JP2016104896A5

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Publication number: JP2016104896A5
Application number: JP2014242948A
Authority: JP
Filing date: 2014-12-01
Publication date: 2017-11-09
Anticipated expiration: 2034-12-01

Description

水溶性のヒドロキシルアミン類としては、ヒドロキシルアミン；メチルヒドロキシルアミン、エチルヒドロキシルアミン、ｎ‐プロピルヒドロキシルアミン、イソプロピルヒドロキシルアミン、ｎ‐ブチルヒドロキシルアミン、tert-ブチルヒドロキシルアミン、シクロヘキシルヒドロキシルアミン等のＮ‐（Ｃ_１−６アルキル）‐Ｎ‐ヒドロキシルアミン（上記化学式（１）において、一方のＲがＨであり、他方のＲがＣ_１−６アルキルである化合物）；Ｎ，Ｎ‐ジメチルヒドロキシルアミン、Ｎ，Ｎ‐ジエチルヒドロキシルアミン等のＮ，Ｎ‐ビス（Ｃ_１−６アルキル）‐Ｎ‐ヒドロキシルアミン（上記化学式（１）において、両方のＲがＣ_１−６アルキルである化合物）；（２‐ヒドロキシエチル）ヒドロキシルアミン、（１，３‐ジヒドロキシ‐ｎ‐プロピル）‐１‐ヒドロキシルアミン等のＮ‐（ヒドロキシＣ_１−６アルキル）‐Ｎ‐ヒドロキシルアミン（上記化学式（１）において、一方のＲがＨであり、他方のＲがＣ_１−６ヒドロキシルアルキルである化合物）；ビス（１，２-ジヒドロキシエチル）‐Ｎ‐ヒドロキシルアミン等のＮ，Ｎ‐ビス（ヒドロキシＣ_１−６アルキル）‐Ｎ‐ヒドロキシルアミン（上記化学式（１）において、両方のＲがＣ_１−６ヒドロキシルアルキルである化合物）；エチルヒドロキシメチルヒドロキシルアミン、エチル-２-ヒドロキシエチルヒドロキシルアミン、エチル-１，２-ジヒドロキシエチルヒドロキシルアミン等のＮ‐Ｃ_１−６アルキル‐Ｎ‐（ヒドロキシＣ_１−６アルキル）‐Ｎ‐ヒドロキシルアミン（上記化学式（１）において、一方のＲがＣ_１−６アルキルであり、他方のＲがヒドロキシルＣ_１−６アルキルである化合物）；Ｎ‐ヒドロキシカルバミン酸およびそのエステル；Ｎ‐メチル‐Ｎ‐［１‐メチル‐２‐（メチルアミノ）エチル］ヒドロキシルアミン等のＮ‐アルキル‐Ｎ‐アミノアルキル‐Ｎ‐ヒドロキシルアミン；ヒドロキシルアミン‐Ｎ‐スルホン酸等が挙げられる。

水溶性のオキシム類としては、ホルムオキシム、アセトキシム、ピリジン‐２‐アルドキシム、ピリジン‐４‐アルドキシム、イソニトロソアセトフェノン、α‐ベンズアルドキシム、サリチルアルドキシム等のアルドキシム；ジメチルグリオキシム、２‐ブタノンオキシム、イソブチルメチルケトキシム、２，３‐ブタンジオンモノオキシム、１，３−ジヒドロキシアセトンオキシム、ピナコリンオキシム、３‐ヒドロキシ‐３‐メチル‐２‐ブタノンオキシム、ビオルル酸、ジアミノグリオキシム、２−イソニトロソプロピオフェノン、ジ−２−ピリジルケトキシム、シクロペンタノンオキシム、シクロヘキサノンオキシム、シクロヘプタノンオキシム、アセトフェノンオキシム、α‐ベンゾインオキシム、β‐イサトキシム、ジアセチルモノオキシム、フタロキシム等のケトキシム；グリオキシムグリオキサルジオキシム、２，３‐ブタンジオンジオキシム、２，４‐ペンタンジオンジオキシム、１，４‐ベンゾキノンジオキシム、１，２‐シクロヘキサンジオンジオキシム、１，４‐シクロヘキサンジオンジオキシム、オキサミドジオキシム、ジクロログリオキシム、ジメドンジオキシム、ニオキシム等のジオキシム；ベンズアミドオキシム；Ｎ，Ｎ”‐ジヒドロキシエタンジイミドアミド等が挙げられる。

なお、表１に示すエッチング剤の各成分の濃度は、純物質としての濃度であり、表１に示す各エッチング剤の配合成分の残部はイオン交換水である。深さ方向のエッチング量は、６０秒間のエッチング処理の前後の重量変化から求めたエッチング速度（μｍ／分）に基づいて、エッチング時間から算出した値である。各実施例および比較例のエッチング後の試験基板のＳＥＭ観察写真（加速電圧２０ｋＶ、試料傾斜角４５°、倍率１５００倍）を、図２〜１８に示す。

＜樹脂複合体の形成および引張せん断強度測定試験＞
上記処理後の試験基板１の表面に、幅１０ｍｍ、長さ３０ｍｍ、厚み５．０ｍｍのナイロン６（東レ製アミランＣＭ１０１１）樹脂板２を重ね合せ（重ねしろ：１０ｍｍ）、ポリイミド耐熱テープで仮固定した後、２５０℃のホットプレート上で２分間加熱してナイロン樹脂を硬化させ、図１に示すマグネシウム−樹脂複合体１０を作製した。この複合体のマグネシウム合金部および樹脂部をクランプし、オートグラフ（島津製作所製オートグラフＡＧＳ−Ｘ１０ｋＮ）により接合部の引張せん断強度を測定した。引張せん断強度の測定結果を表１に示す。

硝酸が用いられた比較例３（図１１）では、表面形状の凹凸が浅く、かつ面内の凹凸の形成が不均一であるため、接合強度が小さいと考えられる。相対的に高濃度の塩酸あるいは硫酸が用いられた比較例１，２（図９，１０）では、比較例３に比べると凹凸が深く、面内均一性も高いが、実施例（図２〜８）に比べると、凹凸が粗大で均一性も低いことがわかる。また、相対的に低濃度の酸が用いられた比較例４〜６（図１２〜１４）では、凹凸が粗大化し、凹凸形状の面内均一性も低下している。