JP2016031996A - ダイシング用基体フィルム及びそれを用いたダイシングフィルム - Google Patents
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Abstract
Description
本発明のダイシング用基体フィルムは、A層のみからなる単層の基体フィルムであってもよく、また、ポリオレフィン樹脂を含有する樹脂bを含むB層をさらに有する多層構造の基体フィルムであってもよい。
単層のダイシング用基体フィルムは、前記樹脂aを含有するA層のみからなる。
本発明のダイシング用基体フィルムが多層構造である場合、次のA層/B層からなる二層のダイシング用基体フィルムが例示されるが、これに限定されない。
は、前記いずれの層の樹脂とも相溶性が良く、ブリードアウトするような現象は一切ない。
本発明のダイシング用基体フィルムは、樹脂をフィルム成形することにより製造される。フィルム成形としては、押出成形が挙げられ、フィルムがA層及びB層を含む多層構造のフィルムである場合、各層の原料樹脂を共押出成形して製造する。具体的には、単層(A層)からなるダイシング用基体フィルムは、芳香族ポリアミドを30質量%以上含む樹脂a(A層用樹脂a)をフィルムに成形(押出成形)することにより製造することができる。
上記のダイシング用基体フィルムは、そのフィルム上に公知のアクリル系粘着剤をコートして粘着剤層が形成され、さらに必要に応じ該アクリル系粘着剤層(粘着剤層)上に離型フィルムが設けられて、ダイシングフィルムが製造される。つまり、ダイシング用基体フィルムのA層上に、アクリル系粘着剤層及び離型フィルムが形成される。
アクリル系粘着剤層で用いられる粘着剤成分としては、公知のものが用いられ、例えば、特開平5−211234号公報等に記載された粘着剤成分を用いることができる。なお、離型フィルムも公知のものが用いられる。
・脂肪族ポリアミド1:ナイロン−6とナイロン−6,6の混合物(質量比50:50)、ナイロン−6(ポリ−ε−カプロラクタム)(融点;220℃、相対粘度;2.47)、ナイロン−6,6(ポリヘキサメチレンアジパミド)(融点;260℃、相対粘度;2.45)
・脂肪族ポリアミド2:ナイロン−6とナイロン−6,6との共重合体(融点;196℃、相対粘度;3.04)
・エチレン系樹脂:分岐状低密度ポリエチレン(密度;0.924g/cm3、融点;112℃、MFR;3.7g/10分)
実施例1(単層)
芳香族ポリアミドを原料樹脂とした。原料樹脂をバレル温度180〜280℃の押出機に投入し、270℃のTダイスから押出し、設定温度40℃の引き取りロールにて冷却固化して、無延伸の状態で巻き取った。得られたフィルムの厚さは、100μmであった。
芳香族ポリアミド(70質量%)と脂肪族ポリアミド1(30質量%)をブレンドして原料樹脂とした。原料樹脂を実施例1と同様の方法により、フィルムを成形した。得られたフィルムの厚さは、100μmであった。
芳香族ポリアミド(50質量%)と脂肪族ポリアミド2(50質量%)をブレンドして原料樹脂とした。原料樹脂を実施例1と同様の方法により、フィルムを成形した。得られたフィルムの厚さは、100μmであった。
脂肪族ポリアミド2を原料樹脂とした。原料樹脂を実施例1と同様の方法により、フィルムを成形した。得られたフィルムの厚さは、100μmであった。
芳香族ポリアミド(25質量%)と脂肪族ポリアミド2(75質量%)をブレンドして原料樹脂とした。原料樹脂を実施例1と同様の方法により、フィルムを成形した。得られたフィルムの厚さは、100μmであった。
芳香族ポリアミド(50質量%)と脂肪族ポリアミド2(50質量%)をブレンドしてA層用原料樹脂とした。また、エチレン系樹脂(100質量%)をB層用原料樹脂とした。A層用原料樹脂をバレル温度180〜230℃の押出機に、またB層用原料樹脂をバレル温度180〜280℃の押出機にそれぞれ投入し、270℃の多層Tダイスから押出し、設定温度40℃の引き取りロールにて冷却固化して、無延伸の状態で巻き取った。得られた多層フィルムの厚さは、A層50μm、B層50μmであり、全体厚み100μmであった。
芳香族ポリアミドをA層用原料樹脂とした以外は実施例4と同様の方法によりフィルムを成形した。得られた多層フィルムの厚さは、A層50μm、B層50μmであり、全体厚み100μmであった。
株式会社ディスコ製のダイシング装置(DAD−2H/6)を用い、ブレード(ZH05−SD2000−N1−90CD、刃300μm巾)、フィルム基材のみに、表面層から水量目盛1.2L/min、切り込み深さ40μmの条件で切り込みを入れた。
2: 10μm以上であって、50μm未満の切削屑が10本以上であり、50μm以上の切削屑が存在しない
3: 10μm未満の切削屑が10本以下である
なお上記の評価は、株式会社キーエンス製のデジタルマイクロスコープ(VHX−100)を用いて、倍率150倍に拡大した写真をもとに評価したものである。上記の実施例2及び比較例1基体フィルムに形成された溝の部分の拡大写真を図1及び図2にそれぞれ示す。
得られた基体フィルムを、長さ110mm(標線間隔40mm+つかみシロ(上下に35mmずつ))、巾10mmの大きさに切り出し、引張スピード200mm/minでMD方向(押出し方向)、TD方向(フィルム成形により成形されたフィルムの幅方向)にそれぞれ25%伸ばした時の応力(N)をサンプル巾(10mm)で割った値を、25%モジュラスとして評価した。
なお、測定装置としては、(株)島津製作所製の「オートグラフAG−500NX TRAPEZIUM X」を用いた。
25%モジュラスの値が20MPa以下であれば、エキスパンド性は良好であり、30mm引き落としによるピックアップ工程において良好に使用することができる。
25%モジュラスの値が20MPaを超え、85MPa以下の場合、30mm引き落としには耐えられないが、5mm引き落としでのピックアップ工程において良好に使用することができる。
Claims (6)
- 芳香族ポリアミドを30質量%以上含む樹脂aを含有するA層を有するダイシング用基体フィルム。
- 樹脂a中、結晶性ポリアミドを70質量%以下で含む請求項1に記載のダイシング用基体フィルム。
- 芳香族ポリアミドを30〜99質量%、結晶性ポリアミドを1〜70質量%含む請求項2に記載のダイシング用基体フィルム。
- 樹脂aが芳香族ポリアミドのみからなる請求項1に記載のダイシング用基体フィルム。
- エチレン系樹脂、プロピレン系樹脂及びスチレン系樹脂よりなる群から選ばれる少なくとも1種の樹脂を含有する樹脂bを含むB層をさらに有する請求項1〜4のいずれかに記載のダイシング用基体フィルム。
- 前記請求項1〜5のいずれかに記載のダイシング用基体フィルムのA層上に、さらに粘着剤層を有するダイシングフィルム。
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