carbon atoms, a cyano group, an acetyloxy group, an alkyl carboxyl having 2 to 8 carbon atoms , Sulfamoyl group, an alkylsulfamoyl group having 2 to 9 carbon atoms, a halogen atom. From the viewpoint of ease of synthesis, the alkylene group is preferably unsubstituted.
γの中でも、合成のし易さの観点からは、直接結合、エーテル結合、エステル結合、エーテル結合で中断されたアルキレン基、又はエステル結合で中断されたアルキレン基が好ましく、直接結合又はエステル結合がより好ましく、直接結合がさらに好ましい。なお、エーテル結合で中断されたアルキレン基とは、アルキレン基を構成するC−C結合の間にエーテル結合(−O−結合)を有するアルキレン基を意味する。同様に、エステル結合で中断されたアルキレン基とは、アルキレン基を構成するC−C結合の間にエステル結合(−CO−O−結合)を有するアルキレン基を意味する。 Among γ, from the viewpoint of ease of synthesis, a direct bond, an ether bond, an ester bond, an alkylene group interrupted by an ether bond, or an alkylene group interrupted by an ester bond is preferable, and the direct bond or the ester bond is More preferred is a direct bond. The alkylene group interrupted by an ether bond means an alkylene group having an ether bond (—O— bond) between C—C bonds constituting the alkylene group. Similarly, an alkylene group interrupted by an ester bond means an alkylene group having an ester bond (—CO—O— bond) between C—C bonds constituting the alkylene group.
R8における芳香族性水酸基を含む基としては、例えばヒドロキシフェニル基、ヒドロキシカルボキシルフェニル基、ジヒドロキシフェニル基、トリヒドロキシフェニル基、ブロモフェニル基、ジブロモフェニル基、ヒドロキシナフチル基、ヒドロキシニトロフェニル基、ヒドロキシベンジル基等が挙げられる。R8の中でも、コストや製膜性の観点からは、ヒドロキシフェニル基が好ましく、p−ヒドロキシフェニル基がより好ましい。 Examples of the group containing an aromatic hydroxyl group in R 8 include a hydroxyphenyl group, a hydroxycarboxylphenyl group, a dihydroxyphenyl group, a trihydroxyphenyl group, a bromophenyl group, a dibromophenyl group, a hydroxynaphthyl group, a hydroxynitrophenyl group, a hydroxy group. A benzyl group etc. are mentioned. Among R 8, a hydroxyphenyl group is preferable and a p-hydroxyphenyl group is more preferable from the viewpoints of cost and film formability.
カルボキシル基又は芳香族性水酸基を有する側鎖γを含むビニル重合体を得るには重合成分としてカルボキシル基含有ビニル化合物又は芳香族性水酸基含有ビニル化合物を用いることが好ましい。カルボキシル基含有ビニル化合物としては、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、シトラコン酸等の不飽和カルボン酸等が挙げられる。また、芳香族性水酸基含有ビニル化合物としては、o−ヒドロキシスチレン、m−ヒドロキシスチレン、p−ヒドロキシスチレン、o−ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート、m−ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート、p−ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート、N−(4−ヒドロキシフェニル)(メタ)アクリルアミド等が挙げられる。
これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を任意の組合せと比率で用いてもよい。これらの中でも、充分なアルカリ現像性の観点からはカルボキシル基含有ビニル化合物を用いることが好ましく、一方でより高い電気信頼性を達成するためには芳香族性水酸基含有ビニル化合物を用いることが好ましく、カルボキシル基含有ビニル化合物としては(メタ)アクリル酸を、芳香族性水酸基含有ビニル化合物としてはp−ヒドロキシスチレンやp−ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレートを用いることがより好ましい。
In order to obtain a vinyl polymer containing a side chain γ having a carboxyl group or an aromatic hydroxyl group, it is preferable to use a carboxyl group-containing vinyl compound or an aromatic hydroxyl group-containing vinyl compound as a polymerization component. Examples of the carboxyl group-containing vinyl compound include (meth) acrylic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid, maleic anhydride, itaconic acid, citraconic acid and other unsaturated carboxylic acids. Examples of the aromatic hydroxyl group-containing vinyl compound include o-hydroxystyrene, m-hydroxystyrene, p-hydroxystyrene, o-hydroxyphenyl (meth) acrylate, m-hydroxyphenyl (meth) acrylate, p-hydroxyphenyl ( And (meth) acrylate, N- (4-hydroxyphenyl) (meth) acrylamide and the like.
One of these may be used alone, or two or more thereof may be used in any combination and ratio. Among these, from the viewpoint of sufficient alkali developability, it is preferable to use a carboxyl group-containing vinyl compound, while in order to achieve higher electrical reliability, it is preferable to use an aromatic hydroxyl group-containing vinyl compound, More preferably, (meth) acrylic acid is used as the carboxyl group-containing vinyl compound, and p-hydroxystyrene or p-hydroxyphenyl (meth) acrylate is used as the aromatic hydroxyl group-containing vinyl compound.
(A)ビニル重合体にカルボキシル基や芳香族性水酸基を導入してアルカリ現像性を付与する場合におけるこれらカルボキシル基含有ビニル化合物や芳香族性水酸基含有ビニル化合物由来の繰り返し単位構造(前記一般式(4)で表される繰り返し単位構造)の含有割合は、5mol%以上であることが好ましく、10mol%以上であることがより好ましく、15mol%以上であることがさらに好ましい。また40mol%以下であることが好ましく、35mol%以下であることがより好ましく、30mol%以下であることがさらに好ましい。前記下限値以上とすることでアルカリ現像性を確保し易くなる傾向があり、前記上限値以下とすることで(A)重合体の製造安定性が確保され易くなる傾向がある。 (A) When a carboxyl group or an aromatic hydroxyl group is introduced into a vinyl polymer to impart alkali developability, a repeating unit structure derived from these carboxyl group-containing vinyl compound or aromatic hydroxyl group-containing vinyl compound (the above general formula ( The content of the repeating unit structure represented by 4) is preferably 5 mol% or more, more preferably 10 mol% or more, and further preferably 15 mol% or more. Moreover, it is preferable that it is 40 mol% or less, It is more preferable that it is 35 mol% or less, It is further more preferable that it is 30 mol% or less. There exists a tendency which becomes easy to ensure alkali developability by setting it as the said lower limit or more, and there exists a tendency for the manufacturing stability of (A) polymer to become easy to be ensured by setting it as the said upper limit or less.
(A)ビニル重合体を得る際には、前記3種類の重合成分の他にその他の共重合成分として、その他のビニル化合物を用いても良い。その他のビニル化合物としては、例えばスチレン、α−メチルスチレン等のスチリル化合物、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、ドデシル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ヒドロキシメチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、N,N−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、N−(メタ)アクリロイルモルホリン、(メタ)アクリロニトリル、(メタ)アクリルアミド、N−メチロール(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリルアミド等の(メタ)アクリレート系化合物、酢酸ビニル等のビニル化合物、が挙げられる。これらは(A)ビニル重合体中にそれに由来する繰り返し単位構造として50mol%より少ない量であれば、任意の組み合わせと比率で用いて良い。これらの中でも反応性の観点からは(メタ)アクリレート化合物を用いることが好ましい。 (A) When obtaining a vinyl polymer, other vinyl compounds may be used as other copolymerization components in addition to the three kinds of polymerization components. Examples of other vinyl compounds include styryl compounds such as styrene and α-methylstyrene, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, and hexyl. (Meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, hydroxymethyl (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) acrylate, polyethylene glycol (meth) acrylate, polypropylene glycol (meth) acrylate, benzyl (meta ) Acrylate, N, N-dimethylaminoethyl (meth) acrylate, N- (meth) acryloylmorpholine, (meth) acrylonitrile, (meth) acrylamide, N-meth Roll (meth) acrylamide, N, N-dimethyl (meth) acrylamide, N, N-dimethylaminoethyl (meth) acrylamide, (meth) acrylate compound, vinyl compound such as vinyl acetate, and the like. These may be used in any combination and ratio as long as the amount of the repeating unit structure derived from (A) the vinyl polymer is less than 50 mol%. Among these, it is preferable to use a (meth) acrylate compound from the viewpoint of reactivity.
エポキシ基含有ビニル化合物や、環状脂肪族基含有ビニル化合物、カルボキシル基含有ビニル化合物、芳香族性水酸基含有ビニル化合物、その他のビニル化合物を重合させる方法については何ら限定されないが、例えば有機溶剤中でラジカル重合開始剤を用いて、必要に応じて連鎖移動剤を添加して、ラジカル重合開始剤の活性温度で加熱するなどの周知の方法で合成することができる。 The method for polymerizing the epoxy group-containing vinyl compound, the cycloaliphatic group-containing vinyl compound, the carboxyl group-containing vinyl compound, the aromatic hydroxyl group-containing vinyl compound, and other vinyl compounds is not limited at all. The polymerization initiator can be synthesized by a known method such as adding a chain transfer agent as necessary and heating at the activation temperature of the radical polymerization initiator.
本発明の(A)ビニル重合体の重量平均分子量は、3000以上であることが好ましく、5000以上であることがより好ましい。また、100000以下であることが好ましく、70000以下であることがより好ましく、50000以下であることがさらに好ましく、20000以下であることが特に好ましい。前記下限値以上とすることで耐薬品性等の膜強度を確保することができる傾向があり、前記上限値以下とすることで優れたパターニング特性を確保することができる傾向がある。 The weight average molecular weight of the (A) vinyl polymer of the present invention is preferably 3000 or more, and more preferably 5000 or more. Moreover, it is preferable that it is 100,000 or less, It is more preferable that it is 70000 or less, It is further more preferable that it is 50000 or less, It is especially preferable that it is 20000 or less. There exists a tendency which can ensure film | membrane strength, such as chemical resistance, by setting it as the said lower limit or more, and there exists a tendency which can ensure the outstanding patterning characteristic by setting it as the said upper limit or less.
なお、本発明における重量平均分子量は、株式会社島津製作所製「ゲル浸透クロマトグラフシステムLS Solution」で、株式会社島津製作所製「カラムGPC−804」を用いて測定したポリスチレン換算の値とする。 In addition, let the weight average molecular weight in this invention be the value of polystyrene conversion measured using "Column GPC-804" by Shimadzu Corporation with "Gel permeation chromatograph system LS Solution" by Shimadzu Corporation.
本発明の感光性樹脂組成物における(A)ビニル重合体の含有割合は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、20質量%以上であることが好ましく、30質量%以上であることがより好ましく、40質量%以上であることがさらに好ましく、90質量%以下であることが好ましく、80質量%以下であることがより好ましく、70質量%以下であることがさらに好ましく、60質量%以下であることが特に好ましい。上記下限値以上とすることでフォトリソによるパターニング性の確保が容易となる傾向があり、一方上記上限値以下とすることで充分な硬化性を確保することが容易となる傾向がある。 The content ratio of the (A) vinyl polymer in the photosensitive resin composition of the present invention is preferably 20% by mass or more, more preferably 30% by mass or more, based on the total solid content of the photosensitive resin composition. Is more preferably 40% by mass or more, preferably 90% by mass or less, more preferably 80% by mass or less, still more preferably 70% by mass or less, and 60% by mass. It is particularly preferred that When the amount is not less than the above lower limit value, the patterning property by photolithography tends to be easily secured, while when the amount is not more than the above upper limit value, sufficient curability tends to be easily secured.
[(B)光カチオン重合開始剤]
本発明の感光性樹脂組成物に含まれる(B)光カチオン重合開始剤は、可視光線、紫外線等の照射により酸を発生させてエポキシ基の重合反応を開始するものである。光カチオン重合開始剤としては例えば、芳香族ヨードニウム塩や芳香族スルホニウム塩のようなオニウム塩、s−トリアジン誘導体などのハロゲン含有化合物、スルホン化合物、スルホン酸化合物、スルホンイミド化合物、ジアゾメタン化合物等が挙げられ、特に限定されないが、硬化性の点で芳香族ヨードニウム塩や芳香族スルホニウム塩が好ましい。
[(B) Photocationic polymerization initiator]
The (B) cationic photopolymerization initiator contained in the photosensitive resin composition of the present invention is one that generates an acid by irradiation with visible light, ultraviolet light or the like to initiate an epoxy group polymerization reaction. Examples of the photocationic polymerization initiator include onium salts such as aromatic iodonium salts and aromatic sulfonium salts, halogen-containing compounds such as s-triazine derivatives, sulfone compounds, sulfonic acid compounds, sulfonimide compounds, and diazomethane compounds. Although not particularly limited, aromatic iodonium salts and aromatic sulfonium salts are preferred from the viewpoint of curability.
芳香族ヨードニウム塩は、ジアリールヨードニウムカチオンを有する化合物であり、芳香族スルホニウム塩は、トリアリールスルホニウムカチオンを有する化合物である。これらのカチオンは、アニオン(陰イオン)と対になって光カチオン重合開始剤を構成する。
ジアリールヨードニウムカチオンとしては例えば、アルキル基やエーテル基などを置換基として有するジフェニルヨードニウムカチオンが挙げられ、具体的には、(4−メチルフェニル)[4−(2−メチルプロピル)フェニル]ヨードニウムカチオン、(4−メチルフェニル)(4−イソプロピルフェニル)ヨードニウムカチオン、(4−メチルフェニル)(4−イソブチル)ヨードニウムカチオン、ビス(4−tert−ブチル)ヨードニウムカチオン、ビス(4−ドデシルフェニル)ヨードニウムカチオン、(2,4,6−トリメチルフェニル)[4−(1−メチル酢酸エチルエーテル)フェニル]ヨードニウムカチオン等が挙げられる。
トリアリールスルホニウムカチオンとしては、例えばアルキル基やチオエーテル基やエーテル基などを置換基として有するトリフェニルスルホニウムカチオンが挙げられ、例えばジフェニル[4−(フェニルチオ)フェニル]スルホニウムカチオン、トリフェニルスルホニウムカチオン、アルキルトリフェニルスルホニウムカチオン等が挙げられる。
An aromatic iodonium salt is a compound having a diaryl iodonium cation, and an aromatic sulfonium salt is a compound having a triarylsulfonium cation. These cations are paired with anions (anions) to form a photocationic polymerization initiator.
Examples of the diaryl iodonium cation include a diphenyl iodonium cation having an alkyl group, an ether group, or the like as a substituent. Specifically, a (4-methylphenyl) [4- (2-methylpropyl) phenyl] iodonium cation, (4-methylphenyl) (4-isopropylphenyl) iodonium cation, (4-methylphenyl) (4-isobutyl) iodonium cation, bis (4-tert-butyl) iodonium cation, bis (4-dodecylphenyl) iodonium cation, (2,4,6-trimethylphenyl) [4- (1-methylacetic acid ethyl ether) phenyl] iodonium cation and the like.
Examples of the triarylsulfonium cation include a triphenylsulfonium cation having an alkyl group, a thioether group, an ether group, or the like as a substituent. For example, a diphenyl [4- (phenylthio) phenyl] sulfonium cation, a triphenylsulfonium cation, an alkyltrication And phenylsulfonium cation.
光カチオン重合開始剤を構成するアニオンの例を挙げると、ヘキサフルオロホスフェートアニオンPF6-、ヘキサフルオロアンチモネートアニオンSbF6-、ペンタフルオロヒドロキシアンチモネートアニオンSbF5(OH)-、ヘキサフルオロアーセネートアニオンAsF6-、テトラフルオロボレートアニオンBF4-、テトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレートアニオンB(C6F5)4-などがあり、好ましくはヘキサフルオロホスフェートアニオンPF6-である。これらアニオンが酸の発生源となり、生成する酸の酸性度が強い程、重合反応の効率が高くなるが、一方で電気信頼性を悪化させたり、電極を腐食させたりといった問題が発生しやすいため、用途に応じて使い分ければよい。 Examples of anions constituting the photocationic polymerization initiator include hexafluorophosphate anion PF 6− , hexafluoroantimonate anion SbF 6− , pentafluorohydroxyantimonate anion SbF 5 (OH) − , hexafluoroarsenate anion. Examples include AsF 6− , tetrafluoroborate anion BF 4− , tetrakis (pentafluorophenyl) borate anion B (C 6 F 5 ) 4− , and preferably hexafluorophosphate anion PF 6− . These anions become sources of acid, and the higher the acidity of the acid generated, the higher the efficiency of the polymerization reaction. On the other hand, problems such as deterioration of electrical reliability and corrosion of the electrodes are likely to occur. You can use them according to your purpose.
芳香族スルホニウム塩としては、例えばサンアプロ社のCPI−100P、CPI−101A、CPI−200K、CPI−210S、ADEKA社のアデカオプトマーSP−150、SP−170、SP−171、等が具体例として挙げられる。
また、芳香族ヨードニウム塩としては、ソルベイジャパン社のPHOTOINITIATOR2074、BASFジャパン社のIRGACURE250(IRGACUREは登録商標)、日本曹達社のCI−5102、和光純薬社のWPI−113、WPI−116、等が具体例として挙げられる。
Specific examples of the aromatic sulfonium salt include CPI-100P, CPI-101A, CPI-200K, CPI-210S, Adeka optomer SP-150, SP-170, SP-171, etc., manufactured by San Apro. Can be mentioned.
In addition, as aromatic iodonium salts, PHOTOINITITOR 2074 of Solvay Japan, IRGACURE 250 (IRGACURE is a registered trademark) of BASF Japan, CI-5102 of Nippon Soda Co., WPI-113, WPI-116 of Wako Pure Chemical Industries, etc. A specific example is given.
なお、芳香族スルホニウム塩と芳香族ヨードニウム塩では、芳香族スルホニウム塩の方が感度が高く効率的に光硬化することができるが、電気信頼性が低くなる傾向があるため、配合量は少なく抑えることが望ましい。その点において、電気信頼性を求める用途、例えば液晶セル内部に形成させるカラムスペーサーやインセル型偏光膜用保護層、半導体に隣接する有機EL用バンクやゲート絶縁膜等には芳香族ヨードニウム塩を使用することが好ましい。本発明の感光性樹脂組成物は、後に説明する(C)エチレン性不飽和基含有化合物や(E)特定のナフタレン化合物又はアントラセン化合物を併用することで、感度が低い芳香族ヨードニウム塩を使用しても十分な光硬化性を確保することができる。 In the aromatic sulfonium salt and the aromatic iodonium salt, the aromatic sulfonium salt has higher sensitivity and can be photocured more efficiently, but the electrical reliability tends to be low, so the blending amount is kept small. It is desirable. In that respect, aromatic iodonium salts are used for applications requiring electrical reliability, such as column spacers formed inside liquid crystal cells, protective layers for in-cell type polarizing films, organic EL banks and gate insulating films adjacent to semiconductors, etc. It is preferable to do. The photosensitive resin composition of the present invention uses an aromatic iodonium salt having low sensitivity by using (C) an ethylenically unsaturated group-containing compound (E) and a specific naphthalene compound or anthracene compound, which will be described later. However, sufficient photocurability can be ensured.
また、s−トリアジン誘導体としては、例えば、1,1−ビス(4−クロロフェニル)−2,2,2−トリクロロエタン、フェニル−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−メトキシフェニル−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、スチリル−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、ナフチル−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン等が挙げられる。 Examples of the s-triazine derivative include 1,1-bis (4-chlorophenyl) -2,2,2-trichloroethane, phenyl-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 4-methoxyphenyl-bis (trichloro Methyl) -s-triazine, styryl-bis (trichloromethyl) -s-triazine, naphthyl-bis (trichloromethyl) -s-triazine, and the like.
スルホン化合物としては、例えば、β−ケトスルホン化合物、β−スルホニルスルホン化合物およびこれらの化合物のα−ジアゾ化合物が挙げられる。好ましいスルホン化合物の具体例としては、4−トリスフェナシルスルホン、メシチルフェナシルスルホン、ビス(フェナシルスルホニル)メタンが挙げられる。 Examples of the sulfone compounds include β-ketosulfone compounds, β-sulfonylsulfone compounds, and α-diazo compounds of these compounds. Specific examples of preferred sulfone compounds include 4-trisphenacylsulfone, mesitylphenacylsulfone, and bis (phenacylsulfonyl) methane.
スルホン酸化合物としては、例えば、アルキルスルホン酸エステル類、ハロアルキルスルホン酸エステル類、アリールスルホン酸エステル類、イミノスルホネート類が挙げられる。好ましいスルホン酸化合物の具体例としては、ベンゾイントシレート、ピロガロールトリストリフルオロメタンスルホネート、o−ニトロベンジルトリフルオロメタンスルホネート、o−ニトロベンジルp−トルエンスルホネートが挙げられる。 Examples of the sulfonic acid compounds include alkyl sulfonic acid esters, haloalkyl sulfonic acid esters, aryl sulfonic acid esters, and imino sulfonates. Specific examples of preferred sulfonic acid compounds include benzoin tosylate, pyrogallol tris trifluoromethane sulfonate, o-nitrobenzyl trifluoromethane sulfonate, and o-nitrobenzyl p-toluene sulfonate.
スルホンイミド化合物としては、例えば、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)スクシンイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)フタルイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)ジフェニルマレイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2,3−ジカルボキシイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)ナフチルイミドが挙げられる。 Examples of the sulfonimide compound include N- (trifluoromethylsulfonyloxy) succinimide, N- (trifluoromethylsulfonyloxy) phthalimide, N- (trifluoromethylsulfonyloxy) diphenylmaleimide, N- (trifluoromethylsulfonyloxy). ) Bicyclo [2.2.1] hept-5-ene-2,3-dicarboximide, N- (trifluoromethylsulfonyloxy) naphthylimide.
ジアゾメタン化合物としては、例えば、ビス(トリフルオロメチルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(シクロヘキシルスルホニル)ジアゾメタン、ビス(フェニルスルホニル)ジアゾメタンが挙げられる。 Examples of the diazomethane compound include bis (trifluoromethylsulfonyl) diazomethane, bis (cyclohexylsulfonyl) diazomethane, and bis (phenylsulfonyl) diazomethane.
本発明の感光性樹脂組成物中の(B)光カチオン重合開始剤の含有割合は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、芳香族スルホニウム塩を使用する場合は0.05質量%以上であることが好ましく、0.1質量%以上であることがより好ましく、3質量%以下であることが好ましく、1質量%以下であることがより好ましい。一方、芳香族ヨードニウム塩を使用する場合は0.5質量%以上が好ましく、1質量%以上がより好ましく、10質量%以下が好ましく、7質量%以下がより好ましく、5質量%以下がさらに好ましい。上記下限値以上とすることで、充分な光硬化性を確保し易くなる傾向があり、上記上限値以下とすることで、電気信頼性の悪化や着色などの膜性能の低下を抑制できる傾向がある。 The content ratio of the (B) photocationic polymerization initiator in the photosensitive resin composition of the present invention is 0.05% by mass when an aromatic sulfonium salt is used with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition. It is preferable that the amount is 0.1% by mass or more, more preferably 3% by mass or less, and more preferably 1% by mass or less. On the other hand, when using an aromatic iodonium salt, 0.5 mass% or more is preferable, 1 mass% or more is more preferable, 10 mass% or less is preferable, 7 mass% or less is more preferable, and 5 mass% or less is further more preferable. . By setting it to the above lower limit or more, it tends to ensure sufficient photocurability, and by setting it to the above upper limit or less, there is a tendency that deterioration of film performance such as deterioration of electrical reliability and coloring can be suppressed. is there.
[(C)エチレン性不飽和基含有化合物]
本発明の感光性樹脂組成物は、(C)エチレン性不飽和基含有化合物を含む。(C)エチレン性不飽和基含有化合物は、分子内にエチレン性不飽和基を少なくとも1個有する化合物である。本発明の感光性樹脂組成物は、(C)エチレン性不飽和基含有化合物を含むことで、感光性樹脂組成物のパターニング性も向上させる他、耐薬品性を向上させる効果が得られる傾向がある。
[(C) ethylenically unsaturated group-containing compound]
The photosensitive resin composition of the present invention contains (C) an ethylenically unsaturated group-containing compound. (C) The ethylenically unsaturated group-containing compound is a compound having at least one ethylenically unsaturated group in the molecule. The photosensitive resin composition of the present invention includes (C) an ethylenically unsaturated group-containing compound, so that the patterning property of the photosensitive resin composition is improved and the effect of improving chemical resistance tends to be obtained. is there.
エチレン性不飽和基は分子内に多くあるほど、架橋(硬化)時のネットワークが緻密になり、耐薬品性や電気信頼性を確保し易い傾向がある。また、低温のベークに起因して全エチレン性不飽和基中の架橋化比率が低くなったとしても、それなりのネットワークが確保される点からも有利である。
このことから、(C)エチレン性不飽和基含有化合物は、エチレン性不飽和基を多数有するものであることが好ましく、具体的には、2個以上有することが好ましく、3個以上有することがより好ましく、5個以上有することがさらに好ましい。また、エチレン性不飽和結合の数に上限は無いが、通常12個以下であり、好ましくは6個以下である。なお、デンドリマーの様な多数のエチレン性不飽和結合を有するものを使用しても良い。
As the number of ethylenically unsaturated groups increases in the molecule, the network at the time of crosslinking (curing) becomes denser, and it tends to ensure chemical resistance and electrical reliability. Moreover, even if the crosslinking ratio in all ethylenically unsaturated groups is reduced due to low-temperature baking, it is advantageous from the viewpoint of securing a suitable network.
From this, it is preferable that the (C) ethylenically unsaturated group-containing compound has a large number of ethylenically unsaturated groups, specifically two or more, preferably three or more. More preferably, it is more preferably 5 or more. Moreover, although there is no upper limit in the number of ethylenically unsaturated bonds, it is 12 or less normally, Preferably it is 6 or less. In addition, you may use what has many ethylenically unsaturated bonds like a dendrimer.
(C)エチレン性不飽和基含有化合物が有するエチレン性不飽和基は、反応性の観点から、アリル基及び/又は(メタ)アクリロイル基であることが好ましい。
(C)エチレン性不飽和基含有化合物は、1種類のみを用いても、2種類以上を任意の比率と組合せで用いても良い。なお、複数種のエチレン性不飽和基含有化合物を用いる場合において、エチレン性不飽和基の数については、この複数種のエチレン性不飽和基含有化合物が有するエチレン性不飽和基の数のモル平均値を上述の好ましい範囲とするのが良い。
(C) The ethylenically unsaturated group contained in the ethylenically unsaturated group-containing compound is preferably an allyl group and / or a (meth) acryloyl group from the viewpoint of reactivity.
(C) The ethylenically unsaturated group-containing compound may be used alone or in combination of two or more in any ratio. In the case of using a plurality of types of ethylenically unsaturated group-containing compounds, the number of ethylenically unsaturated groups is the molar average of the number of ethylenically unsaturated groups possessed by the plurality of types of ethylenically unsaturated group-containing compounds. It is good to make a value into the above-mentioned preferable range.
以下、(C)エチレン性不飽和基含有化合物のうち、特に好適な化合物について説明する。具体的には、例えば、(C1)不飽和カルボン酸とポリヒドロキシ化合物とのエステル類、(C2)ヒドロキシ(メタ)アクリレート化合物とポリイソシアネート化合物とのウレタン(メタ)アクリレート類、及び(C3)(メタ)アクリル酸又はヒドロキシ(メタ)アクリレート化合物とポリエポキシ化合物とのエポキシ(メタ)アクリレート類等が挙げられる。 Hereinafter, a particularly preferable compound among the (C) ethylenically unsaturated group-containing compounds will be described. Specifically, for example, (C1) esters of unsaturated carboxylic acid and polyhydroxy compound, (C2) urethane (meth) acrylates of hydroxy (meth) acrylate compound and polyisocyanate compound, and (C3) ( Examples include meth) acrylic acid or epoxy (meth) acrylates of a hydroxy (meth) acrylate compound and a polyepoxy compound.
(C1)不飽和カルボン酸とポリヒドロキシ化合物とのエステル類としては、例えば、不飽和カルボン酸と糖アルコールとの反応物、不飽和カルボン酸と糖アルコールのアルキレンオキサイド付加物との反応物、不飽和カルボン酸とアルコールアミンとの反応物などが挙げられる。
ここで、不飽和カルボン酸としては、具体的には、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸などが挙げられる。
(C1) Esters of unsaturated carboxylic acid and polyhydroxy compound include, for example, a reaction product of unsaturated carboxylic acid and sugar alcohol, a reaction product of unsaturated carboxylic acid and alkylene oxide adduct of sugar alcohol, Examples include a reaction product of a saturated carboxylic acid and an alcohol amine.
Here, specific examples of the unsaturated carboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, and itaconic acid.
糖アルコールとしては、具体的には、エチレングリコール、ポリエチレングリコール(付加数2〜14)、プロピレングリコール、ポリプロピレングリコール(付加数2〜14)、トリメチレングリコール、テトラメチレングリコール、ヘキサメチレングリコール、トリメチロールプロパン、グリセロール、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等の多価アルコールなど挙げられる。 Specific examples of the sugar alcohol include ethylene glycol, polyethylene glycol (addition number 2 to 14), propylene glycol, polypropylene glycol (addition number 2 to 14), trimethylene glycol, tetramethylene glycol, hexamethylene glycol, and trimethylol. Examples thereof include polyhydric alcohols such as propane, glycerol, pentaerythritol and dipentaerythritol.
糖アルコールのアルキレンオキサイド付加物としては、具体的には、上述の糖アルコールなどに、エチレンオキサイド又はプロピレンオキサイド等が付加した化合物などが挙げられる。
アルコールアミンとしては、具体的には、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の多価アルコールアミンなどが挙げられる。
Specific examples of the alkylene oxide adduct of sugar alcohol include compounds obtained by adding ethylene oxide or propylene oxide to the above-mentioned sugar alcohol.
Specific examples of the alcohol amine include polyhydric alcohol amines such as diethanolamine and triethanolamine.
そして、不飽和カルボン酸とポリヒドロキシ化合物とのエステル類としては、具体的には、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキサイド付加トリ(メタ)アクリレート、グリセロールジ(メタ)アクリレート、グリセロールトリ(メタ)アクリレート、グリセロールプロピレンオキサイド付加トリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等、及びこれらのクロトネート、イソクロトネート、マレエート、イタコネート、シトラコネートなどが挙げられる。なお、不飽和カルボン酸とポリヒドロキシ化合物とのエステル類には、これらの化合物の誘導体なども含まれる。誘導体の中でも、パターニング性の観点からは、酸基を有する誘導体が好ましく、例えば、前記エステル類におけるポリヒドロキシ化合物の一部を酸基を有する化合物で置き換えたもの、具体的にはカルボキシル基含有化合物で置き換えたものが好ましい。 Specific examples of esters of unsaturated carboxylic acids and polyhydroxy compounds include ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane di ( (Meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane ethylene oxide addition tri (meth) acrylate, glycerol di (meth) acrylate, glycerol tri (meth) acrylate, glycerol propylene oxide addition tri (meth) acrylate, penta Erythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol Rupenta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, and their crotonate, isobutyl crotonate, maleate, itaconate, citraconate, and the like. The esters of unsaturated carboxylic acid and polyhydroxy compound include derivatives of these compounds. Among the derivatives, a derivative having an acid group is preferable from the viewpoint of patterning properties. For example, a derivative obtained by replacing part of the polyhydroxy compound in the ester with a compound having an acid group, specifically a carboxyl group-containing compound. The one replaced with is preferable.
また、不飽和カルボン酸とポリヒドロキシ化合物とのエステル類としては、不飽和カルボン酸と、ヒドロキノン、レゾルシン、ピロガロール、ビスフェノールF、ビスフェノールA等の芳香族ポリヒドロキシ化合物、或いはそれらのエチレンオキサイド付加物との反応物なども挙げられる。具体的には、例えば、ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAビス[オキシエチレン(メタ)アクリレート〕、ビスフェノールAビス[グリシジルエーテル(メタ)アクリレート〕等が挙げられる。 Moreover, as esters of unsaturated carboxylic acid and polyhydroxy compound, unsaturated carboxylic acid and aromatic polyhydroxy compound such as hydroquinone, resorcin, pyrogallol, bisphenol F, bisphenol A, or their ethylene oxide adducts And the like. Specific examples include bisphenol A di (meth) acrylate, bisphenol A bis [oxyethylene (meth) acrylate], bisphenol A bis [glycidyl ether (meth) acrylate], and the like.
また、前記の不飽和カルボン酸と、トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレート等の複素環式ポリヒドロキシ化合物との反応物、例えば、トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレートのジ(メタ)アクリレート、トリ(メタ)アクリレート等も挙げられる。
また、不飽和カルボン酸と多価カルボン酸とポリヒドロキシ化合物との反応物、例えば、(メタ)アクリル酸とフタル酸とエチレングリコールとの縮合物、(メタ)アクリル酸とマレイン酸とジエチレングリコールとの縮合物、(メタ)アクリル酸とテレフタル酸とペンタエリスリトールとの縮合物、(メタ)アクリル酸とアジピン酸とブタンジオールとグリセリンとの縮合物等も挙げられる。
In addition, a reaction product of the unsaturated carboxylic acid and a heterocyclic polyhydroxy compound such as tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate, for example, di (meth) acrylate of tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate, A tri (meth) acrylate etc. are also mentioned.
Also, a reaction product of an unsaturated carboxylic acid, a polyvalent carboxylic acid and a polyhydroxy compound, for example, a condensate of (meth) acrylic acid, phthalic acid and ethylene glycol, or (meth) acrylic acid, maleic acid and diethylene glycol. Examples include condensates, condensates of (meth) acrylic acid, terephthalic acid, and pentaerythritol, condensates of (meth) acrylic acid, adipic acid, butanediol, and glycerin.
(C2)ヒドロキシ(メタ)アクリレート化合物とポリイソシアネート化合物とのウレタン(メタ)アクリレート類としては、例えば、ヒドロキシ(メタ)アクリレート化合物と、脂肪族ポリイソシアネート、脂環式ポリイソシアネート、芳香族ポリイソシアネート又は複素環式ポリイソシアネートなどのポリイソシアネート化合物との反応物等が挙げられる。 (C2) As urethane (meth) acrylates of a hydroxy (meth) acrylate compound and a polyisocyanate compound, for example, a hydroxy (meth) acrylate compound, an aliphatic polyisocyanate, an alicyclic polyisocyanate, an aromatic polyisocyanate or Examples thereof include a reaction product with a polyisocyanate compound such as a heterocyclic polyisocyanate.
具体的には、例えば、ヒドロキシ(メタ)アクリレート化合物としては、ヒドロキシメチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、テトラメチロールエタントリ(メタ)アクリレート等が挙げられる。また、ポリイソシアネート化合物は、ヘキサメチレンジイソシアネート、1,8−ジイソシアネート−4−イソシアネートメチルオクタン等の脂肪族ポリイソシアネート;シクロヘキサンジイソシアネート、ジメチルシクロヘキサンジイソシアネート、4,4−メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)、イソホロンジイソシアネート、ビシクロヘプタントリイソシアネート等の脂環式ポリイソシアネート;4,4−ジフェニルメタンジイソシアネート、トリス(イソシアネートフェニル)チオホスフェート等の芳香族ポリイソシアネート及びイソシアヌレート等の複素環式ポリイソシアネート等が挙げられる。 Specifically, examples of the hydroxy (meth) acrylate compound include hydroxymethyl (meth) acrylate, hydroxyethyl (meth) acrylate, tetramethylolethane tri (meth) acrylate, and the like. Polyisocyanate compounds include aliphatic polyisocyanates such as hexamethylene diisocyanate and 1,8-diisocyanate-4-isocyanate methyloctane; cyclohexane diisocyanate, dimethylcyclohexane diisocyanate, 4,4-methylenebis (cyclohexyl isocyanate), isophorone diisocyanate, bicyclo Examples include alicyclic polyisocyanates such as heptane triisocyanate; aromatic polyisocyanates such as 4,4-diphenylmethane diisocyanate and tris (isocyanatephenyl) thiophosphate, and heterocyclic polyisocyanates such as isocyanurate.
ヒドロキシ(メタ)アクリレート化合物とポリイソシアネート化合物とのウレタン(メタ)アクリレート類の市販品としては、例えば、新中村化学社製「U−4HA」、「UA−306A」、「UA−MC340H」、「UA−MC340H」及び「U6LPA」等が挙げられる。
ヒドロキシ(メタ)アクリレート化合物とポリイソシアネート化合物とのウレタン(メタ)アクリレート類としては、硬化物の耐薬品性などを充分確保するためには、4個以上のウレタン結合〔−NH−CO−O−〕及び4個以上の(メタ)アクリロイルオキシ基を有する化合物が好ましい。このような化合物は、例えば、4個以上の水酸基を有する化合物とジイソシアネート化合物とを反応させる、2個以上の水酸基を有する化合物と3個以上のイソシアネート基を有する化合物とを反応させる、4個以上のイソシアネート基を有する化合物と1個以上の水酸基と2個以上の(メタ)アクリロイルオキシ基を有する化合物とを反応させるなどの方法により得ることができる。
As a commercial item of urethane (meth) acrylates of a hydroxy (meth) acrylate compound and a polyisocyanate compound, for example, “U-4HA”, “UA-306A”, “UA-MC340H” manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., “ UA-MC340H "and" U6LPA ".
As urethane (meth) acrylates of a hydroxy (meth) acrylate compound and a polyisocyanate compound, four or more urethane bonds [—NH—CO—O— are used to ensure sufficient chemical resistance of the cured product. And a compound having 4 or more (meth) acryloyloxy groups. Such a compound is, for example, a compound having 4 or more hydroxyl groups and a diisocyanate compound, a compound having 2 or more hydroxyl groups, and a compound having 3 or more isocyanate groups. It can be obtained by a method of reacting a compound having an isocyanate group with one or more hydroxyl groups and a compound having two or more (meth) acryloyloxy groups.
具体的には、例えば、以下の化合物などが挙げられる。すなわち、4個以上の水酸基を有する化合物とジイソシアネート化合物とを反応させることにより得られる化合物としては、ペンタエリスリトール、ポリグリセリン等の4個以上の水酸基を有する化合物と、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物とを反応させて得られる化合物などが挙げられる。 Specific examples include the following compounds. That is, compounds obtained by reacting a compound having four or more hydroxyl groups with a diisocyanate compound include compounds having four or more hydroxyl groups such as pentaerythritol and polyglycerol, hexamethylene diisocyanate, and trimethylhexamethylene diisocyanate. And compounds obtained by reacting with diisocyanate compounds such as isophorone diisocyanate and tolylene diisocyanate.
2個以上の水酸基を有する化合物と3個以上のイソシアネート基を有する化合物とを反応させることにより得られる化合物としては、エチレングリコール等の2個以上の水酸基を有する化合物と、旭化成ケミカルズ社製「デュラネート(登録商標)24A−100」、同「デュラネート(登録商標)22A−75PX」、同「デュラネート(登録商標)21S−75E」、同「デュラネート(登録商標)18H−70B」等のビウレットタイプ及び同「デュラネート(登録商標)P−301−75E」、同「デュラネート(登録商標)E−402−90T」、同「デュラネート(登録商標)E−405−80T」等のアダクトタイプ等の3個以上のイソシアネート基を有する化合物とを反応させて得られる化合物などが挙げられる。 As a compound obtained by reacting a compound having two or more hydroxyl groups with a compound having three or more isocyanate groups, a compound having two or more hydroxyl groups such as ethylene glycol and “Duranate” manufactured by Asahi Kasei Chemicals Corporation (Registered trademark) 24A-100 "," Duranate (registered trademark) 22A-75PX "," Duranate (registered trademark) 21S-75E "," Duranate (registered trademark) 18H-70B "and other biuret types Three or more adduct types such as “DURANATE (registered trademark) P-301-75E”, “DURANATE (registered trademark) E-402-90T”, and “DURANATE (registered trademark) E-405-80T” Examples thereof include compounds obtained by reacting with a compound having an isocyanate group.
4個以上のイソシアネート基を有する化合物と1個以上の水酸基と2個以上の(メタ)アクリロイルオキシ基を有する化合物とを反応させることにより得られる化合物としては、イソシアネートエチル(メタ)アクリレート等を重合若しくは共重合させて得られる化合物等の4個以上、好ましくは6個以上のイソシアネート基を有する化合物等と、旭化成ケミカルズ社製「デュラネート(登録商標)ME20−100」と、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート等の1個以上の水酸基と2個以上、好ましくは3個以上の(メタ)アクリロイルオキシ基を有する化合物とを反応させて得られる化合物などが挙げられる。 As a compound obtained by reacting a compound having four or more isocyanate groups, one or more hydroxyl groups and a compound having two or more (meth) acryloyloxy groups, isocyanate ethyl (meth) acrylate or the like is polymerized. Alternatively, a compound having four or more, preferably six or more isocyanate groups obtained by copolymerization, “Duranate (registered trademark) ME20-100” manufactured by Asahi Kasei Chemicals Corporation, and pentaerythritol di (meth) 1 or more hydroxyl groups and 2 or more, preferably 3 or more (meth) acryloyl such as acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, etc. A compound having an oxy group and And compounds obtained by reacting the like.
(C3)(メタ)アクリル酸又はヒドロキシ(メタ)アクリレート化合物とポリエポキシ化合物とのエポキシ(メタ)アクリレート類としては、例えば、(メタ)アクリル酸又は前記のヒドロキシ(メタ)アクリレート化合物と、脂肪族ポリエポキシ化合物、芳香族ポリエポキシ化合物、複素環式ポリエポキシ化合物等のポリエポキシ化合物との反応により得られる化合物などが挙げられる。 Examples of epoxy (meth) acrylates of (C3) (meth) acrylic acid or a hydroxy (meth) acrylate compound and a polyepoxy compound include (meth) acrylic acid or the above hydroxy (meth) acrylate compound and aliphatic Examples thereof include compounds obtained by reaction with polyepoxy compounds such as polyepoxy compounds, aromatic polyepoxy compounds, and heterocyclic polyepoxy compounds.
具体的には、例えば、(メタ)アクリル酸又は前記のヒドロキシ(メタ)アクリレート化合物と、(ポリ)エチレングリコールポリグリシジルエーテル、(ポリ)プロピレングリコールポリグリシジルエーテル、(ポリ)テトラメチレングリコールポリグリシジルエーテル、(ポリ)ペンタメチレングリコールポリグリシジルエーテル、(ポリ)ネオペンチルグリコールポリグリシジルエーテル、(ポリ)ヘキサメチレングリコールポリグリシジルエーテル、(ポリ)トリメチロールプロパンポリグリシジルエーテル、(ポリ)グリセロールポリグリシジルエーテル、(ポリ)ソルビトールポリグリシジルエーテル等の脂肪族ポリエポキシ化合物;フェノールノボラックポリエポキシ化合物、ブロム化フェノールノボラックポリエポキシ化合物、(o−,m−,p−)クレゾールノボラックポリエポキシ化合物、ビスフェノールAポリエポキシ化合物、ビスフェノールFポリエポキシ化合物等の芳香族ポリエポキシ化合物;ソルビタンポリグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレート、トリグリシジルトリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレート等の複素環式ポリエポキシ化合物等のポリエポキシ化合物との反応により得られる化合物などが挙げられる。 Specifically, for example, (meth) acrylic acid or the above hydroxy (meth) acrylate compound, (poly) ethylene glycol polyglycidyl ether, (poly) propylene glycol polyglycidyl ether, (poly) tetramethylene glycol polyglycidyl ether (Poly) pentamethylene glycol polyglycidyl ether, (poly) neopentyl glycol polyglycidyl ether, (poly) hexamethylene glycol polyglycidyl ether, (poly) trimethylolpropane polyglycidyl ether, (poly) glycerol polyglycidyl ether, ( Poly) aliphatic polyepoxy compounds such as sorbitol polyglycidyl ether; phenol novolac polyepoxy compounds, brominated phenol novolac polyepoxy compounds , (O-, m-, p-) cresol novolak polyepoxy compounds, bisphenol A polyepoxy compounds, bisphenol F polyepoxy compounds and other aromatic polyepoxy compounds; sorbitan polyglycidyl ether, triglycidyl isocyanurate, triglycidyl tris ( And compounds obtained by reaction with a polyepoxy compound such as a heterocyclic polyepoxy compound such as 2-hydroxyethyl) isocyanurate.
(C1)〜(C3)以外のエチレン性不飽和基含有化合物としては、例えば、エチレンビス(メタ)アクリルアミド等の(メタ)アクリルアミド類、フタル酸ジアリル等のアリルエステル類、ジビニルフタレート等のビニル基を有する化合物類、エーテル結合を有するエチレン性不飽和化合物のエーテル結合を5硫化燐等により硫化してチオエーテル結合に変えたチオエーテル結合を有する化合物類などが挙げられる。
この他にも要求特性に応じて、マクロモノマーやデンドリマーアクリレートといった特殊なエチレン性不飽和基含有化合物を用いても良い。例えばデンドリマーとしては大阪有機社のSTAR−501やSIRIUS−501といったものが挙げられる。マクロモノマーとしては、例えば東亜合成社のAA−6、AS−6、AB−6、AN−6S等が挙げられる。
Examples of the ethylenically unsaturated group-containing compound other than (C1) to (C3) include (meth) acrylamides such as ethylenebis (meth) acrylamide, allyl esters such as diallyl phthalate, and vinyl groups such as divinyl phthalate. And compounds having a thioether bond obtained by sulfidizing an ether bond of an ethylenically unsaturated compound having an ether bond with phosphorus pentasulfide to form a thioether bond.
In addition to this, a special ethylenically unsaturated group-containing compound such as a macromonomer or a dendrimer acrylate may be used according to required characteristics. For example, examples of dendrimers include STAR-501 and SIRIUS-501 from Osaka Organic Chemical Company. Examples of the macromonomer include AA-6, AS-6, AB-6, and AN-6S manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.
これらのエチレン性不飽和基含有化合物は、1種を単独で用いても良く、2種以上を併用しても良いが、高い電気信頼性や耐薬品性の確保の点で(C1)不飽和カルボン酸とポリヒドロキシ化合物とのエステル類を用いることが好ましく、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート等のエチレン性不飽和基を5個以上有する化合物が特に好ましい。 These ethylenically unsaturated group-containing compounds may be used alone or in combination of two or more, but (C1) unsaturated in terms of ensuring high electrical reliability and chemical resistance. It is preferable to use esters of a carboxylic acid and a polyhydroxy compound, and compounds having 5 or more ethylenically unsaturated groups such as dipentaerythritol hexa (meth) acrylate and dipentaerythritol penta (meth) acrylate are particularly preferable.
なお、本発明の感光性樹脂組成物は、好ましくは露光後現像液で現像して用いるが、アルカリ現像液を用いる場合は、現像性の最適化の目的で、カルボキシル基や水酸基、ポリエチレングリコールや、ポリプロピレングリコール基を導入したエチレン性不飽和基含有化合物を用いても良い。 The photosensitive resin composition of the present invention is preferably used after being developed with a developer after exposure. However, when an alkali developer is used, for the purpose of optimizing developability, a carboxyl group, a hydroxyl group, polyethylene glycol, Alternatively, an ethylenically unsaturated group-containing compound into which a polypropylene glycol group has been introduced may be used.
本発明の感光性樹脂組成物に(C)エチレン性不飽和基含有化合物の含有割合は、本発明の感光性樹脂組成物の全固形分に対して、3質量%以上であることが好ましく、10質量%以上であることがより好ましく、20質量%以上であることがさらに好ましく、35質量%以上であることが特に好ましく、60質量%以下であることが好ましく、50質量%以下であることがより好ましい。上記下限値以上とすることで、エチレン性不飽和基含有化合物を用いることによる効果が十分に発現できる傾向があり、上記上限値以下とすることで、充分な低温硬化性を確保しやすくなる傾向がある。 The content ratio of the (C) ethylenically unsaturated group-containing compound in the photosensitive resin composition of the present invention is preferably 3% by mass or more based on the total solid content of the photosensitive resin composition of the present invention. It is more preferably 10% by mass or more, further preferably 20% by mass or more, particularly preferably 35% by mass or more, preferably 60% by mass or less, and 50% by mass or less. Is more preferable. By making it the above lower limit or more, the effect of using the ethylenically unsaturated group-containing compound tends to be sufficiently expressed, and by making it the above upper limit or less, it tends to ensure sufficient low-temperature curability. There is.
[(D)熱ラジカル重合開始剤]
本発明の感光性樹脂組成物には、(D)熱ラジカル重合開始剤を含有する。(D)熱ラジカル重合開始剤は、熱エネルギーにより分解してラジカルを発生することができる化合物であり、従来公知の有機過酸化物やアゾ化合物等を用いることができる。
これらの中でも、10時間半減期温度が70℃以上のものであることが好ましく、80℃以上であることがより好ましく、90℃以上であることが特に好ましい。また、140℃以下であることが好ましく、130℃以下であることがより好ましく、120℃以下であることが特に好ましい。前記下限値以上の場合は保存安定性が確保し易くなる傾向があり、また、前記上限値以下の場合は充分な低温硬化性を確保し易くなる傾向がある。
また、(D)として、10時間半減期温度が上記範囲外のものを用いてもよい。
[(D) Thermal radical polymerization initiator]
The photosensitive resin composition of the present invention contains (D) a thermal radical polymerization initiator. (D) The thermal radical polymerization initiator is a compound that can be decomposed by thermal energy to generate radicals, and conventionally known organic peroxides, azo compounds, and the like can be used.
Among these, the 10-hour half-life temperature is preferably 70 ° C. or higher, more preferably 80 ° C. or higher, and particularly preferably 90 ° C. or higher. Moreover, it is preferable that it is 140 degrees C or less, It is more preferable that it is 130 degrees C or less, It is especially preferable that it is 120 degrees C or less. When it is at least the lower limit, storage stability tends to be ensured, and when it is at most the upper limit, sufficient low temperature curability tends to be ensured.
Further, as (D), one having a 10-hour half-life temperature outside the above range may be used.
10時間半減期温度と、安全性の観点で、(D)熱ラジカル重合開始剤がアゾ化合物を含むことが好ましく、中でも下記一般式(1)で示されるアゾ化合物であることが好ましい。 From the viewpoint of 10-hour half-life temperature and safety, the (D) thermal radical polymerization initiator preferably contains an azo compound, and among them, an azo compound represented by the following general formula (1) is preferable.
上記一般式(1)中、R1及びR2は各々独立して、置換基を有してもよい炭素数1〜6のアルキル基を表し、同一の炭素原子に結合しているR1とR2とが結合して環を形成していてもよい。R3は置換基を有していてもよい炭素数1〜10のアルキル基を表す。Xは、O又はNHを表す。 In the general formula (1), R 1 and R 2 each independently represents an optionally substituted alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and R 1 and R 1 bonded to the same carbon atom R 2 may be bonded to form a ring. R 3 represents a C 1-10 alkyl group which may have a substituent. X represents O or NH.
R1及びR2におけるアルキル基の炭素数は通常1〜6であるが、反応効率の観点から、好ましくは3以下であり、より好ましくは2以下である。
アルキル基が有していてもよい置換基としては、反応に不活性なものであれば如何なるものでも良いが、例えば、フェニル基、トリル基、キシリル基等が挙げられる。合成のし易さの観点からは、無置換であることが好ましい。
置換基を有していてもよいアルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ベンジル基等が挙げられ、反応効率の観点から、好ましくはメチル基、エチル基であり、より好ましくはメチル基である。
The carbon number of the alkyl group in R 1 and R 2 is usually 1 to 6, but is preferably 3 or less, more preferably 2 or less, from the viewpoint of reaction efficiency.
As the substituent that the alkyl group may have, any substituent may be used as long as it is inert to the reaction. Examples thereof include a phenyl group, a tolyl group, and a xylyl group. From the viewpoint of ease of synthesis, it is preferably unsubstituted.
Specific examples of the alkyl group which may have a substituent include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, and a benzyl group. From the viewpoint of reaction efficiency, a methyl group and an ethyl group are preferable. More preferably a methyl group.
また、同一の炭素原子に結合しているR1とR2とが環を形成していてもよい。例えばR1とR2とが結合してシクロアルキル基を形成していてもよい。
形成される環としては例えば、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基などが挙げられ、これらの中でも開始剤としての反応効率や製造面から、好ましくはシクロペンチル基、シクロヘキシル基、より好ましくはシクロヘキシル基である。
R 1 and R 2 bonded to the same carbon atom may form a ring. For example, R 1 and R 2 may be bonded to form a cycloalkyl group.
Examples of the ring formed include a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group, a cyclooctyl group, etc. Among them, a cyclopentyl group and a cyclohexyl group are more preferable from the viewpoint of reaction efficiency and production as an initiator. Is a cyclohexyl group.
R1及びR2の中でも発生ラジカルの動きやすさの観点から、各々独立に、置換基を有していてもよいアルキル基であることが好ましく、アルキル基であることがより好ましく、メチル基であることがさらに好ましい。 Among R 1 and R 2 , from the viewpoint of the ease of movement of the generated radicals, each independently is preferably an alkyl group which may have a substituent, more preferably an alkyl group, and a methyl group. More preferably it is.
R3におけるアルキル基の炭素数は通常1〜10であるが、好ましくは2以上であり、より好ましくは3以上であり、好ましくは8以下であり、より好ましくは7以下である。前記下限値以上とすることで、溶剤や感光性組成物のその他の成分との親和性が良くなる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで、ラジカルが動きやすく反応効率が良くなる傾向がある。
アルキル基が有していてもよい置換基としては、例えば、水酸基などが挙げられる。合成のし易さの観点からは、無置換であることが好ましい。
置換基を有していてもよいアルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、イソプロピル基、イソブチル基、s−ブチル基、Tert−ブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、Tert−ペンチル基、イソヘキシル基、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基、ヒドロキシプロピル基、ビス(ヒドロキシメチル)−2−ヒドロキシエチル基、ビニル基、2−プロペニル基、イソプロペニル基、2−ブテニル基、3−ブテニル基、イソブテニル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等が挙げられ、好ましくはメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、イソプロピル基、イソブチル基、2−プロピペニル基であり、より好ましくはプロピル基、ブチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、イソプロピル基、イソブチル基である。
The carbon number of the alkyl group in R 3 is usually 1 to 10, preferably 2 or more, more preferably 3 or more, preferably 8 or less, more preferably 7 or less. By setting it to the lower limit value or more, there is a tendency that affinity with other components of the solvent and the photosensitive composition tends to be improved, and by setting the upper limit value or less, radicals easily move and reaction efficiency is improved. Tend.
Examples of the substituent that the alkyl group may have include a hydroxyl group. From the viewpoint of ease of synthesis, it is preferably unsubstituted.
Specific examples of the alkyl group which may have a substituent include methyl, ethyl, propyl, butyl, pentyl, hexyl, isopropyl, isobutyl, s-butyl, and tert-butyl groups. , Isopentyl group, neopentyl group, Tert-pentyl group, isohexyl group, hydroxymethyl group, hydroxyethyl group, hydroxypropyl group, bis (hydroxymethyl) -2-hydroxyethyl group, vinyl group, 2-propenyl group, isopropenyl group , 2-butenyl group, 3-butenyl group, isobutenyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, etc., preferably methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, hexyl group, cyclohexyl group, isopropyl group, isobutyl group, 2-propiphenyl group, more preferably propyl , Butyl group, hexyl group, a cyclohexyl group, an isopropyl group, an isobutyl group.
また、Xは、O又はNHであるが、10時間半減温度を70℃から140℃に設計しやすいとの観点からNHがより好ましい。 X is O or NH, and NH is more preferable from the viewpoint that the 10-hour half-life temperature can be easily designed from 70 ° C to 140 ° C.
一般式(1)で示される化合物の具体例としては例えば、2,2’−アゾビス(N−ブチル−2−メチルプロピオンアミド)(110℃)、2,2’−アゾビス(N−シクロヘキシル−2−メチルプロピオンアミド)(111℃)、2,2’−アゾビス[N−(2−メチルプロピル)−2−メチルプロピオンアミド](112℃)、2,2’−アゾビス[N−(2−メチルエチル)−2−メチルプロピオンアミド](111℃)、2,2’−アゾビス(N−ヘキシル−2−メチルプロピオンアミド)(112℃)、2,2’−アゾビス(N−プロピル−2−メチルプロピオンアミド)(111℃)、2,2’−アゾビス(N−エチル−2−メチルプロピオンアミド)(110℃)、2,2’−アゾビス[2−メチル−N−(2−ヒドロキシエチル)プロピオンアミド](86℃)、2,2’−アゾビス[N−(2−プロペニル)−2−メチルプロピオンアミド](86℃)、2,2’−アゾビス{2−メチル−N−[1,1−ビス(ヒドロキシメチル)−2−ヒドロキシエチル]プロピオンアミド}(80℃)、2,2’−アゾビス[N−(2−プロペニル)−2−メチルプロピオンアミド](96℃)、ジメチル−1,1’−アゾビス(1−シクロヘキサンカルボキシレート)(73℃)等が挙げられる。なお、( )内は、10時間半減期温度を表す。 Specific examples of the compound represented by the general formula (1) include 2,2′-azobis (N-butyl-2-methylpropionamide) (110 ° C.), 2,2′-azobis (N-cyclohexyl-2). -Methylpropionamide) (111 ° C.), 2,2′-azobis [N- (2-methylpropyl) -2-methylpropionamide] (112 ° C.), 2,2′-azobis [N- (2-methyl) Ethyl) -2-methylpropionamide] (111 ° C.), 2,2′-azobis (N-hexyl-2-methylpropionamide) (112 ° C.), 2,2′-azobis (N-propyl-2-methyl) Propionamide) (111 ° C.), 2,2′-azobis (N-ethyl-2-methylpropionamide) (110 ° C.), 2,2′-azobis [2-methyl-N- (2-hydroxy ester) L) propionamide] (86 ° C.), 2,2′-azobis [N- (2-propenyl) -2-methylpropionamide] (86 ° C.), 2,2′-azobis {2-methyl-N- [ 1,1-bis (hydroxymethyl) -2-hydroxyethyl] propionamide} (80 ° C.), 2,2′-azobis [N- (2-propenyl) -2-methylpropionamide] (96 ° C.), dimethyl -1,1′-azobis (1-cyclohexanecarboxylate) (73 ° C.) and the like. In addition, () represents a 10-hour half-life temperature.
上記例示の中でも特に好ましいのは、半減期温度や溶解性、安全性等の点で、2,2’−アゾビス(N−ブチル−2−メチルプロピオンアミド)、2,2’−アゾビス(N−ヘキシル−2−メチルプロピオンアミド)、2,2’−アゾビス(N−プロピル−2−メチルプロピオンアミド)である。 Of the above examples, 2,2′-azobis (N-butyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis (N—) are particularly preferable in terms of half-life temperature, solubility, safety and the like. Hexyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis (N-propyl-2-methylpropionamide).
(D)熱ラジカル重合開始剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
本発明の感光性樹脂組成物中の(D)熱ラジカル重合開始剤の含有割合は、本発明の感光性樹脂組成物の全固形分に対して、0.5質量%以上であることが好ましく、1質量%以上であることがより好ましく、2質量%以上であることが特に好ましい。10質量%以下であることが好ましく、7質量%以下であることがより好ましく、5質量%以下であることが特に好ましい。上記下限値以上とすることで、十分な耐薬品性が得られ易くなる傾向があり、一方上記上限値以下とすることで現像性の悪化を抑制できる傾向がある。
また、(D)熱ラジカル重合開始剤中の、10時間半減期温度が上記範囲を満足する熱ラジカル重合開始剤の含有割合は、通常100質量%以下であり、また、低温で充分硬化させ、且つ現像時に除去すべき部分を残差を残さず現像させるとの観点から、好ましくは50質量%以上、より好ましくは70質量%以上、さらに好ましくは90質量%以上であり、最も好ましくは100質量%である。
(D) A thermal radical polymerization initiator may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.
The content ratio of the thermal radical polymerization initiator (D) in the photosensitive resin composition of the present invention is preferably 0.5% by mass or more based on the total solid content of the photosensitive resin composition of the present invention. It is more preferably 1% by mass or more, and particularly preferably 2% by mass or more. It is preferably 10% by mass or less, more preferably 7% by mass or less, and particularly preferably 5% by mass or less. When the amount is not less than the above lower limit value, sufficient chemical resistance tends to be obtained. On the other hand, when the amount is not more than the above upper limit value, there is a tendency that deterioration of developability can be suppressed.
In addition, the content ratio of the thermal radical polymerization initiator in which the 10-hour half-life temperature satisfies the above range in (D) the thermal radical polymerization initiator is usually 100% by mass or less, and is sufficiently cured at a low temperature. Further, from the viewpoint of developing the portion to be removed during development without leaving a residual, it is preferably 50% by mass or more, more preferably 70% by mass or more, further preferably 90% by mass or more, and most preferably 100% by mass. %.
[(E)アルキルエーテル基及びアシルオキシル基からなる群から選ばれる2以上の置換基を有する、ナフタレン化合物又はアントラセン化合物]
本発明の感光性樹脂組成物には、(B)光カチオン重合開始剤の感度を高める目的で(E)アルキルエーテル基及びアシルオキシル基からなる群から選ばれる2以上の置換基を有するナフタレン化合物又はアントラセン化合物が含まれていてもよい。(E)成分を用いることで、感度は高くないが電気信頼性に有利な光カチオン重合開始剤、例えば芳香族ヨードニウムのヘキサフルオロホスフェート塩を使用しても十分な感度が確保できる傾向にある。
[(E) Naphthalene compound or anthracene compound having two or more substituents selected from the group consisting of alkyl ether groups and acyloxyl groups]
The photosensitive resin composition of the present invention includes (B) a naphthalene compound having two or more substituents selected from the group consisting of an alkyl ether group and an acyloxyl group for the purpose of increasing the sensitivity of the photocationic polymerization initiator (B). Alternatively, an anthracene compound may be contained. By using the component (E), sufficient sensitivity is likely to be secured even when a photocationic polymerization initiator that is not high in sensitivity but advantageous in electrical reliability, for example, an aromatic iodonium hexafluorophosphate salt is used.
アルキルエーテル基の炭素数は特に限定されないが、溶解性の観点から、1以上が好ましく、また感度の観点から、10以下が好ましく、8以下がより好ましく、5以下がさらに好ましい。アルキルエーテル基の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペントキシ基、ヘキソキシ基、ヘプトキシ基、オクトキシ基などが挙げられ、溶解性と感度のバランスの観点から、エトキシ基、プロポキシ基、又はブトキシ基であることがより好ましい。
アシルオキシル基の炭素数は特に限定されないが、溶解性の観点から、5以上が好ましく、7以上がより好ましく、また感度の観点から、12以下が好ましく、10以下がより好ましい。アシルオキシル基の具体例としては、ペンタノイルオキシ基、ヘキサノイルオキシ基、ヘプタノイルオキシ基、オクタノイルオキシ基、エチルペンタノイルオキシ基、デカノイルオキシ基、ドデカノイルオキシ基などが挙げられ、溶解性と感度とのバランスの観点から、オクタノイルオキシ基、エチルペンタノイルオキシ基であることが好ましく、オクタノイルオキシ基であることがより好ましい。
The number of carbon atoms of the alkyl ether group is not particularly limited, but is preferably 1 or more from the viewpoint of solubility, and is preferably 10 or less, more preferably 8 or less, and even more preferably 5 or less from the viewpoint of sensitivity. Specific examples of the alkyl ether group include a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, a butoxy group, a pentoxy group, a hexoxy group, a heptoxy group, and an octoxy group. From the viewpoint of a balance between solubility and sensitivity, an ethoxy group, A propoxy group or a butoxy group is more preferable.
The number of carbon atoms of the acyloxyl group is not particularly limited, but is preferably 5 or more, more preferably 7 or more from the viewpoint of solubility, and is preferably 12 or less, more preferably 10 or less, from the viewpoint of sensitivity. Specific examples of the acyloxyl group include pentanoyloxy group, hexanoyloxy group, heptanoyloxy group, octanoyloxy group, ethylpentanoyloxy group, decanoyloxy group, dodecanoyloxy group, etc. From the viewpoint of the balance between properties and sensitivity, an octanoyloxy group and an ethylpentanoyloxy group are preferable, and an octanoyloxy group is more preferable.
前記ナフタレン化合物又はアントラセン化合物におけるナフタレン環又はアントラセン環は、アルキルエーテル基及びアシルオキシル基からなる群から選ばれる2以上の置換基以外の、任意の置換基によって置換されていてもよい。任意の置換基としては、アルキル基、ハロゲン原子、アミノ基などが挙げられる。合成のし易さの観点からは、任意の置換基を有さないことが好ましい。
ナフタレン化合物又はアントラセン化合物が有する、アルキルエーテル基及び/又はアシルオキシル基の組合せとしては、例えば、1つのアルキルエーテル基と1つのアシルオキシル基の組合せ、同じでも異なっていてもよい2つのアルキルエーテル基の組合せ、同じでも異なっていてもよい2つのアシルオキシル基の組合せが挙げられ、透明性と感度の観点からは、同一の2つのアルキルエーテル基の組合せ、又は同一の2つのアシルオキシル基の組合せであることが好ましい。
The naphthalene ring or anthracene ring in the naphthalene compound or anthracene compound may be substituted with any substituent other than two or more substituents selected from the group consisting of an alkyl ether group and an acyloxyl group. Examples of the optional substituent include an alkyl group, a halogen atom, and an amino group. From the viewpoint of ease of synthesis, it is preferable not to have any substituent.
Examples of the combination of an alkyl ether group and / or an acyloxyl group possessed by a naphthalene compound or an anthracene compound include, for example, a combination of one alkyl ether group and one acyloxyl group, and two alkyl ether groups which may be the same or different. A combination of two acyloxyl groups which may be the same or different, and from the viewpoint of transparency and sensitivity, a combination of two identical alkyl ether groups or a combination of two identical acyloxyl groups It is preferable that
(E)アルキルエーテル基及びアシルオキシル基からなる群から選ばれる2以上の置換基を有するナフタレン化合物又はアントラセン化合物としては、例えばナフタレン−1,4−ジエーテル、アントラセン−9,10−ジエーテル、9,10−ビスアシルオキシルアントラセン等が挙げられる。 (E) As a naphthalene compound or anthracene compound having two or more substituents selected from the group consisting of an alkyl ether group and an acyloxyl group, for example, naphthalene-1,4-diether, anthracene-9,10-diether, 9, Examples thereof include 10-bisacyloxylanthracene.
ナフタレン−1,4−ジエーテルの具体例としては例えば、1,4−ジメトキシナフタレン、1,4−ジエトキシナフタレン、1,4−ジ(n−プロポキシ)ナフタレン、1,4−ジ(i−プロポキシ)ナフタレン、1,4−ジ(n−ブトキシ)ナフタレン、1,4−ジ(i−ブトキシ)ナフタレン、1,4−ジ(n−ペンチルオキシ)ナフタレン、1,4−ジ(n−ヘキシルオキシ)ナフタレン、1,4−ビス(2−エチルヘキシルオキシ)ナフタレン、1,4−ジ(n−ドデシルオキシ)ナフタレン等が挙げられる。
アントラセン−9,10−ジエーテルの具体例としては、9,10−ジメトキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、9,10−ジ(n−プロポキシ)アントラセン、9,10−ジ(i−プロポキシ)アントラセン、9,10−ジ(n−ブトキシ)アントラセン等が挙げられる。
Specific examples of naphthalene-1,4-diether include 1,4-dimethoxynaphthalene, 1,4-diethoxynaphthalene, 1,4-di (n-propoxy) naphthalene, 1,4-di (i-propoxy). ) Naphthalene, 1,4-di (n-butoxy) naphthalene, 1,4-di (i-butoxy) naphthalene, 1,4-di (n-pentyloxy) naphthalene, 1,4-di (n-hexyloxy) ) Naphthalene, 1,4-bis (2-ethylhexyloxy) naphthalene, 1,4-di (n-dodecyloxy) naphthalene and the like.
Specific examples of anthracene-9,10-diether include 9,10-dimethoxyanthracene, 9,10-diethoxyanthracene, 9,10-di (n-propoxy) anthracene, and 9,10-di (i-propoxy). Anthracene, 9,10-di (n-butoxy) anthracene and the like can be mentioned.
また、9,10−ビスアシルオキシアントラセンの具体例としては、9,10−ビス(n−ペンタノイルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−ヘキサノイルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−ヘプタノイルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−オクタノイルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(2−エチルヘキサノイルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−ノナノイルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−デカノイルオキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−ドデカノイルオキシ)アントラセン等が挙げられる。
これら(E)アルキルエーテル基及びアシルオキシル基からなる群から選ばれる2以上の置換基を有するナフタレン化合物又はアントラセン化合物の中でも、感度の観点から、1,4−ジメトキシナフタレン、1,4−ジエトキシナフタレン、9,10−ジ(n−ブトキシ)アントラセン、9,10−ビス(n−オクタノイルオキシ)アントラセン等が好ましい。
Specific examples of 9,10-bisacyloxyanthracene include 9,10-bis (n-pentanoyloxy) anthracene, 9,10-bis (n-hexanoyloxy) anthracene, and 9,10-bis (n -Heptanoyloxy) anthracene, 9,10-bis (n-octanoyloxy) anthracene, 9,10-bis (2-ethylhexanoyloxy) anthracene, 9,10-bis (n-nonanoyloxy) anthracene, 9, Examples thereof include 10-bis (n-decanoyloxy) anthracene and 9,10-bis (n-dodecanoyloxy) anthracene.
Among these (E) naphthalene compounds or anthracene compounds having two or more substituents selected from the group consisting of alkyl ether groups and acyloxyl groups, 1,4-dimethoxynaphthalene and 1,4-diethoxy are preferred from the viewpoint of sensitivity. Naphthalene, 9,10-di (n-butoxy) anthracene, 9,10-bis (n-octanoyloxy) anthracene and the like are preferable.
本発明の感光性樹脂組成物において、(E)アルキルエーテル基及びアシルオキシル基からなる群から選ばれる2以上の置換基を有するナフタレン化合物又はアントラセン化合物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。(E)の総量の含有割合は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、0.1質量%以上であることが好ましく、0.5質量%以上であることがより好ましく、1質量%以上であることがさらに好ましく、5質量%以下であることが好ましく、4質量%以下であることがさらに好ましい。上記下限値以上の場合、充分な光硬化性が確保され易い傾向があり、上記上限値以下である場合、着色などの悪影響が抑えられる傾向がある。 In the photosensitive resin composition of the present invention, (E) a naphthalene compound or anthracene compound having two or more substituents selected from the group consisting of an alkyl ether group and an acyloxyl group may be used alone. Two or more kinds may be used in combination. The content ratio of the total amount of (E) is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 0.5% by mass or more, based on the total solid content of the photosensitive resin composition, and 1% by mass. % Or more, more preferably 5% by mass or less, and further preferably 4% by mass or less. When it is at least the lower limit, sufficient photocurability tends to be secured, and when it is at most the upper limit, adverse effects such as coloring tend to be suppressed.
[(F)色材]
本発明の感光性樹脂組成物をカラーフィルターや、樹脂ブラックマトリックスなどの光漏れや反射防止目的のある用途に用いる場合は(F)色材を用いることが好ましい。色材としては用途に応じて染料、有機顔料、無機顔料等公知のものを適宜用いることができるが、本発明の感光性樹脂組成物は低温で硬化できるため、高温条件では分解や劣化し易い染料を好適に用いることができる。
[(F) Color material]
When the photosensitive resin composition of the present invention is used for a purpose such as a color filter or a resin black matrix for light leakage and antireflection purposes, it is preferable to use (F) a coloring material. As the coloring material, known materials such as dyes, organic pigments, and inorganic pigments can be appropriately used depending on the use. However, since the photosensitive resin composition of the present invention can be cured at a low temperature, it is easily decomposed or deteriorated at a high temperature condition. A dye can be suitably used.
染料としては例えばキサンテン系染料、トリアリールメタン系染料、アントラキノン系染料、アゾ系染料、ジピロメテン系染料、キノフタロン系染料、シアニン系染料、メチン系染料、フタロシアニン系染料等が挙げられる。特に青色画素を形成する際には、キサンテン系染料、トリアリールメタン系染料、アントラキノン系染料、アゾ系染料、ジピロメテン系染料、シアニン系染料、フタロシアニン系染料等が挙げられる。染料は高輝度が達成できるため、液晶ディスプレイや有機ELディスプレイなどのカラーフィルター用途に用いると好ましい。 Examples of the dye include xanthene dyes, triarylmethane dyes, anthraquinone dyes, azo dyes, dipyrromethene dyes, quinophthalone dyes, cyanine dyes, methine dyes, and phthalocyanine dyes. In particular, when forming a blue pixel, xanthene dyes, triarylmethane dyes, anthraquinone dyes, azo dyes, dipyrromethene dyes, cyanine dyes, phthalocyanine dyes, and the like can be given. Since dyes can achieve high brightness, they are preferably used for color filter applications such as liquid crystal displays and organic EL displays.
有機顔料は染料と比べて耐熱性が高くなる傾向があるため、通常カラーフィルターに好適に用いられるが、染料と比べて輝度が劣る傾向にある。しかしながら、顔料を含む組成物を低温で硬化してカラーフィルターを形成できると、熱による顔料の輝度低下が抑制できるため、低温硬化可能な本発明の感光性樹脂組成物を好適に用いることができ、通常の高温硬化品よりも高輝度なカラーフィルターを得ることができる傾向にある。また、本発明の感光性樹脂組成物は電気信頼性に優れるため、高電気信頼性が要求されるカラーフィルター・オン・アレイや、液晶セル内のブラックカラムスペーサーやブラックリブ、有機EL用の黒色バンク等の用途にも好適に用いることができる。 Since organic pigments tend to have higher heat resistance than dyes, they are usually suitable for use in color filters, but they tend to have lower luminance than dyes. However, if the composition containing the pigment can be cured at a low temperature to form a color filter, the reduction in the brightness of the pigment due to heat can be suppressed. There is a tendency that a color filter having higher brightness than that of a normal high-temperature cured product can be obtained. In addition, since the photosensitive resin composition of the present invention is excellent in electrical reliability, it is a color filter on array that requires high electrical reliability, black column spacers and black ribs in liquid crystal cells, and black for organic EL. It can also be suitably used for applications such as banks.
有機顔料としては、赤色、オレンジ色、黄色、青色、緑色、紫色、茶色、黒色等各種の色の顔料を使用することができ、その化学構造としては、例えばフタロシアニン系、キナクリドン系、ベンズイミダゾロン系、ジオキサジン系、インダンスレン系、ペリレン系、アゾ系、キノフタロン系、アントラキノン系、アニリン系、シアニン系等の有機顔料が挙げられる。例えば、Colour Indexに収載されている公知の有機顔料を用いることができる。これら有機顔料は、通常、溶剤、分散剤、必要に応じてその他成分と共に液中に分散させ、顔料分散液として感光性樹脂組成物に混合して用いる。 As the organic pigment, pigments of various colors such as red, orange, yellow, blue, green, purple, brown, and black can be used. Examples of the chemical structure include phthalocyanine, quinacridone, and benzimidazolone. And organic pigments such as those based on dioxazine, indanthrene, perylene, azo, quinophthalone, anthraquinone, aniline and cyanine. For example, known organic pigments listed in Color Index can be used. These organic pigments are usually dispersed in a liquid together with a solvent, a dispersant, and other components as required, and used as a pigment dispersion mixed with the photosensitive resin composition.
無機顔料はカーボンブラック、チタンブラック、ウルトラマリン青、プロシア青、黄鉛、亜鉛黄、鉛丹、酸化鉄赤、亜鉛華、鉛白、リトポン、二酸化チタン等が挙げられる。これらの中でも特にカーボンブラックは遮光率や画像形成の点で優れており、樹脂ブラックマトリック用途などに好適に用いることができる。しかしカーボンブラックは導電性があるため、それが問題となる場合は例えば樹脂で被覆するなどして絶縁して用いても良い。これら無機顔料も有機顔料と同様に顔料分散液としてから、感光性樹脂組成物に混合して用いることが好ましい。 Examples of inorganic pigments include carbon black, titanium black, ultramarine blue, prussian blue, yellow lead, zinc yellow, red lead, iron oxide red, zinc white, lead white, lithopone, and titanium dioxide. Among these, carbon black is particularly excellent in terms of light shielding rate and image formation, and can be suitably used for resin black matrix applications. However, since carbon black is conductive, if it causes a problem, it may be insulated and used, for example, by coating with resin. These inorganic pigments are also preferably used as a pigment dispersion in the same manner as organic pigments and then mixed with the photosensitive resin composition.
なお、本発明において、(F)色材は例えば染料と有機顔料、複数の色の有機顔料、有機顔料と無機顔料など適宜組み合わせたものを用いても良い。
本発明の感光性樹脂組成物に含まれていてもよい(F)色材の含有割合は特に限定されないが、染料の場合は充分な輝度や遮光性を確保するとの観点から、好ましくは1質量%以上、より好ましくは5質量%以上、さらに好ましくは8質量%以上であり、また、光硬化性を低下し難く、充分な膜強度を維持できるとの観点から、好ましくは40質量%以下、より好ましくは30質量%以下、さらに好ましくは20質量%以下である。また、顔料の場合は、充分な輝度や遮光性を確保するとの観点から好ましくは3質量%以上、より好ましくは6質量%以上、さらに好ましくは10質量%以上、光硬化性を低下し難く、また、現像液溶解性を確保しやすいとの観点から好ましくは、90質量%以下、より好ましくは80質量%以下、さらに好ましくは70質量%以下である。
In the present invention, as the color material (F), for example, dyes and organic pigments, organic pigments of a plurality of colors, organic pigments and inorganic pigments, etc., which are appropriately combined may be used.
The content ratio of the color material (F) that may be contained in the photosensitive resin composition of the present invention is not particularly limited, but in the case of a dye, preferably 1 mass from the viewpoint of securing sufficient luminance and light shielding properties. % Or more, more preferably 5% by mass or more, more preferably 8% by mass or more, and from the viewpoint that it is difficult to reduce photocurability and can maintain sufficient film strength, preferably 40% by mass or less, More preferably, it is 30 mass% or less, More preferably, it is 20 mass% or less. In the case of a pigment, it is preferably 3% by mass or more, more preferably 6% by mass or more, and still more preferably 10% by mass or more from the viewpoint of securing sufficient luminance and light-shielding property. Further, from the viewpoint of ensuring the developer solubility, it is preferably 90% by mass or less, more preferably 80% by mass or less, and still more preferably 70% by mass or less.
[(G)無機ナノ粒子]
本発明の感光性樹脂組成物に用いてもよい無機ナノ粒子としては、フィラーや金属酸化物ナノ粒子などが挙げられる。フィラーとしてはカオリナイトや炭酸カルシウムなどが挙げられ、硬化部材の物理的強度を向上させる効果があるため、ハードコート性を付与したい場合などに好適に用いるとよい。また、金属酸化物粒子としては、アルミニウム、ジルコニウム、チタニウム、亜鉛、インジウム、スズ、アンチモン、セリウムなどの金属の酸化物ナノ粒子などが挙げられ、これらの中でもジルコニウム、チタニウムまたは亜鉛の酸化物粒子が高屈折率や高誘電率が求められる用途に用いることが好ましい。高誘電率が求められる用途としては、例えばゲート絶縁膜などが挙げられる。本発明の無機ナノ粒子も顔料同様に、分散液としてから感光性樹脂組成物に混合して用いることが好ましい。また、導電性によるリーク等が問題になる場合は樹脂で被覆して表面を絶縁して用いることもできる。
本発明の感光性樹脂組成物に含まれていてもよい(G)無機ナノ粒子の含有割合は特に限定されないが、添加する効果が充分発現できるとの観点から、好ましくは0.5質量%以上、より好ましくは1質量%以上、さらに好ましくは3質量%以上であり、また、現像時の溶解性が充分確保できるとの観点から、好ましくは80質量%以下、より好ましくは70質量%以下、さらに好ましくは60質量%以下である。
[(G) Inorganic nanoparticles]
Examples of inorganic nanoparticles that may be used in the photosensitive resin composition of the present invention include fillers and metal oxide nanoparticles. Examples of the filler include kaolinite and calcium carbonate. Since the filler has an effect of improving the physical strength of the cured member, it is preferably used when it is desired to impart hard coat properties. Examples of the metal oxide particles include metal oxide nanoparticles such as aluminum, zirconium, titanium, zinc, indium, tin, antimony, and cerium. Among these, oxide particles of zirconium, titanium, or zinc are included. It is preferably used for applications requiring high refractive index and high dielectric constant. Examples of applications requiring a high dielectric constant include a gate insulating film. As with the pigment, the inorganic nanoparticles of the present invention are preferably used as a dispersion and then mixed with the photosensitive resin composition. Further, in the case where leakage due to conductivity becomes a problem, it can be used by covering with a resin and insulating the surface.
The content ratio of (G) inorganic nanoparticles that may be contained in the photosensitive resin composition of the present invention is not particularly limited, but is preferably 0.5% by mass or more from the viewpoint that the effect of addition can be sufficiently expressed. , More preferably 1% by mass or more, further preferably 3% by mass or more, and preferably 80% by mass or less, more preferably 70% by mass or less, from the viewpoint that sufficient solubility during development can be secured. More preferably, it is 60 mass% or less.
[(H)撥液剤]
本発明の感光性樹脂組成物に用いてもよい撥液剤としは、フッ素含有化合物やシリコン含有化合物が挙げられる。撥液剤は防汚の目的でも使用できるが、例えばインクジェット用のバンク用途に本発明の感光性樹脂組成物を用いる場合に特に好適に用いられる。インクジェットで吐出するインクが水溶液の場合はシリコン含有化合物が好ましく、有機溶剤溶液の場合はフッ素含有化合物であることが好ましい。
[(H) Liquid repellent]
Examples of the liquid repellent that may be used in the photosensitive resin composition of the present invention include fluorine-containing compounds and silicon-containing compounds. The liquid repellent can be used also for the purpose of antifouling, but is particularly preferably used when the photosensitive resin composition of the present invention is used for, for example, an ink jet bank. A silicon-containing compound is preferable when the ink ejected by inkjet is an aqueous solution, and a fluorine-containing compound is preferable when the ink is an organic solvent solution.
フッ素含有化合物としては、特に制限されず、低分子化合物でも、高分子化合物であってもよいが、例えば、エチレン性不飽和二重結合やエポキシ基などの架橋基を有し、且つフルオロアルキル基やフルオロポリエーテル基などを含む化合物が挙げられる。具体的には例えばDIC社のRSシリーズ、ダイキン工業社のオプツールDACやオプトエースシリーズ等が挙げられる。 The fluorine-containing compound is not particularly limited, and may be a low molecular compound or a high molecular compound. For example, the fluorine-containing compound has a crosslinking group such as an ethylenically unsaturated double bond or an epoxy group, and has a fluoroalkyl group. And a compound containing a fluoropolyether group. Specific examples include RS series from DIC, Optool DAC and Optoace series from Daikin Industries.
シリコン含有化合物としては特に制限されず、低分子化合物でも、高分子化合物であってもよいが、例えばシリコン変性ポリアクリルや、シリコン系ブロックコポリマー、シリコン樹脂を側鎖に有するグラフトポリマー等が挙げられ、具体的には例えばビックケミー社のBYK−SILCLEAN 3700、日油株式会社製のモディパーFSシリーズ、綜研化学株式会社性ケミトリーLSI−60等が挙げられる。 The silicon-containing compound is not particularly limited, and may be a low molecular compound or a high molecular compound. Examples thereof include silicon-modified polyacryl, silicon-based block copolymer, and graft polymer having a silicon resin in the side chain. Specifically, for example, BYK-SILCLEAN 3700 manufactured by Big Chemie, Modiper FS series manufactured by NOF Corporation, Soken Chemical Co., Ltd. Chemistry LSI-60, and the like can be mentioned.
上記の撥液剤は、1種を単独で用いてもよく、また2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
上記撥液剤の濃度は特に限定されないが、例えばバンクを形成するなどの場合においては、撥液剤におけるフッ素原子含有量やケイ素含有量を10質量%以上とする場合は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常0.001質量%以上、好ましくは0.05質量%以上、また通常10質量%以下、好ましくは6質量%以下である。
また、フッ素原子含有量やケイ素含有量を10質量%より少なくする場合は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常0.1質量%以上、好ましくは1質量%以上、また通常70質量%以下、好ましくは50質量%以下である。
前記下限値以上とすることで、撥インク性が十分となり易く、インクがバンクにより区画された領域外に流れ出してしまうことを抑制できる傾向がある。また、前記上限値以下とすることで、バンク形成時の現像が容易となり、またバンクで区画された内側に撥液剤残差が残ったり、染みだしたりするのを回避できるため、吐出したい領域に均一に供給し易い傾向がある。なお、バンクに用いる撥液剤は、バンクで区画された内部に吐出するインクが有機溶剤系の場合はフッ素含有化合物を用いることが好ましく、水溶液系の場合はシリコン含有化合物を用いることが好ましい。
One of the above liquid repellents may be used alone, or two or more may be used in combination.
The concentration of the liquid repellent is not particularly limited. For example, in the case of forming a bank or the like, when the fluorine atom content or the silicon content in the liquid repellent is 10% by mass or more, the entire photosensitive resin composition is used. It is 0.001 mass% or more normally with respect to solid content, Preferably it is 0.05 mass% or more, and is 10 mass% or less normally, Preferably it is 6 mass% or less.
When the fluorine atom content or silicon content is less than 10% by mass, it is usually 0.1% by mass or more, preferably 1% by mass or more, and usually based on the total solid content of the photosensitive resin composition. It is 70 mass% or less, Preferably it is 50 mass% or less.
By setting it to the lower limit value or more, the ink repellency is likely to be sufficient, and there is a tendency that the ink can be prevented from flowing out of the area partitioned by the bank. In addition, by setting it to the upper limit value or less, development at the time of bank formation is facilitated, and it is possible to avoid a residual liquid repellant or ooze out on the inner side partitioned by the bank. There is a tendency to supply uniformly. The liquid repellent used in the bank is preferably a fluorine-containing compound when the ink ejected inside the bank is an organic solvent, and a silicon-containing compound is preferably used when the ink is an aqueous solution.
[光ラジカル重合開始剤]
本発明の感光性樹脂組成物は、(C)エチレン性不飽和基含有化合物にも光重合性を持たせる目的で光ラジカル重合開始剤を用いることが好ましい。光ラジカル重合開始剤としては、例えば、特開昭59−152396号公報、特開昭61−151197号公報に記載のチタノセン誘導体類を含むメタロセン化合物;特開2000−56118号公報に記載のヘキサアリールビイミダゾール誘導体類;特開平10−39503号公報記載のハロメチル化オキサジアゾール誘導体、ハロメチル−s−トリアジン誘導体、N−フェニルグリシン等のN−アリール−α−アミノ酸類、N−アリール−α−アミノ酸塩類、N−アリール−α−アミノ酸エステル類等のラジカル活性剤、α−アミノアルキルフェノン誘導体;特開2000−80068号公報、特開2006−36750号公報等に記載されているオキシムエステル誘導体等が挙げられる。これらの中でも、ラジカル重合開始剤がオキシムエステル誘導体類及び/又はα−アミノアルキルフェノン誘導体類を含むことが好ましい。
[Photo radical polymerization initiator]
In the photosensitive resin composition of the present invention, a radical photopolymerization initiator is preferably used for the purpose of imparting photopolymerizability to the (C) ethylenically unsaturated group-containing compound. Examples of the radical photopolymerization initiator include metallocene compounds including titanocene derivatives described in JP-A Nos. 59-152396 and 61-151197; and hexaarynes described in JP-A-2000-56118. Rubiimidazole derivatives; halomethylated oxadiazole derivatives, halomethyl-s-triazine derivatives, N-aryl-α-amino acids such as N-phenylglycine, and N-aryl-α-amino acids described in JP-A-10-39503 Salts, radical activators such as N-aryl-α-amino acid esters, α-aminoalkylphenone derivatives; oxime ester derivatives described in JP 2000-80068 A, JP 2006-36750 A, etc. Can be mentioned. Among these, it is preferable that the radical polymerization initiator includes oxime ester derivatives and / or α-aminoalkylphenone derivatives.
具体的には、例えば、チタノセン誘導体類としては、ジシクロペンタジエニルチタニウムジクロライド、ジシクロペンタジエニルチタニウムビスフェニル、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニ−1−イル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,3,5,6−テトラフルオロフェニ−1−イル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,4,6−トリフルオロフェニ−1−イル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムジ(2,6−ジフルオロフェニ−1−イル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムジ(2,4−ジフルオロフェニ−1−イル)、ジ(メチルシクロペンタジエニル)チタニウムビス(2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニ−1−イル)、ジ(メチルシクロペンタジエニル)チタニウムビス(2,6−ジフルオロフェニ−1−イル)、ジシクロペンタジエニルチタニウム〔2,6−ジ−フルオロ−3−(ピロ−1−イル)−フェニ−1−イル〕等が挙げられる。 Specifically, for example, titanocene derivatives include dicyclopentadienyl titanium dichloride, dicyclopentadienyl titanium bisphenyl, dicyclopentadienyl titanium bis (2,3,4,5,6-pentafluoro Phen-1-yl), dicyclopentadienyl titanium bis (2,3,5,6-tetrafluorophen-1-yl), dicyclopentadienyl titanium bis (2,4,6-trifluoropheny 1-yl), dicyclopentadienyl titanium di (2,6-difluorophen-1-yl), dicyclopentadienyl titanium di (2,4-difluorophen-1-yl), di (methylcyclopenta Dienyl) titanium bis (2,3,4,5,6-pentafluorophen-1-yl), di (methylcyclone) Pentadienyl) titanium bis (2,6-difluorophen-1-yl), dicyclopentadienyltitanium [2,6-difluoro-3- (pyro-1-yl) -phen-1-yl] and the like. Can be mentioned.
また、ビイミダゾール誘導体類としては、2−(2’−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、2−(2’−クロロフェニル)−4,5−ビス(3’−メトキシフェニル)イミダゾール2量体、2−(2’−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、2−(2’−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体、(4’−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール2量体等が挙げられる。 Biimidazole derivatives include 2- (2′-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (2′-chlorophenyl) -4,5-bis (3′-methoxyphenyl) imidazole. Dimer, 2- (2′-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (2′-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, (4′-methoxyphenyl) ) -4,5-diphenylimidazole dimer and the like.
また、ハロメチル化オキサジアゾール誘導体類としては、2−トリクロロメチル−5−(2’−ベンゾフリル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−〔β−(2’−ベンゾフリル)ビニル〕−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−〔β−(2’−(6”−ベンゾフリル)ビニル)〕−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−フリル−1,3,4−オキサジアゾール等が挙げられる。 Examples of the halomethylated oxadiazole derivatives include 2-trichloromethyl-5- (2′-benzofuryl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- [β- (2′- Benzofuryl) vinyl] -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- [β- (2 ′-(6 ″ -benzofuryl) vinyl)]-1,3,4-oxadiazole, 2 -Trichloromethyl-5-furyl-1,3,4-oxadiazole and the like.
また、ハロメチル−s−トリアジン誘導体類としては、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシカルボニルナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン等が挙げられる。 Examples of halomethyl-s-triazine derivatives include 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxynaphthyl) -4,6-bis ( Trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxynaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxycarbonylnaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine and the like.
また、α−アミノアルキルフェノン誘導体類としては、2−メチル−1〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、4−ジメチルアミノエチルベンゾエ−ト、4−ジメチルアミノイソアミルベンゾエ−ト、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチルアミノプロピオフェノン、2−エチルヘキシル−1,4−ジメチルアミノベンゾエート、2,5−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロヘキサノン、7−ジエチルアミノ−3−(4−ジエチルアミノベンゾイル)クマリン、4−(ジエチルアミノ)カルコン等が挙げられる。 Examples of α-aminoalkylphenone derivatives include 2-methyl-1 [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4- Morpholinophenyl) -butanone-1,2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 4-dimethylaminoethylbenzoate, 4-dimethylaminoisoamylbenzoe -To, 4-diethylaminoacetophenone, 4-dimethylaminopropiophenone, 2-ethylhexyl-1,4-dimethylaminobenzoate, 2,5-bis (4-diethylaminobenzal) cyclohexanone, 7-diethylamino-3- (4 -Diethylaminobenzoyl) coumarin, 4- (diethylamino) chalcone, etc. It is.
更に、例えば、特開2000−80068号公報や、特開2006−36750号公報に記載されているオキシム及びケトオキシムエステル系化合物が挙げられる。
その他に、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のベンゾインアルキルエーテル類;2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン等のアントラキノン誘導体類;ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、2−メチルベンゾフェノン、3−メチルベンゾフェノン、4−メチルベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、4−ブロモベンゾフェノン、2−カルボキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン誘導体類;2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロへキシルフェニルケトン、α−ヒドロキシ−2−メチルフェニルプロパノン、1−ヒドロキシ−1−メチルエチル−(p−イソプロピルフェニル)ケトン、1−ヒドロキシ−1−(p−ドデシルフェニル)ケトン、2−メチル−(4’−メチルチオフェニル)−2−モルホリノ−1−プロパノン、1,1,1−トリクロロメチル−(p−ブチルフェニル)ケトン等のアセトフェノン誘導体類;チオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン誘導体類;p−ジメチルアミノ安息香酸エチル、p−ジエチルアミノ安息香酸エチル等の安息香酸エステル誘導体類;9−フェニルアクリジン、9−(p−メトキシフェニル)アクリジン等のアクリジン誘導体類;9,10−ジメチルベンズフェナジン等のフェナジン誘導体類;ベンズアンスロン等のアンスロン誘導体類等も挙げられる。
Furthermore, for example, oxime and ketoxime ester compounds described in JP-A No. 2000-80068 and JP-A No. 2006-36750 can be mentioned.
Other benzoin alkyl ethers such as benzoin methyl ether, benzoin phenyl ether, benzoin isobutyl ether and benzoin isopropyl ether; anthraquinone derivatives such as 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone and 1-chloroanthraquinone Benzophenone, Michler's ketone, 2-methylbenzophenone, 3-methylbenzophenone, 4-methylbenzophenone, 2-chlorobenzophenone, 4-bromobenzophenone, benzophenone derivatives such as 2-carboxybenzophenone; 2,2-dimethoxy-2-phenyl Acetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, α-hydroxy-2-methylphenol Nylpropanone, 1-hydroxy-1-methylethyl- (p-isopropylphenyl) ketone, 1-hydroxy-1- (p-dodecylphenyl) ketone, 2-methyl- (4′-methylthiophenyl) -2-morpholino-1 Acetophenone derivatives such as propanone, 1,1,1-trichloromethyl- (p-butylphenyl) ketone; thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2 Thioxanthone derivatives such as 1,4-diethylthioxanthone and 2,4-diisopropylthioxanthone; benzoic acid ester derivatives such as ethyl p-dimethylaminobenzoate and ethyl p-diethylaminobenzoate; 9-phenylacridine, 9- (p- Methoxyph Yl) acridine derivatives acridine like; 9,10-dimethyl-benz phenazine phenazine derivatives such as; anthrone derivatives such as benzanthrone etc. may be mentioned.
これらの光ラジカル重合開始剤の中では、感度の点から、特に染料や顔料といった着色剤を加えた場合は、オキシムエステル誘導体類が好ましく、ケトオキシムエステル誘導体類がより好ましく、ベンゾイル基を有するケトオキシム誘導体類が特に好ましい。また1μm以下の薄膜を形成させる場合には、α−アミノアルキルフェノン誘導体類が比較的表面硬化性に優れているので好ましい。 Among these radical photopolymerization initiators, oxime ester derivatives are preferred, ketoxime ester derivatives are more preferred, and ketoximes having a benzoyl group, particularly when a colorant such as a dye or pigment is added from the viewpoint of sensitivity. Derivatives are particularly preferred. In the case of forming a thin film of 1 μm or less, α-aminoalkylphenone derivatives are preferable because they are relatively excellent in surface curability.
光ラジカル重合開始剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。光ラジカル重合開始剤を2種以上併用する場合の組み合わせについては特に限定されない。
本発明の感光性樹脂組成物中の光ラジカル重合開始剤の含有割合は、本発明の感光性樹脂組成物の全固形分に対して、0.5質量%以上であることが好ましく、1質量%以上であることがより好ましく、2質量%以上であることがさらに好ましく、15質量%以下であることが好ましく、12質量%以下であることがより好ましく、10質量%以下であることがさらに好ましく、8質量%以下であることが特に好ましい。上記下限値以上とすることで、光硬化性を充分に発現できる傾向があり、一方上記上限値以下とすることで現像性の悪化を抑制できる傾向がある。なお、本発明の感光性樹脂組成物を樹脂ブラックマトリックスなどの様な光透過性の低い用途に用いる場合は、光ラジカル重合開始剤は多めに用いた方が光硬化性を確保し易い傾向がある。
A radical photopolymerization initiator may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together. The combination when two or more kinds of radical photopolymerization initiators are used in combination is not particularly limited.
The content ratio of the photo radical polymerization initiator in the photosensitive resin composition of the present invention is preferably 0.5% by mass or more based on the total solid content of the photosensitive resin composition of the present invention. % Or more, more preferably 2% by mass or more, preferably 15% by mass or less, more preferably 12% by mass or less, and further preferably 10% by mass or less. It is preferably 8% by mass or less. There exists a tendency which can fully express photocurability by setting it as the said lower limit or more, and there exists a tendency which can suppress the deterioration of developability by making it below the said upper limit. In addition, when using the photosensitive resin composition of the present invention for a low light-transmitting application such as a resin black matrix, it is easier to ensure photocurability by using a larger amount of the photoradical polymerization initiator. is there.
[レベリング剤]
本発明の感光性樹脂組成物は、湿式塗布や印刷によって基板上に塗布することができるが、ハジキなどの欠陥や膜厚ムラを回避する目的で、レベリング剤を用いることが好ましい。レベリング剤としては各種界面活性剤が挙げられるが、電気信頼性の確保から、シリコン及び/又はフッ素系界面活性剤を使用することが好ましい。
[Leveling agent]
Although the photosensitive resin composition of this invention can be apply | coated on a board | substrate by wet application | coating or printing, it is preferable to use a leveling agent in order to avoid defects, such as a repellency, and film thickness nonuniformity. Examples of the leveling agent include various surfactants, but it is preferable to use silicon and / or fluorine-based surfactants from the viewpoint of ensuring electrical reliability.
フッ素系界面活性剤としては、例えばビックケミー社のBMシリーズ、DIC社のメガファックシリーズ(メガファックは登録商標)、住友スリーエム社のフロラードシリーズ、AGC社のサーフロンシリーズ(サーフロンは登録商標)、ネオス社のフタージェントシリーズ(フタージェントは登録商標)等が挙げられる。 Fluorosurfactants include, for example, Big Chemie's BM series, DIC's MegaFuck series (MegaFuck is a registered trademark), Sumitomo 3M's Florad series, AGC's Surflon series (Surflon is a registered trademark), Neos Corporation's Aftergent series (Futterent is a registered trademark) and the like can be mentioned.
また、シリコン系界面活性剤としては、例えばビックケミー社のBYKシリーズ、東レ・ダウコーニング社のSH・SZ・DC等のシリーズ、東芝シリコーン社のTSFシリーズ等が挙げられる。 Examples of silicon surfactants include BYK series from BYK Chemie, series such as SH, SZ, and DC from Toray Dow Corning, TSF series from Toshiba Silicone, and the like.
本発明の感光性樹脂組成物中のレベリング剤の含有割合は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、0.01質量%以上であることが好ましく0.02質量%以上であることがより好ましく、0.05質量%以上であることがさらに好ましく、また、5質量%以下であることが好ましく、3質量%以下であることがより好ましく、1質量%以下であることがさらに好ましい。上記下限値以上とすることで、充分なレベリング効果が得られ易くなる傾向があり、上記上限値以下とすることで、泡立ちを抑制し、ハジキなどの塗布欠陥の出現を抑制し易くなる傾向がある。 The content of the leveling agent in the photosensitive resin composition of the present invention is preferably 0.01% by mass or more and preferably 0.02% by mass or more with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition. Is more preferably 0.05% by mass or more, more preferably 5% by mass or less, more preferably 3% by mass or less, and further preferably 1% by mass or less. . By setting it to the above lower limit value or more, a sufficient leveling effect tends to be obtained, and by setting the upper limit value or less, foaming is suppressed and the appearance of coating defects such as repellency tends to be suppressed. is there.
[有機溶剤]
本発明の感光性樹脂組成物は有機溶剤で希釈されたものであることが好ましい。
有機溶剤を用いる場合には、本発明の感光性樹脂組成物中の全固形分の含有割合が3質量%以上となるように用いることが好ましく、5質量%以上となるように用いることがより好ましく、10質量%以上となるように用いることがさらにこのましく、15質量%以上となるように用いることが特に好ましく、また、40質量%以下となるように用いることが好ましく、35質量%以下となるように用いることがより好ましい。前記下限値以上とすることで膜厚の制御を容易とすることができる傾向があり、また、前記上限値以下とすることで感光性樹脂組成物のポットライフを維持しやすくすることができる傾向がある。なお、全固形分とは、有機溶剤以外の成分の合計を示す。
[Organic solvent]
The photosensitive resin composition of the present invention is preferably diluted with an organic solvent.
In the case of using an organic solvent, it is preferably used so that the total solid content in the photosensitive resin composition of the present invention is 3% by mass or more, and more preferably 5% by mass or more. Preferably, it is more preferably used so as to be 10% by mass or more, particularly preferably used so as to be 15% by mass or more, and preferably used so as to be 40% by mass or less, and 35% by mass. It is more preferable to use the following. There exists a tendency which can make control of a film thickness easy by setting it as the said lower limit or more, and the tendency which can make it easy to maintain the pot life of the photosensitive resin composition by setting it as the said upper limit or less. There is. In addition, total solid content shows the sum total of components other than the organic solvent.
本発明で用いる有機溶剤は、例えば、グリコールモノアルキルエーテル類;グリコールジアルキルエーテル類;グリコールジアセテート類;アルキルアセテート類;エーテル類;ケトン類;1価又は多価アルコール類;脂肪族炭化水素類;脂環式炭化水素類;芳香族炭化水素類;鎖状又は環状エステル類;アルコキシカルボン酸類;ハロゲン化炭化水素類;エーテルケトン類;ニトリル類等が挙げられ、具体的にはイソプロピルアルコール、エチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、1,4−ジオキサン、メチルイソブチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、メチルラクテート)、ジメチルホルムアミド、エチルラクテート、シクロヘキサノン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジイソブチルケトン、ジアセトンアルコール、3−エトキシプロピオネート、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ブチルセロソルブ、3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノール、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールイソプロピルメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル等が挙げられる。好適に用いられる有機溶剤はプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートやエチレングリコールモノメチルエーテルアセテートが挙げられる。これら有機溶剤は単独で用いても良く、2種以上を併用しても良く、塗布性、表面張力、沸点などのバランスを考慮して決めるのが良い。 The organic solvent used in the present invention is, for example, glycol monoalkyl ethers; glycol dialkyl ethers; glycol diacetates; alkyl acetates; ethers; ketones; monohydric or polyhydric alcohols; Alicyclic hydrocarbons; aromatic hydrocarbons; chain or cyclic esters; alkoxycarboxylic acids; halogenated hydrocarbons; ether ketones; nitriles, etc., specifically, isopropyl alcohol, ethylene glycol Dimethyl ether, propylene glycol dimethyl ether, 1,4-dioxane, methyl isobutyl ketone, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl Ether acetate, methyl lactate), dimethylformamide, ethyl lactate, cyclohexanone, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diisobutyl ketone, diacetone alcohol, 3-ethoxypropionate, dipropylene glycol dimethyl ether, butyl cellosolve, 3-methoxy-3- Examples thereof include methyl-1-butanol, diethylene glycol ethyl methyl ether, diethylene glycol isopropyl methyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether and the like. Suitable organic solvents include propylene glycol monomethyl ether acetate and ethylene glycol monomethyl ether acetate. These organic solvents may be used alone or in combination of two or more, and should be determined in consideration of the balance of applicability, surface tension, boiling point and the like.
[その他の成分]
本発明の感光性樹脂組成物は、本発明の優れた効果を大幅に妨げなければ、必要に応じてその他の成分を含有することができる。その他の成分としては、例えば(A)以外のエポキシ化合物、オキセタン化合物、樹脂、(E)以外の増感剤、熱カチオン重合開始剤、メラミン架橋剤、シランカップリング剤等の密着性改善剤、酸などの現像促進剤等が挙げられる。
エポキシ化合物としては例えば、三菱化学社のJERシリーズや、ダイセル社のセロキサイドシリーズ(セロキサイドは登録商標)、新日鉄住金化学社のエポトートシリーズ(エポトートは登録商標)、日本化薬社のNC−、XD−、EPPN−、EOCN−等のシリーズ、DIC社のEPICLON(登録商標)等が挙げられる。
オキセタンとしては、東亜合成社のOXTシリーズや、大阪有機社のOXE−10や30等が挙げられる。
また、樹脂としては、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、ノボラック樹脂などが好ましい例として挙げられる。なお、これらの樹脂にはラジカル重合性不飽和基やカチオン重合性基、その他の架橋基が導入されていても良い。ラジカル重合性不飽和基含有樹脂としては、例えば日本化薬社のZAR、ZCR、CCR等のエポキシ(メタ)アクリレート樹脂などの他、グリシジル(メタ)アクリレートなどを共重合成分として重合させた樹脂を(メタ)アクリル酸などで開環させた樹脂などが挙げられる。
[Other ingredients]
If the photosensitive resin composition of this invention does not prevent the outstanding effect of this invention significantly, it can contain another component as needed. Other components include, for example, epoxy compounds other than (A), oxetane compounds, resins, sensitizers other than (E), thermal cationic polymerization initiators, melamine crosslinking agents, adhesion improvers such as silane coupling agents, Examples thereof include development accelerators such as acids.
Epoxy compounds include, for example, Mitsubishi Chemical's JER series, Daicel's Celoxide series (Celoxide is a registered trademark), Nippon Steel & Sumikin Chemical's Epototo series (Epototo is a registered trademark), Nippon Kayaku's NC- , XD-, EPPN-, EOCN-, and the like, EPICLON (registered trademark) of DIC, and the like.
Examples of oxetane include OXT series manufactured by Toa Gosei Co., Ltd., OXE-10 and 30 manufactured by Osaka Organic Chemical Co., Ltd.
Moreover, as a resin, an acrylic resin, a urethane resin, a novolak resin, etc. are mentioned as a preferable example. In addition, radical polymerizable unsaturated groups, cationic polymerizable groups, and other crosslinking groups may be introduced into these resins. As the radical polymerizable unsaturated group-containing resin, for example, Nippon Kayaku's ZAR, ZCR, CCR and other epoxy (meth) acrylate resins, as well as resins obtained by polymerizing glycidyl (meth) acrylate as a copolymerization component Examples thereof include resins opened by (meth) acrylic acid and the like.
[感光性樹脂組成物の調製]
本発明の感光性樹脂組成物の調製方法は特に限定されないが、例えば、上述の各成分を有機溶剤と共に混合し、撹拌や超音波印加により、溶解又は分散させることにより、調製することができる。なお、組成物を調製する時に、(C)エチレン性不飽和基含有化合物や、液体状のエポキシ化合物やオキセタン化合物を使用する場合はそれらを有機溶剤の代わりとしても良い。
[Preparation of photosensitive resin composition]
Although the preparation method of the photosensitive resin composition of this invention is not specifically limited, For example, it can prepare by mixing each above-mentioned component with an organic solvent, and making it melt | dissolve or disperse | distribute by stirring or ultrasonic application. In addition, when preparing a composition, when using (C) ethylenically unsaturated group containing compound, a liquid epoxy compound, and an oxetane compound, they are good also as a substitute for an organic solvent.
調製する際に、各成分を同時に添加し混合してもよいが、任意の順番で順次添加して混合してもよい。順次添加する際の順番については特に限定されない。例えば、まず(B)光カチオン重合開始剤と(D)熱ラジカル重合開始剤と(E)ナフタレン化合物又はアントラセン化合物と、光ラジカル重合開始剤とを有機溶剤を混合して混合物1を得て、その後に(A)ビニル重合体溶液と(C)エチレン性不飽和基含有化合物、を添加して混合して混合物2を得て、さらに該混合物2に(F)色材や(G)無機ナノ粒子の分散液を添加して混合して得てもよい。 When preparing, each component may be added and mixed simultaneously, but may be added and mixed sequentially in any order. The order of sequential addition is not particularly limited. For example, first, (B) a photocationic polymerization initiator, (D) a thermal radical polymerization initiator, (E) a naphthalene compound or anthracene compound, and a photoradical polymerization initiator are mixed with an organic solvent to obtain a mixture 1, Thereafter, (A) a vinyl polymer solution and (C) an ethylenically unsaturated group-containing compound are added and mixed to obtain a mixture 2, and (F) a coloring material and (G) an inorganic nanoparticle are further added to the mixture 2. A dispersion of particles may be added and mixed.
また、本発明の感光性樹脂組成物は、上述の各成分を有機溶剤と共に混合した後に、フィルターを用いて濾過することにより、不溶物、樹脂などの合成時生じる可能性のあるゲル成分、ゴミ、微量金属などを除去することが好ましい。フィルターとしては、例えば、インテグリスオプチマイザー、CUNOナノシールド、ゼータプラスECなどを使用することができる。なお、不溶物、ゲル成分、ゴミ、微量金属などは、薄膜を形成した場合にハジキの原因となるため、フィルターの目は膜厚に応じて粗さを選ぶ必要があり、例えば500nm以下の膜厚で形成したい場合で、且つ顔料や無機ナノ粒子等を含まない場合は、0.02μm以下等の細かいものが好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物に含有される各成分の化学構造は、NMRやGPCやIR等により分析することにより、確認できる。
In addition, the photosensitive resin composition of the present invention is a mixture of the above-described components together with an organic solvent, followed by filtration using a filter, whereby gel components and dust that may occur during synthesis of insoluble materials, resins, etc. It is preferable to remove trace metals and the like. As the filter, for example, an Entegris optimizer, a CUNO nanoshield, a zeta plus EC, or the like can be used. Insoluble matter, gel components, dust, trace metals, etc. cause repelling when a thin film is formed. Therefore, it is necessary to select the roughness of the filter according to the film thickness, for example, a film of 500 nm or less. When it is desired to form the film with a large thickness and it does not include pigments, inorganic nanoparticles, etc., fine ones such as 0.02 μm or less are preferable.
The chemical structure of each component contained in the photosensitive resin composition of the present invention can be confirmed by analysis by NMR, GPC, IR, or the like.
[感光性樹脂組成物で構成される硬化部材]
本発明の感光性樹脂組成物は、フォトリソでパターニングして用いることで、保護膜(保護層)、絶縁膜(絶縁層)、平坦化膜(平坦化層)、カラムスペーサー、バンク、カラーフィルター、樹脂ブラックマトリックスなどの硬化部材を形成することが可能である。本発明の感光性樹脂組成物は、低温で電気信頼性に優れた硬化部材が形成可能であることから、異方性色素膜上に構成される保護層としても好適に用いることができる。
[Curing member composed of photosensitive resin composition]
The photosensitive resin composition of the present invention is used by patterning with photolithography, so that a protective film (protective layer), an insulating film (insulating layer), a flattened film (flattened layer), a column spacer, a bank, a color filter, It is possible to form a cured member such as a resin black matrix. Since the photosensitive resin composition of this invention can form the hardening member excellent in electrical reliability at low temperature, it can be used suitably also as a protective layer comprised on an anisotropic pigment | dye film | membrane.
[硬化部材の製造方法]
本発明の感光性樹脂組成物を塗布する方法としては、例えば、スピナー法、ワイヤーバー法、フローコート法、ダイコート法、ブレードコート法、ロッドコート法、ロールコート法、スプレーコート法、インクジェット法、エレクトロスプレイデポジション法などが挙げられる。中でも、ダイコート法は、少量塗布が可能で、スピンコート法などの方法に比べ、ミストが付着する危険性が少なく、異物が発生し難いため、好ましい。
この他、オフセット印刷、グラビア印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷、ステンシル印刷、インクジェット印刷、ノズルプリント、スタンピング(マイクロコンタクト印刷)などで印刷しても良い。
[Method of manufacturing cured member]
Examples of the method for applying the photosensitive resin composition of the present invention include a spinner method, a wire bar method, a flow coating method, a die coating method, a blade coating method, a rod coating method, a roll coating method, a spray coating method, an inkjet method, Electrospray deposition method and the like. Among them, the die coating method is preferable because it can be applied in a small amount, has a lower risk of mist adhesion, and hardly generates foreign matter compared to a method such as a spin coating method.
In addition, printing may be performed by offset printing, gravure printing, flexographic printing, screen printing, stencil printing, ink jet printing, nozzle printing, stamping (microcontact printing), and the like.
本発明の感光性樹脂組成物が有機溶剤を含む場合は、塗布又は印刷した後に、通常、これを乾燥させる。乾燥は、クリーンオーブン、ホットプレート、赤外線、ハロゲンヒーター、マイクロ波照射などの加熱機器を用いて加熱することにより行うことができる。中でも、膜全体を均等に加熱しやすいことから、クリーンオーブン及びホットプレートが好ましい。乾燥条件は、有機溶剤の種類などに応じて、適宜選択すればよい。十分に乾燥させた方が安定した硬化性を得やすい点では、高温で長時間乾燥させることが好ましいが、また、一方で、乾燥に要する時間が短く、生産性に優れ、また、感光性樹脂組成物の暗反応を進行させないためには、低温で短時間乾燥させることが好ましい。そこで、乾燥温度は、通常40℃以上、好ましくは50℃以上であり、また、一方、通常120℃以下、好ましくは100℃以下である。また、乾燥時間は、15秒以上が好ましく、30秒以上が更に好ましいが、また、一方で、5分以下が好ましく、3分以下が更に好ましい。また、乾燥は、減圧乾燥法により行ってもよく、加熱法と減圧乾燥法を併用してもよい。 When the photosensitive resin composition of the present invention contains an organic solvent, it is usually dried after coating or printing. Drying can be performed by heating using a heating device such as a clean oven, a hot plate, an infrared ray, a halogen heater, or microwave irradiation. Among these, a clean oven and a hot plate are preferable because the entire film can be easily heated uniformly. What is necessary is just to select drying conditions suitably according to the kind etc. of organic solvent. It is preferable to dry at a high temperature for a long time because it is easier to obtain stable curability when sufficiently dried, but on the other hand, the time required for drying is short, the productivity is excellent, and the photosensitive resin. In order to prevent the dark reaction of the composition from proceeding, it is preferable to dry at a low temperature for a short time. Therefore, the drying temperature is usually 40 ° C. or higher, preferably 50 ° C. or higher, and is usually 120 ° C. or lower, preferably 100 ° C. or lower. The drying time is preferably 15 seconds or longer, more preferably 30 seconds or longer. On the other hand, it is preferably 5 minutes or shorter, more preferably 3 minutes or shorter. Moreover, drying may be performed by a reduced pressure drying method, and a heating method and a reduced pressure drying method may be used in combination.
塗布した(有機溶剤を含む場合は更に乾燥させた)感光性樹脂組成物層に露光マスクを介して露光、若しくはレーザーで直接描画し、露光部を不溶化させた後、露光マスクで光照射が遮られていた部分、若しくはレーザー照射をしなかった部分の感光性樹脂組成物層を取り除くため、現像処理を行う。 The coated photosensitive resin composition layer (which is further dried if it contains an organic solvent) is exposed through an exposure mask or directly drawn with a laser to insolubilize the exposed portion, and then light exposure is blocked by the exposure mask. In order to remove the photosensitive resin composition layer that has been applied or has not been irradiated with the laser, development processing is performed.
露光に使用される光源は、本発明の感光性樹脂組成物を不溶化できれば、特に限定されない。具体的には、例えば、キセノンランプ、ハロゲンランプ、タングステンランプ、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、中圧水銀灯、低圧水銀灯、カーボンアーク、蛍光ランプ、LEDなどのランプ光源及びアルゴンイオンレーザー、YAGレーザー、エキシマレーザー、窒素レーザー、ヘリウムカドミニウムレーザー、青紫色半導体レーザー、近赤外半導体レーザーなどのレーザー光源などが挙げられる。
ここで、特定波長の光を使用する場合には、光学フィルターを用いてもよい。
露光量は、通常0.01mJ/cm2以上、好ましくは0.1mJ/cm2以上、より好ましくは1mJ/cm2以上であり、また、一方、通常1000mJ/cm2以下、好ましくは800mJ/cm2以下、より好ましくは500mJ/cm2以下である。
The light source used for exposure is not particularly limited as long as it can insolubilize the photosensitive resin composition of the present invention. Specifically, for example, a xenon lamp, a halogen lamp, a tungsten lamp, a high pressure mercury lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a metal halide lamp, a medium pressure mercury lamp, a low pressure mercury lamp, a carbon arc, a fluorescent lamp, a lamp light source such as an LED, and an argon ion laser, YAG Laser light sources such as lasers, excimer lasers, nitrogen lasers, helium cadmium lasers, blue-violet semiconductor lasers, and near-infrared semiconductor lasers can be used.
Here, when using light of a specific wavelength, an optical filter may be used.
Exposure is usually 0.01 mJ / cm 2 or more, preferably 0.1 mJ / cm 2 or more, more preferably 1 mJ / cm 2 or more, whereas, typically 1000 mJ / cm 2 or less, preferably 800 mJ / cm 2 or less, more preferably 500 mJ / cm 2 or less.
本発明の感光性樹脂組成物は、ハーフトーンの露光マスクを用いて部位によって光の透過率を変えることで、光硬化度を調整し、現像後の膜厚を部位によって調整して用いることもできる。例えば、保護層と、その上のカラムスペーサーとを一度の露光現像工程で得ることが可能である。このように、ハーフトーンの露光マスクを用いることで、1以上の凸部を有する硬化部材を得ることができる。なお、凸部とそれ以外の部位との高低差は特に限定されないが、1μm以上であることが好ましい。上限は特に限定されないが、通常20μm以下である。 The photosensitive resin composition of the present invention can be used by adjusting the light curing degree by changing the light transmittance depending on the part using a halftone exposure mask and adjusting the film thickness after development depending on the part. it can. For example, the protective layer and the column spacer thereon can be obtained by a single exposure and development process. In this way, a cured member having one or more convex portions can be obtained by using a halftone exposure mask. In addition, although the height difference between a convex part and other site | parts is not specifically limited, It is preferable that it is 1 micrometer or more. Although an upper limit is not specifically limited, Usually, it is 20 micrometers or less.
本発明の感光性樹脂組成物は、露光時に光の照射を受けなかった部分を現像処理にて除去することでパターニングして用いることができる。現像に使用される現像液としては、有機溶剤やアルカリ現像液が用いられる。アルカリ現像液が取扱い性や環境問題の点では好ましいが、例えば有機EL等の様な水分の残留が悪影響を及ぼすような用途で、それを低温で製造する様な場合には、有機溶剤を用いることが好ましい。
アルカリ現像液の例としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム等の無機アルカリ類、エチルアミン、nープロピルアミン等の脂肪族2級アミン類、トリメチルアミン、メチルジエチルアミン、ジメチルエチルアミン、トリエチルアミン等の、脂肪族3級アミン類、ピリジン、コリジン、ルチジン、キノリンなどの芳香族3級アミン類、エタノールジメチルアミン、メチルジエタノールアミン、トリエタノールアミンなどのアルカノールアミン類、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシドなどの4級アンモニウム塩などのアルカリ性化合物の水溶液を挙げることができる。
有機溶剤としては、塗布溶剤の項に挙げたものなどが挙げられる。
これらは、単独若しくは混合して調整して用いても良く、また、アルカリ現像液と水溶性有機溶剤を混合して用いても良い。
The photosensitive resin composition of the present invention can be used by patterning by removing a portion that has not been irradiated with light during exposure by development processing. As the developer used for development, an organic solvent or an alkali developer is used. Alkaline developer is preferable in terms of handling and environmental problems, but for example, organic solvents are used in the case where it is produced at a low temperature in applications where residual moisture such as organic EL has an adverse effect. It is preferable.
Examples of the alkaline developer include inorganic alkalis such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium silicate and sodium metasilicate, aliphatic secondary amines such as ethylamine and n-propylamine, trimethylamine, Aliphatic tertiary amines such as methyldiethylamine, dimethylethylamine, triethylamine, aromatic tertiary amines such as pyridine, collidine, lutidine, quinoline, alkanolamines such as ethanoldimethylamine, methyldiethanolamine, triethanolamine, tetra Examples include aqueous solutions of alkaline compounds such as quaternary ammonium salts such as methylammonium hydroxide and tetraethylammonium hydroxide.
Examples of the organic solvent include those listed in the section of coating solvent.
These may be used alone or mixed and adjusted, or an alkali developer and a water-soluble organic solvent may be mixed and used.
本発明に用いる現像液には、他に、界面活性剤、消泡剤、緩衝剤、錯化剤等が含まれていてもよい。界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルエステル類、ソルビタンアルキルエステル類、モノグリセリドアルキルエステル類などのノニオン系界面活性剤;アルキルベンゼンスルホン酸塩類、アルキルナフタレンスルホン酸塩類、アルキル硫酸塩類、アルキルスルホン酸塩類、スルホコハク酸エステル塩類などのアニオン性界面活性剤;アルキルベタイン類、アミノ酸類などの両性界面活性剤などが挙げられる。
現像方法及びその条件ついては、特に制限は無い。
In addition, the developer used in the present invention may contain a surfactant, an antifoaming agent, a buffering agent, a complexing agent, and the like. Examples of the surfactant include nonionic surfactants such as polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkyl aryl ethers, polyoxyethylene alkyl esters, sorbitan alkyl esters, monoglyceride alkyl esters; alkylbenzenesulfonic acid Anionic surfactants such as salts, alkylnaphthalene sulfonates, alkyl sulfates, alkyl sulfonates, sulfosuccinic acid ester salts; amphoteric surfactants such as alkylbetaines and amino acids.
There are no particular restrictions on the development method and its conditions.
現像方法としては、浸漬現像、パドル式現像、スプレー現像、ブラシ現像、超音波現像等が挙げられる。中でも、浸漬現像、及びスプレー現像は、汚れが付き難く、ダメージが生じ難く、均一に現像しやすいことから好ましく、また、パドル式現像は現像液の使用量が抑えられる点で好ましい。現像温度については、通常10℃以上、好ましくは15℃以上であり、また、一方、通常50℃以下、好ましくは45℃以下で行う。
現像後は、水や有機溶剤などで洗浄後、乾燥する。
現像後に、必要により追露光を行って光重合を促進してもよい。追露光は、上記の露光方法と同様の方法により行なえばよい。但し、追露光の場合は、マスクを用いずに全面露光すれば良い。
Examples of the development method include immersion development, paddle development, spray development, brush development, and ultrasonic development. Of these, immersion development and spray development are preferred because they are difficult to get smudged, hardly cause damage, and are easily developed uniformly, and paddle development is preferred in that the amount of developer used can be suppressed. The development temperature is usually 10 ° C. or higher, preferably 15 ° C. or higher, and is usually 50 ° C. or lower, preferably 45 ° C. or lower.
After development, the substrate is washed with water or an organic solvent and then dried.
After development, if necessary, additional exposure may be performed to promote photopolymerization. The additional exposure may be performed by a method similar to the above exposure method. However, in the case of additional exposure, the entire surface may be exposed without using a mask.
本発明の感光性樹脂組成物は、現像後ベークして硬化を促進して膜強度を上げて用いることが好ましい。 The photosensitive resin composition of the present invention is preferably used after being developed and baked to accelerate curing and increase the film strength.
ベーク温度は、100℃以上であることが好ましく、120℃以上であることがより好ましく、また、200℃以下であることが好ましく、180℃以下であることがより好ましい。これより低温の場合は硬化に必要な時間が長くかかり生産性が悪くなったり充分に硬化されなかったりする傾向があり、これより高温の場合には、プラスチック基板を用いた際に基板が変形したり着色したりといった問題を生じる傾向がある。また、ベークにかける時間は短い方が効率的に好ましいが、充分な硬化性を確保するという点で3分〜2時間が適当であり、特に10分〜1時間が最適である。 The baking temperature is preferably 100 ° C. or higher, more preferably 120 ° C. or higher, 200 ° C. or lower, more preferably 180 ° C. or lower. If the temperature is lower than this, the time required for curing tends to be longer, and the productivity tends to deteriorate or the resin is not sufficiently cured. If the temperature is higher than this, the substrate is deformed when a plastic substrate is used. And tend to cause problems such as coloring. A shorter baking time is more preferable, but 3 minutes to 2 hours is appropriate in terms of ensuring sufficient curability, and 10 minutes to 1 hour is particularly optimal.
なお、本発明の感光性樹脂組成物の支持体として用いる基板としては、特に限定されるものではないが、良好な表面性状、接触角特性と吸水特性を有する基板であることが好ましい。そのような基板を形成する基材としては、例えば、ガラス等の無機材料;トリアセテート系樹脂、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリエチレンテレフタレート系樹脂、トリアセチルセルロース系樹脂、ノルボルネン系樹脂、環状ポレオレフィン系樹脂、ポリイミド系樹脂、又はウレタン系樹脂等の高分子材料等を挙げることができる。これらは1種を単独で、または2種以上を併用してもよい。特に基板は高分子材料を含有する高分子基材を含む基板であることが好ましい。 The substrate used as the support for the photosensitive resin composition of the present invention is not particularly limited, but is preferably a substrate having good surface properties, contact angle characteristics, and water absorption characteristics. As a base material for forming such a substrate, for example, inorganic materials such as glass; triacetate resin, acrylic resin, polyester resin, polycarbonate resin, polyethylene terephthalate resin, triacetyl cellulose resin, norbornene resin And polymer materials such as cyclic polyolefin resin, polyimide resin, and urethane resin. These may be used alone or in combination of two or more. In particular, the substrate is preferably a substrate including a polymer base material containing a polymer material.
[偏光素子の製造方法]
本発明の感光性樹脂組成物は、異方性色素膜上に構成される保護層を形成するために用いることができ、異方性色素膜上に保護層を備える偏光素子を製造することができる。特に、塗布により形成される異方性色素膜(以下、「塗布型偏光膜」と略記する場合がある)上に構成される保護層として用いることが好ましい。
[Production method of polarizing element]
The photosensitive resin composition of this invention can be used in order to form the protective layer comprised on an anisotropic dye film, and can manufacture a polarizing element provided with a protective layer on an anisotropic dye film. it can. In particular, it is preferably used as a protective layer formed on an anisotropic dye film formed by coating (hereinafter sometimes abbreviated as “coating-type polarizing film”).
本発明の感光性樹脂組成物を用いて偏光素子をパターン形成する場合は、基板に成膜された異方性色素膜(偏光膜)上に本発明の感光性樹脂組成物を湿式成膜し、露光後、(i)現像液で偏光膜及び感光性樹脂組成物膜の両方を現像するか、(ii)感光性樹脂組成物膜のみ先に現像し、次にこれをレジストとして感光性樹脂組成物膜で覆われてない部分の偏光膜を現像液で溶かして現像する方法が挙げられる。本発明の感光性樹脂組成物は、(A)ビニル重合体の項で説明した様にアルカリ現像性を付与することができるため、(i)の方法でアルカリ溶解性のある偏光膜ごと現像することが可能であり工程削減の点で好ましい。現像にてパターン形成した後さらに、ベークすることで感光性樹脂組成物膜をさらに硬化させて保護層を形成するが、この際、必要に応じてメルトフローさせて偏光膜の側面を塞いでもよい。下層となる偏光膜はそれ自体ではパターニングが困難である場合が多く、耐薬品性や耐熱性も不十分である傾向がある。 When patterning a polarizing element using the photosensitive resin composition of the present invention, the photosensitive resin composition of the present invention is wet-formed on an anisotropic dye film (polarizing film) formed on a substrate. After the exposure, (i) both the polarizing film and the photosensitive resin composition film are developed with a developer, or (ii) only the photosensitive resin composition film is developed first, and then this is used as a resist for the photosensitive resin. Examples include a method in which a part of the polarizing film not covered with the composition film is dissolved in a developing solution and developed. Since the photosensitive resin composition of the present invention can impart alkali developability as described in the section of (A) vinyl polymer, it is developed together with the polarizing film having alkali solubility by the method (i). This is preferable in terms of process reduction. After the pattern is formed by development, the photosensitive resin composition film is further cured by baking to form a protective layer. In this case, if necessary, the side surface of the polarizing film may be blocked by melt-flowing. . The polarizing film as the lower layer is often difficult to pattern by itself, and tends to have insufficient chemical resistance and heat resistance.
なお、本発明の偏光素子の製造方法において偏光膜の支持体として用いる基板としては、特に限定されるものではないが、良好な表面性状、接触角特性と吸水特性を有する基板であることが好ましい。そのような基板を形成する基材としては、例えば、ガラス等の無機材料;トリアセテート系樹脂、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリエチレンテレフタレート系樹脂、トリアセチルセルロース系樹脂、ノルボルネン系樹脂、環状ポレオレフィン系樹脂、ポリイミド系樹脂、又はウレタン系樹脂等の高分子材料等を挙げることができる。これらは1種を単独で、または2種以上を併用してもよい。特に基板は高分子材料を含有する高分子基材を含む基板であることが好ましい。 The substrate used as the support for the polarizing film in the method for producing a polarizing element of the present invention is not particularly limited, but is preferably a substrate having good surface properties, contact angle characteristics and water absorption characteristics. . As a base material for forming such a substrate, for example, inorganic materials such as glass; triacetate resin, acrylic resin, polyester resin, polycarbonate resin, polyethylene terephthalate resin, triacetyl cellulose resin, norbornene resin And polymer materials such as cyclic polyolefin resin, polyimide resin, and urethane resin. These may be used alone or in combination of two or more. In particular, the substrate is preferably a substrate including a polymer base material containing a polymer material.
基板の吸水率としては、通常、5%以下、好ましくは3%以下、より好ましくは1%以下である。吸水率が過度に大きいと、湿式成膜法にて異方性偏光材料の膜を形成する際に基板が吸湿して基板が反り、塗布欠陥が生じやすくなる場合がある。また、塗布法にて偏光膜が形成された後に基板が膨潤して光学欠陥が発生する場合がある。なお、「吸水率」とは、ASTM D570の試験方法を用い、23℃の水に4時間浸漬させたときの重量変化率を測定した値である。 The water absorption rate of the substrate is usually 5% or less, preferably 3% or less, more preferably 1% or less. If the water absorption is excessively large, the substrate may absorb moisture when the anisotropic polarizing material film is formed by a wet film formation method, and the substrate may be warped, which may easily cause coating defects. In addition, after the polarizing film is formed by a coating method, the substrate may swell and optical defects may occur. The “water absorption rate” is a value obtained by measuring the weight change rate when immersed in water at 23 ° C. for 4 hours using the test method of ASTM D570.
基板面である、偏光膜が形成される面には、偏光膜に含まれる色素などの異方性偏光材料をよりよく一定方向に配向させるとの観点から、予め配向処理層等を設けることができる。配向処理層の形成方法については「液晶便覧」(丸善株式会社、平成12年10月30日発行)226頁〜239頁などに記載の公知の方法によることができる。また、基板の形状としては、一定寸法のフィルム状(枚葉状)であってもよいし、連続フィルム状(帯状)であってもよい。また、基板の膜厚としては、通常、0.01mm〜3mm、好ましくは0.02mm〜2mmである。 An orientation treatment layer or the like may be provided in advance on the surface of the substrate surface on which the polarizing film is formed from the viewpoint of better orienting an anisotropic polarizing material such as a dye contained in the polarizing film in a certain direction. it can. About the formation method of an orientation processing layer, it can be based on the well-known method as described in "Liquid Crystal Handbook" (Maruzen Co., Ltd., issued on October 30, 2000) pp. 226-239. Moreover, as a shape of a board | substrate, the film form (sheet-fed form) of a fixed dimension may be sufficient, and a continuous film form (strip | belt shape) may be sufficient. Moreover, as a film thickness of a board | substrate, it is 0.01 mm-3 mm normally, Preferably it is 0.02 mm-2 mm.
基板の全光線透過率としては、通常、80%以上、好ましくは85%以上、より好ましくは90%以上である。なお、「全光線透過率」とは、積分球色測定装置を使用して測定されるもので、拡散透過光と平行光線透過光とをあわせた値である。 The total light transmittance of the substrate is usually 80% or more, preferably 85% or more, more preferably 90% or more. The “total light transmittance” is measured using an integrating sphere color measuring device, and is a value obtained by combining diffuse transmission light and parallel light transmission light.
[その他の硬化部材]
本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成可能なその他の硬化部材としては特に限定されないが、例えば保護膜、絶縁膜、平坦化膜、カラムスペーサー、バンク、カラーフィルター、樹脂ブラックマトリックスなどが挙げられる。保護膜は例えば半導体層や偏光膜などの機能性部材を保護したりする目的で用いられ、必要に応じて、(G)無機ナノ粒子であるフィラー等でハードコート性を付与して用いても良い。絶縁層は例えば配線や電極間やTFT基板と配線などの間を絶縁する目的で用いられ、ゲート絶縁膜や、キャパシタとして用いる場合は、必要に応じて(G)無機ナノ粒子である金属酸化物などで高誘電率化しても良い。平坦化膜は、例えば表面の粗いフレキシブル基板の表面に施し、平滑化させたり、部材の凹凸を平坦化したりするために用いられる。カラムスペーサーは例えば液晶セルの間隙を確保するつっかえ棒の役割を果たし、必要に応じて(F)色材である染料や顔料を用いて黒などの着色をしても良い。バンクは、例えばインクジェットでインクを塗り分ける際の閾の役割をするものであり、バンクの外にインクを溢れさせない目的で、(H)撥液剤を添加して撥液性を付与しても良い。カラーフィルターは液晶ディスプレイや有機ELディスプレイなどの色を発現させる役割をし、(F)色材である染料や顔料をさらに用いることで光の3原色を表現して用いる。樹脂ブラックマトリックスは液晶ディスプレイの光漏れやディスプレイ一般の電極からの反射を防ぐ目的で使用され、(F)色材である染料や顔料をさらに用いて黒色化して用いる。これらの部材は各部材毎にフォトリソで形成しても良いが、基板上の同じ表面に存在するなどで可能な場合は、ハーフト−ンのマスクを利用して部位毎の露光強度を調整することで、複数の種類の部材を一括で形成することもできる。
[Other hardened members]
Although it does not specifically limit as other hardening members which can be formed using the photosensitive resin composition of this invention, For example, a protective film, an insulating film, a planarization film | membrane, a column spacer, a bank, a color filter, a resin black matrix etc. are mentioned. It is done. The protective film is used, for example, for the purpose of protecting functional members such as a semiconductor layer and a polarizing film. If necessary, the protective film may be used by imparting hard coat properties with a filler (G) that is inorganic nanoparticles. good. The insulating layer is used, for example, for the purpose of insulating between wirings and electrodes or between the TFT substrate and wirings. When used as a gate insulating film or a capacitor, (G) a metal oxide which is an inorganic nanoparticle as required. For example, the dielectric constant may be increased. The flattening film is applied, for example, to the surface of a flexible substrate having a rough surface, and is used for smoothing or flattening the unevenness of the member. For example, the column spacer serves as a replacement rod for securing a gap between the liquid crystal cells, and may be colored with black or the like using a dye or a pigment (F) as necessary. The bank serves as a threshold when, for example, ink is separately applied by ink jet. For the purpose of preventing the ink from overflowing outside the bank, (H) a liquid repellent may be added to impart liquid repellency. . The color filter plays a role of developing colors of a liquid crystal display, an organic EL display, and the like, and expresses and uses the three primary colors of light by further using (F) a dye or pigment as a color material. The resin black matrix is used for the purpose of preventing light leakage of a liquid crystal display and reflection from a general electrode of the display, and is used by further blackening further using a dye or pigment which is a color material (F). These members may be formed by photolithography for each member, but if possible, such as being on the same surface on the substrate, adjust the exposure intensity for each part using a half-tone mask. Thus, a plurality of types of members can be formed together.
[画像表示装置]
本発明の画像表示装置は、少なくとも本発明の感光性樹脂組成物を用いて得た硬化部材や、偏光素子を備えたものである。具体的には、液晶表示装置が挙げられる。液晶表示装置の構成例としては、層間絶縁膜とITO配線と偏光素子とを有するTFT素子アレイ基板と、配向膜と保護層付き偏光膜とを有するカラーフィルター基板がスペーサーを挟んで対向しており、その隙間に液晶が注入されている。さらにそのTFT素子アレイ基板の外側にバックライトが配置されて構成されたものが挙げられる。本発明の表示装置はこれに限定されるものではなく、他にも有機EL表示装置等が挙げられる。
[Image display device]
The image display device of the present invention includes at least a cured member obtained by using the photosensitive resin composition of the present invention and a polarizing element. Specifically, a liquid crystal display device is mentioned. As a configuration example of a liquid crystal display device, a TFT element array substrate having an interlayer insulating film, ITO wiring, and a polarizing element, and a color filter substrate having an alignment film and a polarizing film with a protective layer are opposed to each other with a spacer interposed therebetween. Liquid crystal is injected into the gap. Furthermore, the thing comprised by having arrange | positioned the backlight outside the TFT element array substrate is mentioned. The display device of the present invention is not limited to this, and other examples include an organic EL display device.
以下、本発明を実施例によって詳細に説明する。但し、本発明は、以下の実施例に限定されず、その要旨を逸脱しない範囲において、任意に変更して実施できる。 Hereinafter, the present invention will be described in detail by way of examples. However, the present invention is not limited to the following examples, and can be arbitrarily modified and implemented without departing from the gist thereof.
[実施例1及び比較例1]
実施例1及び比較例1で用いた各成分の詳細は、以下の通りである。
<重合体−1>
還流冷却器、攪拌機、窒素吹込み管を備えたフラスコに、トリシクロデカン骨格を有するモノメタクリレート(日立化成(株)製「FA−513M」)47質量部、グリシジルメタクリレート61質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート400質量部、ジメチル2,2′−アゾビス(2−メチルプロピオネート)8.0質量部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながら液温を80℃に上昇させ、80℃で6時間反応し、さらに100℃で1時間ジメチル−2,2′−アゾビス(2−メチルプロピオネート)の分解処理をした後、80℃の減圧下でプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを蒸留して、固形分濃度50質量%程度まで濃縮し、重合体−1を得た。この樹脂の重量平均分子量(Mw)は、約11,000であった。
[Example 1 and Comparative Example 1]
Details of each component used in Example 1 and Comparative Example 1 are as follows.
<Polymer-1>
In a flask equipped with a reflux condenser, a stirrer, and a nitrogen blowing tube, 47 parts by mass of monomethacrylate having a tricyclodecane skeleton (“FA-513M” manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), 61 parts by mass of glycidyl methacrylate, propylene glycol monomethyl After charging 400 parts by mass of ether acetate and 8.0 parts by mass of dimethyl 2,2'-azobis (2-methylpropionate), and replacing with nitrogen, the liquid temperature was raised to 80 ° C. while stirring, After reacting for 1 hour and further decomposing dimethyl-2,2′-azobis (2-methylpropionate) at 100 ° C. for 1 hour, propylene glycol monomethyl ether acetate was distilled under reduced pressure at 80 ° C. The polymer was concentrated to a partial concentration of about 50% by mass to obtain polymer-1. The weight average molecular weight (Mw) of this resin was about 11,000.
なお、重量平均分子量は、島津製作所製「ゲル浸透クロマトグラフシステムLS Solution」で、島津製作所製「カラムGPC−804」を用いて測定した。
重合体−1に含まれる繰り返し単位の構造は以下のとおりである。
重合体−1におけるエポキシ基含有ビニル化合物(グリシジルメタクリレート)由来の繰り返し単位構造の含有割合は67モル%であり、環状脂肪族基含有ビニル化合物(ジシクロペンタニルメタクリレート)由来の繰り返し単位構造の含有割合は33モル%である。
The weight average molecular weight was measured using “Column GPC-804” manufactured by Shimadzu Corporation with “Gel Permeation Chromatograph System LS Solution” manufactured by Shimadzu Corporation.
The structure of the repeating unit contained in polymer-1 is as follows.
The content ratio of the repeating unit structure derived from the epoxy group-containing vinyl compound (glycidyl methacrylate) in Polymer-1 is 67 mol%, and the content of the repeating unit structure derived from the cyclic aliphatic group-containing vinyl compound (dicyclopentanyl methacrylate). The proportion is 33 mol%.
<Irg−250(BASF社製)> <Irg-250 (manufactured by BASF)>
<VAm−110(和光純薬社製)> <VAm-110 (Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)>
<Irg907(BASF社製)> <Irg907 (made by BASF)>
<BYK−330(ビックケミー社製)>
ポリエーテル変性ポリメチルアルキルシロキサン
<BYK-330 (by Big Chemie)>
Polyether-modified polymethylalkylsiloxane
<感光性樹脂組成物1及び2の調製>
表1の各成分をそれぞれ量り取り、マグネチックスターラーを用いて撹拌し完全に溶解させ、さらに10分間撹拌を続けた。次にインテグリス社のオプチマイザーV47 0.02μm FD5A XFRを用いて濾過して、感光性樹脂組成物1及び2を得た。
<Preparation of photosensitive resin compositions 1 and 2>
Each component in Table 1 was weighed and stirred using a magnetic stirrer to completely dissolve it, and stirring was further continued for 10 minutes. Next, it filtered using the optimizer V47 0.02 micrometer FD5A XFR of Entegris, and obtained the photosensitive resin compositions 1 and 2.
<パターニング性の評価>
ガラス製基板(10×10cm、厚さ0.7mm)上に各感光性樹脂組成物を約0.5cc滴下し、ベーク後の膜厚が500nmとなるようにスピンコーターの回転数を調整し、50秒間回転させて塗布した。その後、ホットプレート上で90℃、90秒間加熱乾燥して、保護層を形成した。このサンプルを、3kW高圧水銀灯を用いて、200mJ/cm2の露光量で5、6、7、8、9、10、20、30、40、50μmのラインとドットのネガパターンを有するマスクを介して露光した。
次にこのサンプルを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを現像液として用いて30秒間揺らしながら浸漬し、現像した。現像後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートでかけ流した後、圧縮空気で乾かした。
この時の、パターンの様子を光学顕微鏡で観察し、パターン形成されている最も細かいパターンのサイズを表1に記した。なお、現像できていない場合は現像不可とした。数値は小さい程良好と言える。
<Evaluation of patterning properties>
About 0.5 cc of each photosensitive resin composition is dropped on a glass substrate (10 × 10 cm, thickness 0.7 mm), and the rotation speed of the spin coater is adjusted so that the film thickness after baking becomes 500 nm, The coating was performed by rotating for 50 seconds. Then, it heated and dried on the hotplate at 90 degreeC for 90 second, and formed the protective layer. This sample was passed through a mask having a negative pattern of 5 and 6, 7, 8, 9, 10, 20 , 30, 40, and 50 μm lines and dots at an exposure amount of 200 mJ / cm 2 using a 3 kW high-pressure mercury lamp. And exposed.
Next, this sample was immersed and developed for 30 seconds using propylene glycol monomethyl ether acetate as a developing solution. After development, the film was poured with propylene glycol monomethyl ether acetate and then dried with compressed air.
The state of the pattern at this time was observed with an optical microscope, and the size of the finest pattern formed is shown in Table 1. If development was not possible, development was impossible. The smaller the value, the better.
<耐薬品性の評価>
上記パターニング性の評価で得られたサンプルをクリーンオーブンで180℃15分の条件でベークした後、N−メチルピロリドンに15分間浸漬した。浸漬前後の50μmライン部分の膜厚を、Dektak(Bruker社製)を用いて測定した。膜厚残存率=(浸漬後の膜厚/浸漬前の膜厚)×100として、計算した結果を表1に記した。
<Evaluation of chemical resistance>
The sample obtained by the patterning evaluation was baked in a clean oven at 180 ° C. for 15 minutes, and then immersed in N-methylpyrrolidone for 15 minutes. The film thickness of the 50 μm line part before and after immersion was measured using Dektak (manufactured by Bruker). The calculated results are shown in Table 1 as the film thickness residual ratio = (film thickness after immersion / film thickness before immersion) × 100.
<電圧保持率(VHR)の評価>
洗浄した2.5cm角の無アルカリガラス基板(旭硝子(株)社製「AN−100」)の片全面にITO膜を形成した基板Aと、2.5cm角の同ガラス基板の片面中央部に、2mm幅の取り出し電極がつながった1cm角のITO膜を形成した基板Bを用意した。
基板AのITO膜が形成されたほうの表面上に、表1の各感光性樹脂組成物をスピンコーターでベーク後の膜厚が1μmになる様に調整して塗布し、ホットプレート上で90℃にて90秒乾燥し、コンタクト部分の感光性樹脂組成物を、アセトンを含ませた綿棒で拭き取ってから、3kW高圧水銀灯を用いて200mJ/cm2の露光量で露光後、オーブンで180℃15分間ベークすることで、全面に感光性樹脂組成物が製膜された基板Aを得た。
<Evaluation of voltage holding ratio (VHR)>
A substrate A in which an ITO film is formed on one whole surface of a washed 2.5 cm square alkali-free glass substrate ("AN-100" manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) and a central portion of one side of the 2.5 cm square glass substrate. A substrate B on which a 1 cm square ITO film with a 2 mm wide extraction electrode connected was prepared.
On the surface of the substrate A on which the ITO film is formed, each photosensitive resin composition shown in Table 1 is applied with a spin coater so that the film thickness after baking is 1 μm. After drying at 90 ° C. for 90 seconds, the photosensitive resin composition in the contact portion was wiped off with a cotton swab soaked in acetone, exposed to 200 mJ / cm 2 using a 3 kW high-pressure mercury lamp, and then 180 ° C. in an oven. By baking for 15 minutes, the board | substrate A with which the photosensitive resin composition was formed into a film on the whole surface was obtained.
次に、基板BのITO膜が形成されたほうの表面の外周上に、ディスペンサーを用いて、直径5μmのシリカビーズを含有するUV硬化型シール剤を塗布した後、基板Aの感光性樹脂組成物を製膜した面を、外縁部が3mmずれるように対向配置し、圧着し、紫外線を照射した。
こうして得られた空セルに、液晶(メルクジャパン社製MLC−6846−000)を注入し、周辺部をUV硬化型シール剤によって封止し、電圧保持率測定用液晶セルを完成した。
Next, a UV curable sealant containing silica beads having a diameter of 5 μm is applied to the outer periphery of the surface of the substrate B on which the ITO film is formed using a dispenser, and then the photosensitive resin composition of the substrate A is used. The surface on which the product was formed was placed oppositely so that the outer edge was shifted by 3 mm, pressed, and irradiated with ultraviolet rays.
Liquid crystal (MLC-6846-000 manufactured by Merck Japan Co., Ltd.) was injected into the empty cell thus obtained, and the periphery was sealed with a UV curable sealant to complete a voltage holding ratio liquid crystal cell.
上記液晶セルを、アニール処理(熱風循環炉内で105℃、2.5時間加熱)した後、60Hz、2Hz及び0.6Hzのパルス電圧を、電圧5Vで印加時間16.67msec、スパン500msecの条件で印加し、電圧保持率を(株)東陽テクニカ製「VHR−1」にて測定し、その結果を表1に記した。数値は大きいほど良好である。 The liquid crystal cell was annealed (heated in a hot-air circulating furnace at 105 ° C. for 2.5 hours), then applied with pulse voltages of 60 Hz, 2 Hz, and 0.6 Hz at a voltage of 5 V, an application time of 16.67 msec, and a span of 500 msec. The voltage holding ratio was measured with “VHR-1” manufactured by Toyo Corporation, and the results are shown in Table 1. The larger the value, the better.
[実施例2]
実施例2で用いた各成分の詳細は、以下の通りである。
[Example 2]
Details of each component used in Example 2 are as follows.
<重合体−2>
還流冷却器、攪拌機、窒素吹込み管を備えたフラスコに、トリシクロデカン骨格を有するモノメタクリレート(日立化成(株)製「FA−513M」)16質量部、グリシジルメタクリレート61質量部、メタクリル酸12質量部、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル300質量部、ジメチル2,2′−アゾビス(2−メチルプロピオネート)9質量部を仕込み、窒素置換した後、攪拌しながら液温を80℃に上昇させ、80℃で6時間反応して、重合体−2を得た。この樹脂の重量平均分子量(Mw)は、約8,000であった。
<Polymer-2>
In a flask equipped with a reflux condenser, a stirrer, and a nitrogen blowing tube, 16 parts by mass of monomethacrylate having a tricyclodecane skeleton (“FA-513M” manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), 61 parts by mass of glycidyl methacrylate, and methacrylic acid 12 Parts by weight, 300 parts by weight of diethylene glycol methyl ethyl ether, 9 parts by weight of dimethyl 2,2′-azobis (2-methylpropionate), and after replacing with nitrogen, the liquid temperature was raised to 80 ° C. while stirring, The mixture was reacted at 0 ° C. for 6 hours to obtain a polymer-2. The weight average molecular weight (Mw) of this resin was about 8,000.
なお、重量平均分子量は、島津製作所製「ゲル浸透クロマトグラフシステムLS Solution」で、島津製作所製「カラムGPC−804」を用いて測定した。
重合体−2に含まれる繰り返し単位の構造は以下のとおりである。
重合体−2におけるエポキシ基含有ビニル化合物(グリシジルメタクリレート)由来の繰り返し単位構造の含有割合は67モル%であり、環状脂肪族基含有ビニル化合物(ジシクロペンタニルメタクリレート)由来の繰り返し単位構造の含有割合は11モル%であり、メタクリル酸由来の繰り返し単位の含有割合は22モル%であった。
The weight average molecular weight was measured using “Column GPC-804” manufactured by Shimadzu Corporation with “Gel Permeation Chromatograph System LS Solution” manufactured by Shimadzu Corporation.
The structure of the repeating unit contained in the polymer-2 is as follows.
In Polymer-2, the content of the repeating unit structure derived from the epoxy group-containing vinyl compound (glycidyl methacrylate) is 67 mol%, and the content of the repeating unit structure derived from the cyclic aliphatic group-containing vinyl compound (dicyclopentanyl methacrylate) is included. The ratio was 11 mol%, and the content ratio of repeating units derived from methacrylic acid was 22 mol%.
<TO1382(東亞合成社製)> <TO1382 (Toagosei Co., Ltd.)>
<UVS−1331(川崎化成社製)> <UVS-1331 (manufactured by Kawasaki Kasei Co., Ltd.)>
<ET−2201(川崎化成社製)> <ET-2201 (manufactured by Kawasaki Kasei Co., Ltd.)>
<感光性樹脂組成物3の調製>
表2の各成分をそれぞれ量り取り、感光性樹脂組成物1及び2と同様にして、感光性樹脂組成物3を得た。
<Preparation of photosensitive resin composition 3>
Each component of Table 2 was weighed out, and a photosensitive resin composition 3 was obtained in the same manner as in the photosensitive resin compositions 1 and 2.
<パターニング性の評価>
実施例1のパターニング性の評価における現像液を0.4質量%TMAH(テトラヒドロアンモニウムヒドロキシド)に変更し、膜厚を塗布乾燥後の膜厚が1μmになる様に調整した以外は同様にして感光性樹脂組成物3のパターニング性の評価を行い、結果を表2に記した。
<耐薬品性の評価>
実施例1と同様にして感光性樹脂組成物3の耐薬品性の評価を行い、結果を表2に記載した。
<Evaluation of patterning properties>
The same procedure was performed except that the developer in the patterning property evaluation of Example 1 was changed to 0.4 mass% TMAH (tetrahydroammonium hydroxide) and the film thickness was adjusted to 1 μm after coating and drying. The patterning property of the photosensitive resin composition 3 was evaluated, and the results are shown in Table 2.
<Evaluation of chemical resistance>
The chemical resistance of the photosensitive resin composition 3 was evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 2.
<電圧保持率(VHR)の評価>
実施例1と同様にして感光性樹脂組成物3の電圧保持率の評価を行い、結果を表2に記した。
<Evaluation of voltage holding ratio (VHR)>
The voltage holding ratio of the photosensitive resin composition 3 was evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 2.
表1より、実施例1と比較例1との比較から、本発明の感光性樹脂組成物によって、0.6Hzという極めて厳しい条件においても、高レベルな電気信頼性が確保できることがわかる。これは熱ラジカル重合開始剤を含有することで、ベーク時により緻密な硬化反応が促進される結果であろうと考えられる。本発明の感光性樹脂組成物は電気信頼性のより高い硬化部材を低温条件下で製造する場合に有用であることがわかる。さらに、最小解像サイズが10μm以下であることから、本発明の感光性樹脂組成物は、フォトリソによる安定的で高精度のパターニングが可能であることがわかる。
また、表1及び表2より、実施例1と実施例2との比較から、実施例2がより高レベルのVHR(電気信頼性)を擁していることが判るが、これは酸を発生するため電気信頼性に影響し得る光カチオン重合開始剤量を、(E)の化合物を添加することで抑えられているからであると考えられる。
From Table 1, it can be seen from the comparison between Example 1 and Comparative Example 1 that the photosensitive resin composition of the present invention can ensure a high level of electrical reliability even under extremely severe conditions of 0.6 Hz. This is considered to be a result of promoting a more precise curing reaction during baking by containing a thermal radical polymerization initiator. It turns out that the photosensitive resin composition of this invention is useful when manufacturing a hardening member with higher electrical reliability on low temperature conditions. Furthermore, since the minimum resolution size is 10 μm or less, it can be seen that the photosensitive resin composition of the present invention can be stably and highly accurately patterned by photolithography.
Further, from Table 1 and Table 2, it can be seen from the comparison between Example 1 and Example 2 that Example 2 has a higher level of VHR (electrical reliability), which generates an acid. Therefore, it is considered that the amount of the cationic photopolymerization initiator that can affect the electrical reliability is suppressed by adding the compound (E).
[実施例3]
<異方性色素膜用組成物1の調整>
水79質量部に、下記式(I)で表される色素のリチウム塩20質量部と、下記式(II)で表される色素1質量部とを撹拌溶解させることにより、異方性色素膜用組成物1を調製した。
[Example 3]
<Preparation of anisotropic dye film composition 1>
An anisotropic dye film is obtained by stirring and dissolving 20 parts by mass of a lithium salt of a dye represented by the following formula (I) and 1 part by mass of a dye represented by the following formula (II) in 79 parts by mass of water. Composition 1 was prepared.
<不溶化液1の調整>
ビス(ヘキサメチレン)トリアミン(東京化成社製)24.4質量部に、6規定の硫酸75.6質量部を加えて撹拌溶解させ、不溶化液1を調製した。不溶化液1の粘度は50cPであった。
<Adjustment of insolubilized liquid 1>
Insoluble solution 1 was prepared by adding 75.6 parts by mass of 6N sulfuric acid to 24.4 parts by mass of bis (hexamethylene) triamine (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) and dissolving with stirring. The viscosity of insolubilized solution 1 was 50 cP.
<感光性樹脂組成物4の調整>
感光性樹脂組成物3のTO−1382をジペンタエリスリトールヘキサアクリレートに変更した以外は同様にして感光性樹脂組成物4を得た。
<Adjustment of photosensitive resin composition 4>
Photosensitive resin composition 4 was obtained in the same manner except that TO-1382 of photosensitive resin composition 3 was changed to dipentaerythritol hexaacrylate.
((I)工程)
ガラス製基板(10x10cm、厚さ0.7mm)上に配向膜(膜厚約60nmのポリイミド膜)を形成し、端面に水平な方向にラビング処理を施したものを基板として用意した。
この配向膜の上に、異方性色素膜用組成物1をダイコーター(ウェット膜厚2μm、ヘッド速度15mm/s)で塗布し、自然乾燥させることにより、膜厚約0.4μmの偏光膜を形成した。なお、塗布時の環境条件は23℃、50RH%であった。
(Process (I))
An alignment film (polyimide film having a film thickness of about 60 nm) was formed on a glass substrate (10 × 10 cm, thickness 0.7 mm), and a substrate subjected to rubbing treatment in a horizontal direction was prepared as a substrate.
A polarizing film having a film thickness of about 0.4 μm is applied on the alignment film by applying the anisotropic dye film composition 1 with a die coater (wet film thickness 2 μm, head speed 15 mm / s) and naturally drying. Formed. In addition, the environmental conditions at the time of application | coating were 23 degreeC and 50RH%.
不溶化液1中に偏光膜を形成した基板を5秒間含浸させた。基板を取り出した後に脱塩水を用いて洗浄し、その後、基板の風乾を行なった。 The substrate on which the polarizing film was formed in the insolubilized solution 1 was impregnated for 5 seconds. After removing the substrate, it was washed with demineralized water, and then the substrate was air-dried.
((II)工程)
(I)工程において不溶化処理された偏光膜の上に、感光性樹脂組成物4を約0.5cc滴下し、後述の(III)工程の現像後の膜厚が1μmとなるようにスピンコーターの回転数を調整し、50秒間回転させて塗布した。その後、ホットプレート上で90℃、90秒間加熱乾燥して、保護層を形成させた。
(Process (II))
About 0.5 cc of the photosensitive resin composition 4 is dropped onto the insolubilized polarizing film in the step (I), and the spin coater is adjusted so that the film thickness after development in the step (III) described later becomes 1 μm. The number of rotations was adjusted, and the coating was performed by rotating for 50 seconds. Thereafter, it was dried by heating on a hot plate at 90 ° C. for 90 seconds to form a protective layer.
((III)工程)
(II)工程において保護層を形成した基板を、3kW高圧水銀灯を用いて、200mJ/cm2の露光量でネガパターンのあるマスクを介して露光させた。
次に露光後の基板を、0.4質量%TMAHで30秒間搖動させながら浸漬して現像し、水で充分すすいだ後、乾燥した。
(Process (III))
The substrate on which the protective layer was formed in the step (II) was exposed through a mask having a negative pattern at an exposure amount of 200 mJ / cm 2 using a 3 kW high-pressure mercury lamp.
Next, the substrate after exposure was developed by immersing it with 0.4% by mass TMAH for 30 seconds, sufficiently rinsed with water, and then dried.
次に、このサンプルを180℃のオーブンで15分加熱して、パターニングされた保護層付き塗布型偏光膜のサンプルを得た。保護層の下の偏光膜は、ひび割れ、膜の脱落等のない均一で良好な膜であった。 Next, this sample was heated in an oven at 180 ° C. for 15 minutes to obtain a patterned coated polarizing film sample with a protective layer. The polarizing film under the protective layer was a uniform and good film with no cracks and no film dropping.
<偏光特性の評価>
実施例3の保護層付き塗布型偏光膜について、得られたサンプルを半分に分割し、それぞれの偏光膜が直交になる様に、又は平行になる様に重ね合せた時の様子を観察したところ、光を均質に遮光又は透過できていることが確認できた。
<Evaluation of polarization characteristics>
About the coating type polarizing film with a protective layer of Example 3, when the obtained sample was divided | segmented into half and it overlapped so that each polarizing film might become orthogonal or parallel, the mode when it observed was observed It was confirmed that the light could be uniformly blocked or transmitted.
このように、本発明の感光性樹脂組成物を保護層として用いることで、塗布型偏光膜にダメージを与えることなくパターニングすることが可能であることが判る。 Thus, it turns out that it can pattern without damaging a coating type polarizing film by using the photosensitive resin composition of this invention as a protective layer.
本発明の感光性樹脂組成物は、フォトリソでパターニング可能であり、電気信頼性が良好な硬化部材を低温で形成可能であるため、高温耐性の低い材料存在下で硬化部材を形成する場合や、フレキシブルディスプレイの製造などに有用である。 The photosensitive resin composition of the present invention can be patterned with photolithography, and can form a cured member with good electrical reliability at low temperatures, so when forming a cured member in the presence of a material with low high temperature resistance, This is useful for manufacturing flexible displays.
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