JP2016038503A - 液晶表示装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】タッチセンサー配線抵抗を低減するためのメタル配線を設けた場合であっても、高品質の画像が得られる液晶表示装置を提供する。
【解決手段】平坦化膜135と配向膜170との間であって、鉛直上方から見てブラックマトリクスと重なるように配置されたメタル配線160を有し、メタル配線は、配向膜側に形成された平坦化膜の溝内に上面が溝外部の平坦化膜の上面と高さが揃うように埋め込まれている液晶表示装置とする。
【選択図】図1
【解決手段】平坦化膜135と配向膜170との間であって、鉛直上方から見てブラックマトリクスと重なるように配置されたメタル配線160を有し、メタル配線は、配向膜側に形成された平坦化膜の溝内に上面が溝外部の平坦化膜の上面と高さが揃うように埋め込まれている液晶表示装置とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、液晶表示装置に関する。
タッチパネルは、タッチパネルにペンや指が触れた位置を認識し、この位置情報を入力信号として駆動するように構成されている。タッチパネルを有する表示装置は、キーボードやマウスのような外付けの入力装置が不要なため普及してきており、液晶表示パネルにタッチセンサーを内蔵する液晶表示装置も開発されている(例えば、特許文献1参照)。又、溝内に電極を埋め込む技術に関しては、例えば特許文献2に開示されている。
発明者等は、タッチセンサーを内蔵した液晶表示装置において、タッチセンサー配線として用いている透明電極(ITO)の抵抗を低減するために、ブラックマトリクスで遮光されている領域にメタル配線(以下、第3メタル配線と呼ぶ)を設けた構造の液晶表示装置を作製した。その結果、ブラックマトリクス近傍において画像不良が発生する場合のあることが判明した。
本発明の目的は、タッチセンサー配線抵抗を低減するためのメタル配線を設けた場合であっても、高品質の画像が得られる液晶表示装置を提供することにある。
上記目的を達成するための一実施形態として、
平坦化膜と、
前記平坦化膜の上部に配置された配向膜と、
前記平坦化膜と前記配向膜との間であって、鉛直上方から見てブラックマトリクスと重なるように配置されたメタル配線を有し、
前記メタル配線は、前記配向膜側に形成された前記平坦化膜の溝内に上面が前記溝外部の前記平坦化膜の上面と高さが揃うように埋め込まれていることを特徴とする液晶表示装置とする。
平坦化膜と、
前記平坦化膜の上部に配置された配向膜と、
前記平坦化膜と前記配向膜との間であって、鉛直上方から見てブラックマトリクスと重なるように配置されたメタル配線を有し、
前記メタル配線は、前記配向膜側に形成された前記平坦化膜の溝内に上面が前記溝外部の前記平坦化膜の上面と高さが揃うように埋め込まれていることを特徴とする液晶表示装置とする。
また、平坦化膜と、
前記平坦化膜の上部に配置された配向膜と、
前記平坦化膜と前記配向膜との間であって、鉛直上方から見てブラックマトリクスと重なるように配置されたメタル配線を有し、
前記メタル配線は、前記配向膜側に形成された前記平坦化膜の溝内に、前記平坦化膜を覆って形成された透明導電膜を介して上面が前記溝外部の前記透明導電膜の上面と高さが揃うように埋め込まれていることを特徴とする液晶表示装置とする。
前記平坦化膜の上部に配置された配向膜と、
前記平坦化膜と前記配向膜との間であって、鉛直上方から見てブラックマトリクスと重なるように配置されたメタル配線を有し、
前記メタル配線は、前記配向膜側に形成された前記平坦化膜の溝内に、前記平坦化膜を覆って形成された透明導電膜を介して上面が前記溝外部の前記透明導電膜の上面と高さが揃うように埋め込まれていることを特徴とする液晶表示装置とする。
また、走査信号線と、前記走査信号線直交するように配置された映像信号線と、前記走査信号線及び前記映像信号線を覆って形成された平坦化膜と、前記平坦化膜上に形成された透明電極と、前記透明電極上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成された配向膜と、を備えたTFT基板と、前記走査信号線及び前記映像信号線と鉛直上方から見て重なるように配置されたブラックマトリクスを備えた対向基板と、前記TFT基板と前記対向基板との間に挟持された液晶とを有する液晶表示装置において、
前記平坦化膜は、前記配向膜側に形成され鉛直上方から見て前記ブラックマトリクスと重なるように配置された溝を有し、
前記溝内には、前記透明電極と電気的に接続されたメタル配線が埋め込まれていることを特徴とする液晶表示装置とする。
前記平坦化膜は、前記配向膜側に形成され鉛直上方から見て前記ブラックマトリクスと重なるように配置された溝を有し、
前記溝内には、前記透明電極と電気的に接続されたメタル配線が埋め込まれていることを特徴とする液晶表示装置とする。
発明者等は、タッチセンサー配線抵抗を低減するための第3メタル配線を設けた場合にブラックマトリクス近傍において画像不良が発生する原因について検討した。図2Aに液晶表示装置におけるTFT基板110の概略平面図と画素領域101の拡大平面図を示す。本液晶表示装置のTFT基板は複数の走査信号線(ゲート線)120が図の水平方向に、複数の映像信号線(ソース線)130が図の縦方向に形成された表示領域105と、駆動用ICが配置された駆動回路部106とを有する。表示領域105には複数の画素領域101が形成されており、画素領域内部にはタッチセンサー配線を兼ねたコモン電極140、TFTのドレイン電極(図示せず)に接続された画素電極150、タッチセンサー配線の抵抗を低減するための第3メタル配線160が形成されている。
図2Bにブラックマトリクスを含む画素領域の平面図を、図3Aには図2BのA−Bライン部の概略断面図を示す。図2B及び図3Aに示すようにブラックマトリクス(BM)220は、走査信号線120、映像信号線130、及び第3メタル配線160を覆うように(鉛直上方から見て重なるように)配置されている。なお、符号135は有機平坦化膜(HRC)、符号165は層間絶縁膜、符号170は配向膜、符号230はカラーフィルタ(CF)、符号300は液晶層を示す。カラーフィルタ230と液晶層300との間にはオーバーコート層や配向膜等が配置されているがここでは省略されている。
図3Aに示すように、配向膜170は第3メタル配線を覆って形成されており、段差が形成されている。図3Bに配向膜170をラビングにより配向させるラビング工程を説明するための画素領域の概略断面図を示す。配向膜170はラビングローラー400との摩擦により配向されため、第3メタル配線の段差部では非配向領域171が形成される。しかしながら、第3メタル配線160が形成された領域はブラックマトリクス220で覆われているため、この非配向領域171の影響は無視し得ると当初考えられた。そこで、他の原因について検討したが原因が見当たらないことから、この第3メタル配線部における配向膜の平坦化を試みた。その結果、画像不良が改善されことが判明した。本発明はこの新たな知見により生まれたものである。なお、ブラックマトリクスの形成領域を大きくすることにより画像不良を改善することができるが、画素の光透過面積が小さくなるため好ましくない。
以下、実施例を用いて本発明を詳細に説明する。なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等につて模式的に表わされる場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。本発明はFFS(Fringe Field Switching)方式やIPS(In Plane Switching)方式等各種方式の液晶表示装置に適用することができる。
また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。
また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。
本発明の第1の実施例に係る液晶表示装置ついて図1、図4A〜図4F、図7を用いて説明する。
図7は、本実施例に係る液晶表示装置の概略平面図である。図7に示すように、液晶表示装置100はTFT基板(アレイ基板)110と、対向基板(CF基板)210と、TFT基板と対向基板との間に液晶層とを備える。TFT基板110と対向基板210とはシール材104により接着されている。TFT基板110の表示領域105には走査信号線や映像信号線、マトリクス状に配置された画素が形成されている。画素はTFTや画素電極、共通電極及び共通電極の抵抗を下げるための第3メタル配線を含む。走査信号配線はTFTのゲート電極と接続されており、同一工程、同一材料で形成されている。また、映像信号線はTFTのソース電極と接続されており、同一工程、同一材料で形成されている。また、画素電極はTFTのドレイン電極と接続されている。但し、ソース、ドレイン等の呼称は便宜的なものであり、一方をソースとした場合、他方をドレインと呼ぶことができる。ソース電極及びドレイン電極には、例えばアルミニウムシリコン合金(AlSi合金)やモリブデンタングステン合金(MoW合金)を用いることができる。また、画素電極及び共通電極には、ITO(Indium Tin Oxide)やIZO(Indium Zinc Oxide)などの透明導電膜を用いることができる。対向基板210は、映像信号線や走査信号線、第3メタル配線等に対応する位置に配置されたブラックマトリクスや、画素の透過領域に対応する位置に配置されたカラーフィルタ等を有する。
TFT基板110は対向基板210よりも大きく、TFT基板が1枚となっている領域を有し、当該領域にはICドライバ102やフレキシブル配線基板が接続されている基板端子部103が配置されている。用途に応じ、バックライトや外枠等を組み合わせることができる。
次に、本実施例に係る液晶表示装置の第3メタル配線近傍の断面図を図1に示す。本実施例では、図1に示すように第3メタル配線160を有機平坦化膜135に形成した溝内に埋め込み、それを覆うようにコモン電極140、層間絶縁膜165及び配向膜170を形成した。これにより、配向膜170は第3メタル配線160の上部においても平坦に形成することができる。
次に、図1に示す構造体の製造方法について図4A〜図4Fを用いて説明する。
先ず、TFTや走査信号線、映像信号線等が形成された基板110’の上に有機平坦化膜135が形成されたTFT基板を準備する(図4A)。有機平坦化膜135は、ポジ型の感光材料を用いて、約3μmの厚さとなるように形成する。次に、遮光部500aとハーフトーン部500b、透過部(図示せず)とを有するホトマスク500に露光光520を照射して有機平坦化膜135を露光する(図4B)。
先ず、TFTや走査信号線、映像信号線等が形成された基板110’の上に有機平坦化膜135が形成されたTFT基板を準備する(図4A)。有機平坦化膜135は、ポジ型の感光材料を用いて、約3μmの厚さとなるように形成する。次に、遮光部500aとハーフトーン部500b、透過部(図示せず)とを有するホトマスク500に露光光520を照射して有機平坦化膜135を露光する(図4B)。
次いで、露光された有機平坦化膜135を現像する(図4C)。この現像により、ホトマスク500の遮光部500aに対応する部分の有機平坦化膜は露光されないためそのまま残り、ホトマスク500のハーフトーン部500bに対応する部分の有機平坦化膜は上部が部分的に露光されるため、上部が部分的に除去されて溝136が形成される。この溝の深さは第3メタル配線の厚さに揃える。本実施例では、230nmとした。溝の深さは露光量(露光時間や露光光の強度、ハーフトーン部の透過率等で変更可能)により調整することができる。なお、ホトマスクの透過部に対応する部分の有機平坦化膜は完全に除去されてスルーホール(図示せず)が形成される。即ち、有機平坦化膜135に溝を形成する工程は、従来から行われている有機平坦化膜135へのスルーホール形成工程の際にハーフトーン部を含むホトマスク(ハーフトーンマスク)500を用いることにより同時に行うことができる。
引き続き、有機平坦化膜135に形成した溝136内にメタルを230nmの厚さで成膜し第3メタル配線160を形成する(図4D)。次に、50nmの厚さのITO膜を成膜し、コモン電極140を形成する(図4E)。次いで、層間絶縁膜165を例えば窒化シリコン膜(SiNx膜)で180nmの厚さとなるように成膜する(図4F)。その後、配向膜170を形成することにより図1の構造を得ることができる。
なお、本実施例では、タッチセンサー配線(ここでは、ITOコモン配線)の抵抗を低減する第3メタル配線を例に説明したが、第3メタル配線は他の目的で形成されたものであっても本発明を適用することができる。また、本実施例では有機平坦化膜に配線形成用の溝を形成したが、他の膜に配線形成用溝を形成することもできる。
図4A〜図4Fの工程を含むように図7に示すような液晶表示装置を作製したところ、第3メタル配線上部におけるラビング時の配向乱れが抑制され、画像不良を低減、防止することができた。また、今後画素部の遮光領域に対する透過領域の面積の割合を大きくする際に、第3メタル配線の影響を考慮することなくブラックマトリクスの面積を低減することができる。
以上、本実施例によれば、タッチセンサー配線抵抗を低減するためのメタル配線を設けた場合であっても、配向乱れが抑制されるため、高品質の画像が得られる液晶表示装置を提供することができる。また、有機平坦化膜に形成した溝内に直接第3メタル配線を埋め込むため平坦性に優れる。
以上、本実施例によれば、タッチセンサー配線抵抗を低減するためのメタル配線を設けた場合であっても、配向乱れが抑制されるため、高品質の画像が得られる液晶表示装置を提供することができる。また、有機平坦化膜に形成した溝内に直接第3メタル配線を埋め込むため平坦性に優れる。
本発明の第2の実施例について図5、図6A〜図6Fを用いて説明する。なお、実施例1に記載され本実施例に未記載の事項は特段の事情が無い限り本実施例にも適用することができる。
本実施例の液晶表示装置の概略平面図は図7と同様なので説明を省略する。
本実施例に係る液晶表示装置の第3メタル配線近傍の断面図を図5に示す。本実施例では、図5に示すようにコモン電極140を介して第3メタル配線160が有機平坦化膜135に形成した溝内に埋め込まれ、それを覆うように層間絶縁膜165及び配向膜170が配置されている。これにより、配向膜170は第3メタル配線160の上部においても平坦性に優れる。
本実施例に係る液晶表示装置の第3メタル配線近傍の断面図を図5に示す。本実施例では、図5に示すようにコモン電極140を介して第3メタル配線160が有機平坦化膜135に形成した溝内に埋め込まれ、それを覆うように層間絶縁膜165及び配向膜170が配置されている。これにより、配向膜170は第3メタル配線160の上部においても平坦性に優れる。
次に、図5に示す構造体の製造方法について図6A〜図6Fを用いて説明する。但し、図6A〜図6Cは、図4A〜図4Cと同様の工程のため説明を省略する。
図6A〜図6Cで示す工程により有機平坦化膜135に深さ230nmの溝136を形成した後、溝136が形成された有機平坦化膜135上に、50nmの厚さのITO膜を成膜しコモン電極140を形成する(図4D)。次に、有機平坦化膜135の溝136を覆って形成されたコモン電極140を介して溝136内にメタルを230nmの厚さで成膜し第3メタル配線160を形成する(図4E)。その後、配向膜170を形成することにより図5の構造を得ることができる。
図6A〜図6Fの工程を含むように図7に示すような液晶表示装置を作製したところ、第3メタル配線上部におけるラビング時の配向乱れが抑制され、画像不良を低減、防止することができた。また、コモン電極を形成後、第3メタル配線を形成した第3メタル配線上の平坦性は実施例1の製造工程を用いた場合の平坦性に比べて若干劣るが、平坦化膜上にコモン電極を形成している従来の製造工程の順序を変更することなく第3メタル配線を形成することができる利点がある。また、今後画素部の遮光領域に対する透過領域の面積の割合を大きくする際に、第3メタル配線の影響を考慮することなくブラックマトリクスの面積を低減することができる。
以上、本実施例によれば、タッチセンサー配線抵抗を低減するためのメタル配線を設けた場合であっても、配向乱れが抑制されるため、高品質の画像が得られる液晶表示装置を提供することができる。また、コモン電極形成後に第3メタル配線を形成するため、従来の製造工程の変更を最小限に抑えることができる。
以上、本実施例によれば、タッチセンサー配線抵抗を低減するためのメタル配線を設けた場合であっても、配向乱れが抑制されるため、高品質の画像が得られる液晶表示装置を提供することができる。また、コモン電極形成後に第3メタル配線を形成するため、従来の製造工程の変更を最小限に抑えることができる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。例えば、前述の各実施形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除若しくは設計変更を行ったもの、又は、工程の追加、省略若しくは条件変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含まれる。
また、本実施形態において述べた態様によりもたらされる他の作用効果について本明細書記載から明らかなもの、又は当業者において適宜想到し得るものについては、当然に本発明によりもたらされるものと解される。
また、本実施形態において述べた態様によりもたらされる他の作用効果について本明細書記載から明らかなもの、又は当業者において適宜想到し得るものについては、当然に本発明によりもたらされるものと解される。
100…液晶表示装置、101…画素領域、102…ICドライバ(駆動回路)、103…フレキシブル配線基板用端子部、104…シール材、105…表示領域、106…駆動回路部、110…TFT基板(アレイ基板)、110’…TFTや走査信号線、映像信号線が形成された基板、120…ゲート線(走査信号線)、130…ソース線(映像信号線)、135…有機平坦化膜(HRC)、136…有機平坦化膜の溝、140…コモン電極(1stITO)、150…画素電極(2ndITO)、160…第3メタル配線、165…層間絶縁膜(SiNx)、170…配向膜、171…非配向領域、210…対向基板、220…ブラックマトリクス(BM)、230…カラーフィルタ(CF)、300…液晶層、400…ラビングローラー、500…ホトマスク、500a…ホトマスク遮光部、500b…ホトマスクハーフトーン部、520…露光光。
Claims (13)
- 平坦化膜と、
前記平坦化膜の上部に配置された配向膜と、
前記平坦化膜と前記配向膜との間であって、鉛直上方から見てブラックマトリクスと重なるように配置されたメタル配線を有し、
前記メタル配線は、前記配向膜側に形成された前記平坦化膜の溝内に上面が前記溝外部の前記平坦化膜の上面と高さが揃うように埋め込まれていることを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項1記載の液晶表示装置において、
前記メタル配線は透明導電膜で覆われ、前記透明導電膜に電気的に接続されていることを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項2記載の液晶表示装置において、
前記透明導電膜はタッチセンサー用であり、前記メタル配線はタッチセンサーの抵抗を低減するための配線であることを特徴とする液晶表示装置。 - 平坦化膜と、
前記平坦化膜の上部に配置された配向膜と、
前記平坦化膜と前記配向膜との間であって、鉛直上方から見てブラックマトリクスと重なるように配置されたメタル配線を有し、
前記メタル配線は、前記配向膜側に形成された前記平坦化膜の溝内に、前記平坦化膜を覆って形成された透明導電膜を介して上面が前記溝外部の前記透明導電膜の上面と高さが揃うように埋め込まれていることを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項4記載の液晶表示装置において、
前記メタル配線は、前記透明導電膜に電気的に接続されていることを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項5記載の液晶表示装置において、
前記透明導電膜はタッチセンサー用であり、前記メタル配線はタッチセンサーの抵抗を低減するための配線であることを特徴とする液晶表示装置。 - 走査信号線と、前記走査信号線直交するように配置された映像信号線と、前記走査信号線及び前記映像信号線を覆って形成された平坦化膜と、前記平坦化膜上に形成された透明電極と、前記透明電極上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成された配向膜とを備えたTFT基板と、前記走査信号線及び前記映像信号線と鉛直上方から見て重なるように配置されたブラックマトリクスを備えた対向基板と、前記TFT基板と前記対向基板との間に挟持された液晶とを有する液晶表示装置において、
前記平坦化膜は、前記配向膜側に形成され鉛直上方から見て前記ブラックマトリクスと重なるように配置された溝を有し、
前記溝内には、前記透明電極と電気的に接続されたメタル配線が埋め込まれていることを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項7記載の液晶表示装置において、
前記メタル配線は前記平坦化膜に接して形成されており、前記メタル配線の上面は前記溝外部の前記平坦化膜の上面の高さと揃うように形成されていることを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項7記載の液晶表示装置において、
前記メタル配線は前記透明電極を介して前記平坦化膜の前記溝内に形成されており、前記メタル配線の上面は前記溝外部の前記透明電極の上面の高さと揃うように形成されていることを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項7記載の液晶表示装置において、
前記透明電極はタッチセンサー用であり、前記メタル配線はタッチセンサーの抵抗を低減するための配線であることを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項7記載の液晶表示装置において、
前記メタル配線は、鉛直上方から見て前記走査信号線及び/又は映像信号線と重なるように配置されていることを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項7記載の液晶表示装置において、
前記配向膜は、ラビング処理により配向されたものであることを特徴とする液晶表示装置。 - 請求項7記載の液晶表示装置において、
前記平坦化膜は、ポジ型感光性材料を用いて形成されたものであり、
前記平坦化膜の前記溝は、ハーフトーンマスクを用いて形成されたものであることを特徴とする液晶表示装置。
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