JP2016092309A - 光学装置、投影光学系、露光装置、および物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】単純な装置構成でミラーの反射面の変形とミラーの位置および姿勢の補正とを効率よく行うために有利な技術を提供する。【解決手段】ミラーの反射面を変形させる光学装置は、ベースプレートと、前記ベースプレートと前記ミラーとの間に配置され、前記ミラーの複数箇所に力を加える複数のアクチュエータと、前記反射面の形状の基準形状からのずれ量を計測する計測部と、前記複数のアクチュエータを制御する制御部と、を含み、前記制御部は、前記反射面の形状を前記基準形状から目標形状にするための前記反射面の変形量を求め、前記変形量と前記ずれ量とに基づいて、前記複数箇所にそれぞれ加えるべき力を前記複数のアクチュエータの各々に発生させるための指令値を決定する。【選択図】図1
Description
本発明は、ミラーの反射面を変形させる光学装置、それを用いた投影光学系、露光装置、および物品の製造方法に関する。
半導体デバイスなどの製造に用いられる露光装置の解像度を向上させるため、露光装置における投影光学系の光学収差を補正することが求められている。特許文献1には、投影光学系に含まれる光学素子(ミラー)の反射面を変形させることによって投影光学系の光学収差を補正する光学装置が提案されている。
光学装置では、光学装置に生じる熱の影響などにより、光学素子の位置や姿勢が時間の経過とともに変化することがある。そのため、特許文献1に記載された光学装置では、光学素子の反射面を変形させるための複数のアクチュエータに加えて、光学素子の位置や姿勢を補正するためのアクチュエータが設けられている。しかしながら、特許文献1に記載されたように光学装置を構成すると、装置が大型化するとともに装置コストの点で不利になりうる。
そこで、本発明は、単純な装置構成でミラーの反射面の変形とミラーの位置および姿勢の補正とを効率よく行うために有利な技術を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての光学装置は、ミラーの反射面を変形させる光学装置であって、ベースプレートと、前記ベースプレートと前記ミラーとの間に配置され、前記ミラーの複数箇所に力を加える複数のアクチュエータと、前記反射面の形状の基準形状からのずれ量を計測する計測部と、前記複数のアクチュエータを制御する制御部と、を含み、前記制御部は、前記反射面の形状を前記基準形状から目標形状にするための前記反射面の変形量を求め、前記変形量と前記ずれ量とに基づいて、前記複数箇所にそれぞれ加えるべき力を前記複数のアクチュエータの各々に発生させるための指令値を決定する、ことを特徴とする。
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施形態によって明らかにされるであろう。
本発明によれば、例えば、単純な装置構成でミラーの反射面の変形とミラーの位置および姿勢の補正とを効率よく行うために有利な技術を提供することができる。
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施の形態について説明する。なお、各図において、同一の部材ないし要素については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
<第1実施形態>
本発明に係る第1実施形態の露光装置10について、図1を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態の露光装置10を示す概略図である。図1(a)は露光装置10をX方向から見た図であり、図1(b)は露光装置10をZ方向から見た図である。第1実施形態の露光装置10は、照明光学系171と、投影光学系181と、マスク130を保持して移動可能なマスクステージ131と、基板150を保持して移動可能な基板ステージ151とを含みうる。また、露光装置10は、基板150を露光する処理を制御する制御部110を含みうる。
本発明に係る第1実施形態の露光装置10について、図1を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態の露光装置10を示す概略図である。図1(a)は露光装置10をX方向から見た図であり、図1(b)は露光装置10をZ方向から見た図である。第1実施形態の露光装置10は、照明光学系171と、投影光学系181と、マスク130を保持して移動可能なマスクステージ131と、基板150を保持して移動可能な基板ステージ151とを含みうる。また、露光装置10は、基板150を露光する処理を制御する制御部110を含みうる。
照明光学系171に含まれる光源(不図示)から射出された光は、照明光学系171に含まれるスリット(不図示)によって、例えば、X方向に長い円弧状の照明領域をマスク上に形成することができる。マスク130および基板150は、マスクステージ131および基板ステージ151によってそれぞれ保持されており、投影光学系181を介して光学的にほぼ共役な位置(投影光学系181の物体面および像面の位置)に配置される。投影光学系181は、所定の投影倍率(例えば1/2倍)を有し、マスク130に形成されたパターンを基板150に投影する。そして、マスクステージ131および基板ステージ151を、投影光学系181の物体面と平行な方向(例えばY方向)に、投影光学系181の投影倍率に応じた速度比で相対的に移動させる。これにより、スリット光を基板上で走査する走査露光を行い、マスク130に形成されたパターンを基板150に転写することができる。
投影光学系181は、例えば、図1に示すように、平面ミラー141および143と、凸面ミラー142と、凹面ミラー101とを含むように構成されうる。照明光学系171から射出し、マスク130を透過した露光光は、平面ミラー141により光路を折り曲げられ、凹面ミラー101の反射面101aの上部に入射する。凹面ミラー101の上部で反射した露光光は、凸面ミラー142で反射し、凹面ミラー101の反射面101aの下部に入射する。凹面ミラー101の下部で反射した露光光は、平面ミラー143により光路を折り曲げられ、基板上に結像する。このように構成された投影光学系181では、凸面ミラー142の表面が光学的な瞳となる。
また、露光装置10は、アライメント計測部191と、基板高さ計測部192と、像面計測部161(第2計測部)とを含みうる。アライメント計測部191は、例えば、基板ステージ151に搭載された基板上のマーク(アライメントマーク)を撮像し、画像処理を行うことにより、基板150の位置(XY方向)を計測する。基板高さ計測部192は、基板ステージ151が移動している状態において、基板150の表面のZ方向における位置(基板150の表面の高さ)を計測する。像面計測部161(第2計測部)は、例えば、基板ステージ151に設けられており、マスクステージ131に設けられた基準マーク162の投影像をとらえることにより、投影光学系181から投影される像の歪みを計測する。
ここで、露光装置10では、解像度を向上させるため、投影光学系181の光学収差を補正することが求められている。そのため、第1実施形態の露光装置10は、投影光学系181に含まれる凹面ミラー101(ミラー)の反射面101aを変形させる光学装置100を含む。そして、光学装置100によって凹面ミラー101の反射面101aを変形させることにより投影光学系181の光学収差や、投影像の倍率、歪み、フォーカスを補正する。ここで、第1実施形態では、光学装置100が凹面ミラー101の反射面101aを変形させる例について説明するが、光学装置100が反射面を変形させるミラーは凹面ミラーに限られるものではない。例えば凹面や凸面を有する球面ミラーや非球面ミラー、平面ミラーなどであってもよい。また、第1実施形態では、光学装置100は、露光装置10の投影光学系181に含まれるミラーの反射面を変形させるために用いられているが、それに限られるものではなく、例えば望遠鏡に含まれるミラーの反射面を変形させるために用いられもよい。
第1実施形態の光学装置100は、ベースプレート102と、複数のアクチュエータ104と、検出部105と、計測部121とを含み、露光装置10の投影光学系181に含まれる凹面ミラー101の反射面101aを変形させる。また、第1実施形態の光学装置100では、制御部110によって複数のアクチュエータ104が制御されうる。
凹面ミラー101は、光を反射する反射面101aと、反射面101aの反対側の面である裏面101bとを有し、凹面ミラー101の中心を含む一部(以下、中心部)が固定部材103を介してベースプレート102に固定されている。このように凹面ミラー101の中心部をベースプレート102に固定するのは、投影光学系181に用いられる凹面ミラー101においては、凹面ミラー101の中心部に光が照射されないことが多く、当該中心部を変形させる必要性が小さいからである。ここで、第1実施形態では、凹面ミラー101の中心部を固定部材103によってベースプレートに固定しているが、凹面ミラー101の任意の部分を固定部材103によってベースプレート102に固定してもよい。また、各アクチュエータ104として圧電素子などの変位アクチュエータが用いられ、各アクチュエータ104によって凹面ミラー101がベースプレート102に支持される場合では、固定部材103を用いなくてもよい。
複数のアクチュエータ104は、凹面ミラー101とベースプレート102との間に配置され、凹面ミラー101(裏面101b)の複数箇所にそれぞれ力を加える。複数のアクチュエータ104は、例えば、凹面ミラー101の周縁領域にそれぞれ力を加える複数の第1アクチュエータ104aと、周縁領域よりも中心に近い凹面ミラー101の領域にそれぞれ力を加える複数の第2アクチュエータ104bとを含みうる。複数の第1アクチュエータ104aの各々は、凹面ミラー101の裏面101bに接続された第1端とベースプレート102に接続された第2端との距離を変化させるように変形する。これにより、複数の第1アクチュエータ104aの各々は、第1端が接続された凹面ミラー101の裏面101bの各箇所に力を加えることができる。第1アクチュエータ104aとしては、例えば、ピエゾアクチュエータや磁歪アクチュエータなど、剛性が比較的高いアクチュエータが用いられうる。また、複数の第2アクチュエータ104bの各々は、例えば、互いに接触しない可動子104b1と固定子104b2とを含み、凹面ミラー101の裏面101bの各箇所に力を加えることができる。第2アクチュエータ104bとしては、例えば、ボイスコイルモータやリニアモータなどが用いられうる。第2アクチュエータ104bとしてボイスコイルモータを用いる場合では、固定子104b2としてのコイルがベースプレート102に固定され、可動子104b1としての磁石が凹面ミラー101の裏面101bに固定されうる。そして、各第2アクチュエータ104bは、コイルに電流が供給されることによってコイルと磁石との間にローレンツ力を発生させ、凹面ミラー101の各箇所に力を加えることができる。
検出部105は、凹面ミラー101とベースプレート102との間の距離を検出する。検出部105は、凹面ミラー101とベースプレート102との間の距離をそれぞれ検出する複数のセンサ(例えば静電容量センサ)を含みうる。このように検出部105を設けることにより、検出部105による検出結果に基づいて複数のアクチュエータ104をフィードバック制御することができ、凹面ミラー101の反射面101aを目標形状に精度よく変形させることができる。ここで、検出部105における複数のセンサは、第1アクチュエータ104aの近傍にそれぞれ設けられることが好ましい。これは、第1アクチュエータ104aとして用いられるピエゾアクチュエータではヒステリシスが生じ、指令値(電圧)に相当する変位を得ることができないからである。したがって、複数の第1アクチュエータ104aの各々について、検出部105による検出結果に基づいたフィードバック制御が行われるとよい。一方で、第2アクチュエータ104bとして用いられるボイスコイルモータでは、ヒステリシスが生じにくく、指令値(電圧または電流)に相当する変位を得ることができる。そのため、第2アクチュエータ104bについては、検出部105による検出結果に基づいたフィードバック制御が行われなくてもよい。
このように構成された光学装置100では、凹面ミラー101の反射面101aを基準形状から目標形状にするための変形量が求められ、求められた変形量だけ凹面ミラー101の反射面101aが変形するように各アクチュエータ104が制御される。目標形状とは、投影光学系181から投影される像が所望の像になるときの凹面ミラー101の反射面101aの形状であり、例えば、基板150の表面形状に基づいて事前に決定されうる。また、基準形状とは、凹面ミラー101の反射面101aについての任意の形状のことであり、例えば、ある時刻における凹面ミラー101の反射面101aの形状や設計形状が用いられうる。ここで、「凹面ミラー101の反射面101aの形状」、「目標形状」および「基準形状」は、例えば、露光装置10における座標系によって表されうるものであり、投影光学系181における凹面ミラー101の反射面101aの位置や姿勢をそれぞれ含みうる。
しかしながら、光学装置100では、経年劣化や光学装置に生じる熱の影響などにより、例えばベースプレート102の位置や姿勢が変化し、凹面ミラー101の反射面101aが時間の経過とともに変形してしまうことがある。この場合、反射面101aの形状を基準形状から目標形状にするための変形量だけ反射面101aが変形するように各アクチュエータ104を制御したとしても、凹面ミラー101の反射面101aの形状を目標形状にすることが困難になりうる。即ち、この場合、当該変形量に従って各アクチュエータ104を制御した後の反射面101aの形状が、反射面101aが時間の経過とともに変形した量だけ、目標形状からずれてしまうこととなる。そのため、第1実施形態の光学装置100では、凹面ミラー101の反射面101aの形状の基準形状からのずれ量を計測する計測部121が設けられている。光学装置100(制御部110)は、計測部121によって計測されたずれ量をオフセットとして変形量に加える。そして、ずれ量を変形量に加えた値に基づいて、凹面ミラー101の複数箇所にそれぞれ加えるべき力を複数のアクチュエータ104の各々に発生させるための指令値を決定する。これにより、光学装置100は、凹面ミラー101の反射面101aが時間の経過とともに変形している場合であっても、凹面ミラー101の反射面101aの形状を精度よく目標形状にすることができる。
計測部121は、図1(b)に示すように、凹面ミラー101の反射面101aの全体に波面の揃ったに光(レーザ光)を照射する照射系121aと、当該反射面101aで反射された光を受光する受光系121bとを含みうる。照射系121aと受光系121bは制御部110によって制御される。このように構成された計測部121は、照射系121aによって凹面ミラー101の反射面101aに光を照射し、当該反射面101aで反射された光を受光系121bによって受光する。これにより、計測部121は、凹面ミラー101の反射面101aで反射された光の波面収差を計測することができる。そして、計測部121は、計測した波面収差と、反射面101aの形状が基準形状であるときに当該反射面101aで反射された光の波面収差との差に基づいて、凹面ミラー101の反射面101aの形状の基準形状からのずれ量を求めることができる。ここで、受光系121bは、例えばシャックハルトマンセンサを含みうる。また、照射系121aおよび受光系121bは、温度や湿度、空気の流れが管理されたチャンバ124aおよび124bの内部にそれぞれ配置されることが好ましい。このように照射系121aおよび受光系121bを配置することにより、凹面ミラー101が配置されている空間の温度変化などの影響を受けずに、当該ずれ量を精度よく計測することができる。
[露光装置10における露光処理について]
次に、本実施形態の露光装置10における露光処理について説明する。露光装置10によってパターンを形成する対象の基板150(例えばガラス基板PL)には、例えばエッチング工程や蒸着工程などの工程を経ることによって歪みが発生している。図2(a)は、基板150としてのガラス基板PLを示す図である。ガラス基板PLは、露光処理がそれぞれ行われる複数のショット領域FL1〜FL8が形成されている。露光装置10は、走査露光とステップ移動とを繰り返すことにより、複数のショット領域FL1〜FL8の各々にマスク130のパターンを順に転写することができる。図2(b)は、複数のショット領域FL1〜FL8のうち1つのショット領域FLを示す図である。
次に、本実施形態の露光装置10における露光処理について説明する。露光装置10によってパターンを形成する対象の基板150(例えばガラス基板PL)には、例えばエッチング工程や蒸着工程などの工程を経ることによって歪みが発生している。図2(a)は、基板150としてのガラス基板PLを示す図である。ガラス基板PLは、露光処理がそれぞれ行われる複数のショット領域FL1〜FL8が形成されている。露光装置10は、走査露光とステップ移動とを繰り返すことにより、複数のショット領域FL1〜FL8の各々にマスク130のパターンを順に転写することができる。図2(b)は、複数のショット領域FL1〜FL8のうち1つのショット領域FLを示す図である。
図2(b)では、当該1つのショット領域FLに既に形成されているパターンPT1と、露光処理によってショット領域FLに転写されうるパターンPT2とが示されている。上述したように、ガラス基板PLにはエッチング工程などを得ることによって歪みが発生しているため、図2(b)に示すように、当該1つのショット領域FLに既に形成されているパターンPT1にも歪みが生じていることがある。このパターンPT1に、マスク130のパターンをそのまま(補正することなく)転写する場合を想定する。この場合、図2(b)に示すように、ショット領域FLに既に形成されたパターンPT1に、露光処理によってショット領域に転写されうるパターンPT2を精度よく重ね合わせることが困難になりうる。
また、基板150としてのガラス基板PLには厚さムラがあるため、基板ステージ151に保持されたガラス基板PLの表面は、図3に示すように、凹凸形状となりうる。図3は、スリット光EXをガラス基板上で走査するときの像面の位置を説明するための図である。図3では、矢印方向に基板ステージ151を移動させることによりスリット光EXをガラス基板PL上で走査させており、図3(a)〜図3(c)において、スリット光EXをガラス基板PL上で走査させている様子を時系列で示している。図3に示すようにスリット光EXが照射されるガラス基板上の領域の高さは、スリット光EXの走査に応じて変化する。そのため、マスク130のパターンをそのまま(補正することなく)転写してしまうと、ガラス基板PLの表面に焦点位置を合わせることが困難となりうる。
そのため、第1実施形態の露光装置10は、スリット光を基板上で走査させて走査露光を行っている間、マスク130のパターンを転写するショット領域の形状および基板150の表面形状に応じて、光学装置100により凹面ミラー101を変形させる。これにより、露光装置10は、基板150に転写されるパターンの形状を、基板に形成されたショット領域の形状に合わせことができる。また、基板150に投影される像面の位置を基板150の表面形状に応じて変化させ、基板150の表面に焦点位置を合わせることができる。ここで、第1実施形態の露光装置10は、マスク130のパターン像を凹面ミラー101で2回反射させている。そのため、光学装置100によって凹面ミラー101の反射面101aを変形させることで、基板150に投影される像のフォーカス(Z方向)および位置ずれ(XY方向)の両方を任意に変化させることができる。
[凹面ミラー101の変形について]
次に、各アクチュエータ104を制御することにより凹面ミラー101の反射面101aを目標形状に変形させて基板150の走査露光を行う方法について、図4を参照しながら説明する。以下では、基板上における複数のショット領域の各々に対して走査露光を行う場合について説明する。図4は、各アクチュエータ104を制御することにより凹面ミラー101の反射面101aを目標形状に変形させて基板の走査露光を行う方法を示すフローチャートである。
次に、各アクチュエータ104を制御することにより凹面ミラー101の反射面101aを目標形状に変形させて基板150の走査露光を行う方法について、図4を参照しながら説明する。以下では、基板上における複数のショット領域の各々に対して走査露光を行う場合について説明する。図4は、各アクチュエータ104を制御することにより凹面ミラー101の反射面101aを目標形状に変形させて基板の走査露光を行う方法を示すフローチャートである。
S11では、制御部110は、各ショット領域の歪みおよび表面形状(凹凸)を表す情報を取得し、取得した情報に基づいて、凹面ミラー101の反射面101aの目標形状を決定する。目標形状とは、上述したように、投影光学系181から投影される像が所望の像になるときの凹面ミラー101の反射面101aの形状である。各ショット領域の歪みおよび凹凸を表す情報は、例えば、アライメント計測部191および基板高さ計測部192によって事前に計測されうる。S12では、制御部110は、凹面ミラー101の反射面101aの形状を基準形状から目標形状にするための反射面101aの変形量を求める。基準形状とは、上述したように、凹面ミラー101の反射面101aについての任意の形状のことであり、例えば、ある時刻における凹面ミラー101の反射面101aの形状や設計形状が用いられうる。基準形状を決定する方法の一例については後述する。S13では、制御部110は、反射面101aの形状の基準形状からのずれ量を計測部121に計測させる。
S14では、制御部110は、S12で求めた変形量に、S13で計測部121によって計測されたずれ量をオフセットとして加えた値を求める。そして、制御部110は、求めた値に従って、当該値だけ反射面101aが変形するように、各アクチュエータ104が凹面ミラー101の複数箇所にそれぞれ加えるべき力を求める。制御部110は、各アクチュエータ104が凹面ミラー101の複数箇所にそれぞれ加えるべき力に基づいて、各アクチュエータ104に力を発生させるための指令値を決定する。例えば、制御部110は、各アクチュエータ104を単位量だけ駆動させたときに凹面ミラー101の反射面101aが変形する量を示す情報を用いることにより、各アクチュエータ104の指令値を決定することができる。ここで、ショット領域には、上述したように、歪みや凹凸が生じていることがある。そのため、制御部110は、走査露光を行っている間、ショット領域の歪みや凹凸に応じて、光学装置100により凹面ミラー101の反射面101aを連続的に変形させることが好ましい。つまり、制御部110は、S101で取得したショット領域の歪みや凹凸を表す情報に基づいて、スリット光の走査方向におけるショット領域の複数の位置の各々について指令値を決定するとよい。これにより、制御部110は、当該ショット領域の走査露光を行っている間に反射面101aを連続的に変形させるための複数の指令値を含む情報(以下、指令値列)を得ることができる。
S15では、制御部110は、S14で決定した指令値列に従って各アクチュエータ104を制御しながら、1つのショット領域に対する走査露光を行う。このとき、制御部110は、検出部105による検出結果(凹面ミラー101とベースプレート102との間の距離)に基づいて、各アクチュエータ104(各第1アクチュエータ104a)をフィードバック制御するとよい。S16では、制御部110は、次に走査露光を行う対象のショット領域(次のショット領域)があるか否かを判断する。次のショット領域がある場合はS13に戻りS13〜S16の工程を繰り返す。一方、次のショット領域が無い場合は基板150の走査露光を終了する。
ここで、第1実施形態では、S13で計測されたずれ量を、S12で求めた変形量にオフセットとして加えた値に基づいて各アクチュエータ104を制御し、凹面ミラー101の反射面101aの形状を目標形状にする例について説明した。しかしながら、それに限られるものではなく、例えば、S13で計測されたずれ量を、S12で求めた変形量ではなく、検出部105による検出結果にオフセットとして加えてもよい。この場合であっても、検出部105による検出結果にずれ量を加えた値に基づいて各アクチュエータ104をフィードバック制御することにより、凹面ミラー101の反射面101aの形状を精度よく目標形状にすることができる。
また、第1実施形態では、複数のショット領域の各々についての走査露光(マスク130のパターンの転写)を開始する前において計測部121にずれ量を計測させ、その計測したずれ量を各ショット領域に対する走査露光に用いている。即ち、1つのショット領域に対する走査露光に用いられるずれ量は、当該1つのショット領域に対する走査露光の前に計測部121によって計測される。しかしながら、それに限られるものではなく、例えば、計測部121によって計測されたずれ量を、複数のショット領域において共通に用いてもよい。
[基準形状について]
次に、凹面ミラー101の反射面101aの基準形状を決定する一例について説明する。基準形状は、凹面ミラー101の反射面101aについての任意の形状のことであるが、表面形状が凹凸のない理想形状である基板に投影光学系181から投影される像の歪みが許容範囲に収まるときの反射面101aの形状に決定されることが好ましい。そのため、第1実施形態の露光装置10は、投影光学系181から投影される像の歪みを計測する像面計測部161(第2計測部)を用いて、投影光学系181から投影される像の歪みが許容範囲に収まるように基準形状を決定する。
次に、凹面ミラー101の反射面101aの基準形状を決定する一例について説明する。基準形状は、凹面ミラー101の反射面101aについての任意の形状のことであるが、表面形状が凹凸のない理想形状である基板に投影光学系181から投影される像の歪みが許容範囲に収まるときの反射面101aの形状に決定されることが好ましい。そのため、第1実施形態の露光装置10は、投影光学系181から投影される像の歪みを計測する像面計測部161(第2計測部)を用いて、投影光学系181から投影される像の歪みが許容範囲に収まるように基準形状を決定する。
例えば、制御部110は、投影光学系181から射出されたスリット光が像面計測部161に照射されるように基板ステージ151を制御する。そして、制御部110は、各アクチュエータ104を制御することにより凹面ミラー101の反射面101aの形状を変えながら、投影光学系181から投影される像の歪みを像面計測部161に計測させていく。これにより、制御部110は、像面計測部161によって計測された像の歪みが許容範囲に収まるときの反射面101aの形状を得ることができ、その反射面101aの形状を基準形状に決定することができる。ここで、基準形状の決定は、例えば、露光装置10を立ち上げたときなど、露光処理を行っていないときに行われるとよい。
上述したように、第1実施形態の露光装置10では、投影光学系181の凹面ミラー101の反射面101aを変形する光学装置100が用いられる。光学装置100は、凹面ミラー101の反射面101aの形状を基準形状から目標形状にするための反射面101aの変形量に、計測部121によって計測されたずれ量をオフセットとして加えた値を求める。そして、光学装置100は、求めた値に基づいて、凹面ミラー101の複数箇所にそれぞれ加えるべき力を各アクチュエータ104に発生させるための指令値を決定する。これにより、光学装置100は、凹面ミラー101の反射面101aの形状が時間の経過とともに変形する場合であっても、凹面ミラー101の反射面101aの形状を精度よく目標形状にすることができる。
<第2実施形態>
本発明に係る第2実施形態の露光装置20について、図5を参照しながら説明する。図5は、第2実施形態の露光装置20を示す概略図である。第2実施形態の露光装置20は、第1実施形態の露光装置10と比べて光学装置の構成が異なる。第1実施形態の光学装置100は、凹面ミラー101の反射面101aに光を照射することによって凹面ミラー101の反射面101aの形状の基準形状からのずれ量を計測する計測部121を含む。一方で、第2実施形態の光学装置200は、凹面ミラー101の反射面101aと反対側の裏面101bに光を照射することによって当該ずれ量を計測する計測部221を含む。以下では、第2実施形態における光学装置200の構成について説明する。
本発明に係る第2実施形態の露光装置20について、図5を参照しながら説明する。図5は、第2実施形態の露光装置20を示す概略図である。第2実施形態の露光装置20は、第1実施形態の露光装置10と比べて光学装置の構成が異なる。第1実施形態の光学装置100は、凹面ミラー101の反射面101aに光を照射することによって凹面ミラー101の反射面101aの形状の基準形状からのずれ量を計測する計測部121を含む。一方で、第2実施形態の光学装置200は、凹面ミラー101の反射面101aと反対側の裏面101bに光を照射することによって当該ずれ量を計測する計測部221を含む。以下では、第2実施形態における光学装置200の構成について説明する。
第2実施形態の計測部221は、例えば、図6に示すように、照射系221aと、受光系221bと、ハーフミラー224とを含みうる。図6は、第2実施形態の計測部221の構成を示す概略図である。照射系221aは、凹面ミラー101の裏面101b(ミラー223)に光(レーザ光)を照射する。また、受光系221bは、凹面ミラー101の裏面101b(ミラー223)で反射された光を受光する。
計測部221の照射系221aから射出された光は、ハーフミラー224を通過し、ベースプレート202に設けられた複数の開口202aを介して凹面ミラー101の裏面101bに入射する。凹面ミラー101の裏面101bには、計測部221(照射系221a)から射出されてベースプレート202の開口202aを通過した光を反射するためのミラー223が複数設けられている。複数のミラー223の各々は、計測部221から射出されてベースプレート202の開口202aを通過した光を、再びベースプレート202の開口202aを通過させて計測部221に入射させるように配置されている。凹面ミラー101の裏面101bに設けられた複数のミラー223の各々で反射され、計測部221に入射した光は、ハーフミラー224で反射されて計測部221の受光系221bによって受光される。これにより、計測部221は、凹面ミラー101の裏面101b(ミラー223)で反射された光の波面収差を計測することができる。そして、計測部221は、計測した波面収差と、反射面101aの形状が基準形状であるときに凹面ミラー101の裏面101b(ミラー223)で反射された光の波面収差との差に基づいて、反射面101aの形状の基準形状からのずれ量を求めることができる。ここで、受光系221bは、例えばシャックハルトマンセンサを含みうる。また、計測部221は、温度や湿度、空気の流れが管理されたチャンバ225の内部に配置されることが好ましい。このように計測部221を配置することにより、凹面ミラー101が配置されている空間の温度変化などの影響を受けずに、当該ずれ量を精度よく計測することができる。
<物品の製造方法の実施形態>
本発明の実施形態に係る物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、基板に塗布された感光剤に上記の露光装置を用いて潜像パターンを形成する工程(基板を露光する工程)と、かかる工程で潜像パターンが形成された基板を現像する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
本発明の実施形態に係る物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、基板に塗布された感光剤に上記の露光装置を用いて潜像パターンを形成する工程(基板を露光する工程)と、かかる工程で潜像パターンが形成された基板を現像する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。
10:露光装置、100:光学装置、101:凹面ミラー、102:ベースプレート、104:アクチュエータ、110:制御部、121:計測部
Claims (13)
- ミラーの反射面を変形させる光学装置であって、
ベースプレートと、
前記ベースプレートと前記ミラーとの間に配置され、前記ミラーの複数箇所に力を加える複数のアクチュエータと、
前記反射面の形状の基準形状からのずれ量を計測する計測部と、
前記複数のアクチュエータを制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、前記反射面の形状を前記基準形状から目標形状にするための前記反射面の変形量を求め、前記変形量と前記ずれ量とに基づいて、前記複数箇所にそれぞれ加えるべき力を前記複数のアクチュエータの各々に発生させるための指令値を決定する、ことを特徴とする光学装置。 - 前記計測部は、前記反射面に光を照射して前記反射面で反射された光の波面収差と、前記反射面の形状が前記基準形状であるときに前記反射面で反射された光の波面収差との差に基づいて前記ずれ量を求める、ことを特徴とすることを特徴とする請求項1に記載の光学装置。
- 前記計測部は、前記反射面と反対側の裏面に光を照射して前記裏面で反射された光の波面収差と、前記反射面の形状が前記基準形状であるときに前記裏面で反射された光の波面収差との差に基づいて前記ずれ量を求める、ことを特徴とする請求項1に記載の光学装置。
- 前記ベースプレートと前記ミラーとの間の距離を検出する検出部を更に含み、
前記制御部は、前記検出部による検出結果に基づいて前記複数のアクチュエータのフィードバック制御を行う、ことを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の光学装置。 - 前記ミラーの中心を含む前記ミラーの一部を前記ベースプレートに固定する固定部材を更に含む、ことを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載の光学装置。
- 前記計測部は、シャックハルトマンセンサを含む、ことを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の光学装置。
- 前記制御部は、前記変形量に前記ずれ量をオフセットとして加えた値に基づいて前記指令値を決定する、ことを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の光学装置。
- 前記制御部は、前記検出部による検出結果に前記ずれ量をオフセットとして加えた値に基づいて前記指令値を決定し、前記フィードバック制御を行う、ことを特徴とする請求項4に記載の光学装置。
- マスクのパターン像を複数のミラーで反射させて基板に投影する投影光学系であって、
前記複数のミラーのうち少なくとも1つのミラーの反射面の形状を変形させる請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載の光学装置を含む、ことを特徴とする投影光学系。 - 基板を露光する露光装置であって、
請求項9に記載の投影光学系を含む、ことを特徴とする露光装置。 - 前記基板は、前記マスクのパターンの転写がそれぞれ行われる複数のショット領域を含み、
前記制御部は、前記複数のショット領域の各々についての前記転写を開始する前において前記計測部に前記ずれ量を計測させ、前記転写を開始する前に計測した前記ずれ量を、当該転写において前記複数のアクチュエータの各々を制御するための前記指令値の決定に用いる、ことを特徴とする請求項10に記載の露光装置。 - 前記投影光学系から投影される像の歪みを計測する第2計測部を含み、
前記制御部は、前記複数のアクチュエータの各々を制御することにより前記反射面の形状を変えながら前記第2計測部に前記像の歪みを計測させ、前記像の歪みが許容範囲に収まるときの前記反射面の形状を前記基準形状に決定する、ことを特徴とする請求項10又は11に記載の露光装置。 - 請求項10乃至12のうちいずれか1項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された前記基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
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JP2014227487A JP2016092309A (ja) | 2014-11-07 | 2014-11-07 | 光学装置、投影光学系、露光装置、および物品の製造方法 |
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-
2014
- 2014-11-07 JP JP2014227487A patent/JP2016092309A/ja active Pending
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