JP2016019110A - 撮像装置、撮像システム及び撮像方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】 複数のセンサパネルに跨る画像を撮像する撮像装置において、撮像された画像内の画素値の差を低減すること。【解決手段】 各々が放射線又は光に応じた電荷を生成する変換部を有する複数の変換素子が配置された複数のセンサパネル106を有し、複数のセンサパネル106に跨る画像を撮像する撮像装置であって、複数のセンサパネル106における各々のセンサパネル106は、前記変換部の面積が等しくなるように構成され、前記複数のセンサパネル106間の境界を挟んで隣接する複数の前記変換素子から生成された電荷に基づいて画素データを生成し、前記画素データを含む画像データを生成するビニング部と、を有することを特徴とする撮像装置。【選択図】 図1

Description

本発明は、撮像装置、撮像装置システム及び撮像方法に関する。
近年、放射線叉は光を電荷に変換する変換素子を用いた放射線撮像装置が普及している。放射線撮像装置において複数のセンサパネルを二次元につなぎ合わせて構成された大面積の撮像領域を有する撮像装置がある。また、撮像装置において高フレームレート化や、感度向上、ノイズ低減等のため隣接する変換素子(画素)の出力を加算し平均値(加算平均値)を求め、この情報を出力する方式が提案されている。
特許文献1において、大面積の撮像領域を実現するために、半導体ウエハから光電変換素子を短冊状に切り出したセンサパネルを複数並べて配置する構造を有する放射線撮像装置が開示されている。そして、複数のセンサパネル間の境界を挟んで隣接する複数の画素の信号を加算して1画素の信号とする、いわゆるビニング処理を行う機能を有する撮像装置が開示されている。
特開2002−044522号公報
しかしながら、特許文献1に記載された撮像装置は、センサパネルの境界に隣接する箇所に配置された変換素子の大きさがその他の箇所に配置された変換素子よりも小さい。そのため、ビニング処理を行う変換素子の組み合わせによっては、撮像された画像には複数のセンサパネル間で画素データの差が生じる。特に、複数のセンサパネル間の境界を挟んでビニング処理を行い画像を生成する場合に、センサパネル間での画素データの差が顕著になるという問題があった。
そこで、本発明は、複数のセンサパネルに跨る画像を撮像する撮像装置において、撮像された画像内の画素値の差を低減することを課題とする。
そこで、本発明の撮像装置は、各々が放射線又は光に応じた電荷を生成する変換部を有する複数の変換素子が配置された複数のセンサパネルを有し、前記複数のセンサパネルに跨る画像を撮像する撮像装置であって、前記複数のセンサパネルにおける各々のセンサパネルは、前記変換部の面積が等しくなるように構成され、前記複数のセンサパネル間の境界を挟んで隣接する複数の前記変換素子から生成された電荷に基づいて画素データを生成し、前記画素データを含む画像データを生成するビニング部と、を有することを特徴とする。
本発明によれば、複数のセンサパネルに跨る画像を撮像する撮像装置において、撮像された画像内の画素値の差を低減することができる。
第一の実施形態における放射線撮像システムを示すブロック図である。 第一の実施形態における画素を示す図である。 第一の実施形態におけるセンサパネルの構成を示す概略図である。 第一の実施形態におけるビニング部が行うビニング処理の流れを示すブロック図である。 第一の実施形態におけるビニング処理を施した画像データを示す図である。 第二の実施形態におけるセンサパネルの構成を示す概略図である。 第二の実施形態におけるビニング処理を施した画像データを示す図である。
[実施例1]
まず、図1を用いて放射線撮像システムの全体構成を説明する。図1は、本実施例を示す放射線撮像システムのブロック図の一例である。
放射線撮像システム1は、放射線撮像装置100、画像処理およびシステム制御を行う処理部101、ディスプレイ等を含む表示部102、放射線制御部103、放射線を発生する放射線源104を有する。放射線撮影を行う際には、処理部101により、放射線撮像装置100と放射線制御部103が同期制御され得る。被写体を透過した放射線(X線、α線、β線、γ線等)は放射線撮像装置100によって検出され、処理部101等で所定の処理が行われた後、被写体の画像データが生成される。画像データは、表示部102に放射線画像として表示される。本実施例における放射線撮像システム1は、本発明における撮像システムに相当する。
次に、放射線撮像装置100の全体構成を説明する。放射線撮像装置100は、センサアレイ105と、制御部109を少なくとも含んで構成されている。そして、本実施例において、制御部109は、センサアレイ105において隣接する変換素子(画素)の出力を加算し平均値(加算平均)を求めるためのビニング部として機能する。センサアレイ105は、複数のセンサパネル106が行列状に配置されている。そして、センサパネル106には、各々が放射線又は光に応じた電荷を生成する変換部を有する複数の変換素子が配置されている。制御部109は、複数のセンサパネル間の境界を挟んで隣接する複数の変換素子から生成された電荷に基づく信号を加算平均し画素データを生成し、画素データを含む画像データを生成する機能を有する。放射線撮像装置100は、複数のセンサパネル106から取得した画像データに基づいて1つの画像データを取得する。ここで、画素データとは、1つの画像データの1画素を構成するデータの画素値叉は輝度値を示す。画像データとは、1つの画像を構成するデータ群を示す。なお、本実施例における放射線撮像装置100は、本発明における撮像装置に相当する。以下、放射線撮像装置100の各部について詳述する。
センサアレイ105には、複数のセンサパネル106が、平面基台上(不図示)に行列状に配置(タイリング)されている。センサパネル106は、例えばシリコン半導体ウエハから矩形状に切り出された半導体基板が好適に用いられる。また、平面基台上で隣接するセンサパネル106は、センサパネル106間の境界を挟んで光電変換素子がセンサパネル106上と同じ間隔になるように配置されている。図1には、センサパネル106が14列×2行の行方向及び列方向に行列状に配置された例を示しているが、これに限定されるものではない。配置され得るセンサパネル106の行方向の数及び列方向の数は任意に決定され得る。
各々のセンサパネル106は、放射線又は光に応じた電荷を生成する変換素子と変換素子からの信号をサンプルホールド(保持)するサンプルホールド回路(保持回路)とを有する画素が2次元状に複数配置されている。更に、センサパネル106の上には、放射線を光に変換するシンチレータ(不図示)が設けられ得る。当該シンチレータの放射線の入射側と逆側に複数の光電変換素子(不図示)が配置されている。光電変換素子には、例えば、MIS型、PIN型等の光電変換を行う変換素子が用いられる。これにより、照射された放射線量に応じて電気信号が得られる。すなわち、本実施例では、各光電変換素子とそれに対応するシンチレータとによって、放射線に応じた電荷を生成する変換素子が構成され得る。なお、当該変換素子は、放射線を直接電荷に変換するものであってもよい。
更に、センサパネル106の上辺部及び下辺部には、外部端子(不図示)が配されている。当該外部端子としては、例えば電極パッドが用いられる。センサパネル106は、外部端子を介してフライングリード式プリント配線板(不図示)で外部回路と接続される。
次に、センサパネル106と接続される外部回路について説明する。131から138はアナログマルチプレクサで、制御部109の制御信号により接続されたセンサパネル106の画素出力を選択し、それぞれ接続される差動増幅器141〜148に出力する。151〜158はAD変換器で制御部109から出力される同期クロックに従い、それぞれ接続される差動増幅器141〜148のアナログ信号をデジタル化し、制御部109に出力する。なお、当該センサパネル106と当該外部回路の各構成はこれに限られるものではない。例えば、マルチプレクサを使用せずに、センサパネル、差動増幅器、AD変換器が1対1で接続されていてもよい。この場合、マルチプレクサは不要となるため、回路構成を簡易にすることができる。各センサパネル106から取得された画像データにはオフセット段差が生じ得る。オフセット段差とは、各センサパネル間の特性差や各センサパネルに接続される外部回路の特性差による画像データの差が含まれ得る。なお、当該特性差は、各センサパネル及び外部回路の製造誤差も含まれ得る。
制御部109はAD変換器151〜158によりAD変換されたブロックごとのデジタルデータを合成し、1つの画像データとして処理部101に転送する。
更に、制御部109は、処理部101と制御コマンドの通信、同期信号の通信、M×N(M,Nは1以上の整数)のビニング処理、処理部101への画像データの送信を行う。制御部109は、センサアレイ105の制御機能も有しており、センサアレイ105の駆動制御や撮影モード制御を行う。更に、制御部109は、変換素子から生成された電荷に基づく信号に基づくアナログデータをAD変換したデジタルデータの信号を加算平均する。
制御部109と処理部101との間では、各種インターフェースを介して、制御コマンドないし制御信号および画像データの授受が行われる。処理部101は、制御用インターフェース110を介して、動作モードや各種パラメータなどの設定情報ないし撮影情報を制御部109に出力する。また、制御部109は、制御用インターフェース110を介して、放射線撮像装置100の動作状態などの装置情報を処理部101に出力する。また、制御部109は、画像データインターフェース111を介して、放射線撮像装置100で得られた画像データを処理部101に出力する。また、制御部109は、READY信号112を用いて、放射線撮像装置100が撮影可能な状態になったことを処理部101に通知する。また、処理部101は、外部同期信号113を用いて、制御部109からのREADY信号112に応答して制御部109に、放射線の照射開始(曝射)のタイミングを通知する。また、制御部109は、曝射許可信号114がイネーブル状態の間に、放射線制御部103に制御信号を出力して放射線照射を開始させる。
次に図2を用いて、センサパネルに配置されている画素の具体的な構成の一例を説明する。図2はセンサパネルを構成する1個当たりの画素203の回路構成の一例を示す等価回路図である。図2に示すように、複数のセンサの夫々は、例えば、第1部分ps1と第2部分ps2と第3部分ps3とを含み得る。なお、各部分に構成されるトランジスタであるM1〜M13は、制御部109によって導通の可否が制御され得る。
第1部分ps1は、フォトダイオードPDと、トランジスタM1〜M3と、フローティングディフュージョン容量CFD(以下、FD容量CFD)と、感度切り替え用の容量CFD1とを有し得る。フォトダイオードPDは光電変換素子であり、放射線叉は光に応じた電荷を生成し得る。光電変換素子のうち光を受光し電荷を生成する面が変換部である。フォトダイオードPDは、照射された放射線に応じて前述のシンチレータで生じた光を電気信号に変換する。なお、フォトダイオードPDは、放射線を直接検出し電荷を生成し得るものであってもよい。そして、当該放射線叉は光に応じた量の電荷がフォトダイオードPDで発生し、発生した電荷量に応じたFD容量CFDの電圧が第2部分ps2に出力される。また、感度切り替え用の容量CFD1は、センサ202の放射線に対する感度を切り替えるために用いられ、トランジスタM1(スイッチ素子)を介してフォトダイオードPDに接続されている。制御部109が、WIDE信号を活性化することによってトランジスタM1が導通状態になり、FD容量CFDと容量CFD1との合成容量の電圧が第2部分ps2に出力される。このように、センサ202では、容量CFD1を用いるか否かで放射線に対する感度を変更している。また、トランジスタM2は、PRES信号が活性化されることによってフォトダイオードPDの電荷を初期化し、第2部分ps2に出力される電圧をリセットする。なお、感度切り替え機能を有しない場合、M1およびCFD1はps1に含まれない。
第2部分ps2は、トランジスタM3〜M7とクランプ容量CCLと定電流源とを有し得る。トランジスタM3とトランジスタM4と定電流源(例えばカレントミラー構成のトランジスタ)とは電流経路を形成するように直列に接続されている。制御部109が、トランジスタM3のゲートに入力されるイネーブル信号ENが活性化されることによって、第1部分ps1からの電圧を受けるトランジスタM4が動作状態となる。このようにしてソースフォロワ回路が形成され、第1部分ps1からの電圧に応じた電圧が出力される。その後段には、トランジスタM5〜7とクランプ容量CCLとで構成されたクランプ回路が設けられている。具体的には、クランプ容量CCLの一方の端子n1が、第1部分ps1のトランジスタM3とトランジスタM4との間のノードに接続されており、他方の端子n2が、クランプスイッチとして機能するトランジスタM5に接続されている。また、トランジスタM6とトランジスタM7と定電流源とは電流経路を形成するように直接に接続されており、当該他方の端子n2は、トランジスタM7のゲートに接続されている。この構成により、第1部分ps1のフォトダイオードPDで生じるkTCノイズ(いわゆるリセットノイズ)の影響が低減され得る。具体的には、前述のリセット時における第1部分ps1からの電圧に応じた電圧がクランプ容量CCLの端子n1に入力される。また、クランプ信号PCLが活性化されることによりトランジスタM5が導通状態になり、クランプ電圧VCLがクランプ容量CCLの端子n2に入力される。このようにして、端子n2の電位をノイズ成分としてクランプし、その後のフォトダイオードPDでの電荷の発生および蓄積に伴う電圧の変化分を信号成分として出力する。また、イネーブル信号ENはトランジスタM6のゲートにも入力され、イネーブル信号ENが活性化されることによってトランジスタM7が動作状態となる。このようにしてソースフォロワ回路が形成され、トランジスタM7のゲート電圧に応じた電圧が第3部分ps3に出力される。
第3部分ps3は、サンプルホールド回路を含んで構成されている。第3部分ps3は、トランジスタM8、M10、M11、M13と、アナログスイッチSW9、SW12と、容量CSおよびCNとを有し得る。第3部分ps3は、本発明における保持部に相当する。保持部は、信号保持部と、基準信号部を有する。信号保持部は、光電変換素子で発生した電荷の量に応じた信号を保持する機能を有する。具体的には、M8、M10、SW9、容量CSを有する。基準信号部は、発生した電荷の量の基準となる基準信号を保持する機能を有する。具体的には、M9、M11、SW12、容量CNを有する。
トランジスタM8と容量CSとはサンプルホールド回路を形成しており、第2部分ps2からの出力値を保持する信号保持部として機能する。まず、信号保持部で信号が保持される動作について説明する。具体的には、制御部109が、制御信号TS1を用いてトランジスタM8の状態(導通状態または非導通状態)を切り替えることにより、第2部分ps2から得られる信号(光成分にしたがう信号)を容量CSに保持し、即ち、サンプリングを行う。また、トランジスタM10は、そのソースフォロワ動作によってアンプとして機能し、これによって当該信号は増幅される。当該増幅された信号は、制御信号VSRを用いてアナログスイッチSW9を導通状態にすることより、端子Sから出力される。次に、基準保持部により、基準信号が保持される動作について説明する。同様に、トランジスタM11およびM13とアナログスイッチSW12と容量CNとは、基準信号が保持され得る。
次に図3を用いて、センサパネルの構成について説明する。図3は、第一の実施形態におけるセンサパネルの構成を示す概略図である。図3において、センサパネル106は、基板の一辺に電極が配置される電極パッド202と、m×n個の光電変換素子203を有する画素が行列状に配列された撮像領域から構成されている。センサパネル106内の各々の光電変換素子203は、光を受光し電荷を生成する変換部の面積が等しくなるように構成されている。センサパネル106内で、変換素子の面積が等しくなるように構成されている。ここで、「面積が等しくなるように構成」とは、厳密に全く同じ面積である構成のみを意味するものに限定されるものではない。例えば、同じ面積で設計されているが、製造時における誤差等により厳密には僅かな誤差があっても、実質的に同じ面積な状態を示す。このため、変化素子の感度差が少なくなり、撮像された画像内の画素データの差が低減される。
光電変換素子203は、各々のセンサパネル106の内部で行列状に所定の間隔で配置され、且つ隣接するセンサパネル106間の端部に配置されている。そして、センサパネル106がギャップδで行列状に並べられている。隣接する各光電変換素子203の画素204の重心は略等しく所定の間隔で配置されている。ここで、「略等しく所定の間隔」は、上述した「面積が等しくなるように構成」と同様に厳密に全く同じ間隔である構成のみを意味するものに限定されるものではない。
一例として、画素204の面積における光電変換素子203の面積が占める割合は25%程度であり、ギャップは20[μm]であり、画素204の重心間の間隔nを160[μm]とすることができる。光電変換素子203の面積と画素204の面積を好ましい比率にすることで感度を確保しつつ、画素204への画素回路の配置スペースを広くすることができる。さらに、画素回路の配線間の間隔を確保できるため、配線間のクロストークやアーチファクトの発生を抑制し得る。当該回路には、例えば、図2を用いて上述した種々の回路が含まれ得る。画素(変換素子)の重心間の間隔を規定し、センサパネル間のギャップを略等しく所定の間隔で配置した。このため、センサパネル106を跨いだ画素群205でビニング処理を施した場合に、センサパネル106間の距離の不均一による画像の歪みを低減することができる。
次に図4を用いて、制御部109が行うビニング処理の流れを示すブロック図である。以下では、2つのセンサパネル106についてビニング処理を行う場合を例に説明する。制御部109はビニング部として、第一の受信バッファ部301及び第二の受信バッファ部302と、第一の演算部303及び第二の演算部304と、送信バッファ部を少なくとも有している。
301はセンサパネルA(不図示)から読み出され、AD変換されたデジタルデータAを受信しライン単位で一時保存するための第一の受信バッファ部である。ここで、センサパネルAは、複数のセンサパネルのうちの1つのセンサパネルを示す。302はセンサパネルAとは異なるセンサパネルBから読み出されAD変換されたデジタルデータBを受信しライン単位で一時保存するための第二の受信バッファ部である。ここで、センサパネルBは、複数のセンサパネルのうちのセンサパネルAとは異なる1つのセンサパネルを示す。
制御部109は、2枚のセンサパネルA,Bから同時にデジタルデータを読み出すように制御し得る。そして、各々のセンサパネル106のデジタルデータA,デジタルデータBは、同時に第一の受信バッファ部301、第二の受信バッファ部302にそれぞれ格納されるように制御される。
第一の演算部303は、第一の受信バッファ部301と第二の受信バッファ部302から順次データを取り出す。次に、センサパネルAから取得したデータのうちセンサパネルBに跨らない部分のビニング処理と、センサパネルAとセンサパネルBとを跨る境界のデータのビニング処理を施す。2枚のセンサパネルを跨いでビニング処理をするために、第一の演算部303は、センサパネルAおよびセンサパネルBの各データのうち最もセンサパネルBに近接した行叉は列にあたるデータを取得してビニング処理を行う。具体的には、第一の演算部303は、第一の受信バッファ部301から第一のセンサパネルAのラインの終端データとセンサパネルBのラインの先頭データを取得してビニング処理を行う。
そして、第二の演算部304は、センサパネルAに跨らない部分のビニング処理を行う。具体的には、第二の演算部304は、第二の受信バッファ部302からセンサパネルBのラインの先頭データ以外のデータを取り出しビニング処理を施す。
送信バッファ部305は、第一の演算部303、第二の演算部304により生成されたデータを画素順に配置することで、送信用の画像データを作成し処理部(図4中不図示)へ出力する。
図5を用いて、第一の実施形態におけるビニング処理を行った画像データについて説明する。図5(a)は、ビニング処理を行う前の画像データを示す図である。センサパネルから取得された画像データ401のうち1つの画素データ403を2×2の行列状に組み合わせた画素データ群が画素データ群402である。図5(a)に示すように、2枚のセンサパネルから取得された画像データ401毎に画素データ403の差が発生し得る。
図5(b)は、図5(a)に示す画像データに対して、画素データのセンサパネルの境界を跨いだ2×2画素に対して、ビニング処理を行った画像データを示す。図5(b)に示すように、画素データ群402とその他の画素データの濃度の差が図5(a)と比較して低減されている。そのため、センサパネル毎の画素データのつなぎ目による画素値の差が低減され得る。
なお、本実施例では、横方向に2つのセンサパネル106を配置した場合のビニング処理について説明しているがこの限りではない。複数のセンサパネル106のデータにおいても同様に処理することができる。
また、ビニングを2×2の行列状に組み合わせた画素データで行うものとして説明したが、これに限定されるものではない。M×N(M、Nは3以上の整数)の行列状に組み合わせた画素データでも同様の効果を得られる。
以上により、本実施形態の撮像装置は、ビニング部により複数のセンサパネル間の境界を挟んで隣接する行方向又は列方向に配置された2以上のセンサパネルの間の境界を挟んで隣接する変換素子から生成された信号を加算平均し得る。そのため、複数のセンサパネルを行列状に配置する撮像装置において、センサパネル間の画素値の差を低減することができる。本実施形態の撮像装置は、変換素子は、各々のセンサパネルの内部で行列状に所定の間隔で配置され、且つ隣接するセンサパネル間の端部に配置された前記変換素子が前記所定の間隔で配置されている。そのため、画素間距離に起因する画像の歪みが低減される。
以上、第一の実施形態により、複数のセンサパネルに跨る画像を撮像する撮像装置において、撮像された画像内の画素値の差を低減することができる。
[実施例2]
図6及び図7を用いて第二の実施形態について説明する。第一の実施形態とは、行方向及び列方向で隣接したセンサパネルの間の信号を加算平均する点で異なる。以下詳細に説明する。第一の実施形態と同様の箇所については説明を省略する。
図6は、センサパネル501を2列×2行の行列状に配置した場合のセンサアレイの構成を示す。センサパネル501の上側列は電極パッド502を上に、下側列は電極バッド502を下にして張り合わされる。また、センサパネル501の左右両側の画素、及び、電極パッド502の反対側の画素は、基板間ギャップδで配置した場合に、隣接する画素204の重心の間隔nが等間隔に並んでいる。したがって、センサパネル501を縦横に跨いでビニング処理を施しても、画素間距離の不均一による画像データの歪みを低減することができる。
図7を用いて、4つのセンサパネルの境界を跨いでビニング処理を行った画像データについて説明する。図7は、第一の実施形態におけるビニング処理を施した画像データを示す図である。図7(a)は、ビニング処理を行う前の画像データを示す図である。センサパネルの画像データ601のうち1つの画素データ603を2×2の行列状に組み合わせた画素データ群が画素データ群605である。図7(b)は、図7(a)に示す画像データに対して、4枚分のセンサパネルの境界を跨いで、ビニング処理を行った画像データを示す。図7(b)に示すように、画素データ群605とその他の画素データの濃度の差が図7(a)と比較して低減されている。図7(b)に示すように、ビニング部は、センサパネル毎のオフセット段差によるつなぎ目を目立たなくすることができる。なお、本実施例では、センサパネルを2列×2行の行列状に4枚張り合わせた構成について説明したがこれに限定されるものではない。
以上により、本実施形態の撮像装置は、ビニング部により複数のセンサパネル間で隣接する行方向及び列方向に配置された3以上のセンサパネルの間の境界を挟んで隣接する変換素子から生成された信号を加算平均し得る。そのため、複数のセンサパネルを行列状に配置する撮像装置において、センサパネル間の画素値の差を低減することができる。
以上、第二の実施形態により、複数のセンサパネルに跨る画像を撮像する撮像装置において、撮像された画像内の画素値の差を低減することができる。
なお、本発明の実施例は、コンピュータや制御コンピュータがプログラム(コンピュータプログラム)を実行することによって実現することもできる。また、プログラムをコンピュータに供給するための手段、例えばかかるプログラムを記録したCD−ROM等のコンピュータが読み取り可能な記録媒体又はかかるプログラムを伝送するインターネット等の伝送媒体も本発明の実施例として適用することができる。また、上記のプログラムも本発明の実施例として適用することができる。上記のプログラム、記録媒体、伝送媒体およびプログラムプロダクトは、本発明の範疇に含まれる。また、実施例から容易に想像可能な組み合わせによる発明も本発明の範疇に含まれる。
以上、本発明を実施例に基づいて詳述してきたが、本発明はこれらの特定の実施例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明の範疇に含まれる。さらに、上述した実施例は本発明の一実施の形態を示すものにすぎず、上述した実施例から容易に想像可能な発明も本発明の範疇に含まれる。
100 放射線撮像装置
105 センサアレイ
106 センサパネル
109 制御部

Claims (10)

  1. 各々が放射線又は光に応じた電荷を生成する変換部を有する複数の変換素子が配置された複数のセンサパネルを有し、前記複数のセンサパネルに跨る画像を撮像する撮像装置であって、
    前記複数のセンサパネルにおける各々のセンサパネルは、前記変換部の面積が等しくなるように構成され、
    前記複数のセンサパネル間の境界を挟んで隣接する複数の前記変換素子から生成された電荷に基づいて画素データを生成し、前記画素データを含む画像データを生成するビニング部と、
    を有することを特徴とする撮像装置。
  2. 前記画素データは、前記変換素子から生成された電荷に基づくアナログデータをデジタルデータに変換したデータであることを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
  3. 前記各々のセンサパネルは、前記複数の変換素子が行列状に所定の間隔で配置され、且つ前記複数のセンサパネル間の境界を挟んで隣接する複数の変換素子が前記所定の間隔で配置されていることを特徴とする請求項1叉は2に記載の撮像装置。
  4. 前記ビニング部は、行方向又は列方向に隣接して配置された複数のセンサパネル間の境界を挟んで隣接する複数の変換素子から生成された電荷に基づく信号を加算平均して画素データを生成する特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の撮像装置。
  5. 前記ビニング部は、行方向及び列方向に隣接して配置された複数のセンサパネル間の境界を挟んで隣接する複数の変換素子から生成された電荷に基づく信号を加算平均して画素データを生成することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の撮像装置。
  6. 前記複数のセンサパネルにおける各々のセンサパネルは、前記変換素子を有する画素を複数有し、
    前記画素の夫々は、変換素子からの信号を保持する保持回路を有することを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の撮像装置。
  7. 前記ビニング部は、複数のセンサパネルに跨る画素データを生成する第一の演算部と、複数のセンサパネルに跨らない範囲の画素データを生成する第二の演算部を有することを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の撮像装置。
  8. 請求項1から7のいずれかの撮像装置と、
    前記撮像装置から取得した画像データを処理する処理部と、
    を有することを特徴とする撮像システム。
  9. 各々が放射線又は光に応じた電荷を生成する変換素子を含む複数のセンサパネルが行列状に配置され、前記変換素子から生成された電荷に基づいて画素データを生成するビニング部を有する撮像装置の撮像方法であって、
    前記複数のセンサパネル間で隣接する複数の変換素子から生成された電荷に基づいて画素データを生成する第一の工程と、
    前記第一の工程で加算された画素データに基づいて画像データを生成する第二の工程と、
    を有することを特徴とする撮像方法。
  10. 請求項9に記載の撮像方法をコンピュータに実行させるためのコンピュータプログラム。
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