JP2016031502A - 描画装置および描画方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板端部付近におけるパターンの描画精度を高める技術を提供する。
【解決手段】描画装置は、感光体が形成された基板90に描画光を照射して基板90にパターンを描画する。位置調整部は、基板90の描画対象領域における副走査方向の正側端部の主走査を行う光学ヘッドに備えられたオートフォーカス機構についての離間距離の検出位置71が、基板90の端部よりも前記副走査方向負側に所定の長さ分だけ寄った位置(測定有効領域VRに含まれる位置)になるように、複数の光学ヘッド33の走査開始位置をシフト量SF1だけ移動させる。
【選択図】図10
【解決手段】描画装置は、感光体が形成された基板90に描画光を照射して基板90にパターンを描画する。位置調整部は、基板90の描画対象領域における副走査方向の正側端部の主走査を行う光学ヘッドに備えられたオートフォーカス機構についての離間距離の検出位置71が、基板90の端部よりも前記副走査方向負側に所定の長さ分だけ寄った位置(測定有効領域VRに含まれる位置)になるように、複数の光学ヘッド33の走査開始位置をシフト量SF1だけ移動させる。
【選択図】図10
Description
この発明は、半導体基板、プリント基板、液晶表示装置等に具備されるカラーフィルタ用基板、液晶表示装置やプラズマ表示装置等に具備されるフラットパネルディスプレイ用ガラス基板、磁気ディスク用基板、光ディスク用基板、太陽電池用パネルなどの各種基板等(以下、単に「基板」ともいう)に対して光を照射して、基板にパターンを描画する技術に関する。
基板上に塗布された感光材料に回路などのパターンを露光するにあたって、マスクなどを用いず、パターンを記述したデータに応じて変調した光(描画光)によって基板上の感光材料を走査することによって、当該感光材料に直接パターンを露光する露光装置(所謂、描画装置)が知られている。この種の描画装置は、例えば、光ビームを画素単位でオン・オフ変調するための空間光変調器を備える光学ヘッドから、該光学ヘッドに対して相対的に移動する基板に対して描画光を照射して、基板にパターンを露光(描画)するものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
描画装置において、光学ヘッドは、例えば、断面が帯状の描画光を出射しながら、描画光の長幅方向と直交する軸(主走査軸)に沿って基板に対して相対的に移動する(主走査)。この主走査が行われることによって、基板上の、主走査軸に沿う一本の帯状領域に対するパターンの露光が行われる。光学ヘッドは、描画光の照射を伴う主走査が完了すると、主走査軸と直交する副走査軸に沿って基板に対して相対的に移動した上で、再び、描画光の照射を伴う主走査を行う。これによって、先の主走査でパターンが露光された帯状領域の隣の帯状領域に対するパターンの露光が行われる。このように、副走査を挟んで、描画光の照射を伴う主走査が繰り返して行われることによって、基板の全域にパターンが露光されることになる。また、一般的には、副走査方向に複数の光学ヘッドを配置しておき、上記主走査によって、一度に複数の帯状領域にパターンを描画することも行われている。
また、描画光の焦点を基板上に合わせるため、光学ヘッドに対してオートフォーカス機構が設けられる場合がある。オートフォーカス機構は、パターン描画中に、光学ヘッド・基板間の距離の変動を計測することで、基板の反りやうねり等による露光面の上下変動を検出する。オートフォーカス機構は、この変動に応じて、光学ヘッドのレンズを上下させることによって、常に描画光の焦点を基板上の所要の露光面に合わせる。
しかしながら、上述した走査によってパターン描画処理が進められると、複数の光学ヘッドのうち、一部の光学ヘッドについては、オートフォーカス機構による上記距離の変動の検出位置が、基板の外側あるいは基板の端部となってしまう場合がある。基板の端部は、レジストがラミネートされていなかったり、あるいは、段差や穴などが形成されていたりすることで、上記距離の計測には不向きである場合が多い。このため、オートフォーカス機構が正常に機能させることができない場合があった。このため、基板端付近の帯状領域については、描画精度が低下してしまう虞があった。
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、基板端部付近におけるパターンの描画精度を高める技術を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するため、第1の態様は、感光体が形成された基板に光を照射して前記基板にパターンを描画する描画装置であって、各々が帯状の描画光を出射する、副走査方向に並べられた複数の光学ヘッドと、前記基板に対して、前記複数の光学ヘッドを、前記副走査方向および前記副走査方向に直交する主走査方向に相対的に移動させることによって、前記基板を前記描画光で走査する走査機構と、前記複数の光学ヘッドの各々に設けられており、前記光学ヘッドおよび前記基板の間の離間距離の変動を検出する検出器によって検出された前記離間距離の変動に合わせて前記光学ヘッドの前記描画光の焦点位置を調整する、複数のオートフォーカス機構と、前記複数の光学ヘッドのうち、前記基板の描画対象領域における前記副走査方向の正側端部の主走査を行う特定の光学ヘッドに備えられた前記オートフォーカス機構についての前記離間距離の検出位置が、前記正側端部の主走査を行う際に前記基板の端部よりも前記副走査方向負側に所定の長さ分だけ寄った位置となるよう、前記複数の光学ヘッドの走査開始位置を調整する位置調整部とを備えている。
また、第2の態様は、第1の態様に係る描画装置であって、前記位置調整部は、予め定められた初期の走査開始位置に基づいて、前記特定の光学ヘッドに備えられた前記オートフォーカス機構の前記検出位置を特定することによって、前記複数の光学ヘッドの走査開始位置を移動させるシフト量を決定する。
また、第3の態様は、感光体が形成された基板に光を照射して前記基板にパターンを描画する描画方法であって、(a)副走査方向に並べられた複数の光学ヘッドのそれぞれから、帯状の描画光を出射する工程と、(b)前記(a)工程において、前記基板に対して、前記複数の光学ヘッドを、前記副走査方向および前記副走査方向に直交する主走査方向に相対的に移動させることによって、前記基板を前記描画光で走査する工程と、(c)前記(b)工程において、前記光学ヘッドおよび前記基板の間の離間距離の変動を検出器によって検出し、検出された前記離間距離の変動に合わせて前記光学ヘッドの前記描画光の焦点を調整する工程と、(d)前記複数の光学ヘッドのうち、前記基板における描画対象領域の端部の主走査を行う特定の光学ヘッドについて、前記離間距離の変動を検出する検出位置が、前記端部の主走査を行う際に前記基板の端部よりも前記副走査方向負側に所定の長さ分だけ寄った位置となるよう、前記複数の光学ヘッドの走査開始位置を調整する工程とを含む。
また、第4の態様は、第3の態様に係る描画方法であって、前記(d)工程は、予め定められた初期の走査開始位置に基づいて、前記特定の光学ヘッドについての前記離間距離の変動を検出する検出位置を特定することによって、前記複数の光学ヘッドの前記初期の走査開始位置を移動させるシフト量を決定する工程とを含む。
第1から第4の態様によると、走査開始位置を調整することによって、基板における描画対象領域のうち副走査方向正側端部の主走査を行う際に、光学ヘッドおよび基板間の離間距離の変動を適切に検出できる。これによって、描画対象領域の副走査方向正側端部まで、高精度にパターン描画を行うことができる。
以下、添付の図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。なお、この実施形態に記載されている構成要素はあくまでも例示であり、本発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。また、図面においては、理解容易のため、必要に応じて各部の寸法や数が誇張または簡略化して図示されている場合がある。
<装置構成>
図1は、実施形態に係る描画装置100の概略を示す斜視図である。また、図2は、描画装置100の概略を示す平面図である。さらに図3は、描画装置100のバス配線図である。図1において、図示および説明の都合上、Z軸方向が鉛直方向を表し、XY平面が水平面を表すものとして定義するが、それらは位置関係を把握するために便宜上定義するものであって、以下に説明する各方向を限定するものではない。以下の各図についても同様である。また、図2においては、説明の都合上、架橋構造体11および光学ヘッド33が二点鎖線によって図示されている。
図1は、実施形態に係る描画装置100の概略を示す斜視図である。また、図2は、描画装置100の概略を示す平面図である。さらに図3は、描画装置100のバス配線図である。図1において、図示および説明の都合上、Z軸方向が鉛直方向を表し、XY平面が水平面を表すものとして定義するが、それらは位置関係を把握するために便宜上定義するものであって、以下に説明する各方向を限定するものではない。以下の各図についても同様である。また、図2においては、説明の都合上、架橋構造体11および光学ヘッド33が二点鎖線によって図示されている。
描画装置100は、プリント基板を製造する工程において、プリント基板(以下、単に「基板」という。)90の上面に形成された感光材料(レジスト)の層(感光体)にデバイス形成のためのパターンを描画する装置である。図1および図2に示されるように、描画装置100は、主に架台1、移動プレート群2、露光部3、および制御部5を備えている。
○架台1
架台1は、略直方体状の外形を有しており、その上面の略水平な領域には、架橋構造体11や移動プレート群2が備えられる。架橋構造体11は、移動プレート群2の上方に略水平に掛け渡されるようにして架台1上に固定されている。図1に示すように、架台1は、移動プレート群2と架橋構造体11とを一体的に支持する。
架台1は、略直方体状の外形を有しており、その上面の略水平な領域には、架橋構造体11や移動プレート群2が備えられる。架橋構造体11は、移動プレート群2の上方に略水平に掛け渡されるようにして架台1上に固定されている。図1に示すように、架台1は、移動プレート群2と架橋構造体11とを一体的に支持する。
○移動プレート群2
移動プレート群2は、主に、基板90をその上面の略水平な領域に保持する基板保持プレート21と、基板保持プレート21を下方から支持する支持プレート22と、支持プレート22を下方から支持するベースプレート23と、ベースプレート23を下方から支持する基台24と、基板保持プレート21をZ軸回りに回動させる回動機構211と、支持プレート22をX軸方向に移動させるための副走査機構221と、ベースプレート23をY軸方向に移動させるための主走査機構231とを備える。
移動プレート群2は、主に、基板90をその上面の略水平な領域に保持する基板保持プレート21と、基板保持プレート21を下方から支持する支持プレート22と、支持プレート22を下方から支持するベースプレート23と、ベースプレート23を下方から支持する基台24と、基板保持プレート21をZ軸回りに回動させる回動機構211と、支持プレート22をX軸方向に移動させるための副走査機構221と、ベースプレート23をY軸方向に移動させるための主走査機構231とを備える。
基板保持プレート21は、図示を省略しているが、その上面に複数の吸着孔が分散して設けられている。これらの吸着孔は、真空ポンプに接続されており、当該真空ポンプを動作することによって、基板および基板保持プレート21間の雰囲気を排気する。これにより、基板90が基板保持プレート21の上面に吸着保持される。
図2に示すように、回動機構211は、基板保持プレート21の(−Y)側端部に取り付けられた移動子と、支持プレート22の上面に設けられた固定子とにより構成されるリニアモータ211aを有する。また、回動機構211は、基板保持プレート21の中央部下面側と支持プレート22との間に、回動軸211bを有する。リニアモータ211aを動作させることによって、固定子に沿って移動子がX軸方向に移動し、基板保持プレート21が支持プレート22上の回動軸211bを中心として所定角度の領域内で回動する。
副走査機構221は、支持プレート22の下面に取り付けられた移動子と、ベースプレート23の上面に設けられた固定子とにより構成されるリニアモータ221aを有する。また、副走査機構221は、支持プレート22とベースプレート23との間に、X軸方向に延びる一対のガイド部221bを有する。リニアモータ221aを動作させることによって、支持プレート22がベースプレート23上のガイド部221bに沿ってX軸方向に移動する。
主走査機構231は、ベースプレート23の下面に取り付けられた移動子と、基台24上に設けられた固定子とにより構成されるリニアモータ231aを有する。また、主走査機構231は、ベースプレート23と架台1との間に、Y軸方向に延びる一対のガイド部231bを有する。リニアモータ231aを動作させることによって、ベースプレート23が基台24上のガイド部231bに沿ってY軸方向移動する。したがって、基板保持プレート21に基板90を保持した状態で主走査機構231を動作させることによって、基板90をY軸方向に沿って移動させることができる。なお、これら移動機構は、後述の制御部5により、その動作が制御される。
なお、回動機構211、副走査機構221および主走査機構231の駆動については、上述のリニアモータ211a,221a,231aを利用したものに限定されない。例えば、回動機構211および副走査機構221については、サーボモータおよびボールネジ駆動を利用したものであってもよい。また、基板90を移動させる代わりに、露光部3を移動させる移動機構を設けてもよい。さらに、基板90および露光部3の双方を移動させるようにしてもよい。また、図示を省略するが、例えば、基板保持プレート21をZ軸方向に昇降させることによって、基板90を上下に昇降させる昇降機構を設けてもよい。
○露光部3
図1に戻って、露光部3は、LED光源部31、照明光学系32および光学ヘッド33で構成される光学ユニットを複数台(ここでは、5台)備えている。なお、図1では、図示が省略されているが、各光学ヘッド33に対して、LED光源部31および照明光学系32がそれぞれ設けられている。LED光源部31は、制御部5から送られる所要の駆動信号に基づいて、所要波長のレーザ光を出射する光源装置である。LED光源部31から出射された光ビームは、ロッドインテグレーター、レンズおよびミラーなどで構成される照明光学系32を介して、光学ヘッド33へ導かれる。
図1に戻って、露光部3は、LED光源部31、照明光学系32および光学ヘッド33で構成される光学ユニットを複数台(ここでは、5台)備えている。なお、図1では、図示が省略されているが、各光学ヘッド33に対して、LED光源部31および照明光学系32がそれぞれ設けられている。LED光源部31は、制御部5から送られる所要の駆動信号に基づいて、所要波長のレーザ光を出射する光源装置である。LED光源部31から出射された光ビームは、ロッドインテグレーター、レンズおよびミラーなどで構成される照明光学系32を介して、光学ヘッド33へ導かれる。
各光学ヘッド33は、照明光学系32から出射される光線を、基板90の上面に照射するものである。各光学ヘッド33は、X軸方向に沿って架橋構造体11の側面上部に等ピッチで配設されている。
図4は、露光部3の概略を示す斜視図である。図4において、光変調部4および投影光学系332は、各光学ヘッド33の内部の所定位置に配置されている。LED光源部31から出射された光ビームは、照明光学系32にて矩形状に成形される。そして、照明光学系32を通過した光ビームは、光変調部4へと導かれ、光変調部4の変調動作有効領域に照射される。
光変調部4へ照射された光ビームは、制御部5の制御に基づいて空間的に変調され、投影光学系332へと入射する。投影光学系332は、入射してきた光を所要の倍率に変倍して、主走査方向へ移動する基板90上へ導く。
○光変調部4
光変調部4は、電気的な制御によって入射光を空間変調させて、パターンの描画に寄与させる必要光と、パターンの描画に寄与させない不要光とを、互いに異なる方向に反射させる、デジタルミラーデバイス(DMD)を備えている。DMDは、例えば1辺約10μmの正方形の微小ミラーが、1920×1080個マトリクス状に配列された空間変調素子である。各々のミラーがメモリセルに書き込まれたデータに従って、正方形の対角を軸として、所要角度で傾くように構成されている。制御部5からのリセット信号によって、各々のミラーは、一斉に駆動される。
光変調部4は、電気的な制御によって入射光を空間変調させて、パターンの描画に寄与させる必要光と、パターンの描画に寄与させない不要光とを、互いに異なる方向に反射させる、デジタルミラーデバイス(DMD)を備えている。DMDは、例えば1辺約10μmの正方形の微小ミラーが、1920×1080個マトリクス状に配列された空間変調素子である。各々のミラーがメモリセルに書き込まれたデータに従って、正方形の対角を軸として、所要角度で傾くように構成されている。制御部5からのリセット信号によって、各々のミラーは、一斉に駆動される。
DMDに表示されたパターンは、投影光学系332によって、基板90の露光面上に投影される。また、DMDに表示されるパターンは、後述するように、主走査機構231による基板保持プレート21の移動に伴って、主走査機構231のエンコーダー信号を元に作られるリセットパルスによって連続的に書き換えられる。これによって、描画光が基板90の露光面上に照射され、ストライプ状の像が形成される。
図5は、描画処理が行われている基板90を示す平面図である。描画処理は、制御部5の制御下で主走査機構231および副走査機構221が基板保持プレート21に載置された基板90を、複数台の光学ヘッド33に対して相対的に移動させつつ、複数の光学ヘッド33のそれぞれから基板90の上面に空間変調された光を照射することによって行われる。
なお、以下の説明では、基板90上において、互いに直交するx軸方向およびy軸方向を定義する。この基板90上に定義されるxy座標系は、主走査機構231による基板90の移動に伴って、XYZ座標系のY軸方向に沿って移動する。また、xy座標系は、副走査機構221による基板90の移動に伴って、XYZ座標系のX軸方向に沿って移動する。
また、主走査機構231によって、基板90が移動したときの、基板90から見た光学ヘッド33の移動方向を主走査方向とする。また、副走査機構221によって、基板90を移動させたときの、基板90から見た光学ヘッド33の移動方向を副走査方向とする。図5に示される例では、主走査方向は、+y方向(矢印AR11)および−y方向(矢印AR13)となっており、副走査方向は、+x方向(矢印AR12)となっている。
まず、主走査機構231によって、基板保持プレート21が−Y方向に移動させることによって、基板90を光学ヘッドに対して相対的に移動させる(主走査)。これを基板90から見ると、複数の光学ヘッド33が、矢印AR11で示されるように、+y方向に相対的に移動したことになる。この主走査が行われる間、各光学ヘッド33は、ラスターデータ541に応じて変調された断面矩形状の描画光を、基板90に連続的に照射する。すなわち、基板90の露光面に光が投影される。各光学ヘッド33が主走査方向(+y方向)に沿って基板90を1回横断すると、各描画光に対応した描画領域33Rが基板90上を通過することによって、帯状領域R1にパターンが描画されることなる。この帯状領域R1は、主走査方向に延びており、副走査方向に沿う幅が、描画光の幅(ストライプ幅)に相当する領域である。ここでは、5台の光学ヘッド33が、同時に基板90上を横断するため、1回の主走査により同時の5本の帯状領域R1のそれぞれに、パターンが描画されることになる。
1回の主走査が終了すると、副走査機構221によって、基板保持プレート21が+X方向に、既定の距離だけ移動させることによって、基板90を光学ヘッド33に対して相対的に移動させる(副走査)。これを基板90からみると、矢印AR12で示されるように、複数の光学ヘッド33が、副走査方向(+x方向)に、既定の距離分だけ移動することになる。
副走査が終了すると、再び主走査が行われる。すなわち、主走査機構231によって、基板保持プレート21が+Y方向に移動させることによって、基板90を複数の光学ヘッド33に対して相対的に移動させる。これを基板90から見ると、各光学ヘッド33は、−y方向に移動することによって、矢印AR13で示されるように、基板90上における、直前の主走査で描画された帯状領域R1に隣接する領域を横断することとなる。この主走査においても、各光学ヘッド33は、ラスターデータ541に応じて変調された描画光を、基板90に向けて連続的に照射する。これによって、先の主走査で描画された帯状領域R1に隣接する帯状領域R2に、パターンが描画される。
以後、上記と同様に、主走査と副走査とが繰り返して行われ、基板90上の描画対象領域90Rの全域にパターンが描画されると、描画処理が終了する。図5に示される例では、2回の副走査を挟んだ3回の主走査によって、各光学ヘッド33が帯状領域R1,R2,R3を横断し、これによって、描画対象領域90Rの全域にパターンが形成される。
本実施形態では、定位置に固定された複数の光学ヘッド33に対して、基板90を主走査方向および副走査方向に移動させることによって、パターン描画が行われている。しかしながら、基板90を定位置に固定して、複数の光学ヘッド33を移動させることによって、主走査および副走査が行われるようにしてもよい。また、基板90および複数の光学ヘッド33の双方を移動可能とし、これらの移動を組み合わせることによって、主走査および副走査が行われるようにしてもよい。
○制御部5
図3に示されるように、制御部5は、CPU51、読取専用のROM52、主にCPU51の一時的なワーキングエリアとして使用されるRAM53および不揮発性の記録媒体であるメモリ54を備えている。また、制御部5は、表示部56、操作部57、回動機構211、副走査機構221、主走査機構231、LED光源部31(詳細には、光源ドライバ)、光変調部4およびオートフォーカス機構6といった描画装置100の各構成と接続されており、これら各構成の動作の制御を行う。
図3に示されるように、制御部5は、CPU51、読取専用のROM52、主にCPU51の一時的なワーキングエリアとして使用されるRAM53および不揮発性の記録媒体であるメモリ54を備えている。また、制御部5は、表示部56、操作部57、回動機構211、副走査機構221、主走査機構231、LED光源部31(詳細には、光源ドライバ)、光変調部4およびオートフォーカス機構6といった描画装置100の各構成と接続されており、これら各構成の動作の制御を行う。
CPU51は、ROM52内に格納されているプログラム55を読み取りつつ実行することによって、RAM53またはメモリ54に記憶されている各種データについての演算を行う。本実施形態では、CPU51は、プログラム55にしたがって動作することにより、位置調整部511として機能する。位置調整部511の機能については、後に詳述する。
メモリ54は、基板90上に描画するパターンについてのラスターデータ541を記憶する。制御部5は、CAD部58において、CADソフトを用いて作成されたベクトル形式のデータ(パターンデータ581)を、ラスター形式の画像データであるラスターデータ541に展開する。
より具体的には、複数の光変調部4の各々に対応するラスターデータ541が、それぞれ用意される。制御部5は、このラスターデータ541に基づき、各光変調部4を制御することによって、光学ヘッド33から出射する光ビームを変調する。
なお、描画装置100では、主走査機構231のリニアモータ231aから送られてくるリニアスケール信号に基づいて、変調のリセットパルスが生成される。このリセットパルスに基づいて動作する光変調部4によって、基板90の位置に応じて変調された描画光が、各光学ヘッド33から出射される。
表示部56は、一般的な液晶ディスプレイなどで構成され、制御部5の制御によりオペレータに対して各種データを表示する。また、操作部57は、各種ボタンやキー、マウス、タッチパネル等から構成され、描画装置100に対して命令を入力するために、オペレータによって操作される。表示部56をタッチパネルで構成することによって、表示部56に操作部57の機能の一部または全部を持たせてもよい。
○オートフォーカス機構6
図6は、光学ヘッド33の概略を示す側面図である。図6に示されるように、各光学ヘッド33には、オートフォーカス機構6がそれぞれ設けられている。オートフォーカス機構6は、光学ヘッド33および基板90(詳細には、露光面)の間の離間距離L1の変動を検出するための検出器61を備えている。オートフォーカス機構6は、検出器61によって検出された離間距離L1の変動に合わせて、光学ヘッド33の描画光の焦点を調整する。
図6は、光学ヘッド33の概略を示す側面図である。図6に示されるように、各光学ヘッド33には、オートフォーカス機構6がそれぞれ設けられている。オートフォーカス機構6は、光学ヘッド33および基板90(詳細には、露光面)の間の離間距離L1の変動を検出するための検出器61を備えている。オートフォーカス機構6は、検出器61によって検出された離間距離L1の変動に合わせて、光学ヘッド33の描画光の焦点を調整する。
検出器61は、レーザ光を基板90に照射する照射部611と、基板90を反射したレーザ光を受光する受光部613とで構成されている。照射部611は、基板90の表面に対する法線方向(ここでは、Z軸方向)に対して所定の角度だけ傾斜した軸に沿って基板90の上面に入射させ、スポット状に照射する。以下の説明では、このレーザ光が照射される基板90上の位置を、検出位置71とする。受光部613は、例えばZ軸方向に延びるラインセンサーで構成されている。該ラインセンサー上におけるレーザ光の入射位置によって、基板90の上面の変動が検出されることとなる。検出器61は、光学ヘッド33の投影光学系332の筐体外周面に設けられている取付機構62を介して、光学ヘッド33に対して固定される。
また、オートフォーカス機構6は、昇降機構63を備えている。昇降機構63は、検出器61によって検出された変動量に応じて、投影光学系332のレンズをZ軸方向に上下させる。検出器61が検出した変動量は、制御部5または不図示の専用の演算回路などに渡され、所要のプログラムに従った演算処理が行われる。これによって、昇降機構63によるレンズの昇降量が決定される。
図7は、露光部3の概略を示す正面図である。図7では、5台の光学ヘッド33を識別するために、副走査方向(+x方向)向かって順に、符号「33」に符号「a」〜「e」を付記している。例えば、最も副走査方向の負側(−x側)に配置された光学ヘッド33は、光学ヘッド33aであり、最も副走査方向の正側(+x側)に配置されている光学ヘッド33は、光学ヘッド33eである。
また、図7に示すように、各光学ヘッド33が備える各オートフォーカス機構6の検出位置71は、各光学ヘッド33が出射する描画光の、副走査方向における中央位置CPとほぼ重なるように設定されている。
図5に示されるように、基板90の副走査方向の幅によっては、基板90上におけるパターンの描画が行われる(すなわち、露光される)描画対象領域90Rのうち、副走査方向正側(+x側)端部の帯状領域(以下、正側端部帯状領域R11と称する。)が、対応する光学ヘッド(図5の例では、光学ヘッド33e)の描画領域33Rよりも狭くなる場合がある。基板90の端部から一定幅の領域は、例えば、レジストがラミネートされていなかったり、あるいは、段差や穴などが形成されていたりすることで、検出器61による離間距離L1の測定に不適切である領域(以下、「測定不適領域」と称する。)となっている場合がある。すると、光学ヘッド33eのオートフォーカス機構6の検出位置71が、正側端部帯状領域R11についての主走査を実行する際、測定不適領域に設定される場合がある。このような位置でオートフォーカス機構6を機能させた場合、描画精度が著しく低下する虞がある。
このような事態を避けるため、本実施形態では、走査開始時点における全光学ヘッド33の基板90に対する位置(走査開始位置)を、副走査方向負側(−x側)に必要な分だけシフトさせる位置調整を行う。このような位置調整は、位置調整部511によって実行される。この位置調整によって、光学ヘッド33eが正側端部帯状領域R11を走査する際に、オートフォーカス機構6が基板90における測定不適領域よりも内側の領域、すなわち、測定が有効な領域(測定有効領域)に設定される。これによって、正側端部帯状領域R11の露光についても、高精度に行うことができる。なお、以下の説明では、この正側端部帯状領域R11を描画する主走査を、「正側端部主走査」と称する。
以上のような位置調整行うため、まず、位置調整部511は、正側端部帯状領域R11の露光を担当する光学ヘッド33(すなわち、端部主走査を行う光学ヘッド33)を特定する。この特定処理は、以下に説明する要領にしたがって実施される。
<端部主走査を行う光学ヘッドの特定>
図8は、基板90に対して複数の光学ヘッド33が主走査する位置を概念的に示す平面図である。図8に示される各光学ヘッド33の走査開始位置は、基板90の描画対象領域90Rに応じて設定される初期のものである。なお、描画対象領域90Rは、基板90の表面の全領域と完全一致する場合も想定されうるが、一般的には、基板90の表面のうち、周縁部を除いた内側部分とされる場合が多い。これは、周縁部において、レジストがラミネートされていなかったり、レジストの膜厚が不均一であったりするためである。
図8は、基板90に対して複数の光学ヘッド33が主走査する位置を概念的に示す平面図である。図8に示される各光学ヘッド33の走査開始位置は、基板90の描画対象領域90Rに応じて設定される初期のものである。なお、描画対象領域90Rは、基板90の表面の全領域と完全一致する場合も想定されうるが、一般的には、基板90の表面のうち、周縁部を除いた内側部分とされる場合が多い。これは、周縁部において、レジストがラミネートされていなかったり、レジストの膜厚が不均一であったりするためである。
図8に示されるように、描画対象領域90Rの副走査方向の幅をWb、描画光の幅(ストライプ幅)をSW、隣り合う光学ヘッド33,33の間隔をHとすると、基板90の副走査方向端部の正側端部帯状領域R11を描画する光学ヘッド33は、INT関数を用いた以下の式によって決定される。
N=int(Wb/H)+1・・・(式1)
ここで、Nは光学ヘッド33の番号を意味しており、ヘッド番号「1」〜「5」は、それぞれ、光学ヘッド33a〜33eに対応している。
また、正側端部帯状領域R11が描画されるときの、主走査の回数(ストライプ番号S)は、以下の式で算出される。
S=(Wb−(N−1)×H)/SW+1・・・(式2)
また、正側端部帯状領域R11の描画を行う光学ヘッド33が出射する描画光の端部(副走査方向負側(−x側)端部)から、描画対象領域90Rの副走査方向正側(+x側)端部まで幅pは、以下の式で算出される。
p=Wb−(N−1)×H−(S−1)×SW・・・(式3)
図9および図10は、正側端部帯状領域R11を描画する光学ヘッド33を示す概略平面図である。図9および図10においては、各光学ヘッド33の描画領域33Rの副走査方向負側(−x側)の端部から、検出位置71までの距離をaとしている。なお、本実施形態では、a=SW/2である。また、基板90の端部から一定幅(q)の領域を、上述した測定不適領域NRとする。図9は、p−q>aが満たされる状態を示す図であり、図10は、p−q≦aが満たされる状態を示す図である。なお、図9及び図10に示されるように、光学ヘッド33がZ軸方向を軸にして所定の角度分回転して配置されているが、これは、光学ヘッド33のDMDを回転させることによって副走査方向(x軸方向)におけるパターン描画の解像度を高めるためである。
図9に示されるように、p−q>aが満たされる場合には、検出位置71が、基板90における測定不適領域NRよりも内側の測定有効領域VRに含まれることとなる。したがって、この場合は、正側端部帯状領域R11について、焦点距離を適切に制御しつつ、パターンを高精度に描画できる。なお、測定有効領域VRは、上述の描画対象領域90Rとは異なる概念であるが、一致する場合もある。
これに対して、図10に示すように、p−q≦aが満たされる場合、オートフォーカス機構6による離間距離L1の検出位置71が、基板90の測定有効領域VRよりも外側の領域(ここでは、基板90上の測定不適領域NR)に含まれてしまう場合がある。この場合、不適切な焦点の調整が行われることによって、描画光の焦点がずれてしまう虞がある。
以上のように、複数の光学ヘッド33の走査開始位置を初期設定のままとした場合、正側端部主走査時におけるオートフォーカス機構6の検出位置71が、測定有効領域VR外に設定される場合がある。そこで、位置調整部511は、この正側端部主走査時における検出位置71が、測定有効領域VRに設定されるように、走査開始位置を移動させるシフト量を決定する。
<シフト量の決定>
具体的には、図10に示す例の場合、端部主走査の位置を副走査方向負側(−x側)にシフト量SF1だけ移動させることによって、検出位置71を、前記副走査方向負側に所定の長さ分だけ寄った位置である、測定有効領域VR内の位置に設定することができる。このように、位置調整部511は、初期設定に基づいた場合の端部主走査を実行する際の検出位置71を特定する。そして、位置調整部511は、当該検出位置71を測定有効領域VRまでの副走査方向の距離を算出し、その距離からシフト量を決定する。
具体的には、図10に示す例の場合、端部主走査の位置を副走査方向負側(−x側)にシフト量SF1だけ移動させることによって、検出位置71を、前記副走査方向負側に所定の長さ分だけ寄った位置である、測定有効領域VR内の位置に設定することができる。このように、位置調整部511は、初期設定に基づいた場合の端部主走査を実行する際の検出位置71を特定する。そして、位置調整部511は、当該検出位置71を測定有効領域VRまでの副走査方向の距離を算出し、その距離からシフト量を決定する。
図11は、最も副走査方向負側にある光学ヘッド33aの走査開始位置を説明するための概略平面図である。なお、図11に示す例では、実線で示すように、初期設定時における光学ヘッド33aの走査開始位置は、その描画領域33Rの端部が測定有効領域VRの端部に沿うように設定されている。しかしながら、この描画領域33Rの端部の位置は、測定有効領域VRの端部よりも副走査方向負側(−x側)または正側(+x側)に設定される場合も考えられる。
図10において説明したように、初期の走査開始位置を移動(シフト)させる必要がある場合、位置調整部511は、基板90に対して各光学ヘッド33が主走査する位置を、シフト量SF1の分だけ移動させる。すなわち、光学ヘッド33aの走査開始位置が、シフト量SF1の分だけ副走査方向負側(−x側)に移動される。したがって、光学ヘッド33aの走査開始位置は、点線で示す位置となる。
このシフト後の走査開始位置において、光学ヘッド33aのオートフォーカス機構6の検出位置71は、測定有効領域VR上に設定することが望ましい。このため、光学ヘッド33aの走査開始位置のシフトは、図11中二点鎖線で示す位置、すなわち、検出位置71が測定有効領域VRの端部上となる位置(最大シフト後の走査開始位置)までとすることが望ましい。換言すると、シフト量SF1は、最大でも距離a(ここでは、SW/2)よりも短いことが望ましい。これによって、第1回目の主走査時において、光学ヘッド33aのオートフォーカス機構6を有効に機能させることができるため、描画精度の低下を抑制できる。
次に、描画装置100における、パターン描画処理の流れについて説明する。図12は、パターン描画処理の流れを示す流れ図である。なお、図12に示す各工程S1〜S5は、すでに説明した内容であるため、ここでは説明を簡略化する。
まず、描画対象領域90Rのうち、正側端部主走査を行う光学ヘッド33の特定が行われる(ステップS1)。具体的には、図8において説明したように、初期の走査開始位置に基づいて、各光学ヘッド33のうち、正側端部帯状領域R11の主走査を行う光学ヘッド33を特定する。
次に、正側端部主走査時における、オートフォーカス機構6の検出位置71が特定される。詳細には、図9および図10において説明したように、位置調整部511が、ステップS1で特定した光学ヘッド33に備えられたオートフォーカス機構6の検出位置71を特定する。
ステップS2において、検出位置71が特定されると、走査開始位置のシフト量が決定される(ステップS3)。具体的には、図10において説明したように、初期設定における正側端部主走査時の検出位置71が、測定有効領域VR外にある場合、その正側端部主走査時における検出位置71から測定有効領域VRまでの副走査方向の長さ、もしくはそれを超える長さが、シフト量SF1とされる。ただし、図9において説明したように、全主走査における検出位置71が測定有効領域VRに含まれる場合は、シフト量はゼロとされる。このように、ステップS3は、ステップS2で特定された検出位置71が、測定有効領域VRに含まれるか否かを、位置調整部511が判定する工程を含む。
なお、基板90において離間距離L1の測定に不適切とされる測定不適領域NRの厳密な範囲は、基板90の製造状況に応じて異なりうる。このため、測定不適領域NRは、オペレータが任意に設定できるものとするとよい。具体的には、オペレータによって測定不適領域NRの幅qを数値等で具体的に設定可能とすることが考えられる。そして、位置調整部511が、この設定された測定不適領域NRに基づいて、測定有効領域VRを決定することが考えられる。
ステップS3において、シフト量が決定されると、ラスターデータ541の作成が行われる(ステップS4)。走査開始位置をシフトさせる場合、第1回目の主走査において、光学ヘッド33aの描画領域33Rが、シフト量に応じた分、描画を行わない領域を通過することとなる。このため、光学ヘッド33aを制御するためのラスターデータ541には、シフト量に応じた空白データが付加されたものとされる。
ステップS4においてラスターデータ541が作成されると、パターン描画が実行される(ステップS5)。このステップS5には、副走査方向に並べられた複数の光学ヘッド33のそれぞれから、帯状の描画光を出射する出射工程が含まれる。また、ステップS5には、出射工程において、基板90に対して複数の光学ヘッド33を、副走査方向および主走査方向に相対的に移動させることによって、基板90の描画対象領域90Rを描画光で走査する走査工程が含まれる。さらに、ステップS5においては、走査工程における主走査において、光学ヘッド33および基板90間の離間距離L1の変動をオートフォーカス機構6の検出器61によって検出し、検出された離間距離L1の変動に合わせて光学ヘッド33の描画光の焦点を調整する工程が含まれる。
以上のように、本実施形態に係る描画装置100によると、走査開始位置を、初期の位置から適切にシフトさせることによって、描画対象領域90Rの副走査方向正側端部を描画光で走査する際に、オートフォーカス機構6の検出位置71を測定有効領域VRに含めることができる。これによって、描画対象領域90Rの副走査方向性側端部まで、高精度にパターン描画を行うことができる。
この発明は詳細に説明されたが、上記の説明は、すべての局面において、例示であって、この発明がそれに限定されるものではない。例示されていない無数の変形例が、この発明の範囲から外れることなく想定され得るものと解される。また、上記各実施形態及び各変形例で説明した各構成は、相互に矛盾しない限り適宜組み合わせたり、省略したりすることができる。
100 描画装置
2 移動プレート群
21 基板保持プレート
22 支持プレート
221 副走査機構
23 ベースプレート
231 主走査機構
24 基台
3 露光部
33(33a−33e) 光学ヘッド
332 投影光学系
33R 描画領域
5 制御部
511 位置調整部
541 ラスターデータ
56 表示部
57 操作部
6 オートフォーカス機構
61 検出器
71 検出位置
90 基板
90R 描画対象領域
CP 中央位置
L1 離間距離
NR 測定不適領域
R11 正側端部帯状領域
SF1 シフト量
VR 測定有効領域
2 移動プレート群
21 基板保持プレート
22 支持プレート
221 副走査機構
23 ベースプレート
231 主走査機構
24 基台
3 露光部
33(33a−33e) 光学ヘッド
332 投影光学系
33R 描画領域
5 制御部
511 位置調整部
541 ラスターデータ
56 表示部
57 操作部
6 オートフォーカス機構
61 検出器
71 検出位置
90 基板
90R 描画対象領域
CP 中央位置
L1 離間距離
NR 測定不適領域
R11 正側端部帯状領域
SF1 シフト量
VR 測定有効領域
Claims (4)
- 感光体が形成された基板に光を照射して前記基板にパターンを描画する描画装置であって、
各々が帯状の描画光を出射する、副走査方向に並べられた複数の光学ヘッドと、
前記基板に対して、前記複数の光学ヘッドを、前記副走査方向および前記副走査方向に直交する主走査方向に相対的に移動させることによって、前記基板を前記描画光で走査する走査機構と、
前記複数の光学ヘッドの各々に設けられており、前記光学ヘッドおよび前記基板の間の離間距離の変動を検出する検出器によって検出された前記離間距離の変動に合わせて前記光学ヘッドの前記描画光の焦点位置を調整する、複数のオートフォーカス機構と、
前記複数の光学ヘッドのうち、前記基板の描画対象領域における前記副走査方向の正側端部の主走査を行う特定の光学ヘッドに備えられた前記オートフォーカス機構についての前記離間距離の検出位置が、前記正側端部の主走査を行う際に前記基板の端部よりも前記副走査方向負側に所定の長さ分だけ寄った位置となるよう、前記複数の光学ヘッドの走査開始位置を調整する位置調整部と、
を備えている、描画装置。 - 請求項1に記載の描画装置であって、
前記位置調整部は、予め定められた初期の走査開始位置に基づいて、前記特定の光学ヘッドに備えられた前記オートフォーカス機構の前記検出位置を特定することによって、前記複数の光学ヘッドの走査開始位置を移動させるシフト量を決定する、描画装置。 - 感光体が形成された基板に光を照射して前記基板にパターンを描画する描画方法であって、
(a)副走査方向に並べられた複数の光学ヘッドのそれぞれから、帯状の描画光を出射する工程と、
(b)前記(a)工程において、前記基板に対して、前記複数の光学ヘッドを、前記副走査方向および前記副走査方向に直交する主走査方向に相対的に移動させることによって、前記基板を前記描画光で走査する工程と、
(c)前記(b)工程において、前記光学ヘッドおよび前記基板の間の離間距離の変動を検出器によって検出し、検出された前記離間距離の変動に合わせて前記光学ヘッドの前記描画光の焦点を調整する工程と、
(d)前記複数の光学ヘッドのうち、前記基板における描画対象領域の端部の主走査を行う特定の光学ヘッドについて、前記離間距離の変動を検出する検出位置が、前記端部の主走査を行う際に前記基板の端部よりも前記副走査方向負側に所定の長さ分だけ寄った位置となるよう、前記複数の光学ヘッドの走査開始位置を調整する工程と、
を含む、描画方法。 - 請求項3に記載の描画方法であって、
前記(d)工程は、予め定められた初期の走査開始位置に基づいて、前記特定の光学ヘッドについての前記離間距離の変動を検出する検出位置を特定することによって、前記複数の光学ヘッドの前記初期の走査開始位置を移動させるシフト量を決定する工程を含む、描画方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014154926A JP2016031502A (ja) | 2014-07-30 | 2014-07-30 | 描画装置および描画方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014154926A JP2016031502A (ja) | 2014-07-30 | 2014-07-30 | 描画装置および描画方法 |
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JP2016031502A true JP2016031502A (ja) | 2016-03-07 |
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Family Applications (1)
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JP2014154926A Pending JP2016031502A (ja) | 2014-07-30 | 2014-07-30 | 描画装置および描画方法 |
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JP (1) | JP2016031502A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20200010024A (ko) | 2018-07-20 | 2020-01-30 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 묘화 장치 및 묘화 방법 |
-
2014
- 2014-07-30 JP JP2014154926A patent/JP2016031502A/ja active Pending
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