JP2016121981A - Transmission type defect inspection device and defect inspection method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、透過式欠陥検査装置及び欠陥検査方法に関する。 The present invention relates to a transmission type defect inspection apparatus and a defect inspection method.
光学表示パネルにおいては、表示機能を実現するために、必要に応じて様々な光学フィルムを貼り付ける必要がある。さらに、光学フィルムが貼り付けられた表示パネルに対し、欠点があるかどうかを検査する必要がある。 In an optical display panel, in order to realize a display function, it is necessary to attach various optical films as necessary. Furthermore, it is necessary to inspect whether there is a defect with respect to the display panel to which the optical film is attached.
通常、例えば液晶パネルのような表示パネルについて欠点検査を行なう場合には、液晶パネルの一方の面から照明を当て、その透過光をセンサで検知したり、カメラで撮像したりすることで、液晶パネルの欠点検査を行う。 Normally, when a defect inspection is performed on a display panel such as a liquid crystal panel, illumination is applied from one surface of the liquid crystal panel, and the transmitted light is detected by a sensor or imaged by a camera. Inspect the panel for defects.
一般的に、カメラには、エリアカメラとラインセンサーカメラがあり、特許文献１に記載の通り、ラインカメラは撮像対象物が動いている状態で撮像するものであるが、エリアカメラは撮像対象物を停止させて撮像する必要がある。
例えば、特許文献２には、エリアカメラを用いて液晶パネルの欠点を検査する際に、液晶パネルを停止して撮像することが記載されており、特許文献３にはラインセンサーカメラで液晶パネルの欠点を検査する際に液晶パネルを搬送しながら撮像することが記載されている。
Generally, there are an area camera and a line sensor camera as the camera. As described in Patent Document 1, the line camera captures an image while the imaging target is moving. It is necessary to stop and take an image.
For example, Patent Document 2 describes that when a defect of a liquid crystal panel is inspected using an area camera, the liquid crystal panel is stopped and imaged, and Patent Document 3 describes a liquid crystal panel using a line sensor camera. It describes that imaging is performed while transporting a liquid crystal panel when inspecting a defect.
しかし、特許文献２に記載される検査方法によれば、液晶パネルを静止させることが必要であり、液晶パネルの検査を行う間に、製造ラインを一旦停止しなければならない。そのため、製造効率の向上が困難である。 However, according to the inspection method described in Patent Document 2, it is necessary to stop the liquid crystal panel, and the production line must be temporarily stopped while the liquid crystal panel is inspected. Therefore, it is difficult to improve manufacturing efficiency.
一方、特許文献３に記載された一般的にラインカメラによる検査方法によれば、ラインカメラで液晶パネルの幅方向の所定幅を撮像するため、得られた映像は完全に突き合せる必要がある。そのため、前後に得られた映像が連続しない場合には、液晶パネルの全面をもれなく検査することが難しくなる。また、液晶パネルの表面に付着した異物又は画像処理装置へのデータ送信によるノイズ等による誤検出が発生した場合には、特許文献１から３に記載されたいずれの検査方法でも、対象物の検査を１度しか行わないため、対象物が良品であるにも関わらず、誤検出により不良と判定されることがあった。 On the other hand, according to the inspection method using a line camera generally described in Patent Document 3, since the line camera captures a predetermined width in the width direction of the liquid crystal panel, it is necessary to completely match the obtained images. Therefore, when the images obtained before and after are not continuous, it is difficult to completely inspect the entire surface of the liquid crystal panel. In addition, in the case where a foreign matter adhering to the surface of the liquid crystal panel or a false detection due to noise or the like due to data transmission to the image processing apparatus occurs, any of the inspection methods described in Patent Documents 1 to 3 can inspect the object. Since the target is a non-defective product, it may be determined to be defective due to erroneous detection.
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、エリアカメラにより移動中の光学表示パネルを撮像し、前後に撮像される画像を、それぞれ一部が重複するように撮像することにより、簡単で高精度に光学表示パネルにある欠点を検出することができるようにするものである。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and images an optical display panel that is being moved by an area camera, and images before and after the images are partially overlapped. Thus, it is possible to detect a defect in the optical display panel easily and with high accuracy.
本発明は、光学表示パネルを移動させながらその欠陥を検出する透過式欠陥検査装置であって、前記光学表示パネルに対して光を射出するライン状照明装置と、前記ライン状照明装置と対向するようにライン状に並列して取り付けられ、前記ライン状照明装置からの、前記光学表示パネルを透過した透過光を受光して、前記光学表示パネルの撮像を行う複数のエリアカメラと、前記エリアカメラにより撮像された光学表示パネルの画像を処理する画像処理部と、前記光学表示パネルの移動速度に応じて前記エリアカメラの撮像タイミングを制御する制御部と、を備え、前記エリアカメラは、第ｎ（ｎ≧１）回目に撮像された前記光学表示パネルの画像と第ｎ＋１回目に撮像された前記光学表示パネルの画像とが一部重なるように撮像することを特徴とする透過式欠陥検査装置を提供する。 The present invention is a transmission type defect inspection apparatus for detecting a defect while moving an optical display panel, and is opposed to the line illumination apparatus that emits light to the optical display panel. A plurality of area cameras that are mounted in parallel in a line and receive the transmitted light from the line illumination device that has passed through the optical display panel and image the optical display panel, and the area camera An image processing unit that processes the image of the optical display panel imaged by the control unit, and a control unit that controls the imaging timing of the area camera according to the moving speed of the optical display panel. Imaging so that the image of the optical display panel captured at the (n ≧ 1) th time and the image of the optical display panel captured at the (n + 1) th time partially overlap. Provides transparent defect inspection apparatus characterized.
本発明によれば、光学表示パネルを移動させながら、エリアカメラにより該光学表示パネルを撮像することができるため、欠陥検査にあたって光学表示パネルを一旦停止させる必要がなく、生産率が大幅に向上できる。 According to the present invention, since the optical display panel can be picked up by the area camera while moving the optical display panel, it is not necessary to temporarily stop the optical display panel for defect inspection, and the production rate can be greatly improved. .
また、本発明によれば、エリアカメラは、第ｎ（ｎ≧１）回目に撮像された前記光学表示パネルの画像と第ｎ＋１回目に撮像された前記光学表示パネルの画像とが、前記光学表示パネルの移動方向に一部重なるように撮像するものであるため、光学表示パネルの全面をもれなく撮像することができ、欠陥の検出漏れを防止できる。また、画像を重複させることにより、一箇所に対して複数回の検査を行うことができ、前述の誤検出による不良判定を低減させることができる。 According to the invention, the area camera is configured such that the image of the optical display panel captured at the nth (n ≧ 1) time and the image of the optical display panel captured at the (n + 1) th time are the optical display. Since the image is picked up so as to partially overlap in the moving direction of the panel, the entire surface of the optical display panel can be picked up completely, and defect detection failure can be prevented. Further, by duplicating the images, it is possible to perform a plurality of inspections for one place, and to reduce the defect determination due to the above-described erroneous detection.
また、本発明においては、前記複数のエリアカメラのそれぞれは、その撮影範囲が光学表示パネルの幅方向に互いに一部重なるように配置されることが好ましい。 In the present invention, it is preferable that each of the plurality of area cameras is arranged such that the shooting range partially overlaps the width direction of the optical display panel.
これにより、光学表示パネルの移動方向だけではなく、その幅方向においても撮像範囲が一部重なるようになり、欠陥の検出漏れがより確実に防止できる。また、撮像範囲を重複させることにより、一箇所に対して複数回の検査を行うことができ、前述の誤検出による不良判定を低減させることができる。 Accordingly, the imaging ranges partially overlap not only in the moving direction of the optical display panel but also in the width direction thereof, and defect detection omission can be prevented more reliably. In addition, by overlapping the imaging ranges, it is possible to perform a plurality of inspections for one place, and to reduce the defect determination due to the aforementioned erroneous detection.
また、本発明のライン状照明装置は、光学表示パネルの全幅に渡るように取り付けられるライン光源であることが好ましいが、該光学表示パネルの幅方向に沿ってライン状に配列された複数の点光源からなる構成とすることもできる。該ライン状照明装置は、メタルハライドランプまたはＬＥＤランプであることが好ましい。 Further, the line illumination device of the present invention is preferably a line light source attached so as to cover the entire width of the optical display panel, but a plurality of points arranged in a line along the width direction of the optical display panel. It can also be set as the structure which consists of a light source. The line illumination device is preferably a metal halide lamp or an LED lamp.
これにより、光学表示パネルの幅方向全体を均一に光で照明することができるようになり、エリアカメラの撮像効果を確保できる。 Thereby, the entire width direction of the optical display panel can be illuminated uniformly with light, and the imaging effect of the area camera can be ensured.
本発明は又、上述した透過式欠陥検査装置を利用して光学表示パネルにおける欠陥を検出する欠陥検査方法を提供する。この欠陥検出方法は、光学表示パネルがライン状照明装置とエリアカメラとの間を通過している間に、エリアカメラにより、ライン状照明装置から光学表示パネルに射出されて透過された光を受光し、該光学表示パネルを移動させながら、その所定範囲を順次撮像し、撮像された複数の画像データを画像処理部に送って光学表示パネルの全体的な画像に合成し、該エリアカメラが第ｎ（ｎ≧１）回目に撮像した光学表示パネルの画像と第ｎ＋１回目に撮像した光学表示パネルの画像とが、光学表示パネルの移動方向に一部重なるようにすることを特徴とする。 The present invention also provides a defect inspection method for detecting a defect in an optical display panel using the transmission type defect inspection apparatus described above. In this defect detection method, while the optical display panel passes between the line illumination device and the area camera, the area camera receives the light emitted and transmitted from the line illumination device to the optical display panel. Then, while moving the optical display panel, the predetermined range is sequentially imaged, and a plurality of captured image data is sent to the image processing unit to be combined with the entire image of the optical display panel. The image of the optical display panel picked up n times (n ≧ 1) and the image of the optical display panel picked up at the (n + 1) th time are partially overlapped in the moving direction of the optical display panel.
また、画像の重複部分の面積は適宜調整できるが、エリアカメラが第ｎ（ｎ≧１）回目に撮像した光学表示パネルの画像と第ｎ＋１回目に撮像した光学表示パネルの画像とが、エリアカメラの撮像範囲の１／２以上で重複するようにすることが好ましい。これにより、光学表示パネルの全面を確実に複数回撮像することができるようになる。 In addition, although the area of the overlapping portion of the images can be adjusted as appropriate, the image of the optical display panel captured by the area camera at the nth (n ≧ 1) time and the image of the optical display panel captured at the (n + 1) th time are the area camera. It is preferable to overlap at least half of the imaging range. As a result, the entire surface of the optical display panel can be reliably imaged a plurality of times.
次に、図面を参照しながら本発明の実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態においては、光学表示パネルの一例として液晶パネルに対して欠陥検査を行う場合について説明する。 Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the following embodiments, a case where a defect inspection is performed on a liquid crystal panel as an example of an optical display panel will be described.
本発明の透過式欠陥検査装置１１は、図１に示すように、二本の柱を有し枠状に形成されたフレーム４１と、このフレーム４１の下部において二本の柱の間に架設されたライン状照明装置を構成する一本のライン光源２１と、このフレーム４１の上部に架設された梁に取付けられ、ライン光源２１に対向するようにライン状に並列した複数のエリアカメラ３１とを備える。 As shown in FIG. 1, the transmission type defect inspection apparatus 11 of the present invention has a frame 41 having two columns and formed in a frame shape, and is installed between the two columns at the lower part of the frame 41. A line light source 21 constituting a line illumination device, and a plurality of area cameras 31 attached to a beam erected on the upper portion of the frame 41 and arranged in parallel so as to face the line light source 21. Prepare.
図１〜３に示すように、両面に偏光フィルムＦ１が貼り付けられた液晶パネルＰ１が搬送部材５１により搬送され、ライン光源２１とエリアカメラ３１との間を通過する。ライン光源２１は、それに対向するエリアカメラ３１に向けて照射光を射出する。そして、液晶パネルＰ１がライン光源２１とエリアカメラ３１の間を通過する際に、ライン光源２１から射出された光は、液晶パネルＰ１に投射され、該液晶パネルＰ１を透過してエリアカメラ３１に到達する。 As shown in FIGS. 1 to 3, the liquid crystal panel P <b> 1 with the polarizing film F <b> 1 attached on both sides is conveyed by the conveying member 51 and passes between the line light source 21 and the area camera 31. The line light source 21 emits irradiation light toward the area camera 31 facing it. Then, when the liquid crystal panel P1 passes between the line light source 21 and the area camera 31, the light emitted from the line light source 21 is projected onto the liquid crystal panel P1, passes through the liquid crystal panel P1, and is transmitted to the area camera 31. To reach.
エリアカメラ３１は、図示しない制御部の指令に応じて、該エリアカメラの下方を通過する液晶パネルＰ１に対してその映像を撮像する。撮像するタイミングは、液晶パネルの移動速度に応じて適宜調整されるが、その詳細は後に説明する。 The area camera 31 captures an image of the liquid crystal panel P1 passing under the area camera in response to a command from a control unit (not shown). The imaging timing is appropriately adjusted according to the moving speed of the liquid crystal panel, and details thereof will be described later.
エリアカメラ３１は、撮像された画像データを図６に示した画像処理部６１に送り出し、そこで画像合成を行い、欠陥があるか否かを判別する。 The area camera 31 sends the captured image data to the image processing unit 61 shown in FIG. 6, where image synthesis is performed to determine whether there is a defect.
液晶パネルの欠陥としては、一般的に、液晶層内部の気泡、異物等、偏光フィルム内の傷、及び偏光フィルムと液晶セルの貼り合せ面におけるごみなどが考えられる。このような欠陥が検出されずに液晶パネルがそのまま出荷されると、欠陥により液晶パネルは表示不良となってしまうので、製品の品質に大きな影響を及ぼす。 As defects of the liquid crystal panel, generally, bubbles in the liquid crystal layer, foreign matters, scratches in the polarizing film, and dust on the bonding surface of the polarizing film and the liquid crystal cell are considered. If such a defect is not detected and the liquid crystal panel is shipped as it is, the liquid crystal panel is defective in display due to the defect, which greatly affects the quality of the product.
本発明の透過式欠陥検査装置においては、液晶パネルの下側の面に対向して設置された光源から照射された可視光は、液晶パネルの両面に貼りつけられた偏光フィルムの偏光作用によってそのほとんどが遮られるが、もし液晶セル又は偏光フィルムの内部、或いは液晶セルと偏光フィルムの間に異物又は気泡等の欠陥が存在すると、偏光フィルムの偏光作用が阻害され、欠陥部分では可視光が透過する。したがって、光学カメラによってこの透過光を検出することにより、液晶パネルの欠陥部分を検出することができる。 In the transmission type defect inspection apparatus of the present invention, the visible light emitted from the light source installed facing the lower surface of the liquid crystal panel is reflected by the polarizing action of the polarizing film attached to both surfaces of the liquid crystal panel. Most of the light is blocked, but if there are defects such as foreign matter or bubbles inside the liquid crystal cell or polarizing film, or between the liquid crystal cell and the polarizing film, the polarizing action of the polarizing film is inhibited, and visible light is transmitted through the defective part. To do. Therefore, a defective portion of the liquid crystal panel can be detected by detecting the transmitted light with an optical camera.
複数のエリアカメラ３１は、図１に示すようにライン光源２１に対向して取り付けられる。エリアカメラ３１の数と設置間隔は、必要に応じて適宜調整することができる。例えば、液晶パネルＰ１の幅方向に関して、複数のエリアカメラ３１による複数の撮像範囲が互いに連続するようにエリアカメラ３１を設置すれば良いが、複数のエリアカメラ３１による幅方向の撮像範囲がそれぞれ重なるようにエリアカメラ３１を配置すれば、液晶パネルＰ１の幅方向全体の映像を漏れなく、確実に撮像することが可能になるため、この配置がより好ましい。 The plurality of area cameras 31 are attached to the line light source 21 as shown in FIG. The number and installation interval of the area cameras 31 can be adjusted as necessary. For example, with respect to the width direction of the liquid crystal panel P1, the area camera 31 may be installed so that a plurality of imaging ranges by the plurality of area cameras 31 are continuous with each other, but the imaging ranges in the width direction by the plurality of area cameras 31 overlap each other. If the area camera 31 is arranged in this manner, it is possible to reliably capture an image of the entire width direction of the liquid crystal panel P1 without omission, and this arrangement is more preferable.
また、液晶パネルＰ１を搬送しながら撮像を行う構成であるため、エリアカメラ３１の撮像タイミングは、液晶パネルＰ１の移動速度にあわせて図示しない制御部により制御される。 In addition, since the imaging is performed while the liquid crystal panel P1 is conveyed, the imaging timing of the area camera 31 is controlled by a control unit (not shown) according to the moving speed of the liquid crystal panel P1.
具体的に述べると、図４に示すように、先に撮られた一部の映像と、後に撮られた一部の映像とが液晶パネルＰ１の搬送方向において一部重なるように、エリアカメラ３１が液晶パネルＰ１に対して撮像を行う。例えば、第１回目に撮られた映像が図４の左側に示す短冊状のものであり、第２回目に撮られた映像が図４の右側に示す短冊状のものであるとすると、この二つの映像が液晶パネルＰ１の搬送方向において一部重複するように撮像が行われる。 More specifically, as shown in FIG. 4, the area camera 31 is configured such that a part of the images taken first and a part of the pictures taken later partially overlap in the transport direction of the liquid crystal panel P1. Performs imaging on the liquid crystal panel P1. For example, if the video taken at the first time is a strip-like one shown on the left side of FIG. 4, and the video taken at the second time is a strip-like one shown on the right side of FIG. Imaging is performed so that two images partially overlap in the transport direction of the liquid crystal panel P1.
重複部分の面積は必要に応じて適宜調整できる。例えば、エリアカメラの撮像範囲の１／２が重複するように撮像すれば、前後三回の撮像で、一つの撮像範囲に関する画像が二重形成される。また、エリアカメラの撮像範囲の２／３が重複するように撮像すれば、５回の撮像で一つの撮像範囲に関する画像が三重形成される。このように、液晶パネルの移動速度に応じて撮像タイミングを設定することにより、所定の重複範囲で撮像することが可能である。 The area of the overlapping portion can be adjusted as necessary. For example, if images are captured so that ½ of the imaging range of the area camera overlaps, an image relating to one imaging range is formed in a double manner by imaging three times before and after. In addition, if images are captured so that two thirds of the imaging range of the area camera overlap, an image relating to one imaging range is formed in triplicate by five times of imaging. As described above, by setting the imaging timing in accordance with the moving speed of the liquid crystal panel, it is possible to capture an image within a predetermined overlapping range.
これらの画像信号は、さらに図６に示した画像処理部６１に送られ、そこで合成される。液晶パネルＰ１が搬送される間に、エリアカメラ３１は所定のタイミングで上記のように連続的に撮像する。この連続的な撮像により、液晶パネルＰ１の全体的な映像が得られる。 These image signals are further sent to the image processing unit 61 shown in FIG. 6 where they are synthesized. While the liquid crystal panel P1 is transported, the area camera 31 continuously captures images as described above at a predetermined timing. By this continuous imaging, an entire image of the liquid crystal panel P1 is obtained.
このように配置されたエリアカメラ３１により撮像することで、液晶パネルＰ１の幅方向及び搬送方向のいずれでも得られた画像が一部重なるようにすることができ、欠陥を漏れなく検出することができ、欠陥検出の正確性をはるかに向上させることができる。 By imaging with the area camera 31 arranged in this way, images obtained in both the width direction and the transport direction of the liquid crystal panel P1 can be partially overlapped, and defects can be detected without omission. This can greatly improve the accuracy of defect detection.
また、上記の説明では、ライン状照明装置として一本のライン光源の例を挙げたが、複数の点光源をライン状に並列配置した形態によっても同じ効果を実現できる。 In the above description, an example of a single line light source is given as the line illumination device. However, the same effect can be realized by a configuration in which a plurality of point light sources are arranged in parallel in a line shape.
なお、光源として、メタルハライドランプを使用してもよいし、ＬＥＤランプを使用してもよい。メタルハライドランプを使用する場合には、可視光が射出され、液晶パネルＰ１に含まれる欠陥が輝点として検出されることになる。
また、この実施形態において、ライン光源とエリアカメラは枠状に形成されたフレームに取り付けられた構成を例として挙げたが、光源及びエリアカメラの取り付けは、これに限定されない。例えば、ライン光源とエリアカメラは別々のフレームに取付けてもよい。また、フレームは枠状ではなく、ライン光源及びエリアカメラを取り付けられる構成であれば、どのような構造でもよい。
A metal halide lamp or an LED lamp may be used as the light source. When a metal halide lamp is used, visible light is emitted and a defect included in the liquid crystal panel P1 is detected as a bright spot.
Further, in this embodiment, the line light source and the area camera are exemplified as a configuration attached to a frame formed in a frame shape, but the attachment of the light source and the area camera is not limited to this. For example, the line light source and the area camera may be attached to separate frames. Further, the frame is not a frame shape, and may have any structure as long as the line light source and the area camera can be attached.
ライン状照明装置を用いた液晶パネルＰ１の検査装置においては、ライン状照明装置から照射された光は、図５に示すように、広い範囲に拡がるように射出され、エリアカメラの正面に向かう光以外の光がエリアカメラの視野範囲内に入り込むことになるため、エリアカメラの撮像に輝度の差が生じてしまい、誤検出の要因となる可能性がある。 In the inspection apparatus for the liquid crystal panel P1 using the line illumination device, the light emitted from the line illumination device is emitted so as to spread over a wide range and travels toward the front of the area camera as shown in FIG. Since other light enters the field-of-view range of the area camera, a difference in luminance occurs in the imaging of the area camera, which may cause erroneous detection.
本発明では、この問題点を解消するために、図６に示すように、ライン光源２１の上方に遮光機構７１を設けることができる。このような遮光機構７１を設けることにより、エリアカメラ３１の正面に向かう光のみを通過させ、側部に向かう光が遮光機構７１により遮断され、エリアカメラ３１に入射することがなくなる。これにより、限られた範囲内の光Lのみがエリアカメラ３１の視野範囲に入り、散乱光の入射によりエリアカメラ３１の画像に輝度差を生じることが抑制される。 In the present invention, in order to solve this problem, a light shielding mechanism 71 can be provided above the line light source 21 as shown in FIG. By providing such a light shielding mechanism 71, only the light traveling toward the front of the area camera 31 is allowed to pass, and the light traveling toward the side is blocked by the light shielding mechanism 71 and is not incident on the area camera 31. Thereby, only the light L within a limited range enters the field of view of the area camera 31, and the occurrence of a luminance difference in the image of the area camera 31 due to the incidence of scattered light is suppressed.
また、遮光機構７１は、ライン光源２１の長手方向に沿ってスリットが設けられたスリット付遮光板の形態でもよいし、エリアカメラ３１と対応した位置に円形の開口部が設けられた穴付の遮光板の形態でもよい。スリット付の遮光板であれば、簡単な構成でライン状照明部材２１の幅方向の散乱光が遮断できる。一方、穴付の遮光板であれば、ライン光源２１の幅方向の散乱光だけではなく、隣り合うエリアカメラの間の散乱光の入射も防止できるため、検出精度を一層向上させることができる。また、スリット又は開口部の設置位置及び大きさなどは、ライン光源２１とエリアカメラ３１の位置及び必要な光量に応じて適宜決定できる。 The light shielding mechanism 71 may be in the form of a light shielding plate with slits provided with slits along the longitudinal direction of the line light source 21, or may have a hole with a circular opening provided at a position corresponding to the area camera 31. It may be in the form of a light shielding plate. If it is a light shielding plate with a slit, the scattered light in the width direction of the line-shaped illumination member 21 can be blocked with a simple configuration. On the other hand, if the light shielding plate has holes, not only scattered light in the width direction of the line light source 21 but also scattered light between adjacent area cameras can be prevented, so that detection accuracy can be further improved. Further, the installation position and size of the slits or openings can be appropriately determined according to the positions of the line light source 21 and the area camera 31 and the necessary light quantity.
図７には、本発明の透過式欠陥検査装置が配置される位置の一例が示される。図７に示されたのは、液晶セルの両面に光学フィルムを貼付けて連続的に液晶パネルを製造するロール・ツー・パネル方法（Roll to Panel, RTP）が適用された液晶パネル製造ラインの一例である。 FIG. 7 shows an example of a position where the transmission type defect inspection apparatus of the present invention is arranged. FIG. 7 shows an example of a liquid crystal panel production line to which a roll-to-panel method (RTP) is applied in which a liquid crystal panel is continuously produced by attaching optical films to both sides of a liquid crystal cell. It is.
図７に示すように、液晶セルは、液晶セル供給装置から供給され、第１光学フィルム貼付装置に搬送される。また、ロール状に巻かれた第１光学フィルムは、第１光学フィルム供給装置ＦＳ１から供給され、第１光学フィルム切断装置ＣＳ１において液晶セルに対応する寸法に切断され、第１光学フィルム貼付装置ＰＳ１に搬送される。第１光学フィルム貼付け装置ＰＳ１において、液晶セルの片面に第１光学フィルムが貼り付けられる。この第１光学フィルムが貼り付けられた液晶セルはさらに第２光学フィルム貼付装置ＰＳ２に搬送される。第２光学フィルムは、第１光学フィルムと同じように、第２光学フィルム供給装置ＦＳ２から供給され、第２光学フィルム切断装置ＣＳ２において液晶セルと対応する寸法に切断され、第２光学フィルム貼付装置ＰＳ２に搬送される。第２光学フィルム貼付装置ＰＳ２において、液晶セルの他面に第２光学フィルムが貼り付けられ液晶パネルを形成する。この両面に光学フィルムが貼り付けられた液晶パネルは液晶パネル集積装置に蓄積され、次の工程に搬送される。 As shown in FIG. 7, the liquid crystal cell is supplied from the liquid crystal cell supply device and conveyed to the first optical film sticking device. Moreover, the 1st optical film wound by roll shape is supplied from 1st optical film supply apparatus FS1, is cut | disconnected in the dimension corresponding to a liquid crystal cell in 1st optical film cutting apparatus CS1, and 1st optical film sticking apparatus PS1 It is conveyed to. In 1st optical film sticking apparatus PS1, a 1st optical film is stuck on the single side | surface of a liquid crystal cell. The liquid crystal cell to which the first optical film is attached is further conveyed to the second optical film attaching apparatus PS2. Similarly to the first optical film, the second optical film is supplied from the second optical film supply device FS2, and is cut into a size corresponding to the liquid crystal cell in the second optical film cutting device CS2, and the second optical film sticking device. Transported to PS2. In 2nd optical film sticking apparatus PS2, a 2nd optical film is stuck on the other surface of a liquid crystal cell, and a liquid crystal panel is formed. The liquid crystal panel with the optical films attached on both sides is accumulated in the liquid crystal panel integrated device and conveyed to the next step.
そこで、この製造ラインの最後の位置に、本発明の透過式欠陥検査装置１１が配置され、両面に光学フィルムが貼り付けられた液晶パネルは、集積装置に搬送される前に、出荷する前の液晶パネルについて欠陥の有無を検査する。勿論、透過式欠陥検査装置１１が配置される位置は必要に応じて適宜調整することができる。例えば、液晶セルが製造ラインに供給される前にその中に欠陥が含まれるかどうかを検査したり、偏光フィルムが貼り付けられた後に欠陥が巻き込まれているかどうかを検査したりすることができる。また、本発明は、液晶パネルだけではなく、偏光フィルムについても検査可能である。 Therefore, the liquid crystal panel in which the transmission type defect inspection apparatus 11 of the present invention is disposed at the final position of the production line and the optical films are attached to both sides is before being shipped to the stacking apparatus. Inspect the LCD panel for defects. Of course, the position where the transmission type defect inspection apparatus 11 is arranged can be adjusted as necessary. For example, before the liquid crystal cell is supplied to the production line, it can be inspected if it contains a defect, or it can be inspected if a defect is involved after the polarizing film is attached. . Moreover, this invention can test | inspect not only a liquid crystal panel but a polarizing film.
上述した実施例には、両面に偏光フィルムを貼り合せた液晶パネルについて欠陥検査を行う例を説明したが、本発明は、一つの面だけに偏光フィルムが貼り合せられた液晶パネルにも同じように適用できる。その場合には、図７に示した液晶パネルの製造ラインに第１光学フィルム貼付装置ＰＳ１の下流側であって第２光学フィルム貼付装置ＰＳ２の上流側に本発明の透過式欠陥検査装置１１を設置し、片面だけに偏光フィルムが貼り合せた液晶パネルに対して欠陥検査を行う。さらに、図７に示すように、液晶パネル集積装置の上流側に他の透過式欠陥検査装置１１を設置し、両面とも偏光フィルムが貼り合せられた液晶パネルに対して、出荷前の検査を行う。 In the above-described embodiment, an example in which defect inspection is performed on a liquid crystal panel in which a polarizing film is bonded on both sides has been described. However, the present invention is similarly applied to a liquid crystal panel in which a polarizing film is bonded to only one surface. Applicable to. In that case, the transmission type defect inspection apparatus 11 of the present invention is provided downstream of the first optical film sticking apparatus PS1 and upstream of the second optical film sticking apparatus PS2 in the liquid crystal panel production line shown in FIG. Install and inspect the liquid crystal panel with a polarizing film bonded to only one side. Furthermore, as shown in FIG. 7, another transmission type defect inspection apparatus 11 is installed on the upstream side of the liquid crystal panel integrated apparatus, and the pre-shipment inspection is performed on the liquid crystal panel on which the polarizing film is bonded on both sides. .
以上、最良の実施形態に基づいて本発明の内容を説明したが、本発明はこの実施形態に限定されないことは言うまでもない。請求項の範囲内にあるいろいろな変形や改善がいずれも本発明の範囲内である。 As mentioned above, although the content of this invention was demonstrated based on the best embodiment, it cannot be overemphasized that this invention is not limited to this embodiment. Any variation or improvement within the scope of the claims is within the scope of the present invention.
Ｐ１ 液晶パネル
Ｆ１ 偏光フィルム
１１ 透過式欠陥検査装置
２１ ライン光源
３１ エリアカメラ
４１ フレーム
５１ 搬送部材
６１ 画像処理装置
７１ 遮光機構
P1 Liquid crystal panel F1 Polarizing film 11 Transmission type defect inspection apparatus 21 Line light source 31 Area camera 41 Frame 51 Conveying member 61 Image processing apparatus 71 Light shielding mechanism
Claims (11)
前記光学表示パネルに対して光を射出するライン状照明装置と、
前記ライン状照明装置と対向するようにライン状に並列に取り付けられ、前記ライン状照明装置からの、前記光学表示パネルを透過した透過光を受光して、前記光学表示パネルの撮像を行う複数のエリアカメラと、
前記エリアカメラにより撮像された光学表示パネルの画像を処理する画像処理部と、
前記光学表示パネルの移動速度に応じて前記エリアカメラの撮像タイミングを制御する制御部と、
を備え、
前記エリアカメラは、第ｎ（ｎ≧１）回目に撮像された前記光学表示パネルの画像と第ｎ＋１回目に撮像された前記光学表示パネルの画像とが、前記光学表示パネルの移動方向に一部重なるように撮像することを特徴とする透過式欠陥検査装置。 A transmission type defect inspection apparatus for detecting defects during movement of an optical display panel,
A line illumination device for emitting light to the optical display panel;
A plurality of lines that are mounted in parallel in a line shape so as to face the line-shaped illumination device, receive transmitted light that has passed through the optical display panel from the line-shaped illumination device, and perform imaging of the optical display panel An area camera,
An image processing unit for processing an image of the optical display panel captured by the area camera;
A control unit for controlling the imaging timing of the area camera according to the moving speed of the optical display panel;
With
In the area camera, the image of the optical display panel captured at the nth (n ≧ 1) th time and the image of the optical display panel captured at the (n + 1) th time are partially in the moving direction of the optical display panel. A transmission-type defect inspection apparatus, wherein images are picked up so as to overlap each other.
前記光学表示パネルがライン状照明装置とエリアカメラとの間を通過している間に、前記エリアカメラにより、ライン状照明装置から前記光学表示パネルに射出され透過された光を受光し、前記光学表示パネルを移動させながら、その所定範囲を順次撮像し、撮像された複数の画像データを画像処理部に送り前記光学表示パネルの全体的な画像に合成し、
前記エリアカメラは、第ｎ（ｎ≧１）回目に撮像した前記光学表示パネルの画像と第ｎ＋１回目に撮像した前記光学表示パネルの画像とが、前記光学表示パネルの移動方向に一部重なるように撮像することを特徴とする光学表示パネルの欠陥検査方法。 A transmission type defect inspection method for detecting a defect in an optical display panel using the transmission type defect inspection apparatus according to any one of claims 1 to 9,
While the optical display panel is passing between the line illumination device and the area camera, the area camera receives light emitted and transmitted from the line illumination device to the optical display panel. While moving the display panel, sequentially capture the predetermined range, send a plurality of captured image data to the image processing unit to synthesize the entire image of the optical display panel,
In the area camera, the image of the optical display panel captured at the nth (n ≧ 1) th time and the image of the optical display panel captured at the (n + 1) th time partially overlap in the moving direction of the optical display panel. An optical display panel defect inspection method comprising:
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