JP5685845B2 - エッチング用組成物 - Google Patents
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Description
(1)本発明によれば、基板上に形成されたアルミニウム金属膜又はアルミニウム合金膜とモリブデン金属膜又はモリブデン合金膜との金属積層膜を、一回のエッチング操作で一括して効率よくエッチングできる。
(2)本発明によれば、サイドエッチングの発生を防止しつつ、上記金属積層膜の間で段差がなく、エッチング後のエッチング面がテーパー形状となり、テーパー角を20〜60度の範囲に制御してエッチングすることができる。
(3)本発明によれば、上記金属積層膜上に微細な配線形状を精度よく形成することができる。
R1R2R3N+O− (1)
(上記式中、R1及びR2はそれぞれ独立してメチル基又はエチル基を表し、R3は炭素数8〜18のアルキル基を表す。)
で示されるトリアルキルアミンオキシド、及び残部水からなるエッチング用組成物。
実施例1〜実施例5、比較例1〜比較例2.
ガラス基板上にスパッタリング法でモリブデン金属膜(100nm)を成膜し、その上層にアルミニウム金属膜(300nm)を成膜し、更にその上層にモリブデン金属膜(100nm)を成膜した。次いで、モリブデン金属膜表面にフォトレジストを塗布し、予め用意したパターンマスクを用いて露光した後、現像し、所望のフォトレジストパターンを形成した基板を準備した。この基板を用い、表1に記載のエッチング液を用いて40℃でエッチング評価を行った。
燐酸72重量%、硝酸3重量%、酢酸10重量%、ジメチルドデシルアミン=N−オキシド200重量ppm及び残部水となるようエッチング液を調製し、実施例1と同様にエッチング評価を行った。その結果、モリブデン金属膜とアルミニウム金属膜の間には階段状の段差が生じ、テーパー形状とはならなかった。
燐酸73重量%、硝酸7重量%、デシルトリメチルアンモニウムクロリド0.1重量%及び残部水となるようにエッチング液を調製したところ、調製後しばらくすると溶液が黄色へと変化し、界面活性剤の分解が見られた。また、このエッチング液を使用してエッチング評価を実施した結果、エッチング残渣が見られた。
Claims (5)
- 基板上に形成されたアルミニウム金属膜又はアルミニウム合金膜とモリブデン金属膜又はモリブデン合金膜との金属積層膜を一括してエッチングするためのエッチング組成物であって、当該組成物全体に対し、55〜75重量%の濃度範囲である燐酸、6〜15重量%の濃度範囲である硝酸、0.01重量ppm〜1重量%の濃度範囲である下記一般式(1):
R1R2R3N+O− (1)
(上記式中、R1及びR2はそれぞれ独立してメチル基又はエチル基を表し、R3は炭素数8〜18のアルキル基を表す。)
で示されるトリアルキルアミンオキシド、及び残部水からなるエッチング用組成物。 - トリアルキルアミンオキシドが、ジメチルドデシルアミン=N−オキシドであることを特徴とする請求項1記載のエッチング用組成物。
- 金属積層膜が、基板上に形成されたモリブデン金属膜又はモリブデン合金膜と、その上に形成されたアルミニウム金属膜又はアルミニウム合金膜と、更にその上に形成されたモリブデン金属膜又はモリブデン合金膜からなることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のエッチング用組成物。
- 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のエッチング用組成物を用い、基板上に形成されたアルミニウム金属膜又はアルミニウム合金膜とモリブデン金属膜又はモリブデン合金膜との金属積層膜を一括してエッチングすることを特徴とするエッチング方法。
- エッチング後のテーパー角が20〜60度の範囲内であることを特徴とする請求項4に記載のエッチング方法。
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