JP2016034011A - リードフレームおよびその製造方法、ならびに半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リードフレーム10は、半導体素子が搭載されるダイパッド11と、ダイパッド11周囲に設けられ、それぞれ第1端子部53を含む複数の長外周リード部12Aおよび短外周リード部12Bと、ダイパッド11と長外周リード部12Aおよび短外周リード部12Bとの間に配置され、ダイパッド11を取り囲む接続リング14とを備えている。複数の内側リード部26A〜26Dは、長内側リード部26A、26Cと、短内側リード部26B、26Dとを含んでいる。長内側リード部26A、26Cと短内側リード部26B、26Dとは、接続リング14に沿って交互に配置されている。
【選択図】図1
Description
以下、本発明の第1の実施の形態について、図1乃至図7を参照して説明する。なお、以下の各図において、同一部分には同一の符号を付しており、一部詳細な説明を省略する場合がある。
まず、図1乃至図3により、本実施の形態によるリードフレームの概略について説明する。図1は、本実施の形態によるリードフレームを示す平面図であり、図2は、本実施の形態によるリードフレームを示す底面図である。図3(a)(b)は、それぞれ本実施の形態によるリードフレームを示す断面図である。
そしてダイパッド11は、この4本の吊りリード16を介して支持リード13に連結支持されている。
接続リング14の四隅にはそれぞれ吊りリード16が連結されており、接続リング14は、4本の吊りリード16を介して支持リード13に支持されている。
第2端子部18は、後述するように、ボンディングワイヤ22を介して半導体素子21に接続されるものである。
これら長内側リード部26Aと短内側リード部26Bとは、接続リング14の外側において交互に配置されている。
次に、図4および図5により、本実施の形態による半導体装置について説明する。図4および図5は、本実施の形態による半導体装置(DR−QFN(Dual Row QFN)タイプ)を示す図である。
次に、図1乃至図3に示すリードフレーム10の製造方法について、図6(a)−(f)を用いて説明する。なお、図6(a)−(f)は、リードフレーム10の製造方法を示す断面図(図3(b)に対応する図)である。
次に、図4および図5に示す半導体装置20の製造方法について、図7(a)−(f)を用いて説明する。図7(a)−(f)は、半導体装置20の製造方法を示す断面図(図5に対応する図)である。
次に、図8乃至図11を参照して本発明の第2の実施の形態について説明する。図8乃至図11は本発明の第2の実施の形態を示す図である。図8乃至図11に示す第2の実施の形態は、接続リング14に第2端子部を有する内側リード部26A〜26Dを設ける代わりに、接続リング14の一部が個別に分離されて第2端子部28となる点が異なるものであり、他の構成は上述した第1の実施の形態と略同一である。図8乃至図11において、第1の実施の形態と同一部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
この場合、接続リング14の表面に凹部14cが設けられているので、開口部34aから進入した腐蝕液が、第2端子部28や外周リード部12A、12Bを必要以上に溶解することなく、接続リング14のうち各凹部14cの周辺領域のみを適切に除去することができる。このようにして、接続リング14のうち、互いに隣接する2つの凹部14c同士の間に、それぞれ第2端子部28が残存する。
次に、図12乃至図17を参照して本発明の第3の実施の形態について説明する。図12乃至図17は本発明の第3の実施の形態を示す図である。図12乃至図17に示す第3の実施の形態は、主として、内側リード部26A〜26Dの配置、および接続リード57が表面側から薄肉化されている点が異なるものであり、他の構成は上述した第1の実施の形態と略同一である。図12乃至図17において、第1の実施の形態と同一部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
次に、図18乃至図21を参照して本発明の第4の実施の形態について説明する。図18乃至図21は本発明の第4の実施の形態を示す図である。図18乃至図21に示す第4の実施の形態は、主として、接続リング14に代えてリード接続部(接続バー)64を設けた点が異なるものであり、他の構成は上述した第1の実施の形態と略同一である。図18乃至図21において、第1の実施の形態と同一部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
11 ダイパッド
12A 長外周リード部
12B 短外周リード部
13 支持リード(支持部材)
14 接続リング
14a 凹溝
14b 土手部
14c 凹部
15A、15B 内部端子
16 吊りリード
17A〜17F 外部端子
18 第2端子部
20、20A、20B 半導体装置
21 半導体素子
22 ボンディングワイヤ(接続部材)
23 封止樹脂
24 接着剤
25 めっき部
26A、26C 長内側リード部
26B、26D 短内側リード部
27 凹部
28 第2端子部
52 接続リード
53 第1端子部
57 接続リード
64 リード接続部
Claims (15)
- 半導体装置用のリードフレームであって、
半導体素子が搭載されるダイパッドと、
前記ダイパッド周囲に設けられ、それぞれ第1端子部を含む複数の外周リード部と、
前記ダイパッドと前記外周リード部との間に配置され、前記ダイパッドを取り囲む接続リングと、
前記接続リングによって支持され、それぞれ第2端子部を含む複数の内側リード部とを備え、
前記複数の内側リード部は、長内側リード部と、短内側リード部とを含み、前記長内側リード部と前記短内側リード部とが前記接続リングに沿って交互に配置されていることを特徴とするリードフレーム。 - 前記複数の内側リード部は、前記接続リングの内側および外側の両方から延びていることを特徴とする請求項1記載のリードフレーム。
- 前記複数の内側リード部のうち、前記接続リングの内側から延びる前記短内側リード部と、前記接続リングの外側から延びる前記長内側リード部とが、前記接続リングを介して互いに反対側の位置に配置されていることを特徴とする請求項2記載のリードフレーム。
- 前記接続リングの表面に、前記接続リングに沿って凹溝が形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項記載のリードフレーム。
- 前記内側リード部は、前記接続リングに連結される接続リードを有し、前記接続リードは、裏面側から薄肉化されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項記載のリードフレーム。
- 前記内側リード部は、前記接続リングに連結される接続リードを有し、前記接続リードは、表面側から薄肉化されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項記載のリードフレーム。
- 前記複数の外周リード部は、長外周リード部と、短外周リード部とを含み、前記長外周リード部と前記短外周リード部とが交互に配置され、
前記複数の内側リード部は、前記接続リングの少なくとも外側から延びており、
前記長外周リード部と前記短内側リード部とが互いに向かい合い、
前記短外周リード部と前記長内側リード部とが互いに向かい合うことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項記載のリードフレーム。 - 750Mpa〜1100Mpaの引っ張り強度をもつ金属材料から構成されていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項記載のリードフレーム。
- 半導体装置用のリードフレームであって、
半導体素子が搭載されるダイパッドと、
前記ダイパッド周囲に設けられ、それぞれ第1端子部を含む複数の外周リード部と、
前記ダイパッドと前記外周リード部との間に配置されたリード接続部と、
前記リード接続部によって支持され、それぞれ第2端子部を含む複数の内側リード部とを備え、
前記複数の内側リード部は、長内側リード部と、短内側リード部とを含み、前記長内側リード部と前記短内側リード部とが前記リード接続部に沿って交互に配置されていることを特徴とするリードフレーム。 - 半導体装置であって、
ダイパッドと、
前記ダイパッド周囲に設けられ、それぞれ第1端子部を含む複数の外周リード部と、
前記ダイパッドと前記外周リード部との間に配置され、前記ダイパッドおよび前記外周リード部から分離された複数の第2端子部と、
前記ダイパッド上に搭載された半導体素子と、
前記半導体素子と各外周リード部とを電気的に接続するとともに、前記半導体素子と各第2端子部とを電気的に接続する接続部材と、
前記ダイパッドと、前記複数の外周リード部と、前記複数の第2端子部と、前記半導体素子と、前記接続部材とを封止する封止樹脂とを備え、
前記複数の外周リード部は、前記第1端子部が相対的に内側に位置する長外周リード部と、前記第1端子部が相対的に外側に位置する短外周リード部とを含み、前記長外周リード部と前記短外周リード部とが交互に配置され、
前記封止樹脂の裏面のうち、前記外周リード部と前記ダイパッドとの間の領域に、前記ダイパッドを取り囲むように凹部が形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 半導体装置であって、
ダイパッドと、
前記ダイパッド周囲に設けられ、それぞれ第1端子部を含む複数の外周リード部と、
前記ダイパッドと前記外周リード部との間に配置され、前記ダイパッドおよび前記外周リード部から分離された複数の第2端子部と、
前記ダイパッド上に搭載された半導体素子と、
前記半導体素子と各外周リード部とを電気的に接続するとともに、前記半導体素子と各第2端子部とを電気的に接続する接続部材と、
前記ダイパッドと、前記複数の外周リード部と、前記複数の第2端子部と、前記半導体素子と、前記接続部材とを封止する封止樹脂とを備え、
前記複数の外周リード部は、前記第1端子部が相対的に内側に位置する長外周リード部と、前記第1端子部が相対的に外側に位置する短外周リード部とを含み、前記長外周リード部と前記短外周リード部とが交互に配置され、
前記封止樹脂の裏面のうち、前記外周リード部と前記ダイパッドとの間の領域に凹部が形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至8のいずれか一項記載のリードフレームの製造方法において、
金属基板を準備する工程と、
前記金属基板をエッチング加工することにより、前記金属基板に前記ダイパッド、前記外周リード部、前記接続リングおよび前記内側リード部を形成する工程とを備えたことを特徴とするリードフレームの製造方法。 - 半導体装置の製造方法において、
請求項1乃至8のいずれか一項記載のリードフレームを準備する工程と、
前記リードフレームの前記ダイパッド上に前記半導体素子を搭載する工程と、
前記半導体素子と各外周リード部とを接続部材により電気的に接続する工程と、
前記ダイパッドと、前記複数の外周リード部と、前記半導体素子と、前記接続部材とを封止樹脂により封止する工程と、
前記リードフレームの裏面側から前記接続リングの少なくとも一部を除去することにより、前記複数の第2端子部をそれぞれ個別に分離する工程とを備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項9記載のリードフレームの製造方法において、
金属基板を準備する工程と、
前記金属基板をエッチング加工することにより、前記金属基板に前記ダイパッド、前記外周リード部、前記リード接続部および前記内側リード部を形成する工程とを備えたことを特徴とするリードフレームの製造方法。 - 半導体装置の製造方法において、
請求項9記載のリードフレームを準備する工程と、
前記リードフレームの前記ダイパッド上に前記半導体素子を搭載する工程と、
前記半導体素子と各外周リード部とを接続部材により電気的に接続する工程と、
前記ダイパッドと、前記複数の外周リード部と、前記半導体素子と、前記接続部材とを封止樹脂により封止する工程と、
前記リードフレームの裏面側から前記リード接続部の少なくとも一部を除去することにより、前記複数の第2端子部をそれぞれ個別に分離する工程とを備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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