JP2016136566A - 中空型電子デバイス封止用シート - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 セパレータと熱硬化性封止用シートとを有し、セパレータの厚み(mm)と25℃における引張弾性率(N/mm2)との積が、200N/mm以上であり、熱硬化性封止用シートの50℃〜100℃の範囲内における最低溶融粘度が100kPa・s以上である中空型電子デバイス封止用シート。
【選択図】 図1
Description
セパレータと熱硬化性封止用シートとを有し、
前記セパレータの厚み(mm)と25℃における引張弾性率(N/mm2)との積が、200N/mm以上であり、
前記熱硬化性封止用シートの50℃〜100℃の範囲内における最低溶融粘度が100kPa・s以上であることを特徴とする。
また、セパレータの強度が高いことに加えて、熱硬化性封止用シートの50℃〜100℃の範囲内における最低溶融粘度を100kPa・s以上とし、電子デバイスの埋め込み時に、熱硬化性封止用シートが柔らかくなりすぎない構成とした。その結果、電子デバイスの埋め込み時に、熱硬化性封止用シートの天面に凹凸が生じることを抑制することができる。
また、熱硬化性封止用シートの50℃〜100℃の範囲内における最低溶融粘度が100kPa・s以上であるため、電子デバイスの中空部への樹脂の進入が抑制される。
図1は、本実施形態に係る中空型電子デバイス封止用シートの断面模式図である。図1に示すように、中空型電子デバイス封止用シート10は、セパレータ11aと、セパレータ11a上に積層された熱硬化性封止用シート11(以下、「封止用シート11」ともいう)とを備える。セパレータ11aは、本発明のセパレータに相当する。
なお、本実施形態では、中空型電子デバイス封止用シートが、熱硬化性封止用シートの一方の面にのみセパレータが積層された場合について説明するが、本発明はこの例に限定されず、熱硬化性封止用シートの両面にセパレータが積層されていてもよい。この場合、使用する直前に一方のセパレータを剥離して、使用することができる。
また、本実施形態では、セパレータ上にセパレータに接して熱硬化性封止用シートが積層されている場合について説明するが、本発明はこの例に限定されず、セパレータと熱硬化性封止用シートとの間に、他の層を有していてもよい。
セパレータ11aは、厚み(mm)と25℃における引張弾性率(N/mm2)との積が、200N/mm以上であり、250N/mm以上であることが好ましく、300N/mm以上であることがより好ましい。セパレータ11aの厚み(mm)と引張弾性率(N/mm2)との積が、200N/mm以上であり、セパレータの強度が高いため、電子デバイスの埋め込み時に、封止用シート11の天面に凹凸が生じることを抑制することができる。
なお、本発明において、セパレータの強度の指標として、厚みと引張弾性率との積を採用したのは、厚みが薄くても引張弾性率が高ければ天面に凹凸が生じることを抑制することができ、引張弾性率が低くても厚みが厚ければ天面に凹凸が生じることを抑制することができることに本発明者が想到したことによる。そして、本発明者は、鋭意研究の結果、前記積を200N/mm以上とすると、電子デバイスの埋め込み時に、熱硬化性封止用シートの天面に凹凸が生じることを抑制することができることを突き止めた。
封止用シート11は、50℃〜100℃の範囲内における最低溶融粘度が100kPa・s以上であり、150kPa・s以上であることが好ましく、200kPa・s以上であることがより好ましい。また、前記最低溶融粘度の上限値は、特に限定されないが、中空封止性の観点から、例えば、600kPa・s以下とすることができる。本実施形態においては、セパレータ11aの強度が高いことに加えて、熱硬化性封止用シートの50℃〜100℃の範囲内における最低溶融粘度を100kPa・s以上とし、電子デバイスの埋め込み時に、封止用シート11が柔らかくなりすぎない構成とした。その結果、電子デバイスの埋め込み時に、封止用シート11の天面に凹凸が生じることを抑制することができる。
また、封止用シート11の50℃〜100℃の範囲内における最低溶融粘度が100kPa・s以上であるため、電子デバイスの中空部への樹脂の進入が抑制される。
また、前記無機充填剤としては、平均粒子径の異なる2種以上の無機充填剤を用いてもよい。平均粒径の異なる2種以上の無機充填剤を用いる場合、前記の「無機充填剤の平均粒径は20μm以下」とは、無機充填剤全体の平均粒径が20μm以下のことをいう。
前記2つのピークは、特に限定されないが、粒径の大きい側のピークが、3〜30μmの範囲内にあり、粒径の小さい側のピークが0.1〜1μmの範囲内にあることが好ましい。前記2つのピークが前記数値範囲内にあると、無機充填剤の含有量をさらに多くすることが可能となる。
上記粒度分布は、具体的には、以下の方法により得られる。
(a)封止用シート11をるつぼに入れ、大気雰囲気下、700℃で2時間強熱して灰化させる。
(b)得られた灰分を純水中に分散させて10分間超音波処理し、レーザー回折散乱式粒度分布測定装置(ベックマンコールター社製、「LS 13 320」;湿式法)を用いて粒度分布(体積基準)を求める。
なお、封止用シート11の組成として無機充填剤以外は有機成分であり、上記の強熱処理により実質的に全ての有機成分が焼失することから、得られる灰分を無機充填剤とみなして測定を行う。なお、平均粒径の算出も粒度分布と同時に行うことができる。
シランカップリング剤により無機充填剤の表面処理をすれば、封止用シート11の粘度を低下させることができるが、シランカップリング剤の量が多いとアウトガス発生量も増加する。そのため、無機充填剤を予め表面処理したとしても、封止用シート11の作成時に発生するアウトガスにより、封止用シート11の性能が低下することとなる。一方、シランカップリング剤の量が少ないと粘度を好適に低下させることができない。そこで、無機充填剤100重量部に対して0.5〜2重量部のシランカップリング剤により無機充填剤を予め表面処理すれば、好適に粘度を低下させることができるとともに、アウトガスによる性能低下を抑制することができる。
また、前記無機充填剤として、平均粒径の異なる2種類の無機充填剤を混合したものを用いる場合、平均粒径の小さい方の無機充填剤と大きい方の無機充填剤との両方を予めシランカップリング剤で表面処理しておくことがより好ましい。この場合、粘度の上昇をさらに抑制することが可能となる。
中空型電子デバイス封止用シート10は、適当な溶剤に封止用シート11を形成するための樹脂等を溶解、分散させてワニスを調整し、このワニスをセパレータ11a上に所定厚みとなる様に塗布して塗布膜を形成した後、該塗布膜を所定条件下で乾燥させて形成することができる。塗布方法としては特に限定されず、例えば、ロール塗工、スクリーン塗工、グラビア塗工等が挙げられる。また、乾燥条件としては、例えば乾燥温度70〜160℃、乾燥時間1〜30分間の範囲内で行われる。
また、他の方法として、支持体上に前記ワニスを塗布して塗布膜を形成した後、前記乾燥条件で塗布膜を乾燥させて封止用シート11を形成してもよい。その後、セパレータ11a上に封止用シート11を支持体と共に貼り合わせる。封止用シート11が、特に、熱可塑性樹脂(アクリル樹脂)、エポキシ樹脂、フェノール樹脂を含む場合、これらすべてを溶剤に溶解させた上で、塗布、乾燥させる。溶剤としては、メチルエチルケトン、酢酸エチル、トルエン等を挙げることができる。
本実施形態に係る中空パッケージの製造方法は、
1又は複数の電子デバイスが被着体上に固定された積層体を準備する工程と、
中空型電子デバイス封止用シートを準備する工程と、
前記中空型電子デバイス封止用シートを、前記積層体の前記電子デバイス上に配置する工程と、
前記電子デバイスを前記中空型電子デバイス封止用シートの熱硬化性封止用シートに埋め込み、前記電子デバイスが前記熱硬化性封止用シートに埋め込まれた封止体を形成する工程と
を少なくとも含む。
本実施形態に係る中空パッケージの製造方法では、まず、複数のSAWチップ13(SAWフィルタ13)がプリント配線基板12上に搭載された積層体15を準備する(図2参照)。SAWチップ13は、所定の櫛形電極が形成された圧電結晶を公知の方法でダイシングして個片化することにより形成できる。SAWチップ13のプリント配線基板12への搭載には、フリップチップボンダーやダイボンダーなどの公知の装置を用いることができる。SAWチップ13とプリント配線基板12とはバンプなどの突起電極13aを介して電気的に接続されている。また、SAWチップ13とプリント配線基板12との間は、SAWフィルタ表面での表面弾性波の伝播を阻害しないように中空部14を維持するようになっている。SAWチップ13とプリント配線基板12との間の距離(中空部の幅)は適宜設定でき、一般的には10〜100μm程度である。
また、本実施形態に係る中空パッケージの製造方法では、中空型電子デバイス封止用シート10(図1参照)を準備する。
次に、図3に示すように、下側加熱板22上に、積層体15を、SAWチップ13が固定された面を上にして配置するとともに、SAWチップ13面上に中空型電子デバイス封止用シート10を配置する。この工程においては、下側加熱板22上にまず積層体15を配置し、その後、積層体15上に中空型電子デバイス封止用シート10を配置してもよく、積層体15上に中空型電子デバイス封止用シート10を先に積層し、その後、積層体15と中空型電子デバイス封止用シート10とが積層された積層物を下側加熱板22上に配置してもよい。
次に、図4に示すように、下側加熱板22と上側加熱板24とにより熱プレスして、SAWチップ13を封止用シート11に埋め込み、SAWチップ13が封止用シート11に埋め込まれた封止体25を形成する。封止用シート11は、SAWチップ13及びそれに付随する要素を外部環境から保護するための封止樹脂として機能することとなる。これにより、SAWチップ13が封止用シート11に埋め込まれた封止体25が得られる。
前記減圧条件としては、圧力が、例えば、0.1〜5kPa、好ましくは、0.1〜100Paであり、減圧保持時間(減圧開始からプレス開始までの時間)が、例えば、5〜600秒であり、好ましくは、10〜300秒である。
次に、セパレータ11aを剥離する(図5参照)。
次に、封止用シート11を熱硬化させる。熱硬化処理の条件として、加熱温度が好ましくは100℃以上、より好ましくは120℃以上である。一方、加熱温度の上限が、好ましくは200℃以下、より好ましくは180℃以下である。加熱時間が、好ましくは10分以上、より好ましくは30分以上である。一方、加熱時間の上限が、好ましくは180分以下、より好ましくは120分以下である。また、必要に応じて加圧してもよく、好ましくは0.1MPa以上、より好ましくは0.5MPa以上である。一方、上限は好ましくは10MPa以下、より好ましくは5MPa以下である。
続いて、封止体25のダイシングを行ってもよい(図6参照)。これにより、SAWチップ13単位での中空パッケージ18(中空型電子デバイスパッケージ)を得ることができる。
必要に応じて、中空パッケージ18に対してバンプを形成し、これを別途の基板(図示せず)に実装する基板実装工程を行うことができる。中空パッケージ18の基板への実装には、フリップチップボンダーやダイボンダーなどの公知の装置を用いることができる。
また、上述の本実施形態では、中空型電子デバイス封止用シートを用いて、電子デバイスを平行平板プレスで埋め込む場合について説明したが、本発明は、この例に限定されず、真空状態の真空チェンバー内において、離型フィルムで、電子デバイスと中空型電子デバイス封止用シートとの積層物を密閉した後、チャンバー内に大気圧以上のガスを導入して、電子デバイスを中空型電子デバイス封止用シートの熱硬化性封止用シートに埋め込むこととしてもよい。具体的には、特開2013−52424号公報に記載されている方法により、電子デバイスを中空型電子デバイス封止用シートの熱硬化性封止用シートに埋め込むことしてもよい。この場合であっても、本発明の中空型電子デバイス封止用シートは、セパレータの厚み(mm)と25℃における引張弾性率(N/mm2)との積が、200N/mm以上であるため、電子デバイスの埋め込み時に、熱硬化性封止用シートの天面に凹凸が生じることを抑制することができる。また、熱硬化性封止用シートの50℃〜100℃の範囲内における最低溶融粘度を100kPa・s以上であるため、電子デバイスの埋め込み時に、熱硬化性封止用シートの天面に凹凸が生じることを抑制することができ、かつ、電子デバイスの中空部への樹脂の進入を抑制できる。
エポキシ樹脂:新日鐵化学(株)製のYSLV−80XY(ビスフェノールF型エポキシ樹脂、エポキン当量200g/eq.、軟化点80℃)
フェノール樹脂:群栄化学製のLVR8210DL(ノボラック型フェノール樹脂、水酸基当量104g/eq.、軟化点60℃)
熱可塑性樹脂:根上工業社製のHME−2006M(カルボキシル基含有のアクリル酸エステル共重合体、重量平均分子量:約60万、ガラス転移温度(Tg):−35℃)
無機充填剤A:電気化学工業社製のFB−5SDC(平均粒径5μm、表面処理ナシ)
無機充填剤B:アドマテックス社製のSO−25R(平均粒径0.5μm)を3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学社製の製品名:KBM−503)で表面処理したもの。無機充填剤Bの100重量部に対して1重量部のシランカップリング剤で表面処理。
カーボンブラック:三菱化学社製の#20
硬化促進剤:四国化成工業社製の2PHZ−PW(2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール)
表1に記載の封止用シートの配合比に従い、各成分を溶剤としてのメチルエチルケトンに溶解、分散させ、濃度85重量%のワニスを得た。このワニスを、表1に記載の種類、及び、厚みのセパレータ上に塗布した後、110℃で5分間乾燥させた。これにより、厚さ55μmのシートを得た。このシートを4層積層させて厚さ220μmの中空封止用封止用シートを作製した。なお、セパレータは、すべて表面にシリコーン離型処理が施されている。また、表1中、PENは、ポリエチレンナフタレート、PETは、ポリエチレンテレフタレートを意味する。
実施例及び比較例で作製した封止用シートの最低粘度を、レオメーター(HAAKE社製、MARS III)を用いて、パラレルプレート法により測定した。より詳細には、ギャップ1mm、パラレルプレート直径8mm、回転速度5s−1、歪み0.05%、昇温速度10℃/分の条件にて、50℃から130℃の範囲で粘度を測定し、その際の50℃から100℃における粘度の最低値を最低粘度とした。結果を表1に示す。
実施例、及び、比較例のセパレータについて、粘弾性測定装置(レオメトリックス社製:形式:RSA-III)を用いて25℃における貯蔵弾性率を測定した。より詳細には、セパレータを切断してサンプルサイズを長さ30mm×幅10mmとし、測定試料をフィルム引っ張り測定用治具にセットし−30〜100℃の温度域で周波数1.0Hz、歪み0.025%、昇温速度10℃/minの条件下で測定し、25℃での測定値を読み取ることにより得た。結果を表1に示す。
また、セパレータの厚みと引張弾性率との積(N/mm)も合わせて表1に示す。
まず、下記チップを4つ準備した。
チップサイズ(平面視):3mm角
チップ高さ:200μm
チップ中空Gap(中空部の高さ):15μm
次に、準備したチップを互いのチップ間距離が300μmとなるように4隅(左上、左下、右上、右下)に配置した。なお、チップ間距離とは、チップ間の一番近い距離をいい、例えば、左上のチップと右上のチップのチップ間距離は、左上のチップの右端の辺と、右上のチップの左端の辺との間の距離をいう。
次に、チップ面上に、実施例、及び、比較例の電子デバイス封止用シートを配置した。この際、チップ面と封止用シートとが接触して対向するように配置した。
次に、75℃、60秒、圧力300kPaの条件で真空プレスして、チップを封止用シートに埋め込んだ。この際の真空度は、1.6kPaとした。
次に、150℃で1時間加熱した。
その後、セパレータを剥離し、下部にチップが存在する部分の厚さと、4つのチップが埋め込まれた封止用シートの中心部分(下部にチップが存在しない部分)の厚さとの差を凹み量として求めた。測定には、接触式表面粗さ計(Veeco社製、DEKTAK8)を用いた。凹み量が30μm以下の場合を○、30μmより大きい場合を×として評価した。結果を表1に示す。
アルミニウム櫛形電極が形成された以下の仕様のSAWチップを下記ボンディング条件にてセラミック基板に実装したSAWチップ実装基板を作製した。SAWチップとセラミック基板との間のギャップ幅は、15μmであった。
チップサイズ:1.2mm角(厚さ150μm)
バンプ材質:Au(高さ15μm)
バンプ数:6バンプ
チップ数:100個(10個×10個)
装置:パナソニック電工(株)製
ボンディング条件:200℃、3N、1sec、超音波出力2W
温度:60℃
加圧力:4MPa
真空度:1.6kPa
プレス時間:1分
11 熱硬化性封止用シート(封止用シート)
11a セパレータ
13 SAWフィルタ
15 積層体
18 中空型電子デバイスパッケージ
25 封止体
Claims (2)
- セパレータと熱硬化性封止用シートとを有し、
前記セパレータの厚み(mm)と25℃における引張弾性率(N/mm2)との積が、200N/mm以上であり、
前記熱硬化性封止用シートの50℃〜100℃の範囲内における最低溶融粘度が100kPa・s以上であることを特徴とする中空型電子デバイス封止用シート。 - 前記セパレータの厚みが50μm以上であることを特徴とする請求項1に記載の中空型電子デバイス封止用シート。
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