JP2016012678A - デスミア処理方法およびデスミア処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のデスミア処理装置は、被処理物が配置される処理室と、前記被処理物に紫外線を照射する紫外線ランプを収納する光源ユニットと、前記処理室と前記光源ユニットとの間に配置された、前記紫外線ランプからの紫外線を透過する光透過窓と、前記処理室に活性種源を含む処理用ガスを供給する処理用ガス供給手段とを備えたデスミア処理装置であって、前記処理用ガス供給手段は、処理用ガス供給源と、この処理用ガス供給源からの処理用ガスの供給量を制御する制御部とを有し、前記制御部は、前記被処理物に紫外線を照射する際に、前記処理用ガス供給源からの処理用ガスをパージガスとして供給するよう制御する機能を有することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
そして、第2絶縁層4に貫通孔5を形成する際には、第2絶縁層を構成する材料に起因するスミア6が、例えば第2絶縁層4における貫通孔5の内壁面、第2絶縁層4の表面における貫通孔5の周辺領域、および貫通孔5の底部すなわち導電層3における貫通孔5によって露出した部分などに残留している。このため、得られる配線基板材料に対してスミアを除去するデスミア処理が行われる。
しかしながら、湿式法によるデスミア処理においては、スミアをアルカリ溶液に溶解させるのに長い時間を要すること、配線基板材料をアルカリ溶液に浸漬した後に洗浄処理および中和処理を行う必要があること、使用済みのアルカリ溶液について廃液処理が必要となることなどから、デスミア処理のコストが相当に高くなる、という問題がある。
デスミア処理を短時間で確実に行う手段としては、光透過窓と被処理物との距離を短くすると共に、活性種源の濃度が高い処理用ガスを光透過窓と被処理物との間に供給する手段が考えられる。
そして、処理用ガスの供給量が大きい場合には、生成した酸素ラジカル等が、光透過窓と被処理物との間の領域より下流側に直ちに移動する。そのため、光透過窓と被処理物との間における酸素ラジカルの濃度が低くなり、その結果、デスミア処理を十分に行うことが困難となる。
一方、処理用ガスの供給量が小さい場合には、スミアが分解して発生した分解ガスが、光透過窓と被処理物との間の領域より下流側に直ちに移動せず、これにより、光透過窓と被処理物との間における分解ガスの濃度が高くなる。そのため、光透過窓と被処理物との間における酸素の濃度が相対的に低くなる。これに伴い、十分な量の酸素ラジカル等が生成されず、その結果、デスミア処理を十分に行うことが困難となる。
前記処理用ガス供給手段は、処理用ガス供給源と、この処理用ガス供給源からの処理用ガスの供給量を制御する制御部とを有し、
前記制御部は、前記被処理物に紫外線を照射する際に、前記処理用ガス供給源からの処理用ガスをパージガスとして供給するよう制御する機能を有することを特徴とする。
前記被処理物と前記光透過窓との間に供給された前記処理用ガスに紫外線を照射することによって生成した活性種と前記スミアとを反応させる反応工程と、前記被処理物と前記光透過窓との間に、前記処理用ガスよりなるパージガスを供給するパージ工程とからなる処理プロセスを繰り返すことを特徴とする。
また、前記反応工程における前記処理用ガスの供給量が0であることが好ましい。
また、前記反応工程の時間が5〜15秒間であることが好ましい。
また、前記処理プロセスの回数が5〜15回であることが好ましい。
また、前記活性種源が、酸素ガスまたは酸素ガスとオゾンとの混合物であることが好ましい。
また、前記パージ工程において、前記被処理物に前記光透過窓を介して紫外線を照射することが好ましい。
図1は、本発明のデスミア処理装置の一例における構成を説明用断面図である。このデスミア処理装置は、被処理物Wのデスミア処理が実行される処理室S1を形成する処理室形成部材10と、この処理室形成部材10の上方に設けられた光源ユニット20とを有する。本発明のデスミア処理装置に供される被処理物Wは、バイアホールまたはスルーホールなどの厚み方向に伸びる孔が形成された例えば略平板状の配線基板材料である(図4(c)参照。)。
ガス供給用孔12およびガス排出用孔13の開口の寸法は、被処理物Wの寸法に応じて適宜設計される。ガス供給用孔12およびガス排出用孔13の開口の寸法の一例を挙げると、被処理物Wの平面の寸法が500mm×500mmである場合には、ガス供給用孔12の開口の寸法が例えば3mm×600mm、ガス排出用孔13の開口の寸法が例えば10mm×600mmである。
また、活性種源として少なくともオゾン(O3 )を含む処理用ガスを用いる場合には、当該処理用ガス中のオゾン(O3 )の濃度は、0.1〜12体積%であることが好ましく、より好ましくは1〜12体積%である。
加熱手段による加熱条件は、被処理物Wの被処理面の温度が、例えば80℃以上、340℃以下となる条件であることが好ましく、より好ましくは、80℃以上、200℃以下となる条件である。
先ず、処理室形成部材10から光源ユニット20が取り外された状態で、載置台11の表面上におけるガス供給用孔12とガス排出用孔13との間の位置に、被処理物Wが載置される。次いで、処理室形成部材10上に、光源ユニット20がシール部材17を介して配置される。これにより、光源ユニット20における光透過窓30は、被処理物Wの被処理面に間隙を介して対向するよう配置される。また、必要に応じて、加熱手段によって、載置台11を介して被処理物Wが加熱される。
図2は、本発明のデスミア処理装置における紫外線ランプ25および処理用ガス供給手段40の動作状態を示す説明図である。以下、図2を参照しながら、本発明のデスミア処理方法を説明する。
また、パージ工程P2においては、紫外線ランプ25の動作を停止する、すなわち被処理物Wに紫外線を照射することを停止してもよいが、図2に示すように、被処理物Wに光透過窓30を介して紫外線を照射しながら行うことが好ましい。
以上において、処理プロセスPの回数は5〜15回であることが好ましい。処理プロセスPの回数が5回未満である場合には、被処理物Wに残留したスミアを十分に除去することが困難となることがある。一方、処理プロセスPの回数が15回を超える場合には、被処理物Wである配線基板材料における絶縁層自体が分解する虞がある。
図1に示す構成に従ってデスミア処理装置を作製した。このデスミア処理装置の具体的な仕様は以下の通りである。
寸法:650mm×650mm×20mm
材質:アルミニウム
ガス供給用孔の開口寸法:3mm×600mm
ガス排出用孔の開口寸法:10mm×600mm
ガス供給用孔とガス排出用孔との距離:510mm
[紫外線ランプ]
種類:キセノンエキシマランプ
発光長:700mm
直径:40mm
紫外線ランプの数:5本
紫外線ランプの配置ピッチ(隣接する紫外線ランプの中心軸間の距離):60mm
定格入力電力:500W
[光透過窓]
寸法:550mm×550mm×5mm
材質:合成石英ガラス
[ランプ収容室]
パージガスの種類:窒素ガス
パージガスの流量:100L/min
[処理室]
寸法:600mm×600mm×1mm
[処理用ガス]
酸素ガス(濃度100%)
[被処理物]
構成:銅箔上にビアホールを有する絶縁層が積層された配線基板材料
平面の寸法:500mm×500mm
銅箔の厚み:35μm
絶縁層の厚み:30μm
ビアホールの直径:50μm
[デスミア処理の条件]
光透過窓と被処理物との間の距離:0.3mm
載置台の温度:120℃
処理前プロセスにおける処理用ガス供給量:10L/min
処理前プロセスにおける処理用ガス供給時間:0.1秒間
反応工程における処理用ガス供給量:0L/min
反応工程時間:10秒間
パージ工程における処理用ガス供給量:10L/min
パージ工程における紫外線ランプの動作状態:点灯状態
パージ工程時間:0.1秒間
処理プロセスの回数:5回
デスミア処理時間((反応工程時間+パージ工程時間)×処理プロセスの回数):50.5秒間
即ち、ビアホールの底部全体の面積と白い領域の面積をSEM画像からそれぞれ求め、「(白い領域の面積/ビアホール底部全体の面積)×100」の値を算出し、これをデスミア完了度(%)として表した。デスミアが完了した場合は、ビアホール底部全域が白くなるので、デスミア完了度は100%となり、反対にデスミア前の状態では、白い領域がないので、デスミア完了度は0%となる。ただし、画像をデジタル処理しているので、デスミアが完了していても、数値上は必ずしも100%とはならないので、90%以上をデスミア完了としている。その結果を表1に示す。
反応工程における処理用ガス供給量および時間、並びにパージ工程における処理用ガス供給量および時間を、下記表1に従って変更したこと以外は、実施例1と同様にして被処理物のデスミア処理を行い、被処理物におけるビアホールの底部のデスミア完了度を測定した。結果を表1に示す。
反応工程およびパージ工程からなる処理プロセスの代わりに、処理用ガス供給量が0.1L/min、時間が100秒間の反応工程のみからなる処理プロセスを1回行ったこと以外は、実施例1と同様にして被処理物のデスミア処理を行い、被処理物におけるビアホールの底部のデスミア完了度を測定した。結果を表1に示す。
処理用ガス供給量を0.01L/minに変更したこと以外は、比較例1と同様にして被処理物のデスミア処理を行い、被処理物におけるビアホールの底部のデスミア完了度を測定した。結果を表1に示す。
処理用ガス供給量を1L/minに変更したこと以外は、比較例1と同様にして被処理物のデスミア処理を行い、被処理物におけるビアホールの底部のデスミア完了度を測定した。結果を表1に示す。
3 導電層
4 第2絶縁層
5 貫通孔
6 スミア
10 処理室形成部材
11 載置台
12 ガス供給用孔
13 ガス排出用孔
15 筐体
15a 上端部
16 スペーサ部材
17 シール部材
20 光源ユニット
21 ケーシング
25 紫外線ランプ
26 反射ミラー
30 光透過窓
40 処理用ガス供給手段
41 処理用ガス供給源
42 制御部
43 バルブ
45 ガス管
P 処理プロセス
P0 処理前プロセス
P1 反応工程
P2 パージ工程
G1 処理用ガス
S2 処理済ガス
S1 処理室
S2 ランプ収容室
W 被処理物
Claims (8)
- 被処理物が配置される処理室と、前記被処理物に紫外線を照射する紫外線ランプを収納する光源ユニットと、前記処理室と前記光源ユニットとの間に配置された、前記紫外線ランプからの紫外線を透過する光透過窓と、前記処理室に活性種源を含む処理用ガスを供給する処理用ガス供給手段とを備えたデスミア処理装置であって、
前記処理用ガス供給手段は、処理用ガス供給源と、この処理用ガス供給源からの処理用ガスの供給量を制御する制御部とを有し、
前記制御部は、前記被処理物に紫外線を照射する際に、前記処理用ガス供給源からの処理用ガスをパージガスとして供給するよう制御する機能を有することを特徴とするデスミア処理装置。 - 活性種源を含む処理用ガスの存在下に、被処理物に紫外線を透過する光透過窓を介して紫外線を照射することによって、当該被処理物に残留するスミアを除去するデスミア処理方法であって、
前記被処理物と前記光透過窓との間に供給された前記処理用ガスに紫外線を照射することによって生成した活性種と前記スミアとを反応させる反応工程と、前記被処理物と前記光透過窓との間に、前記処理用ガスよりなるパージガスを供給するパージ工程とからなる処理プロセスを繰り返すことを特徴とするデスミア処理方法。 - 前記パージ工程における前記パージガスの供給量が、前記反応工程における前記処理用ガスの供給量より大きいことを特徴とする請求項2に記載のデスミア処理方法。
- 前記反応工程における前記処理用ガスの供給量が0であることを特徴とする請求項2に記載のデスミア処理方法。
- 前記反応工程の時間が5〜15秒間であることを特徴とする請求項2に記載のデスミア処理方法。
- 前記処理プロセスの回数が5〜15回であることを特徴とする請求項2に記載のデスミア処理方法。
- 前記活性種源が、酸素ガスまたは酸素ガスとオゾンとの混合物であることを特徴とする請求項2に記載のデスミア処理方法。
- 前記パージ工程において、前記被処理物に前記光透過窓を介して紫外線を照射することを特徴とする請求項2に記載のデスミア処理方法。
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