JP2016121581A - 真空ポンプ - Google Patents

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【課題】軽量化することのできる真空ポンプを提供する。【解決手段】真空ポンプは、モータ11の駆動によって回転されるロータ72と、ロータ72を収容するシリンダ61と、シリンダ61が取り付けられるとともに、モータ11が取り付けられるボディ12とを備える。シリンダ61は、ボディ12に圧入されることでボディ12に取り付けられ、シリンダ61の一部がロータ72の軸方向においてボディ12から突出している。【選択図】図3

Description

本発明は、回転体の回転により空気を排出する真空ポンプに関する。
従来、ベーンポンプ等の真空ポンプとしては、モータに取り付けられるケーシング(ボディ)と、このケーシングのシリンダ室内にモータにより回転する回転体とを備える真空ポンプが知られている(例えば、特許文献1参照)。この種の真空ポンプは、モータにより回転する回転体をシリンダ室内で駆動することによって、真空ポンプに接続される装置内にある空気を排出して、その装置内を減圧することができる。
特許文献1に記載の真空ポンプでは、シリンダ室を形成するシリンダライナを金型に配置し、ケーシング本体を形成する溶湯を用いて鋳造し、シリンダライナを一体に鋳込むことでシリンダライナとケーシングとが組み付けられている。
特開2012−167590号公報
上記のような真空ポンプにおいては、軽量化が求められている。
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、軽量化することのできる真空ポンプを提供することにある。
以下、上記課題を解決するための手段及びその作用効果について説明する。
上記課題を解決する真空ポンプは、モータの駆動によって回転される回転体と、前記回転体を収容するシリンダと、前記シリンダが取り付けられるとともに、前記モータが取り付けられるボディと、を備える真空ポンプにおいて、前記シリンダは、前記ボディに圧入されることによって前記ボディに取り付けられ、前記シリンダの一部が前記回転体の軸方向において前記ボディから突出していることをその要旨としている。
上記構成によれば、シリンダがボディに圧入された上で螺子によって、シリンダがボディに対して確実に取り付けられる。また、シリンダがボディに対して全て圧入されるのではなく、シリンダの一部が回転体の軸方向においてボディから突出している。このため、ボディがシリンダを全て覆う必要がなくなり、シリンダがボディから突出している分のボディの容量を減らすことができる。よって、ボディの容量を減らしたことで軽量化することができる。
上記真空ポンプについて、前記ボディは、前記モータの回転軸を支持する軸受部を備え、前記モータの筐体の開口部を閉蓋することが好ましい。
上記構成によれば、ボディがモータの筐体の開口部を閉じる蓋としても機能し、モータの筐体の開口部を閉じる蓋が別途不要となる。このため、ボディとモータの筐体の開口部の蓋とを別体とするよりも軽量化することができるようになる。
上記真空ポンプについて、前記シリンダは、前記圧入に加え、螺子によって前記ボディに取り付けられ、前記シリンダの外周部には、前記螺子によって前記シリンダの回転を規制する回転規制部を備えることが好ましい。
上記構成によれば、シリンダの外周部に回転規制部を備えた。このため、シリンダに周方向の回転力が発生しても、回転を防ぐことができ、ボディに対するシリンダの位置ずれを防ぐことができる。
上記真空ポンプについて、前記シリンダは、円筒状であって、前記シリンダの一端開口部を閉塞しつつ、前記シリンダとともに前記螺子によって締結されるポンプカバーを備え、前記ボディは、円筒状の円筒部と、当該円筒部の一端を閉塞する底部とを備え、前記シリンダの他端開口部は、前記ボディの底部によって閉塞されることが好ましい。
上記構成によれば、円筒状のシリンダの一端開口部がポンプカバーに閉塞されるとともに、シリンダの他端開口部がボディの底部に閉塞される。このため、シリンダとポンプカバーとボディとのよって閉空間とできるので、ポンプ室として機能させることができる。
上記真空ポンプについて、前記シリンダの軸方向において、前記ボディの底部と前記回転体との間に設置され、前記回転体が摺動可能な第1プレートと、前記シリンダの軸方向において、前記回転体と前記ポンプカバーとの間に設置され、前記回転体が摺動可能な第2プレートと、を備えることが好ましい。
上記構成によれば、回転体の軸方向の両側に第1プレートと第2プレートとを設置した。このため、回転体は第1プレートと第2プレートとによって円滑に摺動することができ、摩耗を抑制することができるようになる。
上記真空ポンプについて、前記ボディに取り付けられ、前記シリンダを覆う外カバーを備えることが好ましい。
上記構成によれば、シリンダを覆う外カバーをボディに取り付けたので、回転体が収容されたシリンダに水が浸入することを抑制することができる。また、回転体が収容されるシリンダがカバーに覆われることで、回転体によって空気が排出されるときに発生する音が外部に伝わる量を抑制することができる。
本発明によれば、軽量化することができる。
真空ポンプの一実施形態についてその全体を示す斜視図。 同実施形態の真空ポンプについて概略構成を示す分解斜視図。 同実施形態の真空ポンプについてその内部構造を示す断面図。 同実施形態の真空ポンプについてその内部構造を示す外カバーを省略した上面図。
以下、図1〜図4を参照して、真空ポンプの一実施形態を説明する。
まず図1及び図2を参照して、真空ポンプの全体構成について詳述する。
図1に示すように、真空ポンプは、モータ11と、モータ11の開口部を閉蓋するボディ12と、ボディ12に組み付けられる外カバー13とを備える。この真空ポンプは、ポンプ室に潤滑油を使用しないことで、内部に取り込んだ空気と油とを接触させないドライポンプである。
ボディ12は、アルミニウム等の金属から形成された部品であり、モータ11の出力軸側に設けられる。即ち、ボディ12は、モータ11のケースを閉蓋する蓋としても機能する。ボディ12には、ボディ12内に空気を取り込むボディ入口と、ボディ12から空気を排出するボディ出口21とが設けられている。ボディ入口には、減圧対象となるタンク等に接続される接続管14が挿入されている。
外カバー13は、樹脂製であって、円筒状の円筒部81と、円筒部81の一方の端部を閉塞する天井部80とを備えている。外カバー13は、ボディ12に取り付けられ、シリンダ61を覆う。円筒部81の外周の4箇所には、ボルト16a〜16dを貫通させるためのボルト貫通部50が設けられている。ボルト16a〜16dは、例えば六角穴付ボルトである。外カバー13は、その開口端を、ボディ12の一面である上面24に当接させた状態でボディ12に対して組み付けられる。ボルト16a〜16dがボルト貫通部50に貫通されるとともに、ボディ12に形成された螺子孔12a〜12dに螺着されることにより、外カバー13がボディ12に固定される。
ボディ12は、円筒状の外壁部12fと底部12eとを備える。外壁部12fには、真空ポンプを外部装置等に取り付けるための取付部12gが備えられている。なお、外壁部12fがボディ12の円筒部に相当する。ボディ12の外壁部12fのさらに内側には、ポンプとして機能するポンプ部60を収容する円筒状の収容壁25が設けられている。収容壁25の内側は、ポンプ室27に相当する。収容壁25の先端面は、上面24の先端面と同一面上に形成されている。ポンプ部60の高さは、ポンプ室27の高さよりも高くなっている。このため、ポンプ部60の一部は、収容壁25の先端よりも突出する状態でポンプ室27に収容されている。
図2を参照して、真空ポンプを構成する各部品について詳述する。図2では、外カバー13を除く部品について、モータ11の出力軸15の延出方向に並べた状態を示している。
ボディ12の底部12eの中央には、モータ11の出力軸15が貫通する貫通孔28が形成されている。この貫通孔28は、ポンプ室27の底部26における中心からずれた位置に形成されている。
収容壁25には、ポンプ室27に空気を取り込むためのポンプ室入口30と、ポンプ室27から空気を排出するためのポンプ室出口31とが貫通形成されている。ポンプ室入口30は、ボディ入口20に連通されている。
ポンプ室出口31は、収容壁25の外側に設けられた排気溝40に連通している。排気溝40は、収容壁25の外周面に沿って円環状に形成されている。排気溝40には、排気溝40を区画する第1区画壁41、第2区画壁42、第3区画壁43が設けられている。排気溝40は、これら第1区画壁41〜第3区画壁43により、ポンプ室入口30側から順に、第1排気溝45、第2排気溝46、第3排気溝47に区画されている。第1区画壁41〜第3区画壁43の高さは、収容壁25の高さよりも低くなっている。なお、ポンプ室出口31から排出された空気は、ボディ12と外カバー13とによって形成される空間を通過して、ボディ出口21から外部に排出される。
収容壁25の開口端側には、ボルト34a,34b,34cを取り付けるためのボルト取付部33が3個形成されている。ボルト取付部33は、収容壁25の周方向において第1区画壁41〜第3区画壁43と同じ位置に形成されている。収容壁25の外周面には、段差部48が設けられている。ボルト取付部33は、この段差部48に連続する状態で設けられている。
ボディ12の第3排気溝47内であって第1区画壁41の近傍には、ボディ出口21と連通路17を介して連通する排気出口49(図4参照)が設けられている。
ポンプ室27に収容されるポンプ部60は、回転体であるロータ72と、ロータを収容するシリンダ61とを備える。シリンダ61は、鉄等の金属製であり、円筒状に形成されている。シリンダ61には、ポンプ室27のポンプ室入口30とポンプ室出口31とに対応する位置に、入口側連通孔62と、出口側連通孔64とが形成されている。ポンプ室入口30と入口側連通孔62とは同心軸上に位置している。また、ポンプ室出口31と出口側連通孔64とは同心軸上に位置している。
シリンダ61の外周上端部には、シリンダ61の回転を規制する回転規制部としてのボルト嵌挿溝65が3個設けられている。ボルト嵌挿溝65は、ボルト34a,34b,34cが嵌挿されることで、シリンダ61の回転が規制される。
図3に示すように、シリンダ61は、ボディ12に圧入されるとともに、ボディ12に螺子止めされることでボディ12に取り付けられる。すなわち、シリンダ61は、ボディ12の収容壁25の内側に圧入される。また、シリンダ61の一部は、ロータ72の軸方向においてボディ12の収容壁25から突出している。シリンダ61の高さH1に比べて収容壁25の高さH2が低いので、高さの差(H1−H2)だけ突出している。シリンダ61の外カバー13側の一端開口部は、ポンプカバー77によって閉塞されている。シリンダ61のボディ12側の他端開口部は、ボディ12の底部26によって閉塞されている。
また、ボディ12の底部12eには、モータ11の筐体11aの開口部が取り付けられる。すなわち、ボディ12がモータ11の筐体11aの開口部を閉蓋する。ボディ12の貫通孔28の周囲には、円環状のベアリング保持部29が形成されている。このベアリング保持部29には、モータ11の出力軸15を支持する軸受部としてのベアリング18が設けられている。このため、ボディ12がモータ11の筐体11aの開口部を閉じる蓋としても機能し、モータ11の筐体11aの開口部を閉じる蓋が別途不要となるので、ボディ12と蓋とを別体とするよりも軽量化することができるようになる。
図2に示すように、シリンダ61の内側には、ベーン73を出没可能に収容したロータ72が回動可能に収容される。ロータ72は、鉄等の金属製であり、軸孔74と、5つのベーン収容溝75とが形成されている。軸孔74には、モータ11の出力軸15の先端に圧入されて、出力軸15の先端を軸孔74の内周面に押し付ける圧入ピン76が貫挿されている。ロータ72の軸孔74に出力軸15を挿入した状態で、出力軸15の先端に圧入ピン76が圧入される(図3参照)。ベーン収容溝75には、カーボン製の板状のベーン73がそれぞれ収容される。
シリンダ61のボディ12側の開口は、ボディ側プレート70によって閉塞される。ボディ側プレート70は、ボディ12の底部26とロータ72との間に設置され、ロータ72が摺動可能である。なお、ボディ側プレート70が第1プレートに相当する。シリンダ61の外カバー13側の開口は、カバー側プレート71によって閉塞される。カバー側プレート71は、ロータ72とポンプカバー77との間に設置され、ロータ72が摺動可能である。なお、カバー側プレート71が第2プレートに相当する。ボディ側プレート70及びカバー側プレート71は、ベーン73に対する摩擦係数が小さいカーボン等の材料製であって、円板状に形成されている。ボディ側プレート70は、モータ11の出力軸15を貫挿する孔70aを備えている。
シリンダ61は、ボディ側プレート70がポンプ室27の底部26に設置された後に、ボディ12の収容壁25に圧入される。なお、ボディ側プレート70は、孔70aが偏心しているので、ポンプ室27の底部26に対して位置決めされる。
また、ポンプ部60は、円板状に形成されたポンプカバー77を備える。ポンプカバー77は、金属製であって、ボルト34a,34b,34cを貫挿するためのボルト貫挿孔77aが形成されている。ボディ12の収容壁25内にボディ側プレート70が設置された後に、シリンダ61が収容壁25に圧入される。続いて、複数のベーン73が取り付けられたロータ72が挿入され、ロータ72がモータ11の出力軸15に固定される。続いて、シリンダ61の外カバー13側の開口部にカバー側プレート71が載置され、更にポンプカバー77が載置される。この状態で、ボルト34a,34b,34cをポンプカバー77のボルト貫挿孔77aとボルト嵌挿溝65とに貫挿させるとともに、ボルト34a,34b,34cをボディ12のボルト取付部33に螺着することにより、これらの部材がボディ12に組み付けられる。
次に図4を参照して、ポンプ部60の動作について説明する。
図4に示すように、ポンプ室27には、ポンプ室27内に偏心させて取り付けられたロータ72によって、略三日月状の空間78が形成される。
モータ11の駆動によりロータ72が回転すると、ベーン73が遠心力によりベーン収容溝75に沿ってロータ72の径方向外側へ突出し、その先端をシリンダ61の内周面61aに当接させる。これにより、ポンプ室27内の略三日月状の空間78が、5枚のベーン73と、ロータ72の外周面と、シリンダ61の内周面61aとによって囲まれる5つの圧縮室に区画される。
これらの圧縮室は、ロータ72の回転に伴って同一方向に移動する。圧縮室が移動する際、圧縮室の容積は、ポンプ室入口30近傍で大きくなり、ポンプ室出口31で小さくなる。つまり、ポンプ室入口30から圧縮室に吸入された空気は、ロータ72の回転に伴って圧縮されて、ポンプ室出口31から吐出される。ポンプ部60では、ロータ72及びベーン73がシリンダ61内を回転することにより空気を圧縮しているため、ポンプ室出口31から圧縮空気が間欠的に吐出される。
次に図4を参照して、真空ポンプの作用について説明する。
図4に示すように、モータ11の駆動によりロータ72が回転すると、矢印F1に示すように、接続管14を介して、ボディ入口20、ポンプ室入口30、及び入口側連通孔62を通過してポンプ室27内へ空気が取り込まれる。ベーン73等によって区画される圧縮室に吸入された空気は、矢印F2に示すように、圧縮されて、矢印F3に示すように、ポンプ室出口31から排気溝40へ排出される。
排気溝40の第1排気溝45へ排出された空気は、矢印F4に示すように、第1排気溝45から第2排気溝46へ流入する。第1区画壁41と外カバー13とで形成される隔壁(図示略)によって、第1排気溝45と第3排気溝47とは、直接的に連通していない状態となっている。また、第2排気溝46へ流入した空気は、矢印F5に示すように、第2排気溝46から第3排気溝47へ流入する。そして、第3排気溝47に流入した空気は、矢印F6に示すように、排気出口49から連通路17に流入し、ボディ出口21から排出される。
以上説明したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
(1)シリンダ61がボディ12に圧入された上でボルト34a,34b,34cによって螺子止めされることで、シリンダ61がボディ12に対して確実に取り付けられる。また、シリンダ61がボディ12に対して全て圧入されるのではなく、シリンダ61の一部がロータ72の軸方向においてボディ12から突出している。このため、ボディ12がシリンダ61を全て覆う必要がなくなり、シリンダ61がボディ12から突出している分のボディ12の容量を減らすことができる。よって、ボディ12の容量を減らしたことで軽量化することができる。
(2)ボディ12がモータ11の筐体11aの開口部を閉じる蓋としても機能し、モータ11の筐体11aの開口部を閉じる蓋が別途不要となる。このため、ボディ12とモータ11の筐体11aの開口部の蓋とを別体とするよりも軽量化することができるようになる。
(3)シリンダ61の外周部にボルト嵌挿溝65を備えた。このため、シリンダ61に周方向の回転力が発生しても、回転を防ぐことができ、ボディ12に対するシリンダ61の位置ずれを防ぐことができる。
(4)シリンダ61の外カバー13側の開口部がポンプカバー77に閉塞されるとともに、シリンダ61のボディ12側の開口部がボディ12の底部に閉塞される。このため、シリンダ61とポンプカバー77とボディ12とのよって閉空間とできるので、ポンプ室として機能させることができる。
(5)ロータ72の軸方向の両側にボディ側プレート70とカバー側プレート71とを設置した。このため、ロータ72はボディ側プレート70とカバー側プレート71とによって円滑に摺動することができ、摩耗を抑制することができるようになる。
(6)シリンダ61を覆う外カバー13をボディ12に取り付けたので、ロータ72が収容されたシリンダ61に水が浸入することを抑制することができる。また、ロータ72が収容されるシリンダ61が外カバー13に覆われることで、ロータ72によって空気が排出されるときに発生する音が外部に伝わる量を抑制することができる。
なお、上記実施形態は、これを適宜変更した以下の形態にて実施することもができる。
・上記実施形態では、樹脂製の外カバー13を採用したが、樹脂以外の、例えば金属製の外カバー13を採用してもよい。なお、金属製の外カバー13の場合、外カバー13の天井部80とポンプ部60との間に、振動を吸収する吸収材等が設けられることが好ましい。
・上記実施形態では、排気溝40を設けたが、ポンプ室出口31からボディ出口21に直接連通してもよい。また、このような場合には、外カバー13を省略してもよい。
・上記実施形態では、ボディ側プレート70及びカバー側プレート71を設けたが、ロータ72が摺動して回転することができるならば、ボディ側プレート70及びカバー側プレート71を省略してもよい。
・上記実施形態では、外壁部12fのさらに内側に収容壁25を設けたが、外壁部12fと収容壁25とを一体としてもよい。この場合、排気溝40が省略される。
・上記実施形態では、シリンダ61にボルト嵌挿溝65を設けたが、シリンダ61が回転しなければ、ボルト嵌挿溝65を省略してもよい。
・上記実施形態では、シリンダ61を圧入とボルト34a,34b,34cによる螺子止めとによってボディ12に固定したが、シリンダ61を圧入のみによってボディに固定してもよい。
・上記実施形態では、ボディ12がモータ11の筐体11aの開口部を閉蓋したが、ボディ12とは別体でモータ11の筐体11aの開口部を閉じる蓋を備えてもよい。また、この場合は、モータ11の筐体11aの開口部を閉じる蓋に軸受部を備えることが好ましい。
・上記実施形態の真空ポンプは、ドライポンプであり、多用な装置の真空源として用いることができる。例えば、車両のブレーキシステムの倍力装置に用いられる真空源、包装機械の真空源、印刷機、製本機、又はラベル貼りの真空源、ロボットの真空源等に用いることもできる。
11…モータ、11a…筐体、12…ボディ、12a〜12d…螺子孔、12e…底部、12f…外壁部、13…外カバー、14…接続管、15…出力軸、16a,16b,16d…ボルト、17…連通路、18…ベアリング、20…ボディ入口、21…ボディ出口、24…上面、25…周壁部、26…底部、27…ポンプ室、28…貫通孔、29…ベアリング収容部、30…ポンプ室入口、31…ポンプ室出口、33…ボルト取付部、34a〜34c…ボルト、40…排気溝、41〜43…第1区画壁〜第3区画壁、45〜47…第1排気溝〜第3排気溝、48…段差部、49…排気出口、50…ボルト貫通部、60…ポンプ部、61…シリンダ、62…入口側連通孔、64…出口側連通孔、65…ボルト嵌挿溝、70…ボディ側プレート、70a…孔、71…カバー側プレート、73…ベーン、74…軸孔、75…ベーン収容溝、76…圧入ピン、72…ロータ、77…ポンプカバー、77a…ボルト貫挿孔、78…空間、80…天井部、81…円筒部、F1,F2,F3,F4,F5…矢印、H1,H2…高さ。

Claims (6)

  1. モータの駆動によって回転される回転体と、
    前記回転体を収容するシリンダと、
    前記シリンダが取り付けられるとともに、前記モータが取り付けられるボディと、を備える真空ポンプにおいて、
    前記シリンダは、前記ボディに圧入されることによって前記ボディに取り付けられ、
    前記シリンダの一部が前記回転体の軸方向において前記ボディから突出している
    ことを特徴とする真空ポンプ。
  2. 請求項1に記載の真空ポンプにおいて、
    前記ボディは、前記モータの回転軸を支持する軸受部を備え、前記モータの筐体の開口部を閉蓋する
    ことを特徴とする真空ポンプ。
  3. 請求項1又は2に記載の真空ポンプにおいて、
    前記シリンダは、前記圧入に加え、螺子によって前記ボディに取り付けられ、
    前記シリンダの外周部には、前記螺子によって前記シリンダの回転を規制する回転規制部を備える
    ことを特徴とする真空ポンプ。
  4. 請求項3に記載の真空ポンプにおいて、
    前記シリンダは、円筒状であって、
    前記シリンダの一端開口部を閉塞しつつ、前記シリンダとともに前記螺子によって締結されるポンプカバーを備え、
    前記ボディは、円筒状の円筒部と、当該円筒部の一端を閉塞する底部とを備え、
    前記シリンダの他端開口部は、前記ボディの底部によって閉塞される
    ことを特徴とする真空ポンプ。
  5. 請求項4に記載の真空ポンプにおいて、
    前記シリンダの軸方向において、前記ボディの底部と前記回転体との間に設置され、前記回転体が摺動可能な第1プレートと、
    前記シリンダの軸方向において、前記回転体と前記ポンプカバーとの間に設置され、前記回転体が摺動可能な第2プレートと、を備える
    ことを特徴とする真空ポンプ。
  6. 請求項1〜5のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
    前記ボディに取り付けられ、前記シリンダを覆う外カバーを備える
    ことを特徴とする真空ポンプ。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111140505A (zh) * 2018-11-06 2020-05-12 株式会社三国 真空泵

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09512613A (ja) * 1994-05-02 1997-12-16 デラウェア キャピタル フォーメーション,インク. モータポンプ装置を有する蒸気制御装置
JP2013189912A (ja) * 2012-03-13 2013-09-26 Nabtesco Automotive Corp 真空ポンプ
WO2014017636A1 (ja) * 2012-07-26 2014-01-30 株式会社ミクニ 電動ポンプ

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09512613A (ja) * 1994-05-02 1997-12-16 デラウェア キャピタル フォーメーション,インク. モータポンプ装置を有する蒸気制御装置
JP2013189912A (ja) * 2012-03-13 2013-09-26 Nabtesco Automotive Corp 真空ポンプ
WO2014017636A1 (ja) * 2012-07-26 2014-01-30 株式会社ミクニ 電動ポンプ

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111140505A (zh) * 2018-11-06 2020-05-12 株式会社三国 真空泵
JP2020076336A (ja) * 2018-11-06 2020-05-21 株式会社ミクニ バキュームポンプ
JP7161918B2 (ja) 2018-11-06 2022-10-27 株式会社ミクニ バキュームポンプ
CN111140505B (zh) * 2018-11-06 2023-01-06 株式会社三国 真空泵

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