JP2016003965A - 湿度センサ検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
10 基板受けプレート
12 貫通孔
20 基板固定プレート
21 流路
22 挿通孔
30 プローブ
40 筐体
42 凹部
44 恒温空間
46 貫通孔
50 ペルチェ素子
55 ヒーター
60 冷却ユニット
90 湿度センサ
91 センサーアレイ
92 電極
93 センシング部
94 基板
Claims (2)
- 少なくとも一面にセンシング部が設けられ、前記一面の裏面に電極が設けられ、基板に沿って複数個並べて形成される湿度センサそれぞれに対する特性試験を、複数個の前記湿度センサが並んだままの状態で行う検査装置であって、
複数個並んだ前記湿度センサが置かれるプレートであって前記湿度センサの前記一面と接触可能に配置される基板受けプレートと、
該基板受けプレートと対向する位置に前記湿度センサの前記裏面と接触可能に配置される基板固定プレートと、
前記湿度センサの前記電極と導通可能に配置される可動式のプローブと、
外壁の一面に凹部を有する筐体であって該一面上に前記基板受けプレートが載置され、前記基板受けプレートの少なくとも一部と接触する筐体と、
前記筐体の外壁の一部に密着して設けられるペルチェ素子と、
前記筐体の前記ペルチェ素子が設けられる外壁の内側に埋設されるヒーター
とを備え、
前記基板固定プレートに、前記湿度センサの前記裏面と接触するときに前記電極が露出し、かつ、前記プローブが挿通可能な複数の挿通孔と、流体が流される流路とが形成され、
前記基板受けプレートに、前記湿度センサが置かれるときに前記湿度センサの前記センシング部が露出する貫通孔が形成され、
前記筐体内には、前記凹部を含む空間が前記ペルチェ素子および前記ヒーターにより温度制御される恒温槽が形成され、
前記湿度センサの前記センシング部が前記貫通孔を通じて前記恒温槽内の前記空間に曝露され、
前記筐体の外部と前記恒温槽内の前記空間とを連通する貫通孔が前記筐体に形成され、前記恒温槽内に所定の湿度の空気が導入可能にされていることを特徴とする湿度センサ検査装置。 - 前記ペルチェ素子には一方向だけに電流が流され、
前記恒温槽は、前記空間の温度が常温に維持されるときは前記ペルチェ素子および前記ヒーターの両方により制御され、前記空間の温度が前記常温よりも低い温度に維持されるときは前記ペルチェ素子だけで制御され、前記空間の温度が前記常温よりも高い温度に維持されるときは前記ヒーターだけで制御されることを特徴とする請求項1記載の湿度センサ検査装置。
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