JP2016080462A - Defect checkup apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、欠陥検査装置に関する。 The present invention relates to a defect inspection apparatus.
走行するフィルムに含まれる欠陥を検出するための欠陥検査装置が知られている。また低透過率の検査対象の検査装置にＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラを使用した場合は、ブルーミングを防止するため、照明の光が直接、カメラに入力しないように遮光板を使用している（例えば、特許文献１参照）。 There is known a defect inspection apparatus for detecting a defect contained in a traveling film. In addition, when a CCD (Charge Coupled Device) camera is used as an inspection apparatus to be inspected with low transmittance, a light shielding plate is used so that illumination light is not directly input to the camera in order to prevent blooming ( For example, see Patent Document 1).
特許文献１に記載の欠陥検査装置では、検査対象の境界位置まで遮光板を移動させて、ＣＣＤカメラのブルーミングの防止ができている。しかしながら、検査対象がフィルムや樹脂板など、シート状の素材である場合、搬送方向と直角方向に部材の撓みが生じ、両側の端部が下方にカール（湾曲）することがある。この場合、検査領域と非検査領域との境界を誤検出してしまうという問題があった。
In the defect inspection apparatus described in
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、検査対象の端部がカールしていても、検査領域と非検査領域との境界を誤検出することなく、遮光板を移動させることが可能な欠陥検査装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above problems, and allows the light shielding plate to be moved without erroneously detecting the boundary between the inspection area and the non-inspection area even when the end of the inspection object is curled. It is an object of the present invention to provide a defect inspection apparatus capable of performing the above.
上記の課題を解決するために、本発明の欠陥検査装置は、検査対象の一方の主面側から照明するライン状照明装置と、前記ライン状照明装置によって照明された前記検査対象を他方の主面側から撮像するラインセンサと、前記検査対象の非検査領域を透過したライン状照明装置からの光を遮光する、前記検査対象の搬送方向とは垂直方向である幅方向のそれぞれの端部側に設けられた一対の遮光板と、前記一対の遮光板それぞれに取り付けられ、前記検査対象の検査領域から非検査領域に向かって並び、前記ライン状照明装置からの受光量に応じて第１信号または前記第１信号とは異なる信号である第２信号のいずれかを検出結果として出力する第１センサ、第２センサ、第３センサと、前記一対の遮光板それぞれに取り付けられた第１センサ、第２センサ、第３センサの出力の組合せに応じて、前記一対の遮光板それぞれを独立に前記検査対象の幅方向に移動させる遮光板移動制御装置と、を備え、前記遮光板移動制御装置は、前記第２センサの出力が第１信号、前記第３センサの出力が第１信号の場合、前記遮光板を前記検査対象の非検査領域側から検査領域側に移動させ、前記第１センサの出力が第２信号、前記第２センサの出力が第２信号、前記第３センサの出力が第１信号の場合、前記遮光板を移動させず、前記第１センサの出力が第２信号、前記第２センサの出力が第２信号、前記第３センサの出力が第２信号の場合、前記遮光板を前記検査対象の検査領域側から非検査領域側に移動させる、ことを特徴とする。 In order to solve the above-described problems, a defect inspection apparatus according to the present invention includes a line illumination device that illuminates from one main surface side of an inspection object, and the inspection object illuminated by the line illumination device as the other main object. Each side of the width direction that is perpendicular to the conveyance direction of the inspection object, that shields light from the line sensor that images from the surface side and the line illumination device that has passed through the non-inspection area of the inspection object A pair of light-shielding plates provided on each of the pair of light-shielding plates, arranged in a direction from the inspection region to be inspected to the non-inspection region, and a first signal according to the amount of light received from the linear illumination device Alternatively, the first sensor, the second sensor, and the third sensor that output any one of the second signals that are different from the first signal as detection results, and the first sensor attached to each of the pair of light shielding plates. A light shielding plate movement control device that independently moves each of the pair of light shielding plates in the width direction of the inspection object according to a combination of outputs of the second sensor and the third sensor, and the light shielding plate movement control device. When the output of the second sensor is the first signal and the output of the third sensor is the first signal, the light shielding plate is moved from the non-inspection area side of the inspection object to the inspection area side, and the first sensor Is the second signal, the output of the second sensor is the second signal, and the output of the third sensor is the first signal, the light shielding plate is not moved, and the output of the first sensor is the second signal, When the output of the second sensor is a second signal and the output of the third sensor is a second signal, the light shielding plate is moved from the inspection region side to be inspected to the non-inspection region side.
本発明によれば、遮光板移動制御装置は、遮光板に取り付けられ、検査対象の検査領域から非検査領域に向かって並んでいる第１センサ、第２センサ、第３センサの出力に基づいて、遮光板を移動させる。これにより、検査対象がカールしている場合であっても、検査領域と非検査領域との境界を誤検出することなく、遮光板を移動させることが可能な欠陥検査装置を提供することができる。 According to the present invention, the light-shielding plate movement control device is attached to the light-shielding plate, and is based on the outputs of the first sensor, the second sensor, and the third sensor that are arranged from the inspection area to be inspected toward the non-inspection area. Move the shading plate. Thereby, even when the inspection object is curled, it is possible to provide a defect inspection apparatus capable of moving the light shielding plate without erroneously detecting the boundary between the inspection area and the non-inspection area. .
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳細に説明する。
図１は、本実施形態の装置構成の一例を示すブロック図である。欠陥検査装置１００は、ライン状照明装置２、ラインセンサ３、自動遮光板４ａ、自動遮光板４ｂ、ロータリエンコーダ５、シーケンサ６、画像処理装置７、画像処理ＰＣ８、操作ＰＣ９、出力装置１０、センサＡ１、センサＢ１、センサＣ１、センサＡ２、センサＢ２、センサＣ２、及び遮光板移動制御装置１１から構成される。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a block diagram illustrating an example of a device configuration of the present embodiment. The
欠陥検査装置１００の検査対象である検査対象１は、フィルムや樹脂板など、シート状（またはフィルム状）の透光性を有する素材である。検査対象１は、一方向に一定速度で搬送される。図２は、本実施形態の検査対象１を説明するための図である。図２は、検査対象１を搬送方向に対して垂直に切断した場合の断面図を表している。図２（ａ）に示すように、検査対象１は、透明フィルム１−１（非検査領域）と、加工部１−２（検査領域）とから構成される。加工部１−２は、透明フィルム１−１の幅方向（図１、及び図２に示す左右方向であり、搬送方向とは水平面において垂直な方向）端部以外に透過率の低い材料が塗布された領域である。加工部１−２の幅方向の両側に透明フィルム１−１がある。
The
本実施形態の欠陥検査装置１００は、遮光板を検査対象１の蛇行に合わせて自動追従させ、低透過率の加工部１−２を検査する。特に、遮光板は、図２（ａ）に示したような検査対象１の加工部分の境界（透明フィルム１−１と加工部１−２との境界部分）を自動追従する。さらに、詳細は後述するが、遮光板は、図２（ｂ）に示したような検査対象１の端部がカールした場合であっても、誤検出することなく加工部分の境界を自動追従することができる。
The
ライン状照明装置２は、検査対象１の一面を、検査対象１の一方の主面側から照明するためのものであり、例えば、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）照明、石英ロッド照明装置、光ファイバ照明装置など、ライン状の発光領域を有する照明装置である。本実施形態では、検査対象１が低透過率のため、ライン状照明装置２として、高輝度なＬＥＤ照明装置が用いられている。ＬＥＤ照明装置の長さは１２０ｍｍ単位で設定することが可能となっている。
The
ラインセンサ３は、例えばＣＣＤの５０００素子ラインセンサであり、焦点距離ｆが５０ｍｍのレンズを採用している。このラインセンサ３は１台で、１画素あたり０．１ｍｍの分解能の場合、検査対象１の約４５０ｍｍの範囲の画像を読み取ることができる。ただし、この例に限定されず、ラインセンサ３として、例えば、２０４８素子、４０９６素子、８１９２素子等、各種の素子数のものを用いることができ、検査対象１と検出欠陥の種類に応じて適正な素子数のものを選択すればよい。また、図１ではラインセンサ３は１台しか記載していないが、検査対象１の幅と幅分解能により、必要な台数を使用することが望ましい。
ラインセンサ３は、検査対象１の背面側からライン状照明装置２によって照射され、加工部１−２を透過した光を受光することで、検査対象１を他方の主面側から撮像する。
The
The
自動遮光板４ａ及び自動遮光板４ｂ（一対の遮光板）は、ラインセンサ３が、検査対象１がない範囲、及び透明フィルム１−１の範囲からの高輝度な光を受光しないように遮光するために、検査対象１の上方に取り付けられている。なお、上下方向とは、検査対象１の搬送方向及び幅方向に垂直な方向である。自動遮光板４ａは、図１では検査対象１の幅方向の右側、すなわち検査対象１の端部側に設置される。一方、自動遮光板４ｂは、幅方向の左側、すなわち検査対象１の端部側に設置される。
自動遮光板４ａ及び自動遮光板４ｂは、検査対象１の透明フィルム１−１と加工部１−２との境界を自動追従するように矢印の方向に独立に移動し、検査対象１がない範囲、及び透明フィルム１−１の範囲からの高輝度な光をラインセンサ３が受光しないようにする。
ここで、自動遮光板４ａ及び自動遮光板４ｂの検査対象１との幅方向の位置関係は、以下のように設定される。検査対象１と自動遮光板４ａ及び自動遮光板４ｂとの間の上下方向の距離を距離Ｌとする。また、ラインセンサの受光角を受光角θとする。ラインセンサ３の周辺部からの光もれがないように、（Ｌ×tan（θ／２）＋α）分、自動遮光板４ａ及び自動遮光板４ｂのそれぞれの先端は、検査対象１の加工部１−２と透明フィルム１−１との境界よりも内側に設定される。ラインセンサ３として、焦点距離５０ｍｍのラインセンサ用レンズを採用する場合、θ＝３７°であり、例えば、Ｌ＝１０ｍｍ、α＝２ｍｍとすると、（１０×tan（３７°／２）＋２）＝６ｍｍ（小数点以下は切り上げ）となる。このようにして、自動遮光板４ａ及び自動遮光板４ｂのそれぞれの先端は、検査対象１の加工部１−２と透明フィルム１−１との境界よりも６ｍｍ内側に設定される。
The automatic light-
The automatic light-
Here, the positional relationship between the automatic
ロータリエンコーダ５は、検査対象１の走行量に応じたパルスを出力するものである。ロータリエンコーダ５は、分解能パルスを出力し、検査対象１の走行速度が変化しても、流れ分解能を一定にしている。シーケンサ６は、ロータリエンコーダ５から出力されるパルスをカウントすることにより、ラインセンサ３の読み出しのタイミングを制御するためのものである。
The
画像処理装置７は、シーケンサ６から出力されるパルスに応じて、ラインセンサ３から出力される撮像データを読み取り、所定のライン単位でリアルタイムに欠陥検出処理を実施するものである。画像処理装置７として、例えばメック社製の画像処理装置（型名：ＬＳＣ６００）を用いることができる。画像処理装置７は、前処理部７−１、２値化部７−２、ランレングス符号化部７−３、連結性処理部７−４を備える。
The image processing device 7 reads the imaging data output from the
前処理部７−１は、ラインセンサ３から得られる撮像データの補正、強調などを実施するためのものである。前処理部７−１は、例えば、検査対象１の走行速度の変動を補正する速度補正、レンズの歪や照明斑等による画像のばらつきを補正するシェーディング補正等を実施する。
２値化部７−２は、前処理部７−１から出力された画像データを、予め指定された閾値で２値化するものである。２値化部７−２は、例えば明暗に応じて画像を２値化する。
ランレングス符号化部７−３は、２値化データをライン単位で圧縮するものである。
連結性処理部７−４は、圧縮された２値化データの連結性処理を行うものであり、これにより、欠陥の位置、サイズ、座標等の特徴量を抽出する。
The preprocessing unit 7-1 is for performing correction, enhancement, and the like of imaging data obtained from the
The binarization unit 7-2 binarizes the image data output from the preprocessing unit 7-1 with a threshold value specified in advance. The binarization unit 7-2 binarizes the image according to, for example, brightness.
The run-length encoding unit 7-3 compresses binary data in line units.
The connectivity processing unit 7-4 performs connectivity processing of the compressed binarized data, and thereby extracts feature quantities such as the position, size, and coordinates of the defect.
画像処理ＰＣ８は、リアルタイムＯＳで制御され、ライン状照明装置２、ラインセンサ３、シーケンサ６などを高速で制御するものである。また、画像処理ＰＣ８は、画像処理装置７から入力された画像データから、欠陥の座標、欠陥のサイズ、欠陥の分類名などを含む欠陥詳細データを生成して操作ＰＣ９に出力する。
The
操作ＰＣ９は、検査条件の設定、検査中の画面表示、過去の検査結果の確認等を行うためのものであり、ＯＳ（オペレーティングシステム）を搭載したコンピュータである。操作ＰＣ９は、検査中の画面表示として、画像処理ＰＣ８から出力された欠陥詳細データ、リストやマップ、画像などを出力装置１０に表示させる。
The
出力装置１０は、操作ＰＣ９の処理結果を提示する提示部として機能するものである。また、出力装置１０は、欠陥を検出した場合、警報、表示などにより報知する。ただし、この例に限定されず、出力装置１０による情報の提示形態は任意である。
The
センサＡ１（第１センサ）、センサＢ１（第２センサ）、センサＣ１（第３センサ）は、幅方向において、検査対象１の加工部１−２から透明フィルム１−１への向きに並ぶように、自動遮光板４ａに取り付けられている。センサＡ１、センサＢ１、センサＣ１は、それぞれファイバセンサであり、ライン状照明装置２からの受光量が所定の閾値を超えると出力を第２信号から第１信号へと変化させるセンサである。ここで、第１信号はＯＮ信号であり、第２信号は第１信号とは異なるＯＦＦ信号である。
センサＡ１、センサＢ１、センサＣ１は、幅方向に２ｍｍの間隔で配置されている。また、センサＡ１、センサＢ１、センサＣ１は、センサの寸法が１７×７ｍｍであるため、搬送方向にはずらして配置されている。なお、このセンサの幅方向間隔は、追従精度により適宜選択できるように構成されている。
同様に、センサＡ２（第１センサ）、センサＢ２（第２センサ）、センサＣ２（第３センサ）は、幅方向において、検査対象１の加工部１−２から透明フィルム１−１への向きに並ぶように、自動遮光板４ｂに取り付けられている。
The sensor A1 (first sensor), the sensor B1 (second sensor), and the sensor C1 (third sensor) are arranged in the width direction in the direction from the processed portion 1-2 of the
Sensor A1, sensor B1, and sensor C1 are arranged at intervals of 2 mm in the width direction. In addition, the sensor A1, the sensor B1, and the sensor C1 are arranged so as to be shifted in the transport direction because the sensor dimensions are 17 × 7 mm. The interval in the width direction of the sensor is configured to be appropriately selected depending on the tracking accuracy.
Similarly, the sensor A2 (first sensor), the sensor B2 (second sensor), and the sensor C2 (third sensor) are oriented in the width direction from the processed portion 1-2 of the
遮光板移動制御装置１１は、自動遮光板４ａに取り付けられたセンサＡ１、センサＢ１、センサＣ１の出力の組合せに応じて、自動遮光板４ａを、検査対象１の搬送方向とは垂直方向である幅方向に移動させる。また、遮光板移動制御装置１１は、自動遮光板４ｂに取り付けられたセンサＡ２、センサＢ２、センサＣ２の出力の組合せに応じて、自動遮光板４ｂを、自動遮光板４ａとは独立に、検査対象１の搬送方向とは垂直方向である幅方向に移動させる。
The light shielding plate
続いて、遮光板移動制御装置１１が、センサの出力によって、どのように自動遮光板を移動させるかについて図３を参照して説明する。図３は、センサの出力と遮光板移動制御装置１１による判定結果と判定結果による遮光板の移動とについて説明するための図である。なお、ここでは、一対の自動遮光板のうちの自動遮光板４ａ、及び自動遮光板４ａに取り付けられたセンサＡ１、センサＢ１、センサＣ１を、遮光板、センサＡ、センサＢ、センサＣとして説明する。
遮光板移動制御装置１１は、センサＡ、センサＢ、センサＣの出力の組合せが、図３に示すＮｏ−１〜Ｎｏ−４の４通りのいずれにあるかを判定する。
遮光板移動制御装置１１は、センサＡの出力がＯＮ、センサＢの出力がＯＮ、センサＣの出力がＯＮの場合、判定結果（センサと検査対象１の位置関係）として、全センサが検査対象１の外側にあると判定する（Ｎｏ−１）。この場合、遮光板移動制御装置１１は、遮光板を内側に移動させる。ここで、内側とは幅方向における透明フィルム１−１（非検査領域側）から加工部１−２（検査領域側）への向きであり、外側とは幅方向における加工部１−２から透明フィルム１−１への向きである。
遮光板移動制御装置１１は、センサＡの出力がＯＦＦ、センサＢの出力がＯＮ、センサＣの出力がＯＮの場合、判定結果として、センサＡが検査対象１のエッジにあると判定する（Ｎｏ−２）。この場合、遮光板移動制御装置１１は、遮光板を内側に移動させる。
遮光板移動制御装置１１は、センサＡの出力がＯＦＦ、センサＢの出力がＯＦＦ、センサＣの出力がＯＮの場合、判定結果として、センサＢが加工部１−２内に、センサＣが透明フィルム１−１内にあり、すなわち、センサＢ、及びセンサＣが加工部１−２と透明フィルム１−１との境界にあると判定する（Ｎｏ−３）。この場合、遮光板移動制御装置１１は、遮光板を移動させない。
遮光板移動制御装置１１は、センサＡの出力がＯＦＦ、センサＢの出力がＯＦＦ、センサＣの出力がＯＦＦの場合、判定結果として、全センサが加工部１−２内にあると判定する（Ｎｏ−４）。この場合、遮光板移動制御装置１１は、遮光板を外側に移動させる。
Next, how the light shielding plate
The light-shielding plate
When the output of the sensor A is ON, the output of the sensor B is ON, and the output of the sensor C is ON, all the sensors are inspected as the determination result (positional relationship between the sensor and the inspection object 1). 1 (No-1). In this case, the light shielding plate
When the output of the sensor A is OFF, the output of the sensor B is ON, and the output of the sensor C is ON, the light shielding plate
When the output of the sensor A is OFF, the output of the sensor B is OFF, and the output of the sensor C is ON, the determination result is that the sensor B is in the processing unit 1-2 and the sensor C is transparent. It is in the film 1-1, that is, it is determined that the sensor B and the sensor C are at the boundary between the processed portion 1-2 and the transparent film 1-1 (No-3). In this case, the light shielding plate
When the output of the sensor A is OFF, the output of the sensor B is OFF, and the output of the sensor C is OFF, the light-shielding plate
遮光板移動制御装置１１が、センサＡ，センサＢ，センサＣの出力を以上説明したように判定するため、検査対象１の透明フィルム１−１がカールした場合であっても、遮光板が加工部１−２と透明フィルム１−１との境界を自動追従することができる。図４は、検査対象１の透明フィルム１−１がカールした場合のセンサの出力結果を示す図である。
図４（ａ）は、センサＡが透明フィルム１−１のエッジにある場合を示しており、この場合、センサＡの出力がＯＦＦ、センサＢの出力がＯＮ、センサＣの出力がＯＮとなる。遮光板移動制御装置１１は、判定結果として、センサＡが検査対象１のエッジにあると判定する。遮光板移動制御装置１１は、遮光板を内側に移動させる。すなわち、センサＡの出力がＯＮ、センサＢの出力がＯＮ、センサＣの出力がＯＮの場合と同様、遮光板を内側に移動させる。
図４（ｂ）は、センサＢ、及びセンサＣが加工部１−２と透明フィルム１−１との境界にある場合を示しており、この場合、センサＡの出力がＯＦＦ、センサＢの出力がＯＦＦ、センサＣの出力がＯＮとなる。遮光板移動制御装置１１は、判定結果として、センサＢ、及びセンサＣが加工部１−２と透明フィルム１−１との境界にあると判定する。遮光板移動制御装置１１は、遮光板を移動させない。
Since the light shielding plate
FIG. 4A shows the case where the sensor A is at the edge of the transparent film 1-1. In this case, the output of the sensor A is OFF, the output of the sensor B is ON, and the output of the sensor C is ON. . The light shielding plate
FIG. 4B shows a case where the sensor B and the sensor C are at the boundary between the processed portion 1-2 and the transparent film 1-1. In this case, the output of the sensor A is OFF and the output of the sensor B is shown. Is OFF and the output of sensor C is ON. The light-shielding plate
このように、図４（ａ）に示すセンサＡが透明フィルム１−１のエッジにある場合、遮光板を内側に移動させることが可能となり、図４（ｂ）に示すセンサＢ、及びセンサＣが加工部１−２と透明フィルム１−１との境界にある場合の遮光板を移動させない状態にすることが可能となった。すなわち、検査対象１の透明フィルム１−１がカールした場合であっても、図４（ｂ）に示すセンサＢ、及びセンサＣが加工部１−２と透明フィルム１−１との境界にある場合の遮光板を移動させない状態になるように、遮光板を移動させることができる。これにより、遮光板が加工部１−２と透明フィルム１−１との境界を自動追従することができるようになった。
Thus, when the sensor A shown in FIG. 4A is at the edge of the transparent film 1-1, the light shielding plate can be moved inward, and the sensor B and the sensor C shown in FIG. Can be brought into a state in which the light shielding plate is not moved when it is at the boundary between the processed portion 1-2 and the transparent film 1-1. That is, even when the transparent film 1-1 of the
この効果を明らかにするため、センサがセンサＡ、センサＢの２つしかない場合の遮光板移動制御装置を比較例として説明する。図５は、センサの出力と比較例の遮光板移動制御装置による判定結果と判定結果による遮光板の移動とについて説明するための図である。なお、自動遮光板４ａ、センサＡ１、センサＢ１を遮光板、センサＡ、センサＢとして説明する。
比較例の遮光板移動制御装置は、センサＡ、センサＢの出力の組合せが、図５に示すＮｏ−１〜Ｎｏ−３の３通りのいずれにあるかを判定する。
比較例の遮光板移動制御装置は、センサＡの出力がＯＮ、センサＢの出力がＯＮの場合、判定結果として、全センサが検査対象１の外側にあると判定する（Ｎｏ−１）。この場合、比較例の遮光板移動制御装置は、遮光板を内側に移動させる。
比較例の遮光板移動制御装置は、センサＡの出力がＯＦＦ、センサＢの出力がＯＮの場合、判定結果として、センサＡが加工部１−２内に、センサＢが透明フィルム１−１内にあり、すなわち、センサＡ、及びセンサＢが加工部１−２と透明フィルム１−１との境界にあると判定する（Ｎｏ−２）。この場合、比較例の遮光板移動制御装置は、遮光板を移動させない。
比較例の遮光板移動制御装置は、センサＡの出力がＯＦＦ、センサＢの出力がＯＦＦの場合、判定結果として、両センサが加工部１−２内にあると判定する（Ｎｏ−３）。この場合、比較例の遮光板移動制御装置は、遮光板を外側に移動させる。
In order to clarify this effect, a light shielding plate movement control device when there are only two sensors, sensors A and B, will be described as a comparative example. FIG. 5 is a diagram for explaining the output of the sensor, the determination result by the light shielding plate movement control device of the comparative example, and the movement of the light shielding plate according to the determination result. The automatic
The light shielding plate movement control device of the comparative example determines which of the three combinations No. 1 to No. 3 shown in FIG.
When the output of the sensor A is ON and the output of the sensor B is ON, the light shielding plate movement control device of the comparative example determines that all the sensors are outside the
When the output of the sensor A is OFF and the output of the sensor B is ON, the determination result is that the sensor A is in the processing unit 1-2 and the sensor B is in the transparent film 1-1. That is, it is determined that the sensor A and the sensor B are at the boundary between the processed portion 1-2 and the transparent film 1-1 (No-2). In this case, the light shielding plate movement control device of the comparative example does not move the light shielding plate.
When the output of the sensor A is OFF and the output of the sensor B is OFF, the light shielding plate movement control device of the comparative example determines that both sensors are in the processing unit 1-2 as a determination result (No-3). In this case, the light shielding plate movement control device of the comparative example moves the light shielding plate to the outside.
比較例の遮光板移動制御装置が、センサＡ，センサＢの出力を以上説明したように判定するため、検査対象１の透明フィルム１−１がカールした場合、遮光板が加工部１−２と透明フィルム１−１との境界を自動追従することができなくなる。図６は、検査対象１の透明フィルム１−１がカールした場合のセンサの出力結果を示す図である。
図６は、センサＡが透明フィルム１−１のエッジにある場合を示しており、この場合、センサＡの出力がＯＦＦ、センサＢの出力がＯＮとなる。比較例の遮光板移動制御装置は、判定結果として、センサＡ、及びセンサＢが加工部１−２と透明フィルム１−１との境界にあると判定する。比較例の遮光板移動制御装置は、遮光板を移動させない。
Since the light shielding plate movement control device of the comparative example determines the outputs of the sensors A and B as described above, when the transparent film 1-1 of the
FIG. 6 shows a case where the sensor A is at the edge of the transparent film 1-1. In this case, the output of the sensor A is OFF and the output of the sensor B is ON. The light shielding plate movement control device of the comparative example determines that the sensor A and the sensor B are at the boundary between the processing unit 1-2 and the transparent film 1-1 as a determination result. The light shielding plate movement control device of the comparative example does not move the light shielding plate.
このため、図６に示すセンサＡが透明フィルム１−１のエッジにある場合、遮光板を内側に移動させることが不可能であり、センサＡ、及びセンサＢが加工部１−２と透明フィルム１−１との境界にある場合の遮光板を移動させない状態にすることが不可能である。すなわち、検査対象１の透明フィルム１−１がカールした場合、センサＡ、及びセンサＢが加工部１−２と透明フィルム１−１との境界にある場合の遮光板を移動させない状態になるように、遮光板を移動させることができない。そのため、遮光板が加工部１−２と透明フィルム１−１との境界を自動追従することができなかった。
一方、図３及び図４を用いて説明したように、センサＡ、センサＢ、センサＣの出力により判定する場合、センサＡが透明フィルム１−１のエッジにある場合、遮光板を内側に移動させることが可能となり、センサＡ、及びセンサＢが加工部１−２と透明フィルム１−１との境界にある場合の遮光板を移動させない状態にすることが可能である。すなわち、センサＡ、センサＢ、センサＣの出力により判定する場合、検査対象１の透明フィルム１−１がカールした場合であっても、センサＢ、及びセンサＣが加工部１−２と透明フィルム１−１との境界にある場合の遮光板を移動させない状態になるように、遮光板を移動させることができる。これにより、欠陥検査装置１００では、遮光板が加工部１−２と透明フィルム１−１との境界を自動追従することができるようになる効果がある。
For this reason, when the sensor A shown in FIG. 6 is on the edge of the transparent film 1-1, it is impossible to move the light shielding plate inward, and the sensor A and the sensor B are the processed portion 1-2 and the transparent film. It is impossible to make the light-shielding plate not move when it is at the boundary with 1-1. That is, when the transparent film 1-1 of the
On the other hand, as described with reference to FIGS. 3 and 4, when the determination is made based on the outputs of the sensors A, B, and C, the light shielding plate is moved inward when the sensor A is at the edge of the transparent film 1-1. It is possible to make the light shielding plate not move when the sensor A and the sensor B are at the boundary between the processed portion 1-2 and the transparent film 1-1. That is, when judging from the outputs of the sensor A, sensor B, and sensor C, even if the transparent film 1-1 of the
欠陥検査装置１００を使用して、低透過率の検査対象を検査する場合の、ラインセンサ３（カメラ）の出力波形がどのような波形になるかを説明する。図７は、遮光板がない場合の検査対象周辺のカメラ波形を説明するための図である。図８は、遮光板がある場合の検査対象周辺のカメラ波形を説明するための図である。図７及び図８においては、縦軸にラインセンサ３が出力する画像データを、横軸は検査対象１のエッジ（周辺）からの幅方向の距離を示す。
図７に示す様に、遮光板がない場合は、ラインセンサ３の飽和レベルを超える輝度の光が入射し、周辺のカメラ出力が変化する。つまり、ラインセンサ３が出力する画像データによって表される画像のブルーミングを防止できない。一方、図８に示す様に、本発明の自動遮光板を使用した検査では、図７とは異なり安定したカメラ出力が得られる。すなわち、ラインセンサ３が出力する画像データによって表される画像のブルーミングを防止できる。なお、図８の矢印の位置が遮光板の先端の位置である。
このように、本実施形態の欠陥検査装置１００は、検査対象１の透明フィルム１−１がカールした場合であっても、検査対象の境界位置まで遮光板を移動させて、ＣＣＤカメラのブルーミングの防止ができていることがわかる。
A description will be given of the waveform of the output waveform of the line sensor 3 (camera) when a
As shown in FIG. 7, when there is no light-shielding plate, light having a luminance exceeding the saturation level of the
As described above, the
以上、図面を参照してこの発明の一実施形態について詳しく説明してきたが、具体的な構成は上述のものに限られることはなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲内において様々な設計変更等をすることが可能である。
例えば、自動遮光板４ａ及び自動遮光板４ｂの外側にリミットセンサを配置してもよい。リミットセンサは、検査対象１が誤って自動遮光板よりも外側に移動することを防止するためのセンサである。検査対象１が、リミットセンサが検出する位置まで移動してきた場合には、異常があるものと判定して自動遮光板を外側に退避して検査を終了する構成としてもよい。また、センサＡ１、センサＢ１、センサＣ１は、ライン状照明装置２からの受光量が所定の閾値を超えると出力を第２信号から第１信号へと変化させるセンサである。ここで、第１信号はＯＮ信号であり、第２信号は第１信号とは異なるＯＦＦ信号であると説明したが、第１信号がＯＦＦ信号であり、第２信号がＯＮ信号であってもよい。センサＡ１、センサＢ１、センサＣ１は、ライン状照明装置からの受光量に応じて第１信号または第１信号とは異なる信号である第２信号のいずれかを検出結果として出力する。
As described above, the embodiment of the present invention has been described in detail with reference to the drawings. However, the specific configuration is not limited to the above, and various design changes and the like can be made without departing from the scope of the present invention. It is possible to
For example, limit sensors may be arranged outside the automatic
１：検査対象、１−１：透明フィルム、１−２：加工部、２：ライン状照明装置、３：ラインセンサ、４ａ，４ｂ：自動遮光板、５：ロータリエンコーダ、６：シーケンサ、７：画像処理装置、７−１：前処理部、７−２：２値化部、７−３：ランラングス符号化部、７−４：連結性処理部、８：画像処理ＰＣ、９：操作ＰＣ、１０：出力装置、１１：遮光板移動制御装置、１００：欠陥検査装置、Ａ，Ａ１，Ａ２，Ｂ，Ｂ１，Ｂ２，Ｃ，Ｃ１，Ｃ２…センサ 1: inspection object, 1-1: transparent film, 1-2: processing unit, 2: line illumination device, 3: line sensor, 4a, 4b: automatic light shielding plate, 5: rotary encoder, 6: sequencer, 7: Image processing device, 7-1: pre-processing unit, 7-2: binarization unit, 7-3: run-length encoding unit, 7-4: connectivity processing unit, 8: image processing PC, 9: operation PC, 10: Output device, 11: Shading plate movement control device, 100: Defect inspection device, A, A1, A2, B, B1, B2, C, C1, C2...
Claims (1)
前記ライン状照明装置によって照明された前記検査対象を他方の主面側から撮像するラインセンサと、
前記検査対象の非検査領域を透過したライン状照明装置からの光を遮光する、前記検査対象の搬送方向とは垂直方向である幅方向のそれぞれの端部側に設けられた一対の遮光板と、
前記一対の遮光板それぞれに取り付けられ、前記検査対象の検査領域から非検査領域に向かって並び、前記ライン状照明装置からの受光量に応じて第１信号または前記第１信号とは異なる信号である第２信号のいずれかを検出結果として出力する第１センサ、第２センサ、第３センサと、
前記一対の遮光板それぞれに取り付けられた第１センサ、第２センサ、第３センサの出力の組合せに応じて、前記一対の遮光板それぞれを独立に前記検査対象の幅方向に移動させる遮光板移動制御装置と、
を備え、
前記遮光板移動制御装置は、
前記第２センサの出力が第１信号、前記第３センサの出力が第１信号の場合、前記遮光板を前記検査対象の非検査領域側から検査領域側に移動させ、
前記第１センサの出力が第２信号、前記第２センサの出力が第２信号、前記第３センサの出力が第１信号の場合、前記遮光板を移動させず、
前記第１センサの出力が第２信号、前記第２センサの出力が第２信号、前記第３センサの出力が第２信号の場合、前記遮光板を前記検査対象の検査領域側から非検査領域側に移動させる、
ことを特徴とする欠陥検査装置。 A line illumination device that illuminates from one main surface side of the inspection object;
A line sensor that images the inspection object illuminated by the line illumination device from the other main surface side;
A pair of light shielding plates provided on each end side in the width direction perpendicular to the conveying direction of the inspection object, which shields light from the line illumination device that has passed through the non-inspection area of the inspection object; ,
A signal that is attached to each of the pair of light shielding plates, is arranged from the inspection region to be inspected toward the non-inspection region, and is different from the first signal or the first signal according to the amount of light received from the line illumination device. A first sensor, a second sensor, and a third sensor that output any one of the second signals as a detection result;
Shading plate movement for independently moving the pair of light shielding plates in the width direction of the inspection object according to the combination of outputs of the first sensor, the second sensor, and the third sensor attached to the pair of light shielding plates, respectively. A control device;
With
The shading plate movement control device is:
When the output of the second sensor is the first signal and the output of the third sensor is the first signal, the light shielding plate is moved from the non-inspection area side of the inspection object to the inspection area side,
When the output of the first sensor is the second signal, the output of the second sensor is the second signal, and the output of the third sensor is the first signal, the light shielding plate is not moved,
When the output of the first sensor is the second signal, the output of the second sensor is the second signal, and the output of the third sensor is the second signal, the light shielding plate is moved from the inspection area side of the inspection object to the non-inspection area. Move to the side,
A defect inspection apparatus characterized by that.
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