JP2016048074A - フォイル軸受及びこれに設けられるフォイル - Google Patents

フォイル軸受及びこれに設けられるフォイル Download PDF

Info

Publication number
JP2016048074A
JP2016048074A JP2014172528A JP2014172528A JP2016048074A JP 2016048074 A JP2016048074 A JP 2016048074A JP 2014172528 A JP2014172528 A JP 2014172528A JP 2014172528 A JP2014172528 A JP 2014172528A JP 2016048074 A JP2016048074 A JP 2016048074A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
foil
bearing
region
holder
portions
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2014172528A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6541946B2 (ja
Inventor
真人 吉野
Masato Yoshino
真人 吉野
藤原 宏樹
Hiroki Fujiwara
宏樹 藤原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NTN Corp
Original Assignee
NTN Corp
NTN Toyo Bearing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NTN Corp, NTN Toyo Bearing Co Ltd filed Critical NTN Corp
Priority to JP2014172528A priority Critical patent/JP6541946B2/ja
Priority to PCT/JP2015/071251 priority patent/WO2016031465A1/ja
Publication of JP2016048074A publication Critical patent/JP2016048074A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6541946B2 publication Critical patent/JP6541946B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C17/00Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
    • F16C17/02Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only
    • F16C17/024Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only with flexible leaves to create hydrodynamic wedge, e.g. radial foil bearings

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Sliding-Contact Bearings (AREA)
  • Support Of The Bearing (AREA)

Abstract

【課題】多円弧型のフォイル軸受における軸の振動減衰効果を高める。【解決手段】本発明のフォイル軸受10では、各フォイル12に、軸方向に隣接した第1領域12a及び第2領域12bを設け、両領域12a,12bの境界の一部をスリット12cで分断すると共に、両領域12a,12bの境界の他の部分を連結した。【選択図】図4

Description

本発明は、フォイル軸受に関する。
ガスタービンやターボチャージャ等のターボ機械の主軸を支持する軸受として、フォイル軸受が着目されている。フォイル軸受は、曲げに対して剛性の低い可撓性を有する薄膜(フォイル)で軸受面を構成し、軸受面のたわみを許容することで荷重を支持するものである。軸の回転時には、軸の外周面とフォイルの軸受面との間に流体膜(例えば空気膜)が形成され、軸が非接触支持される。この場合、フォイルの可撓性により、軸の回転速度や荷重、周囲温度等の運転条件に応じた適切な軸受隙間が自動的に形成されるため、安定性に優れ、一般的な空気動圧軸受と比べて高速での使用が可能となる。
例えば下記の特許文献1には、円筒状のフォイルホルダの内周面に、複数のフォイルの周方向両端を接触した状態で保持させた、いわゆる多円弧型のフォイル軸受が示されている。このフォイル軸受では、軸の回転時に、各フォイルとフォイルホルダとが微小摺動することにより、軸の振動を減衰する効果が得られる。
特開2014−119094号公報
しかし、上記のようなフォイル軸受でも、軸の振動減衰効果が十分でないことがある。
そこで、本発明が解決すべき課題は、多円弧型のフォイル軸受における軸の振動減衰効果をさらに高めることにある。
前記課題を解決するために、本発明は、フォイルホルダと、フォイルホルダの内周面に取り付けられた複数のフォイルとを備え、各フォイルの周方向両端が前記フォイルホルダに接触した状態で保持されたフォイル軸受であって、各フォイルに、軸方向に隣接した第1領域及び第2領域を設け、両領域の境界の一部を分断すると共に、両領域の境界の他の部分を連結したフォイル軸受を提供する。
このように、各フォイルの第1領域と第2領域との境界の一部を分断することで、各フォイルの剛性が低下する。これにより、各フォイルの変形の自由度が高められ、各フォイルが変形しやすくなるため、各フォイルとフォイルホルダとの摺動量が大きくなり、軸の不安定な振動に対し高い減衰効果を発揮することができる。一方、上記のフォイル軸受では、各フォイルの第1領域と第2領域が完全には分断されておらず、両領域の境界の他の部分(分断部以外の領域)が連結されている。これにより、例えば軸にコニカルモードの振動が生じたときのように、各フォイルの一方の領域のみに負荷が発生した場合でも、連結部を介して他方の領域にも負荷が伝わって変形・摺動することで、完全に分断された2枚のフォイルを複列に並べた場合よりも高い振動減衰効果が得られる。
上記のフォイル軸受は、各フォイルの前記第1領域及び前記第2領域に、それぞれ、軸受面を有するトップフォイル部と、前記トップフォイル部の周方向一端側に設けられ、フォイルホルダの内周面に設けられた凹部に差し込まれる差込部と、前記トップフォイル部の周方向他端側に設けられ、隣接するフォイルと前記フォイルホルダの内周面との間に配されるアンダーフォイル部とを設けることが好ましい。
また、上記のフォイル軸受において、各フォイルの前記第1領域及び前記第2領域に設けられた前記差込部同士を連結し、両領域のトップフォイル部同士及びアンダーフォイル部同士を周方向全域にわたって分断すれば、トップフォイル部及びアンダーフォイル部の剛性を低下させてこれらをフォイルホルダの内周面と摺動させやすくなるため、振動抑制効果が高められる。
また、上記のフォイル軸受は、各フォイルの前記第1領域及び前記第2領域に設けられた前記アンダーフォイル部の周方向他端に、それぞれ周方向一方側へ向けて軸方向幅を徐々に狭めた切り欠き部を設けることができる。これにより、各フォイルのアンダーフォイル部の内周側に重ねられた隣接するフォイルのトップフォイル部に、切り欠き部に沿った段差が形成されるため、この段差により流体が各切り欠き部の軸方向中央側に集められ、流体の圧力が高められて軸受剛性が向上する。
以上のように、本発明のフォイル軸受によれば、多円弧型のフォイル軸受における軸の振動減衰効果を高めることができる。
ガスタービンの構成を概念的に示す図である。 上記ガスタービンにおけるロータの支持構造を示す断面図である。 上記支持構造に組み込まれた、本発明の一実施形態に係るフォイル軸受の断面図である。 上記フォイル軸受に設けられるフォイルの平面図である。 複数のフォイルを連結した状態を示す平面図である。 図3のフォイル軸受の拡大断面図である。 フォイルの他の例を示す平面図である。
図1に、ターボ機械の一種であるガスタービンの構成を概念的に示す。このガスタービンは、翼列を形成したタービン1および圧縮機2と、発電機3と、燃焼器4と、再生器5とを主に備える。タービン1、圧縮機2、および発電機3には、水平方向に延びる共通の主軸6が設けられ、この主軸6と、タービン1および圧縮機2とで一体回転可能のロータが構成される。吸気口7から吸入された空気は、圧縮機2で圧縮され、再生器5で加熱された上で燃焼器4に送り込まれる。この圧縮空気に燃料を混合して燃焼させ、高温、高圧のガスでタービン1を回転させる。タービン1の回転力が主軸6を介して発電機3に伝達され、発電機3が回転することにより発電し、この電力がインバータ8を介して出力される。タービン1を回転させた後のガスは比較的高温であるため、このガスを再生器5に送り込んで燃焼前の圧縮空気との間で熱交換を行うことで、燃焼後のガスの熱を再利用する。再生器5で熱交換を終えたガスは、排熱回収装置9を通ってから排ガスとして排出される。
図2に、上記ガスタービンにおけるロータの支持構造の一例を示す。この支持構造では、軸方向の2箇所にラジアル軸受10が配置され、主軸6に設けられたフランジ部6bの軸方向両側にスラスト軸受20、20が配置される。このラジアル軸受10およびスラスト軸受20により、主軸6がラジアル方向及び両スラスト方向に回転自在に支持される。
この支持構造において、タービン1と圧縮機2の間の領域は、高温、高圧のガスで回転されるタービン1に隣接しているために高温雰囲気となる。この高温雰囲気では、潤滑油やグリース等からなる潤滑剤が変質・蒸発してしまうため、これらの潤滑剤を使用する通常の軸受(転がり軸受等)を適用することは難しい。そのため、この種の支持構造で使用される軸受10、20としては、空気動圧軸受、特にフォイル軸受が適合する。
以下、上記ガスタービン用のラジアル軸受に適合するフォイル軸受10の構成を図面に基づいて説明する。
フォイル軸受10は、図3に示すように、筒状(図示例では円筒状)のフォイルホルダ11と、フォイルホルダ11の内周面に取り付けられた複数(図示例では3枚)のフォイル12とを有する。フォイルホルダ11の外周面は、ガスタービンのハウジング30の内周面31に固定される。
フォイルホルダ11は、例えば焼結金属や溶製材等の金属で形成される。図示例のフォイルホルダ11は、円筒面状の内周面11a及び外周面11bを有する。内周面11aのうち、周方向に離隔した複数箇所(図示例では3箇所)には、凹部としての軸方向溝11cが形成される。各軸方向溝11cの軸方向両端は、それぞれフォイルホルダ11の端面に開口している。
フォイル12は、ばね性に富み、かつ加工性のよい金属、例えば鋼材料や銅合金からなる厚さ20μm〜200μm程度の金属フォイルにプレス加工や放電加工を施すことで形成される。本実施形態のように流体膜として空気を用いる空気動圧軸受では、雰囲気に潤滑油が存在しないため、金属フォイルとしてステンレス鋼もしくは青銅製のものを使用するのが好ましい。
各フォイル12は、図4に示すように、軸方向に並べられた第1領域12aと第2領域12bとからなる。
第1領域12aは、軸受面を有するトップフォイル部12a1と、トップフォイル部12a1の周方向一端側に設けられた差込部12a2と、トップフォイル部12a1の周方向他端側に設けられたアンダーフォイル部12a3とを有する。図示例では、差込部12a2が、トップフォイル部12a1の周方向一端部の軸方向両端に設けられる。アンダーフォイル部12a3には、周方向一端側に向けて軸方向幅を徐々に狭めた切り欠き部12a4が設けられる。図示例では、切り欠き部12a4が、略円弧状に形成される。このほか、切り欠き部12a4を、直線を軸方向中央で折り曲げた略V字形状としてもよい。トップフォイル部12a1の周方向一端部のうち、差込部12a2に近接した位置には、周方向の微小な切り込み12a5が設けられる。トップフォイル部12a1とアンダーフォイル部12a3との境界には、隣接するフォイル12の差込部12a2が差し込まれる軸方向のスリット12a6が形成される。図示例では、トップフォイル部12a1とアンダーフォイル部12a3との境界の軸方向両端にスリット12a6が形成される。
第2領域12bは、第1領域12aと同様の形状を成し、トップフォイル部12b1、差込部12b2、アンダーフォイル部12b3、切り欠き部12b4、切り込み12b5、スリット12b6等を有する(重複説明は省略する)。
各フォイルは、第1領域12aと第2領域12bの境界の一部が分断されると共に、両領域12a,12bの境界の他の部分が連結されている。例えば、両領域12a,12bのうち、軸受面を有さない領域(差込部12a2,12b2、及びアンダーフォイル部12a3,12b3)同士が連結され、軸受面を有する領域(トップフォイル部12a1,12b1)同士が周方向全域にわたって分断される。本実施形態では、両領域12a,12bの差込部12a2,12b2同士が連結され、両領域12a,12bのトップフォイル部12a1,12b1の間、及びアンダーフォイル部12a3,12b3の間に、これらを周方向全域にわたって分断する周方向のスリット12cが形成される。
図5に示すように、各フォイル12の差込部12a2,12b2を、隣接するフォイルのスリット12a6,12b6に差し込むことにより、3枚のフォイル12を筒状に仮組みすることができる。この仮組体を、フォイルホルダ11の内周に挿入することで、フォイル軸受10が組み立てられる。具体的には、3枚のフォイル12の仮組体をフォイルホルダ11の内周に挿入しながら、各フォイル12の差込部12a2,12b2をフォイルホルダ11の軸方向溝11cに軸方向一端側から差し込む。以上により、3枚のフォイル12が、フォイルホルダ11の内周面11aに周方向に並べた状態で取り付けられる。
3枚のフォイル12をフォイルホルダ11に組み付けた状態で、各フォイル12の周方向両端は、フォイルホルダ11に接触した状態で保持される。図示例では、各フォイル12の周方向両端が、それぞれ隣接するフォイル12の背後(外径側)に配されている。具体的に、各フォイル12の周方向一端に設けられた差込部12a2,12b2は、隣接するフォイル12のスリット12a6,12b6を介して、フォイルホルダ11の内周面11aの軸方向溝11cに差し込まれる。一方、各フォイル12の周方向他端に設けられたアンダーフォイル部12a3,12b3は、隣接するフォイル12のトップフォイル部12a1,12b1とフォイルホルダ11の内周面11aとの間に配され、隣接するフォイル12のトップフォイル部12a1,12b1を背後から支持する(図6参照)。尚、隣接するフォイル12同士は、周方向で係合して互いに突っ張り合っている。これにより、各フォイル12のトップフォイル部12a1,12b1が外径側に張り出し、フォイルホルダ11の内周面11aに沿った形状に湾曲する。
主軸6が図3の矢印方向に回転すると、フォイル軸受10の各フォイル12のトップフォイル部12a1,12b1の内径面(軸受面)と主軸6の外周面6aとの間のラジアル軸受隙間の空気膜の圧力が高められる。図6に示すように、トップフォイル部12a1,12b1の周方向一端(回転方向先行側の端部)を含む領域は、隣接するフォイルのアンダーフォイル部12a3,12b3に乗り上げているため、軸受面が、回転方向先行側へ向けて主軸6の外周面6aに徐々に接近する。これにより、各フォイル12の軸受面と主軸6の外周面6aとの間に、回転方向先行側へ向けて徐々に狭くなったラジアル軸受隙間が形成され、ラジアル軸受隙間の幅狭側に空気が押し込まれる。これにより、ラジアル軸受隙間の空気膜の圧力が高められ、この圧力により主軸6がラジアル方向に非接触支持される。
このとき、フォイル12が有する可撓性により、各フォイル12の軸受面が、荷重や主軸6の回転速度、周囲温度等の運転条件に応じて任意に変形するため、ラジアル軸受隙間は運転条件に応じた適切幅に自動調整される。そのため、高温・高速回転といった過酷な条件下でも、ラジアル軸受隙間を最適幅に管理することができ、主軸6を安定して支持することが可能となる。尚、主軸6が回転している時は、主軸6の回転に伴って流動する流体(空気)との摩擦により、各フォイル12が回転方向先行側に押し込まれ、フォイルホルダ11の軸方向溝11cの角部11c1に突き当たっている。
本実施形態では、図4に示すように、アンダーフォイル部12a3,12b3に切り欠き部12a4,12b4を設けることで、これに乗り上げるトップフォイル部12a1,12b1に、切り欠き部12a4,12b4に沿った段差が形成される。これにより、トップフォイル部12a1,12b1に沿って流れる流体が、上記の段差に沿って流れて軸方向中央側に集められるため、圧力向上効果が高められる(図5の矢印参照)。
このとき、トップフォイル部12a1,12b1の周方向一端部のうち、差込部12a2,12b2の近傍に、微小な切り込み12a5,12b5を設けることで、この部分の剛性が低下する。これにより、トップフォイル部12a1,12b1を、その背後に配されたアンダーフォイル部12a3,12b3の切り欠き部12a4,12b4に沿って変形させやすくなる。
また、各フォイル12は、フォイルホルダ11に完全に固定されておらず、フォイルホルダ11に対して移動可能とされる。従って、主軸6の回転中は、ラジアル軸受隙間に形成された空気膜の影響でフォイル12がフォイルホルダ11に押し付けられ、これに伴って各フォイル12とフォイルホルダ11、特に、各フォイル12のトップフォイル部12a1,12b1及びアンダーフォイル部12a3,12b3の外径面とフォイルホルダ11の内周面11aとの間に微小摺動が生じる。この微小摺動による摩擦エネルギーにより、主軸6の振動を減衰させることができる。
本実施形態では、図4に示すように、各フォイル12の第1領域12aと第2領域12bとの境界にスリット12cを設け、両領域12a,12bを分断していることで、フォイル12の剛性が低下する。これにより、フォイル12の変形の自由度が高められ、フォイル12が変形しやすくなり、主軸6の振動を減衰する効果が高められる。特に、図示例では、フォイルホルダ11の内周面11aと面接触したトップフォイル部12a1,12b1及びアンダーフォイル部12a3,12b3の間に、周方向全域にわたってスリット12cを形成しているため、振動減衰効果がさらに高められる。
また、上記のフォイル軸受10では、各フォイルの第1領域12aと第2領域12bとの境界のうち、スリット12c以外の領域(図示例では、差込部12a2,12b2同士)が連結されている。これにより、例えば主軸6にコニカルモードの振動が生じて第1領域12aのみに負荷が発生した場合でも、連結部を介して第2領域12bにも負荷が伝えられるため、第1領域12aだけでなく第2領域12bも変形させてフォイルホルダ11と摺動させることができ、振動減衰効果がさらに高められる。
尚、主軸6の停止直前や起動直後の低速回転時には、各フォイル12の軸受面と主軸6の外周面とが接触摺動するため、これらの何れか一方または双方に、DLC膜、チタンアルミナイトライド膜、二硫化タングステン膜、あるいは二硫化モリブデン膜等の低摩擦化被膜を形成してもよい。また、フォイル12とフォイルホルダ11との間の微小摺動による摩擦力を調整するために、これらの何れか一方または双方に、上記のような低摩擦化被膜を形成してもよい。
本発明は、上記の実施形態に限られない。例えば、図7に示す実施形態は、切り欠き部12a4,12b4を省略した点で上記の実施形態と異なる。この場合、アンダーフォイル部12a3,12b3の周方向他端は、軸方向に延びる直線状とされる。
また、上記の実施形態では、第1領域12aと第2領域12bとを、軸方向幅を有するスリット12cで分断した場合を示したが、これに限らず、例えば、両領域12a,12bを、軸方向幅を有さない切り込みで分断してもよい。
また、以上の実施形態では、フォイルホルダ11の内周面11aに形成された溝11cの開口部の周方向幅が比較的大きい場合を示したが、これに限らず、例えば、フォイルホルダの内周面に、開口部の周方向幅が小さいスリット状の溝を形成し、この溝にフォイルの端部を差し込んでもよい。
本発明にかかるフォイル軸受の適用対象は、上述したガスタービンに限られず、例えばターボチャージャ(過給機)のロータを支持する軸受としても使用することができる。また、本発明にかかるフォイル軸受は、ガスタービンやターボチャージャ等のターボ機械に限らず、油の使用が制限される車両用軸受や産業機器用軸受として広く使用することが可能である。
また、以上に説明した各フォイル軸受は、圧力発生流体として空気を使用した空気動圧軸受であるが、これに限らず、圧力発生流体としてその他のガスを使用することもでき、あるいは水や油などの液体を使用することもできる。
10 フォイル軸受
11 フォイルホルダ
11c 軸方向溝(凹部)
12 フォイル
12a 第1領域
12b 第2領域
12a1,12b1 トップフォイル部
12a2,12b2 差込部
12a3,12b3 アンダーフォイル部
12a4,12b4 切り欠き部
12a5,12b5 切り込み
12a6,12b6 スリット
12c スリット

Claims (5)

  1. フォイルホルダと、前記フォイルホルダの内周面に取り付けられた複数のフォイルとを備え、各フォイルの周方向両端が、前記フォイルホルダに接触した状態で保持されたフォイル軸受であって、
    各フォイルに、軸方向に隣接した第1領域及び第2領域を設け、両領域の境界の一部を分断すると共に、両領域の境界の他の部分を連結したフォイル軸受。
  2. 各フォイルの前記第1領域及び前記第2領域が、それぞれ、軸受面を有するトップフォイル部と、前記トップフォイル部の周方向一端側に設けられ、フォイルホルダの内周面に設けられた凹部に差し込まれる差込部と、前記トップフォイル部の周方向他端側に設けられ、隣接するフォイルと前記フォイルホルダの内周面との間に配されるアンダーフォイル部とを有する請求項1記載のフォイル軸受。
  3. 各フォイルの前記第1領域及び前記第2領域の前記差込部同士を連結すると共に、前記トップフォイル部同士及び前記アンダーフォイル部同士を周方向全域にわたって分断した請求項2記載のフォイル軸受。
  4. 前記第1領域及び前記第2領域に設けられた前記アンダーフォイル部の周方向他端に、それぞれ周方向一方側へ向けて軸方向幅を徐々に狭めた切り欠き部を設けた請求項1〜3の何れかに記載のフォイル軸受。
  5. 周方向両端をフォイルホルダの内周面に接触した状態で取り付けられるフォイルであって、
    軸方向に隣接した第1領域及び第2領域を設け、両領域の境界の一部を分断すると共に、両領域の境界の他の部分を連結したフォイル。
JP2014172528A 2014-08-27 2014-08-27 フォイル軸受及びこれに設けられるフォイル Expired - Fee Related JP6541946B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014172528A JP6541946B2 (ja) 2014-08-27 2014-08-27 フォイル軸受及びこれに設けられるフォイル
PCT/JP2015/071251 WO2016031465A1 (ja) 2014-08-27 2015-07-27 フォイル軸受及びこれに設けられるフォイル

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014172528A JP6541946B2 (ja) 2014-08-27 2014-08-27 フォイル軸受及びこれに設けられるフォイル

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016048074A true JP2016048074A (ja) 2016-04-07
JP6541946B2 JP6541946B2 (ja) 2019-07-10

Family

ID=55649090

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014172528A Expired - Fee Related JP6541946B2 (ja) 2014-08-27 2014-08-27 フォイル軸受及びこれに設けられるフォイル

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6541946B2 (ja)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58160619A (ja) * 1982-03-16 1983-09-24 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd ガス軸受構造
JPS6037623U (ja) * 1983-08-23 1985-03-15 石川島播磨重工業株式会社 ガス軸受
JPH10331846A (ja) * 1997-03-28 1998-12-15 Mohawk Innov Technol Inc 流体力学流体フィルムベアリング
KR20050096594A (ko) * 2004-03-31 2005-10-06 삼성테크윈 주식회사 에어 포일 베어링
KR20050105752A (ko) * 2004-05-03 2005-11-08 주식회사 뉴로스 포일 에어베어링
JP2014119094A (ja) * 2012-12-19 2014-06-30 Ntn Corp フォイル軸受
JP2014119095A (ja) * 2012-12-19 2014-06-30 Ntn Corp フォイル軸受

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58160619A (ja) * 1982-03-16 1983-09-24 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd ガス軸受構造
JPS6037623U (ja) * 1983-08-23 1985-03-15 石川島播磨重工業株式会社 ガス軸受
JPH10331846A (ja) * 1997-03-28 1998-12-15 Mohawk Innov Technol Inc 流体力学流体フィルムベアリング
KR20050096594A (ko) * 2004-03-31 2005-10-06 삼성테크윈 주식회사 에어 포일 베어링
KR20050105752A (ko) * 2004-05-03 2005-11-08 주식회사 뉴로스 포일 에어베어링
JP2014119094A (ja) * 2012-12-19 2014-06-30 Ntn Corp フォイル軸受
JP2014119095A (ja) * 2012-12-19 2014-06-30 Ntn Corp フォイル軸受

Also Published As

Publication number Publication date
JP6541946B2 (ja) 2019-07-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104884825B (zh) 薄衬垫轴承及涡轮机械
WO2015087675A1 (ja) フォイル軸受と、これを有するフォイル軸受ユニット及びターボ機械
JP2012092969A (ja) フォイル軸受
JP2013079719A (ja) フォイル軸受
JP6104597B2 (ja) フォイル軸受
JP6615573B2 (ja) スラストフォイル軸受
JP6104596B2 (ja) フォイル軸受
JP5840423B2 (ja) フォイル軸受
JP6305749B2 (ja) フォイル軸受と、これを有するフォイル軸受ユニット及びターボ機械
JP6305748B2 (ja) フォイル軸受と、これを有するフォイル軸受ユニット及びターボ機械
WO2020195488A1 (ja) スラストフォイル軸受、フォイル軸受ユニット、ターボ機械及びフォイル
JP6440999B2 (ja) フォイル軸受及びこれに設けられるフォイル
KR20190104419A (ko) 베어링 장치 및 회전기계
JP6541946B2 (ja) フォイル軸受及びこれに設けられるフォイル
WO2016031465A1 (ja) フォイル軸受及びこれに設けられるフォイル
JP6144222B2 (ja) フォイル軸受
JP6324774B2 (ja) フォイル軸受及びこれを備えたターボ機械
JP2021067353A (ja) フォイル軸受およびこれを備えた回転機械
WO2017073603A1 (ja) フォイル軸受
JP2017075680A (ja) フォイル軸受
JP6622054B2 (ja) フォイル軸受
WO2018116740A1 (ja) フォイル軸受
JP2017172764A (ja) フォイル軸受
JP2023148086A (ja) フォイル軸受
JP2019019914A (ja) フォイル軸受

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170726

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180501

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180702

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20181102

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20181227

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190530

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190612

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6541946

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees