JP2016030293A - レーザー切断方法及びその装置 - Google Patents
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Abstract
Description
S2…画像センサーで第一回目の位置決め
S3…レーザー光束で基板の第一面を切断して第一切断ラインを生成
S4…切断したい基板を反転させてベース上に固定
S5…画像センサーで第二回目の位置決め
S6…レーザー光束で基板の第二面を切断して第二切断ラインを生成
1…基板
10…ベース
11…凹み部分
20…画像センサー
21…反射鏡
30…レーザー出射装置
40…光学ユニット
41…反射鏡
42…集光レンズ
50…コントローラ
60…第二画像センサー
A…第一面
A1…第一切断ライン
B…第二面
B1…第二切断ライン
H…基板の厚み
H1…第一の切断深さ
H2…第二の切断深さ
Claims (17)
- 切断したい基板をベース上に固定するステップと、
画像センサーで第一回目の位置決めを行うステップと、
レーザー光束で前記基板の第一面を切断して第一切断ラインを生成するステップと、
前記切断したい基板を反転させてベース上に固定するステップと、
画像センサーで第二回目の位置決めを行うステップと、
レーザー光束で前記基板の第二面を切断して第二切断ラインを生成するステップと、を含むことを特徴とするレーザー切断方法。 - 前記第一面の前記第一切断ラインと、前記第二面の前記第二切断ラインとが、前記基板の表裏で同じ位置にある、請求項1に記載のレーザー切断方法。
- レーザー光束で生成した前記第一面の前記第一切断ラインの第一切断深さと、レーザー光束で生成した前記第二面の前記第二切断ラインの第二切断深さとの和は、前記基板の厚みに等しい、請求項1に記載のレーザー切断方法。
- レーザー光束で生成した前記第一面の前記第一切断ラインの第一切断深さと、レーザー光束で生成した前記第二面の前記第二切断ラインの第二切断深さとの和は、前記基板の厚みより小さい、請求項1に記載のレーザー切断方法。
- 前記第一切断ラインの前記第一切断深さは、前記第二切断ラインの前記第二切断ライン深さより小さい、請求項3または4に記載のレーザー切断方法。
- 前記第一回目の位置決めは、画像センサーが前記基板の前記第一面に設けられた位置検出キーを検出することを含み、前記第二回目の位置決めは、画像センサーが前記基板の前記第二面に設けられた位置検出キーを検出することを含む、請求項1に記載のレーザー切断方法。
- 前記基板の前記第一面の位置検出キーと、前記基板の前記第二面の位置検出キーとは、同じ位置検出キーである、請求項6に記載のレーザー切断方法。
- 前記第一回目の位置決めは、画像センサーが前記基板の前記第一面の位置検出キーを検出することを含み、前記第二回目の位置決めは、前記第二面に現れる陰影線であって、前記基板に形成された前記第一面の前記第一切断ラインの陰影線を検出することを含む、請求項6に記載のレーザー切断方法。
- 前記切断したい基板をベース上に固定するステップは、真空吸着により前記基板を前記ベースに固定するステップを含む、請求項1に記載のレーザー切断方法。
- 前記切断したい基板をベース上に固定するステップは、固定具を用いて前記基板を前記ベースに固定するステップを含む、請求項1に記載のレーザー切断方法。
- 基板に切断ラインを形成するためのレーザー切断装置であって、
前記基板を固定するベースと、
前記ベースの上方に設置され、前記基板に対応する画像センサーと、
前記ベースと前記画像センサーとの間に設置され、レーザー光束を出射するレーザー出射装置と、
前記レーザー出射装置のレーザー光束出射側に設置され、反射鏡と集光レンズとを有し、レーザー光束を、前記反射鏡にて前記集光レンズに向けて反射させててから前記基板に向けて出射させる光学ユニットと、
前記ベースの近くに設置され、前記画像センサー及び前記レーザー出射装置と電気的に接続されたコントローラと、を備えるレーザー切断装置。 - 前記ベースは移動機構を備え、前記画像センサーは前記移動機構と連動する、請求項11に記載のレーザー切断装置。
- 前記画像センサーには、前記基板の画像を前記画像センサーに反射させるための反射鏡が設けられている、請求項11に記載のレーザー切断装置。
- 前記ベースは、シースルー材質のプレートで形成されており、前記ベースの下方に第二移動機構を備え、前記ベースの下方に設けられた第二画像センサーは前記第二移動機構と連動しており、前記第二画像センサーは前記コントローラと電気的に接続されている、請求項11に記載のレーザー切断装置。
- 前記ベースは、前記基板を置くための凹み部分を備えるる、請求項11に記載のレーザー切断装置。
- 前記ベースは、前記基板を前記ベースに固定するための固定具を備える、請求項11に記載のレーザー切断装置。
- 前記ベースは、前記基板を真空吸着させて前記ベースに固定するための真空装置を備える、請求項11に記載のレーザー切断装置。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56129340A (en) * | 1980-03-13 | 1981-10-09 | Toshiba Corp | Method of dividing platelike material |
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Patent Citations (4)
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---|---|---|---|---|
JPS56129340A (en) * | 1980-03-13 | 1981-10-09 | Toshiba Corp | Method of dividing platelike material |
JPH0919787A (ja) * | 1995-07-04 | 1997-01-21 | Hitachi Cable Ltd | 非金属材料の加工方法及びその加工装置 |
JP2012084746A (ja) * | 2010-10-13 | 2012-04-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 多層セラミックス基板の分割方法 |
US8361828B1 (en) * | 2011-08-31 | 2013-01-29 | Alta Devices, Inc. | Aligned frontside backside laser dicing of semiconductor films |
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