JP2016122003A

JP2016122003A - 欠陥検出回路及びフレキシブル・プローブ・チップ中の潜在的な欠陥検出方法

Info

Publication number: JP2016122003A
Application number: JP2015250604A
Authority: JP
Inventors: ジェームズ・エイチ・マックグラス・ジュニア; H Mcgrath James Jr; アイラ・ポロック; Pollock Ira
Original assignee: Tektronix Inc
Current assignee: Tektronix Inc
Priority date: 2014-12-22
Filing date: 2015-12-22
Publication date: 2016-07-07
Also published as: US20160178665A1; EP3037828A1; CN105717407A

Abstract

【課題】フレキシブル・プローブ・チップ中のフレキシブル基板上の電気的パス中の電気的な不連続を検出する。
【解決手段】フレキシブル・プローブ・チップ用の欠陥検出回路には、フレキシブル基板２０２上に導電性欠陥検出トレース２１０があり、これは、欠陥検出トレース２１０中に電気的不連続が存在するか判定できる欠陥検出部２４０に接続される。欠陥検出部２４０には、不連続が検出され、よって、フレキシブル・プローブ・チップ２００をユーザのＤＵＴに半田付けすべきではないとユーザに指示するためのライトのような欠陥インジケータもあって良い。欠陥検出部２４０は、欠陥検出トレースのインピーダンスが変化したかどうか調査するか、又は、欠陥検出トレース２１０の第１ノード２２０から他方の端部である第２ノード２３０までの電圧の低下を調査することによって、欠陥検出トレース２１０中に不連続があるかを判定しても良い。
【選択図】図２

Description

本発明は、試験測定装置のプローブ用のプローブ・チップに関し、特に、フレキシブル回路が組み込まれたプローブ・チップに関する。

テクトロニクス社が製造及び販売するＭＳＯ／ＤＰＯ７００００シリーズ・オシロスコープのいずれかのような試験測定装置のユーザは、被試験デバイス（ＤＵＴ）を測定装置の入力端子にプローブで接続する。検査されるＤＵＴ回路の物理的なサイズが減少し、回路中の検査される電気部品の密度が増加しているので、ユーザにとって、物理的にプローブ・チップを接続するために受け入れ可能な回路上のスペースを見つけるのが益々困難になっている。加えて、信号データ・レートが絶えず増加し、回路中の動作信号電圧レベルが低くなっていく全般的な傾向によって、プローブの設計者には、著しい技術的な困難が生じている。帯域幅、ノイズ耐性及び感度のような性能の要求に合致させるため、テクトロニクス社が製造及び販売するＰ７６００シリーズ・プローブのようなプローブは、典型的には、ＤＵＴからの測定された信号を伝達する高性能同軸ケーブルを組み込んだプローブ・チップを使用している。しかし、このタイプの高性能同軸ケーブルは比較的高価で、これによって、このタイプの従来のケーブルを用いたプローブ・チップ（以下、「同軸ベース・プローブ・チップ」）の購入価格が高くなる。

同軸ベース・プローブ・チップの利用の代替の１つには、測定された信号を伝達するフレキシブル回路を組み込んだプローブ・チップ（以下、「フレックス回路プローブ・チップ」又は「フレキシブル・プローブ・チップ」）を代わりに利用するものがある。同軸ベース・プローブ・チップではなくて、フレキシブル・プローブ・チップを利用する利点は、プローブ・チップのコスト低減に加えて、ユーザが、かれらのＤＵＴ上にプローブ・チップを配置するのが一層自由になることである。フレックス回路プローブ・チップによって、ユーザは、従来の同軸ベース・プローブ・チップで通常必要となる垂直の空き領域をふさぐであろう回路上の部品の周辺で、プローブ・チップを曲げることが可能となる。しかし、フレキシブル回路の生来の柔軟性は、この利用において、損失の原因にもなり得る。この屈曲のため、フレックス回路プローブ・チップは、通常の使用中は持ちこたえるが、フレックス回路プローブ・チップは、利用可能な寿命が限られ、ついには摩滅するであろう。フレックス回路プローブ・チップの寿命は、屈曲の過酷さと、それが受ける屈曲サイクルの回数に依存する。

フレックス回路プローブ・チップは、同軸ベース・プローブ・チップに比較して、コストが著しく低いため、フレックス回路プローブ・チップの限られた寿命は、耐用期間のプローブ・コスト全体の観点からは、ユーザにとって大きな問題ではないかもしれない。なぜなら、フレックス回路プローブ・チップは、基本的に「摩滅」アイテムとなっていて、これは、定期的で予防的なメンテナンス・インターバルでユーザが交換でき、また、従来の同軸ベース・プローブ・チップ１個のコスト未満で、フレックス回路プローブ・チップをいくつか購入できるためである。

特開２００７−０７８６７５号公報特開２０１０−２８７３３４号公報

「差動プローブ」の製品紹介サイト、テクトロニクス、［online］、［２０１５年１２月２２日検索］、インターネット<http://jp.tek.com/differential-probe-low-voltage>

しかし、フレックス回路プローブ・チップに残る潜在的な問題は、プローブ・チップをＤＵＴに取り付ける工程に関係している。ＤＵＴとプローブ・チップ間に良好な電気的接触を形成し、測定される信号の忠実性を良好に維持するため、ユーザは、典型的には、適切な位置にプローブ・チップを半田付けすることによって、プローブ・チップを彼らの回路に取り付ける。ユーザの回路の密度が絶えず増加し、これら回路中に使用される部品のサイズが絶えず小さくなっていくため、適切な位置にプローブ・チップを半田付けするには、高いスキルと、正確さと、辛抱強さとを要求される困難な作業となり得る。ユーザは、プローブ・チップを適切な位置に半田付けするのに、数時間、又は、数日さえ費やすことがあり得る。ユーザの時間と努力のこの潜在的に猛烈な投資のため、フレックス回路プローブ・チップを適切な位置に半田付けするのに時間を費やし、実際に信号を測定しようとした後になって初めて、プローブ・チップが既に摩滅しており、もはや機能していないことを発見するというのでは、ユーザにとって、極めて問題である。

本発明の実施形態は、従来のこれら及び他の制約を解決しようとするものである。

フレキシブル・プローブ・チップ用の欠陥検出回路は、フレキシブル基板上に１つ以上の導電性欠陥検出トレースを含む。これら欠陥検出トレースは、欠陥検出トレース中に電気的な不連続があるか判定（determine：判断、決定）できる欠陥検出部に接続される。欠陥検出部は、不連続が検出されたことをユーザに示すライトのような欠陥インジケータを有しても良い。欠陥検出部は、例えば、欠陥検出トレースのインピーダンスが変化したかどうかを調べるか、又は、欠陥検出トレースの一端から他端までの電圧の落ち込み（ドロップ）を調べることによって、欠陥検出トレースに不連続があることを判定しても良い。

本発明の概念１は、試験測定装置用のプローブに接続可能なフレキシブル・プローブ・チップ用の欠陥検出回路であって、この欠陥検出回路は、
フレキシブル基板と
第１端点及び第２端点を有する電気的パスとして、そのフレキシブル基板上に配置される少なくとも１つの導電性トレースと、
上記第１端点及び上記第２端点間に電気的に結合され、上記電気的パス中の電気的不連続を検出するよう構成される欠陥検出部と
を具えている。

本発明の概念２は、上記概念１の欠陥検出回路であって、このとき、上記フレキシブル基板は、フレックス回路を更に有している。

本発明の概念３は、上記概念２の欠陥検出回路であって、このとき、上記フレックス回路は、単一の導電層を有している。

本発明の概念４は、上記概念２の欠陥検出回路であって、このとき、上記フレックス回路は、最上部（top）導電層及び底部（bottom）導電層を有する多層フレックス回路から構成される。

本発明の概念５は、上記概念４の欠陥検出回路であって、このとき、少なくとも１つの上記導電性トレースは、
上記最上部導電層上に配置された第１トレースと、
上記底部導電層上に配置された第２トレースと、
上記第１トレース及び上記トレース間に電気的に結合される少なくとも１つのビア（via）と
を有している。

本発明の概念６は、上記概念１の欠陥検出回路であって、このとき、上記欠陥検出部は、上記フレキシブル基板上に配置される。

本発明の概念７は、上記概念１の欠陥検出回路であって、このとき、上記欠陥検出部は、上記プローブ中に配置される。

本発明の概念８は、上記概念１の欠陥検出回路であって、このとき、上記欠陥検出部は、上記試験測定装置中に配置される。

本発明の概念９は、上記概念１の欠陥検出回路であって、このとき、上記欠陥検出部は、マイクロプロセッサを有している。

本発明の概念１０は、上記概念１の欠陥検出回路であって、このとき、上記欠陥検出部は、ユーザへの上記電気的不連続の指示を生成するよう構成される欠陥インジケータを有している。

本発明の概念１１は、上記概念１０の欠陥検出回路であって、このとき、上記指示は、視覚的指示を含む。

本発明の概念１２は、上記概念１１の欠陥検出回路であって、このとき、上記欠陥インジケータは、発光ダイオードを有する。

本発明の概念１３は、上記概念１１の欠陥検出回路であって、このとき、上記視覚的指示は、上記試験測定装置の表示スクリーン上に表示されるメッセージを含む。

本発明の概念１４は、上記概念１０の欠陥検出回路であって、このとき、上記指示は、聴覚的指示を含む。

本発明の概念１５は、上記概念１０の欠陥検出回路であって、このとき、上記指示は、触覚型（haptic）指示を含む。

本発明の概念１６は、試験測定装置用のフレキシブル・プローブ・チップ中の潜在的な欠陥を検出する方法であって、この方法は、
上記フレキシブル・プローブ・チップの一部分を横断する電気的パス中の物理的不連続を検出する処理を具えている。

本発明の概念１７は、上記概念１６の方法であって、このとき、物理的不連続を検出する処理は、上記電気的パスのインピーダンスが、選択可能な範囲外にあることを検出する処理を有している。

本発明の概念１８は、上記概念１６の方法であって、このとき、物理的不連続を検出する処理は、
上記電気的パスの第１ノードに第１電圧を加える処理と、
上記電気的パスの第２ノードにおいて第２電圧を測定する処理と、
上記第２電圧を上記第１電圧に対して比較する処理と、
上記第２電圧と上記第１電圧間の差が、選択可能なしきい値を超えるか判定する処理と
を有している。

本発明の概念１９は、上記概念１６の方法であって、
検出された上記物理的不連続をユーザに警告する処理を更に具えている。

本発明の概念２０は、上記概念１９の方法であって、このとき、検出された上記物理的不連続をユーザに警告する処理は、発光ダイオードの状態を変化させる処理を有している。

図１は、本発明の実施形態によるフレキシブル・プローブ・チップを含む測定システムを示す。図２は、本発明の実施形態による欠陥検出回路を含むフレキシブル・プローブ・チップの斜視図である。図３Ａは、本発明の実施形態によるフレキシブル・プローブ・チップ中で使用される欠陥検出トレース用の第１例のパスの上面図である。図３Ｂは、本発明の実施形態によるフレキシブル・プローブ・チップ中で使用される欠陥検出トレース用の第２例のパスの上面図である。図３Ｃは、本発明の実施形態によるフレキシブル・プローブ・チップ中で使用される欠陥検出トレース用の第３例のパスの上面図である。図４は、本発明の実施形態による多層フレキシブル回路を組み込んだフレキシブル・プローブ・チップの一部分の断面図である。図５Ａは、プローブ・チップから離れて配置された、本発明の実施形態による欠陥検出部を示すブロック図である。図５Ｂは、プローブ・チップから離れて配置された、本発明の実施形態による欠陥検出部を示すもう１つ別のブロック図である。

図１は、ＤＵＴ上の信号を検査するための典型的なシステムを描いている。オシロスコープのような試験測定装置１００は、プローブ１１０に接続される。プローブ１１０には、フレキシブル・プローブ・チップ１３０に接続されるプローブ・チップ・コネクタ１２０がある。フレキシブル・プローブ・チップ１３０は、典型的には、被試験回路の一部分上の適切な場所に半田付されることによって、ＤＵＴ１４０に接続される。試験測定装置１００は、プローブ１１０とフレキシブル・プローブ・チップ１３０に電力と制御信号を供給しても良い。フレキシブル・プローブ・チップ１３０とプローブ１１０は、ＤＵＴ上の検査される信号を、分析のために、試験測定装置１００へ伝達する。

図２は、本発明の実施形態によるフレキシブル・プローブ・チップ２００へ接続できるプローブ・チップ・コネクタ２７０の斜視図である。フレキシブル・プローブ・チップ２００は、非導電性のフレキシブル基板２０２をベースとしている。導電性トレース２１０が、フレキシブル基板２０２上に形成される。フレキシブル基板２０２及び導電性トレース２１０は、既知の材料及びプロセスを用いて製造されるフレキシブル回路で良い。例えば、導電性トレース２１０は、銅、銅合金、銀又は他の導電性材料から生成しても良く、また、フレキシブル基板２０２は、ポリエステル、又は、好ましくは、カプトン（登録商標）のようなポリイミドの如きフレキシブル・プラスチックの一種から生成しても良い。絶縁材料の層（図示せず）を、導電性トレース２１０を覆うように貼り付けても良い。フレキシブル・プローブ・チップ２００をＤＵＴに半田付けするための導電性装着ポイント２５０や、信号調整回路２６０のような付加的な回路も、フレキシブル基板２０２上に配置して良い。フレキシブル・プローブ・チップ２００は、ＤＵＴ上のプローブされた信号を、導電性装着ポイント２５０から信号調整回路２６０を介してプローブ・チップ・コネクタ２７０へと伝達するよう構成される追加の導電性トレース（図示せず）を有していても良い。フレキシブル・プローブ・チップ２００は、プローブ・チップ・コネクタ２７０からフレキシブル・プローブ・チップ２００上の種々の電気部品へ電力と制御信号を伝達するよう構成される別の導電性トレース（図示せず）も有していて良い。

導電性トレース、つまり、欠陥検出トレース２１０は、第１端点、つまりノード２２０と、第２端点、つまりノード２３０との間の電気的パスを提供する。トレースは、例えば、５０〜１００オームの範囲の、そして、より好ましくは、７５〜８０オームの間のインピーダンスで形成されると良い。図２に描かれた実施形態では、欠陥検出トレース２１０は、フレキシブル・プローブ・チップ２００の長さにほぼ沿って通り、長く伸びた「Ｕ」型を形成している。欠陥検出部２４０は、端点２２０、２３０間に電気的に結合される。欠陥検出部２４０は、欠陥検出トレース２１０で形成される電気的パス中の電気的連続性を検出又は測定するよう構成又は設定される。

通常の使用中、ユーザは、フレキシブル・プローブ・チップ２００を繰り返し屈曲させるであろう。フレキシブル基板２０２の生来の薄さ（典型的には、１２マイクロメータから１２５マイクロメータ）のために、この屈曲は、概して、フレキシブル・プローブ・チップ２００の長手軸（longitudinal axis）と直角な軸の周りを回る。そこで、本発明のいくつかの実施形態では、欠陥検出トレース２１０がこの屈曲の軸を横断し、よって、フレキシブル・プローブ・チップ２００が曲げられたときに、物理的変形にさらされる。繰り返し又は激しい屈曲の後、欠陥検出トレース２１０は、ついには電気的な不連続が現れるだろう。即ち、欠陥検出トレース２１０は、オープン（電気的パスの切断）が現れるか、もし完全なオープンでないなら、少なくとも測定可能なインピーダンスの変化が現れる可能性が高い。いくつかの実施形態では、欠陥検出トレース２１０が、数十から数百の間の屈曲サイクルの後に不連続を発現するように形成される。

欠陥検出部２４０は、欠陥検出トレース２１０中の任意の１ポイント又は複数ポイントにおいて不連続があるかどうか検出する。いくつかの実施形態では、欠陥検出トレース２１０のインピーダンスが許容範囲外かどうか、欠陥検出部２４０が判定することによって不連続を検出する。別の実施形態では、第１端点２２０に電圧を印加し、第２端点２３０で電圧を測定し、測定された電圧を印加した電圧に対して比較し、これら電圧間の差が選択可能なしきい値を超えたかどうか判定することによって、欠陥検出部２４０が不連続を検出する。いくつかの実施形態では、欠陥検出部２４０が、マイクロプロセッサ、フィールド・プログラマブル・ゲート・アレイ（ＦＰＧＡ）、ディスクリート回路、又はこれらの任意の組み合わせを含んでも良い。

欠陥検出部２４０は、実現手段によって、異なる検出方法を利用しても良い。いくつかの実施形態では、欠陥検出部２４０が、欠陥検出トレース２１０のＤＣ抵抗を求めても良い。こうした実施形態は、回りくどくなく、比較的実現が容易である。別の実施形態では、ＡＣインダクタンスを求めても良い。こうした実施形態では、欠陥検出トレースの一端がＡＣグラウンドに短絡される。第３の実施形態では、欠陥検出部２４０が、欠陥検出トレース２１０のＡＣ静電容量を求めても良い。こうした実施形態では、欠陥検出トレースの一端をオープン回路として残しておく。ＡＣ静電容量の方法は、実現するのに他のものよりも多くの回路を必要とするが、欠陥又は不連続が生じた欠陥検出トレース上の位置を大凡検出できるという機能を含む。最後に、欠陥検出部２４０が、時間領域反射率測定法（ＴＤＲ）を利用しても良い。こうした技術を利用することで、欠陥検出部は、欠陥又は不連続の位置を正確に求めることができるのに加えて、欠陥の酷さも概算できる。しかし、ＴＤＲシステムは、ハードウェア及びソフトウェアのコストの点から、実現するのが比較的高価なことがある。

いくつかの実施形態では、欠陥検出部２４０が欠陥検出トレース２１０で形成される電気的パス中に不連続又は他の欠陥を検出すると、欠陥検出部２４０が欠陥の指示をユーザに提供するように更に構成される。ユーザに提供されるこの指示は、ライトのような視覚的指示、ビーッという音のような聴覚的指示又は振動のような触覚型指示としても良い。いくつかの実施形態によれば、不連続が検出されたとき、欠陥検出部２４０は、フレキシブル・プローブ・チップ２００上に配置されたもののような発光ダイオード（ＬＥＤ）の状態の状態を変更することによって、ユーザにその欠陥を警告する。例えば、欠陥検出部２４０は、ＬＥＤをオンにするか、又は、ＬＥＤの色を、例えば、緑から赤に変化させ、欠陥が存在することを指示するようにしても良い。別の実施形態では、欠陥検出部２４０が、欠陥検出信号をフレキシブル・プローブ・チップ・コネクタ２７０に供給するよう構成されても良い。こうした欠陥検出信号は、続いて、装着されたプローブを介して、装着された試験測定装置へと伝達され、欠陥指示として、試験測定装置の表示スクリーン上に表示されるメッセージを生成するのに利用されるようにしても良い。

欠陥検出トレースは、無数の形状で形成されて良い。図３Ａ〜３Ｃは、フレキシブル・プローブ・チップ３００、３０２、３０４が異なるパスで形成された欠陥検出トレース３１０、３１２、３１４をそれぞれ有するフレキシブル・プローブ・チップ３００、３０２、３０４を描いている。フレキシブル・プローブ・チップ３００、３０２、３０４のそれぞれにおいて、欠陥検出トレース３１０、３１２、３１４は、それぞれ端点３２０、３３０の間に形成される。欠陥検出部３４０も、端点３２０、３３０の間に結合される。図３Ａの欠陥検出トレース３１０は、概して、長く伸びたループから形成される。図３Ｂの欠陥検出トレース３１２は、概して、いくつかの蛇行ループから形成される。図３Ｃの欠陥検出トレース３１４は、くし形である。もちろん、他のレイアウト及び形状の欠陥検出トレースが可能である。好ましくは、欠陥検出トレースは、典型的な使用中に、最も大きな変形を受けそうなフレキシブル・プローブ・チップの領域を横断して構成される。例えば、欠陥検出トレース３１０、３１２、３１４は、最も屈曲しそうなフレキシブル・プローブ・チップ３００、３０２、３０４の領域を横断している。これによって、欠陥検出トレースに、検出可能な電気的な不連続を一層発現し易くできる。

欠陥検出トレースは、多層フレックス回路中のようなフレキシブル基板の１つよりも多い層上に形成されても良い。図４は、本発明の実施形態による多層フレキシブル・プローブ・チップ４００の断面図の一部を示している。フレキシブル・プローブ・チップ４００において、中央導電層４１４は、非導電性フレキシブル基板層４１６、４１８の間で薄い層を形成している。最上部（top）導電層４１０には、導電性トレース４５０、４５２があり、底部（bottom）導電層４１２には、導電性トレース４６０がある。図４に描かれた実施形態では、最上部及び底部導電層４１０、４１２は、それぞれ非導電性層４２２、４２４で覆われている。最上部（top）層上の導電性トレース４５０は、導電性ビア（VIA）４７０によって、底部（bottom）層上の導電性トレース４６０に接続されている。このようにして、導電性トレース４５０、４５２、４６０と、導電性ビア４７０、４８０とは、全体として、第１端点、つまり、ノード４２０と、第２端点、つまり、ノード４３０との間の電気的パスを形成する。もちろん、欠陥検出トレース４５０、４５２、４６０は、多層フレックス回路の任意の導電層上に任意の形状で形成されて良く、異なる層上に異なるパスをとって良い。

次に、欠陥検出部４４０は、端点４２０、４３０の間に結合されて良く、これらは、いくつかの実施形態では、電気デバイスを実装（mount）するのに適したパッドでも良い。欠陥検出部４４０は、単一の電気部品としても良いし、又は、複数部品の組み合わせとしても良く、そして、端点４２０、４３０に直接的又は間接的に結合されても良い。欠陥検出部４４０は、導電性トレース４５０、４５２、４６０と導電性ビア４７０、４８０とによって形成されるループのような電気的パス中における切断又はインピーダンス変化のような不連続を検出するよう構成又は設定される。

好ましい実施形態では、中央導電層４１４が、ユーザのＤＵＴから装着されたプローブ（図示せず）へとプローブされた信号を伝達する導電性トレース（図示せず）を含んでも良い。多層フレキシブル回路においては、最も外側の層が、フレキシブル回路の屈曲による変形の最大量を受ける傾向にあるだろう。従って、フレキシブル・プローブ・チップ４００の内部導電層４１４上にプローブされた信号のトレースを配置し、最外部の導電層４１０、４１２上に欠陥検出トレース（導電性トレース４５０、４５２、４６０）を設けることによって、欠陥検出部４４０によって検出された任意の不連続が、概して、フレキシブル・プローブ・チップ４００が間もなく危うくなり、使用すべきでなくなるという早期の警戒をユーザに提供することになろう。

上述の実施形態において、欠陥検出部は、物理的にフレキシブル・プローブ・チップ自身に設けられている。しかし、別の実施形態では、物理的に、装着されるプローブ、又は、装着される試験測定装置に設けられても良い。図５Ａは、プローブ５１０が、プローブ・コネクタ５５２を介して試験測定装置５５０に接続可能な実施形態を示す。フレキシブル・プローブ・チップ５００は、プローブ５１０に接続可能であり、２つの端点５０４、５０６間に形成された欠陥検出トレース５０２を有している。欠陥検出部５４０は、物理的にプローブ５１０中に設けられ、そして、フレキシブル・プローブ・チップ５００が、プローブ５１０の一部分であるフレキシブル・プローブ・チップ・コネクタ５１２に接続されたときに、端点５０４、５０６間に結合される。このようにして、フレキシブル・プローブ・チップ５００がフレキシブル・プローブ・チップ・コネクタ５１２に接続されたときに、欠陥検出部は、欠陥検出トレース５０２中に不連続又は欠陥状態があるかどうか判定（determine）できる。

同様に、図５Ｂは、もう１つ別の実施形態を示し、これにおいて、フレキシブル・プローブ・チップ５００は、フレキシブル・プローブ・チップ・コネクタ５１２を介してプローブ５１１に接続可能な端点５０４、５０６間に欠陥検出トレース５０２を有する。プローブ５１１は、プローブ・コネクタ５５３を介して、試験測定装置５５１に接続可能である。欠陥検出部５４０は、物理的に試験測定装置５５１中に設けられ、フレキシブル・プローブ・チップ５００、プローブ５１１及び試験測定装置５５１が共に接続されたときに、端点５０２、５０４間に結合される。

説明の都合上、本発明の具体的な実施形態を図示し、説明してきたが、本発明の要旨と範囲から離れることなく、種々の変更を行うことができる。従って、本発明は、添付の請求項によるようなものを除いて、限定されるべきではない。

１００試験測定装置
１１０プローブ
１２０プローブ・チップ・コネクタ
１３０フレキシブル・プローブ・チップ
１４０ＤＵＴ
２００フレキシブル・プローブ・チップ
２０２非導電性フレキシブル基板
２１０導電性トレース
２２０第１端点（ノード）
２３０第２端点（ノード）
２４０欠陥検出部
２５０導電性装着ポイント
２６０信号調整回路
２７０プローブ・チップ・コネクタ
３００フレキシブル・プローブ・チップ
３０２フレキシブル・プローブ・チップ
３０４フレキシブル・プローブ・チップ
３１０欠陥検出トレース
３１２欠陥検出トレース
３１４欠陥検出トレース
３２０第１端点（ノード）
３３０第２端点（ノード）
３４０欠陥検出部
４００多層フレキシブル・プローブ・チップ
４１０最上部導電性層
４１２底部導電性層
４１４中央導電性層
４１６非導電性フレキシブル基板層
４１８非導電性フレキシブル基板層
４２０第１端点（ノード）
４２２非導電性層
４２４非導電性層
４３０第２端点（ノード）
４４０欠陥検出部
４５０欠陥検出トレース
４５２欠陥検出トレース
４６０欠陥検出トレース
４７０導電性ビア
４８０導電性ビア
５００フレキシブル・プローブ・チップ
５０２欠陥検出トレース
５０４端点（ノード）
５０６端点（ノード）
５１０プローブ
５１１プローブ
５１２フレキシブル・プローブ・チップ・コネクタ
５４０欠陥検出部
５５０試験測定装置
５５１試験測定装置
５５２プローブ・コネクタ
５５３プローブ・コネクタ

Claims

試験測定装置用のプローブに接続可能なフレキシブル・プローブ・チップ用の欠陥検出回路であって、
フレキシブル基板と
第１端点及び第２端点を有する電気的パスとして、そのフレキシブル基板上に配置される少なくとも１つの導電性トレースと、
上記第１端点及び上記第２端点間に電気的に結合され、上記電気的パス中の電気的不連続を検出するよう構成される欠陥検出部と
を具える欠陥検出回路。
試験測定装置用のフレキシブル・プローブ・チップ中の潜在的な欠陥を検出する方法であって、
上記フレキシブル・プローブ・チップの一部分を横断する電気的パス中の物理的不連続を検出する処理を具えるフレキシブル・プローブ・チップ中の潜在的な欠陥検出方法。
請求項２によるフレキシブル・プローブ・チップ中の潜在的な欠陥検出方法であって、物理的不連続を検出する処理が、
上記電気的パスの第１ノードに第１電圧を加える処理と、
上記電気的パスの第２ノードにおいて第２電圧を測定する処理と、
上記第２電圧を上記第１電圧に対して比較する処理と、
上記第２電圧と上記第１電圧間の差が、選択可能なしきい値を超えるか判定する処理と
を有するフレキシブル・プローブ・チップ中の潜在的な欠陥検出方法。