JP2016062972A - 物品の品質判別方法、物品の品質判別システムおよび物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
次に、本実施の形態の変形例について図5乃至図8を参照して説明する。なお、図5乃至図8において、図1乃至図4に示す実施の形態と同一部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
20 インプリント処理装置
21 ステージ
22 モールド
22a 凹凸パターン
23 チャック
24 ディスペンサヘッド
25 光源
30 画像取得装置
40 異常検知装置
50 画像解析装置
51 格納部
52 演算部
53 表示部
60 物品
61 基板
62 被成形材料
Claims (8)
- 連続でインプリント処理を行って製造される物品の品質の良否を判別する、物品の品質判別方法であって、
インプリント処理に係る画像データを取得しながら、1回以上の、連続したインプリント処理を行うインプリント処理工程と、
インプリント処理に関する異常を検知する異常検知工程と、
前記異常検知工程で異常を検知した場合、異常検知した時よりも前のインプリント処理時に取得した画像データを遡って参照することにより、画像異常の有無を検知する、画像解析工程と、
前記画像解析工程で画像異常が無いと判断された時点を物品の良否判定の臨界点として用いて、物品の良否を判定する、良否判定工程と、を備えた、物品の品質判別方法。 - 前記画像解析工程は、第n(nは2以上の整数とする)回目のインプリント処理時の画像データと、前記第n回目のインプリント処理時よりも前の第n−m(mはnより小さく、かつ1以上の整数とする)回目のインプリント処理時の画像データとを差分比較する操作を含む、請求項1記載の物品の品質判別方法。
- 前記インプリント処理工程で取得された複数の画像データが保存されており、
前記画像解析工程において、保存された前記複数の画像データのうち少なくとも一部の画像データを読み出す、請求項1又は2記載の物品の品質判別方法。 - 前記画像解析工程において、画像異常が検知された回のインプリント処理の画像データを残す、請求項3記載の物品の品質判別方法。
- 前記異常検知工程で異常を検知した時点を含む予め定められた回数、又は異常を検知した時点を含む予め定められた時間前の画像データを残す、請求項3記載の物品の品質判別方法。
- 保存された複数の画像データは、前記異常検知工程において異常が検知されるまでの予め定められた回数、又は異常が検知されるまでの予め定められた時間の画像データが残るように、最前の画像データから順次消去される、請求項3記載の物品の品質判別方法。
- 請求項1乃至6のいずれか一項記載の品質判別方法による品質判別工程を含む、物品の製造方法。
- 連続でインプリント処理を行って製造される物品の品質の良否を判別する、物品の品質判別システムであって、
連続で複数回のインプリント処理を行うインプリント処理装置と、
前記インプリント処理装置の周囲に設けられ、インプリント処理に係る画像データを取得する画像取得装置と、
インプリント処理に関する異常を検知するための各種データを取得する異常検知装置と、
少なくとも前記画像取得装置および前記異常検知装置に接続され、前記異常検知装置からの各種データによって異常を検知した場合、異常検知した回よりも前の回のインプリント処理時に取得した画像データを遡って参照することにより、画像異常の有無を検知する、画像解析装置と、を備え、
前記画像解析装置によって画像異常が無いと判断された時点を物品の良否判定の臨界点として用いて、物品の良否を判定する、物品の品質判別システム。
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